JPH081462A

JPH081462A - ワークホルダ

Info

Publication number: JPH081462A
Application number: JP14354594A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Mine; 敏広峰; Takeji Shiokawa; 武次塩川; Kuninori Imai; 邦典今井; Hideaki Sasaki; 秀昭佐々木
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1994-06-24
Filing date: 1994-06-24
Publication date: 1996-01-09

Abstract

(57)【要約】【目的】ワークの取付面形状の影響を受けることな
く、ワークを変形させずに保持可能なワークホルダ。【構成】加工するワーク１の下面の形状に倣わせるた
めの円柱状のピン１０は、俵重ね状に多数が、仕切り板
１５の上に剣山状に敷き詰められている。仕切り板１５
と底板１６との間には密閉された空間が形成され、この
空間に空気を送り込むことにより、仕切り板１５と共に
仕切り板１５上に立っているピン１０が上昇し、多数の
ピン１０の先端がワークの下面に接触する。この状態
で、可動スライダー１３’を操作することにより、全て
のピンを固定することができる。ワーク１の固定は、ワ
ークの側部に配置される基準ピン１１とカム付きピン１
２とによりワンタッチで行うことができる。【効果】高精度加工が要求される平面加工において、
ワークの凹凸の影響を受けない加工を行うことが可能で
ある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、研削、研磨及び機械加
工等の各種加工が行われる被加工物であるワークを保持
するワークホルダに係り、特に、平面加工において、ワ
ークの下面形状の影響を受けることなく加工を行うこと
を可能にワークを保持することができるワークホルダに
関する。

【０００２】

【従来の技術】各種加工を行うワークを保持するワーク
の固定方法として、平面加工の場合、真空吸着、ワック
ス接着（加熱すると溶けて常温で固まる接着剤）、メカ
クランプ、磁気チャック等の方法が用いられるのが一般
的であった。

【０００３】真空吸着による方法は、ワークホルダのテ
ーブル上面に溝または堀を入れ、ワークを乗せたとき
に、ワークとテーブルとに挟まれた空間を真空状態にす
ることにより、ワークをテーブルに吸着してワークを保
持するというものである。

【０００４】しかし、この方法は、ワークの下面形状に
凹凸があると、吸着時にワークがその下面形状に沿って
テーブル面に引きつけられるため（特に凹部）、ワーク
が変形させらた状態となり、その状態のままワークの加
工が行われることになる。このため、真空吸着による方
法は、加工直後のホルダに保持された状態でのワークの
加工面を、所望の平面形状とすることができるが、ワー
クをホルダから外すと吸着引きつけられて変形していた
部分が元の形状に戻り、所望の平面形状を得ることがで
きないという問題点を有している。

【０００５】ワックスによる固定方法は、一般に、ワー
クをダミー板に取り着けてからダミー板を固定する方法
が採用され、ワックスに熱を加えた後に冷却してダミー
板を固定するため、ワークとダミー板との間で熱膨張差
が生じ、ワークを変形して固定してしまう。従って、こ
のワックスによる固定方法も、ワークを外した後にその
変形量が元に戻るため、真空吸着による方法の場合と同
様に、所望の平面形状を得ることができないという問題
点を有している。また、この方法は、加工終了後、ワッ
クスの洗浄を行わなければならないという問題点をも有
している。

【０００６】また、ツメ等を用いてメカ的にワーク端部
を押さえるメカクランプによる方法は、ワークにある凹
凸のために、加工負荷に耐えられなくなるとワークが変
形してしまい、この方法も、前述した方法の場合と同様
な問題点を有している。

【０００７】さらに、磁気吸着による方法は、ワークの
吸着、加工機構が真空吸着による方法の場合と全く同一
であり、真空吸着による方法の場合と同様な問題点を有
しており、また、ワークが非磁性体の場合に保持するこ
とができないという問題点を有している。

【０００８】前述したように従来技術によるワークホル
ダは、何れも、所望の平面形状を得ること、すなわち、
所望の加工精度を得ることができず、ワークを何回も裏
返して加工を行うことにより精度を出さなければなら
ず、加工能率が悪いという問題点を有している。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】従来技術によるワーク
ホルダは、既に説明したように、ワークを固定する際、
ワークに変形を与えていたため、高い加工精度の加工を
行うことが困難であるという問題点を有している。

【００１０】そして、ワークホルダは、特に、高精度な
平面を要求するような加工を行う場合、ワークに変形を
与えることなくワークを保持することが要求されるが、
従来、それを解決できるような使い易いワークホルダは
存在しなかった。

【００１１】本発明の目的は、前述した従来技術の問題
点を解決し、ワークに対する平面加工を高精度に行うた
めに、ワークを変形させることなく保持することがで
き、ワークを容易にホルダに固定することができる操作
性の高いワークホルダを提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明によれば前記目的
は、剣山状に立てられた多数のピンと、これらのピンを
ピンの先端がワークの面形状に倣うように上下させる機
構と、これらのピンを固定する機構とを備えることによ
り達成される。

【００１３】また、前記目的は、剣山状に立てられた多
数のピンの先端がワークの面形状に倣うようにして固定
した上で、ワークをクランプする機構と、ワークのクラ
ンプの際に、ワークが変形しないようにワークの上面か
ら所定の押し付け力を加える機構とを備えることにより
達成される。

【００１４】ピンを上下させる機構は、ワークホルダの
底板と多数のピンを立設する仕切り板との間に密閉空間
を構成し、この密閉空間内に空気等を送りこんで圧力を
加えるようにすることにより、あるいは、低融点物質を
加圧注入するようにすることにより構成される。また、
このピンを上下させる機構は、ワークホルダが天地逆に
使用される場合、ピンの自重を利用する構成とすること
もできる。

【００１５】ピンを固定する機構は、立設される多数の
ピンの側方にくさび状の勾配を持つスライダーを設け、
このスライダーを移動させることにより、多数のピンを
側方から押圧するように構成される。この場合、ピンが
多数あるので、力の加わるピンと力の加わらないピンが
存在することになるが、同一形状であるピンの太さの誤
差を吸収し、全てのピンに力を伝えることができるよう
に、立設される多数のピンの側面にクッション材が挿入
される。

【００１６】ワークをクランプする機構は、ワークの寸
法の外周部に当たるピンの上部をカム形状にしたカム付
きピンとし、カム付きピンを回すことによりワークをク
ランプするように構成される。

【００１７】ワークの上面に所定の押し付け力を加える
機構は、軽量（ピンの突出力以下の重さ）のワークの場
合に、ワークを変形させずに押さえるために、必要なも
のであり、ワーク全体を一定荷重で押し付けるものであ
る。この押し付け力を加える機構は、空気を利用した治
具を使用してワーク全体に平均的な荷重となる圧力をか
け、見掛け上のワーク荷重を増加させるように構成さ
れ、これにより、ワーク形状を損なうことなく、ワーク
をピンに押し当てることができる。

【００１８】さらに、本発明は、前述の構成に加え、切
粉等のゴミの浸入を防止するために、段差のついたピン
の段差部にピン相当の穴を明けシール板と薄板とを備え
るようにすることができる。

【００１９】

【作用】ワークの裏面形状に沿ってその先端が上下した
多数のピンは、スライダーの移動によりワンタッチで固
定することができるので、ワークを変形させることなく
保持することができ、ワーク加工後のワークの加工面に
歪を残すことを防止することができる。また、ワーク上
面からワーク全体を一定荷重で押し付けることができる
ので、ワークが軽量である場合にも、ワークを変形させ
ずに押さえて保持することができる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明によるワークホルダの実施例を
図面により詳細に説明する。

【００２１】図１は本発明の第１の実施例によるワーク
ホルダの構成を示す斜視図、図２はワークの上面から空
気圧を加える方法を説明する断面図、図３はピンの形状
を示す破断斜視図、図４はピンの上部を覆うシール板及
び上板とピンとの関係を説明する断面図、図５はワーク
の上面から空気圧を加えるためのプレートの構成を説明
する図、図６はワークの上面から空気圧を加えるための
プレートの他の構成を説明する図、図７は基準ピンの形
状を示す破断斜視図、図８はカム付ピンの形状を示す破
断斜視図、図９はカム付ピンによるワークの固定を説明
する図である。図１〜図８において、１０はピン、１１
は基準ピン、１２はカム付ピン、１３は固定スライダ
ー、１３’は可変スライダー、１４は固定板、１５は仕
切り板、１６は底板、１６’は側壁、１７はエアーテー
ブル、１８はガイド、１９はシール板、２０は上板、２
４はプレートである。

【００２２】本発明の第１の実施例によるワークホルダ
は、図１に示すように、略矩形の底板１６と、底板１６
の上に敷かれた可撓性ある仕切り板１５と、仕切り板１
５の上の底板１６の周辺を囲むように設けられる側壁１
６’と、側壁１６’に囲まれた仕切り板１５上に並べら
れ、加工するワーク１の下面の形状にその先端を倣わせ
るための多数の円柱状のピン１０と、側壁１６’の１つ
の壁面に沿って並べられる基準ピン１１と、基準ピン１
１が並べられる壁面に対向する側に並べられたカム付き
ピン１２と、これらのピンを固定するための固定板１４
と、固定を制御する固定スライダー１３及び可動スライ
ダー１３’とを備えて構成される。

【００２３】そして、加工するワーク１の下面の形状に
倣わせるためのピン１０は、円柱状のであり、できるだ
け多くのピンによワークを支えるようにするために、俵
重ね状に多数が、仕切り板１５の上に剣山状に敷き詰め
られている。

【００２４】仕切り板１５と底板１６との間には、図２
に示す断面図から判るように、密閉された空間が形成さ
れている。この空間は、空気を送り込むことにより、仕
切り板１５に圧力を加え、仕切り板１５と共に仕切り板
１５上に並べられているピン１０を上昇させるために使
用される。そして、この空間に空気を送り込むことによ
り、仕切り板１５上の多数のピン１０の先端をワークの
下面に接触させることができる。

【００２５】仕切り板１５は、薄く可撓性のある材料に
より形成されており、変形可能であるため、多数のピン
１０のそれぞれは、その先端がワーク１の下面の凹凸に
合わせて当たることになる。この状態で全てのピン１０
をクランプすれば、ワーク１の下面の形状に倣った状態
でピン１０が固定されることになる。

【００２６】前述では、ピンを上下に移動させる機構の
力として空気圧を用いるとして説明したが、ピンを上下
に移動させる機構に加える力は、空気圧に限るものでは
なく、均一の荷重で仕切り板１５を押すことができれば
よく、例えば、水圧、油圧または磁力等を用いてもよ
い。

【００２７】また、前述では、ピン１０として、円柱の
ピンを使用するとして説明したが、円柱以外のピンを使
用する場合、その形状誤差によりピンを固定することが
難かしくなるため円柱状のピンが望ましい。例えば、正
方形のピンとした場合、各ピンが面で接触するため、形
状誤差が大きく左右し、ピン全体に力が伝わらなくな
り、ピン全体を固定することが困難になる。

【００２８】図１に示す本発明の第１の実施例によるワ
ークホルダは、ピンが飛び出さないように、また、ピン
が並べられている部分に切粉等のゴミが浸入しないよう
にする機構を備えている。以下、この機構を図３、図４
を参照して説明する。

【００２９】図３に示すように、ピン１０のそれぞれ
は、段差が設けられその上部が下部より小径となる形状
を有している。そして、多数のピンに対する蓋として、
図４に示すように、シール板１９と上板２０とが設けら
れている。この蓋としてのシール板１９と上板２０とに
は、図４に示すように、ピンが位置するところに穴が明
けられている。シール板１９と上板２０とに明ける穴の
径をｄ、ピン１０の下部の径をｄ₂、ピン１０の上部の
径をｄ₁とすると、上板２０に空ける穴の径ｄは、ｄ₁＜
ｄ＜ｄ₂に設定され、シール板２０に空ける穴の径ｄ
は、ｄ₁＞ｄに設定される。

【００３０】前述したようなシール板１９と上板２０と
による機構は、段差の付いたピン１０が押し上げられた
とき、段差部に蓋としての上板２０が当たり、ピンがワ
ークホルダの外部に飛び出すことを防止している。ピン
の小径ｄ₁ と上板２０の穴径ｄとの差は、ピンが固定さ
れるときの多少のピン位置の移動に対して、ピンの移動
が阻害されないようなものとされている。また、シール
板１９は、ゴム等を用いたシールであり、切粉等のゴミ
の浸入を防止している。

【００３１】多数のピン１０は、前述したように空気圧
により上下の移動が可能とされているが、その際問題と
なるのは、ワーク１が軽量で、ピンが突き出されたとき
にその力でワーク１が持ち上がるような重さの場合に、
ピン１０によりワーク１が浮き上がるため、ワーク１を
保持することが難しくなるということである。ワーク１
が軽量な場合、例えば、平らな重りをワーク１上に乗せ
て、ワークを止める方法をとることができる。

【００３２】しかし、このような方法を使用する場合、
ワーク１の上面には凹凸が存在するので、重りの荷重が
ワーク１の上面の凸部に集中的に加わって、ワークに変
形を与えてしまい、本発明の目的から外れてしまう。

【００３３】そこで本発明の実施例は、ワーク１に変形
を与えることなく、ワーク１上面からワーク１の全面に
均等に圧力を加えて押圧する機構を備える。この機構と
しては、図２に示す断面図に示してあるように、ガイド
１８により保持され、ワークホルダのワーク１の上面に
対向する位置に置かれるエアーテーブル１７を使用する
のが極めて有効である。

【００３４】エアーテーブル１７は、空気をワーク１の
上面に送給すものであり、例えば、図５に示すように、
ワーク１に対向する空気の送給面に複数の溝を有するプ
レート２４、あるいは、図６に示すように、ワーク１に
対向する空気の送給面に有気孔物質２５を有するプレー
ト２４を備えて構成される。そして、このプレート２４
を介して空気を送給することにより、プレート２４とワ
ーク１との間に、空気の層を形成し、これにより、非接
触状態で平均的な荷重をワーク１に加えることができ
る。

【００３５】前述の構成において重要な点は、ワーク１
の上面、すなわち、ワークホルダとエアーテーブル１７
とが平行に配置されることであり、このため、ワークホ
ルダとの平行を確保することのできるガイド１８により
エアーテーブル１７を保持して、エアーテーブル１７を
ワーク１の上面に位置させてワーク１に押圧力を加える
ように構成される。

【００３６】本発明の第１の実施例は、前述の機構を備
えることにより、ワーク１に変形を与えることなく、ワ
ーク１を押し付けることが可能となる。

【００３７】次に、前述によりワーク１の下面に倣わせ
た多数のピン１０を一括して固定する機構を説明する。

【００３８】固定機構は、図１に示すように、くさび状
の勾配のある部品である固定スライダー１３と可動スラ
イダー１３’とを互い違いに組み合わせて構成されてお
り、可動スライダー１３’には、この可動スライダー１
３’を移動させるための取っ手、図示実施例では、トグ
ルクランプが取り付けられている。そして、この取っ手
は、可動スライダー１３’を動かすために使用され、取
っ手を手前に動かしたとき、可動スライダー１３’も手
前に移動し、ワークホルダのピン１０が並べられる容器
内に隙間が生じて、ピン１０は上下に自由に動くことが
可能である。

【００３９】この状態のとき、前述で説明したように、
図２に示した仕切り板１５と底板１６との空間に空気を
送り込むことにより、ピン１０の先端をワーク１の下面
の面形状に倣わせることができる。

【００４０】その後ピン１０全体を固定するが、その固
定は、可動スライダー１３’を押し込むことによって行
われる。すなわち、可動スライダー１３’に取り付けら
れている取っ手を押すことによって、スライダーの勾配
による傾き分が固定板１４を押すことになり、固定板１
４がピン１０を押すことによってピン１０に力が伝えら
れ、ピン全体にその力が伝えられることにより、多数の
ピン１０全体が固定されることになる。

【００４１】前述では、くさび状の勾配のある部品であ
る固定スライダー１３と可動スライダー１３’とを互い
違いに組み合わせ、可動スライダー１３’を移動させる
ことにより、固定板１４を介してピン１０の側面を押圧
してピン１０を固定するとして説明したが、この固定機
構は、何らかの方法で固定板のような物でピンを挟み込
む機構であればよい。

【００４２】なお、固定板１４がピン１０を押す場合、
ピン１０のそれぞれに形状誤差があると、力が伝わるピ
ンと伝わらないピンが発生し、力がピン全体に伝わらな
くなり、全体の固定ができなくなる。その対策として、
固定板のピンに当たる面と、ピンを並べる容器を構成す
る側壁１６’内側（ピンと接触する面）とにクッション
材となるテフロン板等を介在させるようにするのが効果
的である。すなわち、テフロン板がクッション材となっ
て、各々のピンの誤差を吸収する結果、全てのピンに均
一な力を伝えることができ、ピン全体の固定が可能とな
る。

【００４３】また、ピン１０自身をクッション性のある
テフロン等の材料により製作し、あるいは、ピンの周囲
をテフロン等の材料により覆って製作し、ピン同志で誤
差を吸収する方法を使用することができる。さらに、全
てのピンをクッション性のある材料にしなくとも、例え
ば、５〜１０本に１本の割合で、クッション性のあるピ
ンを混ぜるようにしても、同様な効果を得ることができ
る。

【００４４】次に、ワークのクランプ機構について説明
する。ワークのクランプ機構は、図１に示す側壁１６’
の１つに沿って並べられる基準ピン１１と、この基準ピ
ン１１の並びに対向する側に、この例では固定板１４に
沿って並べられるカム付きピン１２とにより構成され
る。

【００４５】基準ピン１１は、図１においては奥側の１
列に配置されており、図７に示すように、その内部にバ
ネが入れられて構成されている。そして、この基準ピン
１１は、バネの力で常にその小径部が上板２０から突き
出ており、この小径部の側面が、クランプするワーク１
の端面のセット基準として使用される。

【００４６】カム付きピン１２は、図８に示すように、
偏心カムを持って構成され、この偏心カムを回すことに
より、基準ピン１１との間にワーク１をクランプするこ
とができる。すなわち、基準ピン１１にワーク１の片側
を押し当て、反対側にあるカム付きピン１２の偏心カム
を回すことにより、極めて簡単にワーク１を固定するこ
とができる。

【００４７】このワーク１の固定は、図９に示すよう
に、カムの最高点ｂがワークの端部に接触してクランプ
力を発生するように、カム付きピン１２のカムを製作す
る必要がある。このためには、カムが接触した状態（ａ
点）から更に１０度〜２０度だけカムを回転させたと
き、カムの最高点ｂがワークの端部に接触するように、
カムを製作するのが有効である。

【００４８】前述の方法によりワークホルダに固定され
たワーク１に対して加工を行う場合、例えば、研削加工
を行う場合、その方向を基準ピン１１側に向けて行うの
がよい。

【００４９】前述した本発明の第１の実施例によれば、
ワークの保持をワークの下面形状に倣って、ワークを変
形させることなく行うことができ、しかも、ワークを容
易にホルダに固定することができるので、ワークの下面
形状の影響を受けることなく、高精度なワークの加工を
行うことができる。

【００５０】前述した本発明の第１の実施例について具
体的にいえば、ワーク１は、例えば、１３０ｍｍ×１３
０ｍｍ、厚さ４ｍｍ程度のセラミック板であり、この場
合に使用されるピン１０の総数は、２５０本程度であ
る。

【００５１】図１０は本発明の第２の実施例によるワー
クホルダの構成を示す断面図である。図１０において、
２１は基準ブロック、２６はワークホルダ底面であり、
他の符号は図１の場合と同一である。この本発明の第２
の実施例は、前述した本発明の第１の実施例によるワー
クホルダを、天地を逆にして利用するものである。

【００５２】前述した本発明の第１の実施例は、ピン１
０をワーク１の面に倣わせるためのピン１０を上下させ
る機構として、空気圧を利用する機構を備えるとして説
明したが、第２の実施例は、定盤のような平らなテーブ
ルを基準とし、そのテーブル上にワーク１を置き、その
上にワークホルダを置いた形となる。このため、この第
２の実施例は、ワーク１とワークホルダの底面２６との
間を平行に保ち、かつ、このワークホルダの重さがワー
ク１に加わらないように、ワーク１の厚さ程度の厚さを
持った基準ブロック２１がワークホルダの４隅に設けら
れる。

【００５３】この本発明の実施例は、ワークホルダが、
第１の実施例の場合とは天地を逆にして使用されるた
め、ピン１０を、その自重によりワーク１の面形状に倣
わせることができ、空気等による圧力を使うことなく、
ピン１０の先端をワーク１の面に倣わせることができ
る。このため、本発明の第２の実施例は、ピンを固定す
る機構によるピンの固定と、基準ピンとカム付きピンと
によるワークの固定のみを調整するだけでよい。

【００５４】図１１は本発明の第３の実施例によるワー
クホルダの構成を示す断面図である。図１１において、
２２は低融点物質、２３は弾性体であり、他の符号は図
１の場合と同一である。図示本発明の第３の実施例は、
第１の実施例におけるピンの上下機構の空気源の代わり
に、低融点物質２２を仕切り板１５と底板１６との間の
空間に満たすようにした例である。

【００５５】すなわち、本発明の第３の実施例は、低融
点物質２２を溶けた状態として、仕切り板１５と底板１
６との間の空間に満たし、ベローズ等の弾性体２３によ
り低融点物質２２に圧力を加えて、ピン１０の先端をワ
ーク１の下面形状に倣わせ、その状態でピン１０を固定
し、その後、低融点物質２２を固化させるようにしてい
る。

【００５６】このような本発明の第３の実施例によれ
ば、仕切り板１５の下部を固化した物質により満たした
状態でワーク１の加工を行うことができるので、研削等
のワーク１に対する加工を行う際、加工抵抗によるピン
１０の沈み込みを確実に防止して、ワーク１に対するよ
り高精度の加工を行うことができる。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、研
削、研磨、機械加工等の各種加工のためのワークの固定
を、ワークに変形を与えることなく行うことができるの
で、ワークをホルダから外した後にもワークの高精度の
加工を保持することができる。特に、平面度が要求され
るような精密な平面加工を行うワークに対するワークホ
ルダに適用した場合、高能率な加工を行うことが可能で
ある。

【００５８】さらに、本発明によれば、ワークの固定を
カム付きピンを使用してワンタッチで容易に行うことが
できるので、操作性のよいワークホルダを提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例によるワークホルダの構
成を示す斜視図である。

【図２】ワークの上面から空気圧を加える方法を説明す
る断面図である。

【図３】ピンの形状を示す破断斜視図である。

【図４】ピンの上部を覆うシール板及び上板とピンとの
関係を示す断面図である。

【図５】ワークの上面から空気圧を加えるためのプレー
トの構成を説明する図である。

【図６】ワークの上面から空気圧を加えるためのプレー
トの他の構成を説明する図である。

【図７】基準ピンの形状を示す破断斜視図である。

【図８】カム付ピンの形状を示す破断斜視図である。

【図９】カム付ピンによるワークの固定を説明する図で
ある。

【図１０】本発明の第２の実施例によるワークホルダの
構成を示す断面図である。

【図１１】本発明の第３の実施例によるワークホルダの
構成を示す断面図である。

【符号の説明】

１０ピン１１基準ピン１２カム付ピン１３固定スライダー１３’ 可動スライダー１４固定板１５仕切り板１６底板１６’ 側壁１７エアーテーブル１８ガイド１９シール板２０上板２１基準ブロック２２低融点物質２３弾性体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者佐々木秀昭神奈川県秦野市堀山下１番地株式会社日立製作所汎用コンピュータ事業部内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】研削、研磨及び機械加工等の各種加工を
行うワークを保持するワークホルダにおいて、円柱状の
ピンを俵重ね状に敷きつめ剣山状に立てられた多数のピ
ンと、ワークの下面全体に前記ピンのそれぞれの先端を
押し当ててワークの下面形状に倣わせる機構と、この状
態でピン全体を固定する機構と、ワーク保持機構とを備
えることを特徴とするワークホルダ。
【請求項２】前記ワークにピンを押し当てる機構は、
上面にピンを整列させて載置した薄板の下部から気体ま
たは液体を注入し、それらを介して力を加える機構であ
ることを特徴とする請求項１記載のワークホルダ。
【請求項３】前記ワークにピンを押し当てる機構は、
上面にピンを整列させて載置した薄板の下部から溶融し
た状態の融点の低い物質を注入し、該物質を介して力を
加える機構であり、ピンを固定した後、前記物質が個化
されることを特徴とする請求項１記載のワークホルダ。
【請求項４】前記ピンの固定機構は、くさび状の勾配
を有するスライダーにより、ピン全体を押圧する機構で
あることを特徴とする請求項１、２または３記載のワー
クホルダ。
【請求項５】ワークホルダに載置されたワークの上部
に、ワークホルダと平行にエアーテーブルを配置し、ワ
ークにピンを押し当てるとき、前記エアーテーブルから
空気を吹き出してワークに圧力を加えることを特徴とす
る請求項１ないし４のうち１記載のワークホルダ。