JPH0346253A - ウェハ拡張装置 - Google Patents
ウェハ拡張装置Info
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- JPH0346253A JPH0346253A JP1181782A JP18178289A JPH0346253A JP H0346253 A JPH0346253 A JP H0346253A JP 1181782 A JP1181782 A JP 1181782A JP 18178289 A JP18178289 A JP 18178289A JP H0346253 A JPH0346253 A JP H0346253A
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- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 89
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
ダイシングされたウェハを拡張させるウェハ拡張装置に
関し、 拡張済ウェハ保持体の薄型化を可能とすることを目的と
し、 ダイシングされたウェハが接着されているウェハシート
をクランプするクランパと、周囲を該クランパによりク
ランプされた上記ウェハシートを突き上げて上記ウェハ
を上記ウェハシートと共に拡張させる突き上げテーブル
とを有し、上記突き上げた状態の上記テーブルの上面に
拡張フレームを押し付けて、上記拡張状態のウェハシー
トを接着層によりその下面に接着させ、該接着されたウ
ェハシートを拡張された状態で保持するよう構成する。
関し、 拡張済ウェハ保持体の薄型化を可能とすることを目的と
し、 ダイシングされたウェハが接着されているウェハシート
をクランプするクランパと、周囲を該クランパによりク
ランプされた上記ウェハシートを突き上げて上記ウェハ
を上記ウェハシートと共に拡張させる突き上げテーブル
とを有し、上記突き上げた状態の上記テーブルの上面に
拡張フレームを押し付けて、上記拡張状態のウェハシー
トを接着層によりその下面に接着させ、該接着されたウ
ェハシートを拡張された状態で保持するよう構成する。
本発明はダイシングされたウェハを拡張さぜるウェハ拡
張装置に関する。
張装置に関する。
ダイシングされたウェハはウェハシートと共に拡張され
、拡張フレームに固定されて拡張状態を維持して次の工
程に移されるまで保管される。
、拡張フレームに固定されて拡張状態を維持して次の工
程に移されるまで保管される。
ウェハシートが拡張された状態で拡張フレームに固定さ
れた拡張溝ウェハ保持体は、保管時に嵩張らないように
薄いものであることが望ましい。
れた拡張溝ウェハ保持体は、保管時に嵩張らないように
薄いものであることが望ましい。
第７図は従来のウェハ拡張装置の１例を示す。
１は突き上げテーブルで、あり、第８図に示すように、
テーブル本体２と、この上面の外周側の段部２ａに嵌合
されたリング状の拡張フレーム３とよりなる。拡張フレ
ーム３は外周面に、止め具であるＯリングが嵌合する溝
３ａを有する。
テーブル本体２と、この上面の外周側の段部２ａに嵌合
されたリング状の拡張フレーム３とよりなる。拡張フレ
ーム３は外周面に、止め具であるＯリングが嵌合する溝
３ａを有する。
４はリング状のクランパであり、テーブル１を囲繞して
配設しである。
配設しである。
ウェハは、第７図及び第９図に示すように拡張される。
第７図中、５はウェハフレームであり、ウェハシート６
が張られている。
が張られている。
ウェハシート６は上面に接着層６ａを有する。
７はダイシングされたウェハであり、ウェハシート６の
上面に接着されている。
上面に接着されている。
まず、第７図に示すように、ウェハフレーム５がセット
され、クランパ４がウェハシート６のうちテーブル１の
周囲の部分をクランプする。
され、クランパ４がウェハシート６のうちテーブル１の
周囲の部分をクランプする。
この後、テーブル４が第９図に示すように矢印Ｚ１方向
に上昇し、クランパ４によりクランプされているウェハ
シート６を拡張させ、ウェハ７を符号７ａで示すように
拡張させる。
に上昇し、クランパ４によりクランプされているウェハ
シート６を拡張させ、ウェハ７を符号７ａで示すように
拡張させる。
この状態で、０リング８を拡張フレーム３の溝３８には
めて、ウェハシート６を拡張フレーム３に固定する。
めて、ウェハシート６を拡張フレーム３に固定する。
この後、ウェハシート６のうちテーブル１とクランパ４
との間の部位をカッタで切り、拡張フレーム３を、テー
ブル本体２より抜いて取り外す。
との間の部位をカッタで切り、拡張フレーム３を、テー
ブル本体２より抜いて取り外す。
第１０図はテーブル本体２より外された拡張溝ウェハ保
持体１０を示す。
持体１０を示す。
この拡張溝ウェハ保持体１０は、次の工程、例えば検査
工程に移されるまでの間、積み重ねた状態で一時的に保
管される。
工程に移されるまでの間、積み重ねた状態で一時的に保
管される。
上記拡張フレーム３は、その周囲にＯリング８が嵌合す
る溝３ａが形成される必要があり、その厚さｔｌは１０
厘程度と厚い。
る溝３ａが形成される必要があり、その厚さｔｌは１０
厘程度と厚い。
このため、拡張溝ウェハ保持体１０も厚ざｔｌが同じく
１０履程度と厚くなり、積み上げて保管する場合に嵩張
ってしまう。
１０履程度と厚くなり、積み上げて保管する場合に嵩張
ってしまう。
本発明は、拡張溝ウェハ保持体の薄型化を可能としたウ
ェハ拡張装置を提供することを目的とする。
ェハ拡張装置を提供することを目的とする。
（ｗＩ題を解決するための手段〕
本発明は、接着層を有し、ダイシングされたウェハが接
着されているウェハシートをクランプするクランパと、 周囲を該クランパによりクランプされた上記ウェハシー
トを突き上げて上記ウェハを上記ウェハシートと共に拡
張させる突き上げテーブルと、上記突き上げた状態の上
記テーブルの上面に拡張フレームを押し付けて、上記拡
張状態のウェハシートを接着層によりその下面に接着さ
せ、該接着されたウェハシートを拡張された状態で保持
する構成である。
着されているウェハシートをクランプするクランパと、 周囲を該クランパによりクランプされた上記ウェハシー
トを突き上げて上記ウェハを上記ウェハシートと共に拡
張させる突き上げテーブルと、上記突き上げた状態の上
記テーブルの上面に拡張フレームを押し付けて、上記拡
張状態のウェハシートを接着層によりその下面に接着さ
せ、該接着されたウェハシートを拡張された状態で保持
する構成である。
拡張フレームは板状であり、薄いため、拡張溝ウェハ保
持体も薄くなる。
持体も薄くなる。
これにより、拡張溝ウェハ保持体の保管密度が向上する
。
。
第１図は本発明の一実施例になるウェハ拡張装置２０を
示す。同図中、第７図に示す構成部分と対応する部分に
は同一符号を付し、その説明を省略する。
示す。同図中、第７図に示す構成部分と対応する部分に
は同一符号を付し、その説明を省略する。
２１は突き上げテーブルであり、第２図に併せて示すよ
うに、上面の中央部に凸部２１ａが形成しである。
うに、上面の中央部に凸部２１ａが形成しである。
２２はヒータであり、テーブル２１内に組込まれている
。２３は拡張フレームであり、第２図に示すよう゛にリ
ング状であり、厚さｔ３は約１．５順であり、従来のも
のの約１７７と薄い。
。２３は拡張フレームであり、第２図に示すよう゛にリ
ング状であり、厚さｔ３は約１．５順であり、従来のも
のの約１７７と薄い。
次にウェハの拡張について説明する。
まず、第１図に示すように、クランパ４によりウェハシ
ート６をクランプし、第３図に示すようにテーブル２１
を加熱状態で矢印Ｚ１方向に突き上げる。
ート６をクランプし、第３図に示すようにテーブル２１
を加熱状態で矢印Ｚ１方向に突き上げる。
これにより、ウェハシート６が加熱されると共に放射状
に拡張され、符号７ａで示すようにウェハが拡張される
。
に拡張され、符号７ａで示すようにウェハが拡張される
。
この後、第４図に示すように拡張フレーム２３を上方よ
り、凸部２１ａに嵌合させテーブル２１上位置決めして
、矢印ｚ２で示すように押し付ける。この操作は、従来
の場合のＯリングをはめる操作に比べて簡単である。
り、凸部２１ａに嵌合させテーブル２１上位置決めして
、矢印ｚ２で示すように押し付ける。この操作は、従来
の場合のＯリングをはめる操作に比べて簡単である。
これにより、拡張フレーム２３の下面２３ａが、テーブ
ル２１の熱により軟化している接着層６ａを介して、ウ
ェハシート６に接着される。
ル２１の熱により軟化している接着層６ａを介して、ウ
ェハシート６に接着される。
この後、カッタを使用して拡張フレーム２４の周囲の部
位のウェハシート６を切断する。
位のウェハシート６を切断する。
この後、拡張フレーム２３をテーブル２１より取り外す
と、ウェハシート６が拡張されたウェハ７ａと共にテー
ブル２１から拡張フレーム２３に移し換えられ、第５図
、第６図に示す拡張流つＩハ保持体２５が得られる。
と、ウェハシート６が拡張されたウェハ７ａと共にテー
ブル２１から拡張フレーム２３に移し換えられ、第５図
、第６図に示す拡張流つＩハ保持体２５が得られる。
ウェハシート６が°テーブル２１により加熱された状態
で拡張され、その後玲却した場合に、ウェハシート６に
は収縮力は発生しない。このため、ウェハシート６と拡
張フレーム２３との固定は上記の接着１１６ａの接着力
で十分である。
で拡張され、その後玲却した場合に、ウェハシート６に
は収縮力は発生しない。このため、ウェハシート６と拡
張フレーム２３との固定は上記の接着１１６ａの接着力
で十分である。
この拡張流ウェハ保持体２５は、ウェハシート６が拡張
フレーム２３の下面２３ａに接着された構成であり、そ
の厚さｔ４は１．５ａｍ程度であり、従来の約１７７の
薄さである。
フレーム２３の下面２３ａに接着された構成であり、そ
の厚さｔ４は１．５ａｍ程度であり、従来の約１７７の
薄さである。
このため、積み上げて保管する場合にも、嵩張らない。
第６図は、上記の拡張流つＩハ保持体２５を保管する保
管用カセット３０を示す。この保管用カセット３０は、
複数の平行な溝３１ａ、３２ａを有する一対の板３１．
３２を、溝３１ａ、３２ａが相対向する配置で横架部材
３３．３４で固定し、奥部にストッパ部材３５を有する
構成である。
管用カセット３０を示す。この保管用カセット３０は、
複数の平行な溝３１ａ、３２ａを有する一対の板３１．
３２を、溝３１ａ、３２ａが相対向する配置で横架部材
３３．３４で固定し、奥部にストッパ部材３５を有する
構成である。
拡張流ウェハ保持体２５は、第６図中矢印Ｘ方向に挿入
されて、拡張フレーム２３のうちＹ方向上両側の部位を
相対向する溝３１ａ、３２ａに嵌合されて支持される。
されて、拡張フレーム２３のうちＹ方向上両側の部位を
相対向する溝３１ａ、３２ａに嵌合されて支持される。
各拡張流ウェハ保持体２５が上記のように支持され、カ
セット３０内には、複数の拡張流ウェハ保持体２５が互
いに僅少離された状態で、高い保管密度（単位容積当り
の保管量）で保管される。
セット３０内には、複数の拡張流ウェハ保持体２５が互
いに僅少離された状態で、高い保管密度（単位容積当り
の保管量）で保管される。
また、カセット３０に多段に保管されていると、拡張流
つＩハ保持体２５の取り出しは単に引き抜くだけで済み
、必要とする拡張流ウェハ保持体２５の取り出しは容易
である。
つＩハ保持体２５の取り出しは単に引き抜くだけで済み
、必要とする拡張流ウェハ保持体２５の取り出しは容易
である。
以上説明した様に、本発明によれば拡張されたウェハが
拡張枠体に保持された拡張流ウェハ保持体を従来のもの
に比べて相当薄くし得、これにより、拡張流ウェハ保持
体を嵩張らない状態で保管することが出来る。
拡張枠体に保持された拡張流ウェハ保持体を従来のもの
に比べて相当薄くし得、これにより、拡張流ウェハ保持
体を嵩張らない状態で保管することが出来る。
また、ウェハシートの拡張フレームへの固定は、ウェハ
シートの接＠層の接着力を利用しているため、ウェハシ
ートの拡張フレームへの固定は、拡張フレームをテーブ
ルに押し付ける操作で足り、簡単である。
シートの接＠層の接着力を利用しているため、ウェハシ
ートの拡張フレームへの固定は、拡張フレームをテーブ
ルに押し付ける操作で足り、簡単である。
第１図は本発明の一実施例になるウェハ拡張装置を示す
図、 第２図は第１図中突き上げテーブルと拡張“フレームと
を併せて示す図、 第３図はウェハを拡張した状態を示す図、第４図は拡張
リングをテーブルに押し付けた状態を示す図、 第５図は拡張流ウェハ保持体を示す図、第６図は拡張流
ウェハ保持体の保管方法を示す図、 第７図は従来のウェハ拡張装置の一例を示す図、第８図
は第７図中の突き上げドラムを分解して示す図、 第９図はウェハを拡張した状態を示す図、第１０図は拡
張済ウェハ保持体を示す図である。 図において、 ４はクランパ、 ６はウェハシート、 ７はグイシングされたウェハ、 ６ａは接着層、 ７ａは拡張されたウェハ、 ２０はウェハ拡張装置、 ２１は突き上げテーブル、 ２２はヒータ、 ２３は拡張フレーム、 ２５は拡張済ウェハ保持体、 ３０は保管用カセット を示す。 ＆灸８月の一笑ハト内ｊｊ；辱゛るウェハ拡張装置をホ
す間第 図 只さ上１↑°アーフパ几を拡張フし一ムＹ介ｔせ７ホす
口笛２図 ウェハを拡張しｒ；仄褪、をホＶ図 ′ｓ３図 ＫＮクノソ“°をチー７゛ノＬにｆｆＬ 付１７た４大
拳＆１．をフへす１昏９第４閃 遷鉱ｇｃ暑りエハ憬η体 力４張ミ斧りエハ保月４本を示す口 笛５０ 従来ｎウェハ拡沼Ｉ装置ｎ）分ｊを示す図第７図 鳥７図中の突５１１丁ドラムの分ｍｌ斜視図情８門 フエハ苫拡張した１大観、をホす同 第９図 ０ 拡ｆｉＥ奔つェハ４米丹イ本を示す図
図、 第２図は第１図中突き上げテーブルと拡張“フレームと
を併せて示す図、 第３図はウェハを拡張した状態を示す図、第４図は拡張
リングをテーブルに押し付けた状態を示す図、 第５図は拡張流ウェハ保持体を示す図、第６図は拡張流
ウェハ保持体の保管方法を示す図、 第７図は従来のウェハ拡張装置の一例を示す図、第８図
は第７図中の突き上げドラムを分解して示す図、 第９図はウェハを拡張した状態を示す図、第１０図は拡
張済ウェハ保持体を示す図である。 図において、 ４はクランパ、 ６はウェハシート、 ７はグイシングされたウェハ、 ６ａは接着層、 ７ａは拡張されたウェハ、 ２０はウェハ拡張装置、 ２１は突き上げテーブル、 ２２はヒータ、 ２３は拡張フレーム、 ２５は拡張済ウェハ保持体、 ３０は保管用カセット を示す。 ＆灸８月の一笑ハト内ｊｊ；辱゛るウェハ拡張装置をホ
す間第 図 只さ上１↑°アーフパ几を拡張フし一ムＹ介ｔせ７ホす
口笛２図 ウェハを拡張しｒ；仄褪、をホＶ図 ′ｓ３図 ＫＮクノソ“°をチー７゛ノＬにｆｆＬ 付１７た４大
拳＆１．をフへす１昏９第４閃 遷鉱ｇｃ暑りエハ憬η体 力４張ミ斧りエハ保月４本を示す口 笛５０ 従来ｎウェハ拡沼Ｉ装置ｎ）分ｊを示す図第７図 鳥７図中の突５１１丁ドラムの分ｍｌ斜視図情８門 フエハ苫拡張した１大観、をホす同 第９図 ０ 拡ｆｉＥ奔つェハ４米丹イ本を示す図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ダイシングされたウェハ（７）が接着されているウェハ
シート（６）をクランプするクランパ（４）と、 周囲を該クランパ（４）によりクランプされた上記ウェ
ハシート（６）を突き上げて上記ウェハ（７）を上記ウ
ェハシート（６）と共に拡張させる突き上げテーブル（
２１）とを有し、 上記突き上げた状態の上記テーブル（２１）の上面に拡
張フレーム（２３）を押し付けて、上記拡張状態のウェ
ハシートを接着層（６ａ）によりその下面（２３ａ）に
接着させ、該接着されたウェハシート（６）を拡張され
た状態で保持することを特徴とするウェハ拡張装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1181782A JPH0346253A (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | ウェハ拡張装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1181782A JPH0346253A (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | ウェハ拡張装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0346253A true JPH0346253A (ja) | 1991-02-27 |
Family
ID=16106790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1181782A Pending JPH0346253A (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | ウェハ拡張装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0346253A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007173587A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | エキスパンド方法、装置及びダイシング装置 |
| JP2011077219A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
| US8592257B2 (en) | 2010-01-22 | 2013-11-26 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor modules |
| JP2016092207A (ja) * | 2014-11-05 | 2016-05-23 | 株式会社ディスコ | フレームユニットの製造方法 |
| JP2017045898A (ja) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 株式会社村田製作所 | フィルム拡張装置およびそれを用いた電子部品の製造方法 |
| JP2018037647A (ja) * | 2016-06-21 | 2018-03-08 | 株式会社ディスコ | ウェーハを加工する方法およびウェーハ加工システム |
| JP2021061447A (ja) * | 2021-01-13 | 2021-04-15 | 株式会社東京精密 | 加温装置及び加温方法 |
-
1989
- 1989-07-14 JP JP1181782A patent/JPH0346253A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007173587A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | エキスパンド方法、装置及びダイシング装置 |
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| CN106486396A (zh) * | 2015-08-27 | 2017-03-08 | 株式会社村田制作所 | 膜扩展装置以及使用该膜扩展装置的电子部件的制造方法 |
| CN106486396B (zh) * | 2015-08-27 | 2020-03-13 | 株式会社村田制作所 | 膜扩展装置以及使用该膜扩展装置的电子部件的制造方法 |
| JP2018037647A (ja) * | 2016-06-21 | 2018-03-08 | 株式会社ディスコ | ウェーハを加工する方法およびウェーハ加工システム |
| JP2021061447A (ja) * | 2021-01-13 | 2021-04-15 | 株式会社東京精密 | 加温装置及び加温方法 |
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