JPH0344495A - カソードローラ機構 - Google Patents
カソードローラ機構Info
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- JPH0344495A JPH0344495A JP1178166A JP17816689A JPH0344495A JP H0344495 A JPH0344495 A JP H0344495A JP 1178166 A JP1178166 A JP 1178166A JP 17816689 A JP17816689 A JP 17816689A JP H0344495 A JPH0344495 A JP H0344495A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/0084—Containers and magazines for components, e.g. tube-like magazines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H9/00—Machining specially adapted for treating particular metal objects or for obtaining special effects or results on metal objects
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/20—Preliminary treatment of work or areas to be soldered, e.g. in respect of a galvanic coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
- C25D7/06—Wires; Strips; Foils
- C25D7/0614—Strips or foils
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/53104—Roller or ball bearing
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野〕
この発明は、半導体装置の製造装置に関し、特に半導体
装置のリードフレームを電気分解処理する電解処理装置
に設けられるカソードローラ機構に関するものである。
装置のリードフレームを電気分解処理する電解処理装置
に設けられるカソードローラ機構に関するものである。
［従来の技術］
一般に絶縁封止形半導体パッケージの外部リードには耐
食性を持たせるため、あるいは良好なはんだ付けが行え
るようにするために表面被覆処理として、電気はんだメ
ツキが施されている。この電気はんだメツキおよびその
前処理である電解脱脂、パリ取り工程において、電気分
解処理が行われる。カソードローラ機構は、半導体装置
にｔ気分屑処理を行うための電解液を満たした電解処理
槽中に設けられ、半導体装置のリードフレームへ陰極と
しての導通をとりながら、電解液の中で半導体装置を搬
送する。
食性を持たせるため、あるいは良好なはんだ付けが行え
るようにするために表面被覆処理として、電気はんだメ
ツキが施されている。この電気はんだメツキおよびその
前処理である電解脱脂、パリ取り工程において、電気分
解処理が行われる。カソードローラ機構は、半導体装置
にｔ気分屑処理を行うための電解液を満たした電解処理
槽中に設けられ、半導体装置のリードフレームへ陰極と
しての導通をとりながら、電解液の中で半導体装置を搬
送する。
第３図は、例えば実開昭６３−２４２７３号に開示され
た、従来のカソードローラ機構の概略的に示された側面
図である。カソードローラ機構（１ｏ）はカソードロー
ラ（２０）と押さえローラ（３ｏ）とで、モールド部（
４１）と一体になったリードフレーム（４０）を挟むよ
うにしながら、これらのローラの回転により電解液中（
図示せず）でリードフレーム（４０）を搬送し、かつリ
ードフレーム（４０〉に陰極としての導通を取る。カソ
ードローラ（２０）はカソードローラ・シャフト（２１
）、テーパ付ローラ本体（２３）および通電ストッパ（
２６）とからなる。カソードローラ・シャフト（２１）
は導電材により形成された通電自在なシャフトであり、
テーパ付ローラ本体（２３）および通電ストッパ（２６
）からなる部分を回転させるとともに、陰極電流の通電
時、通電ストッパ（２６〉を介してリードフレーム（４
０）をカソード化する。テーパ付ローラ本体（２３）は
これの小径部（２４）および大径部（２５）の間に、リ
ードフレーム（４０）の載置面ともなるテーパ状の傾斜
面（２２）を有する。このテーパ付ローラ本体（２３）
は絶縁材により形成される０通電ストッパ（２６）はテ
ーパ付ローラ本体（２３）の小径部（２４）の径サイズ
よりも大きい径サイズを有し、導電材によって形成され
、テーパ付ローラ本体（２３）の小径部（２４）ｌ！Ｉ
ＩＩに、リードフレーム（４０〉の先端部が当接するよ
うに設けられる。通電ストッパ（２６）はさらに、カソ
ードローラ・シャフトく２１）と電気的に接続されてい
る。
た、従来のカソードローラ機構の概略的に示された側面
図である。カソードローラ機構（１ｏ）はカソードロー
ラ（２０）と押さえローラ（３ｏ）とで、モールド部（
４１）と一体になったリードフレーム（４０）を挟むよ
うにしながら、これらのローラの回転により電解液中（
図示せず）でリードフレーム（４０）を搬送し、かつリ
ードフレーム（４０〉に陰極としての導通を取る。カソ
ードローラ（２０）はカソードローラ・シャフト（２１
）、テーパ付ローラ本体（２３）および通電ストッパ（
２６）とからなる。カソードローラ・シャフト（２１）
は導電材により形成された通電自在なシャフトであり、
テーパ付ローラ本体（２３）および通電ストッパ（２６
）からなる部分を回転させるとともに、陰極電流の通電
時、通電ストッパ（２６〉を介してリードフレーム（４
０）をカソード化する。テーパ付ローラ本体（２３）は
これの小径部（２４）および大径部（２５）の間に、リ
ードフレーム（４０）の載置面ともなるテーパ状の傾斜
面（２２）を有する。このテーパ付ローラ本体（２３）
は絶縁材により形成される０通電ストッパ（２６）はテ
ーパ付ローラ本体（２３）の小径部（２４）の径サイズ
よりも大きい径サイズを有し、導電材によって形成され
、テーパ付ローラ本体（２３）の小径部（２４）ｌ！Ｉ
ＩＩに、リードフレーム（４０〉の先端部が当接するよ
うに設けられる。通電ストッパ（２６）はさらに、カソ
ードローラ・シャフトく２１）と電気的に接続されてい
る。
また、押さえローラ（３０）は押さえローラ・シャフト
（３１）およびローラ本体（３２）からなる。ローラ本
体（３２）はスポンジで形成され、弾性を有しリードフ
レーム（４０）をカソードローラ（２０）の傾斜面（２
２〉上に押圧して水平送りし易くする。
（３１）およびローラ本体（３２）からなる。ローラ本
体（３２）はスポンジで形成され、弾性を有しリードフ
レーム（４０）をカソードローラ（２０）の傾斜面（２
２〉上に押圧して水平送りし易くする。
なお、カソードローラｆｉｆｌｌ（１０）は実際にはリ
ードフレーム（４０）を搬送する方向に多数並べて設け
られ（図示せず）、リードフレーム（４０）をカソード
化しつつ順次、水平状態で移送する。
ードフレーム（４０）を搬送する方向に多数並べて設け
られ（図示せず）、リードフレーム（４０）をカソード
化しつつ順次、水平状態で移送する。
次に動作について簡単に説明すると、カソードローラ〈
２０）側のテーパ付ローラ本体（２３）の傾斜面（２２
〉がテーパ状に形成されているため、リードフレーム（
４０〉は傾斜面（２２〉に沿って、第３図に矢印Ｒで示
す方向にに移動し、リードフレーム（４０）の先端部が
通電ストッパ（２６〉に当接してカソード化される。そ
してリードフレーム（４０）は押さえローラ（３０）の
ローラ本体（３２）で弾性的に傾斜面（２２）に押圧さ
れ、これによりリードフレーム（４０）の先端部の通電
ストッパ（２６）への接続が安定化する。従ってカソー
ドローラ機構（１０）はリードフレーム（４０）をカソ
ード化しながら搬送する。
２０）側のテーパ付ローラ本体（２３）の傾斜面（２２
〉がテーパ状に形成されているため、リードフレーム（
４０〉は傾斜面（２２〉に沿って、第３図に矢印Ｒで示
す方向にに移動し、リードフレーム（４０）の先端部が
通電ストッパ（２６〉に当接してカソード化される。そ
してリードフレーム（４０）は押さえローラ（３０）の
ローラ本体（３２）で弾性的に傾斜面（２２）に押圧さ
れ、これによりリードフレーム（４０）の先端部の通電
ストッパ（２６）への接続が安定化する。従ってカソー
ドローラ機構（１０）はリードフレーム（４０）をカソ
ード化しながら搬送する。
［発明が解決しようとする課題］
従来のカソードローラ機構＆構は以上のように構成され
ていたが、搬送中のリードフレームのカーソドローラ機
構からの脱輪防止、特にリードフレームがカーソドロー
ラ機構に入る時に所定の位置からズしている場合等の脱
輪に関しては、積極的な対策が採られていなかったとい
う課題があった。
ていたが、搬送中のリードフレームのカーソドローラ機
構からの脱輪防止、特にリードフレームがカーソドロー
ラ機構に入る時に所定の位置からズしている場合等の脱
輪に関しては、積極的な対策が採られていなかったとい
う課題があった。
この発明は上記のような課題を解決するためになされた
もので、リードフレームに多少の位置ズレがあってもこ
れを正規の位置に戻すような積極的な脱輪防止対策が施
されていると共に、リードフレームとカソーローラの電
極との接続をさら７．に安定化させたカソードローラ機
構を得ることを目的とする。
もので、リードフレームに多少の位置ズレがあってもこ
れを正規の位置に戻すような積極的な脱輪防止対策が施
されていると共に、リードフレームとカソーローラの電
極との接続をさら７．に安定化させたカソードローラ機
構を得ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記の目的を鑑みて、この発明は、電解液中において半
導体装置のリードフレームをカソード化しながら搬送す
るためのカソードローラ機構であって、小径部と大径部
の間に、リードフレームを小径部側に移動させるための
傾斜の付いた、リードフレームの載置面となる側面を有
し、かつ大径部側の側面上に、内側に側面と同じ方向に
リードフレームを側面側に移動させるための傾斜の付い
た第１のテーパ面を有するフランジ状のストッパ部が形
成さた、絶縁材で形成されたテーパ付ローラ本体と、テ
ーパ付ローラ本体の側面の傾斜と反対方向に、リードフ
レームをローラ本体の小径部側に移動させるための傾斜
の付いた、リードフレームの先端部が当接する第２のテ
ーパ面を有するテーパ電極が内側に設けられた、ローラ
本体の小径部側に形成された小径部より大きい径を有す
るテーパ付通電ストッパと、テーパ電極と電気的に接続
され、かつ電解液と接する部分が絶縁材からなるカラー
で覆われている、テーパ付ローラ本体およびテーパ付通
電ストッパの回転軸となる導電材で形成されたカソード
ローラ・シャフトとからなるカソードローラ、およびス
ポンジで形成され弾性をもってリードフレームをテーパ
付ローラ本体の傾斜の付いた側面上に押圧する押さえロ
ーラ本体と、この押さえローラ本体の回転軸となる少な
くとも表面が絶縁材からなる押さえローラ・シャフトと
からなる押さえローラ、を備えたカソードローラ機構に
ある。
導体装置のリードフレームをカソード化しながら搬送す
るためのカソードローラ機構であって、小径部と大径部
の間に、リードフレームを小径部側に移動させるための
傾斜の付いた、リードフレームの載置面となる側面を有
し、かつ大径部側の側面上に、内側に側面と同じ方向に
リードフレームを側面側に移動させるための傾斜の付い
た第１のテーパ面を有するフランジ状のストッパ部が形
成さた、絶縁材で形成されたテーパ付ローラ本体と、テ
ーパ付ローラ本体の側面の傾斜と反対方向に、リードフ
レームをローラ本体の小径部側に移動させるための傾斜
の付いた、リードフレームの先端部が当接する第２のテ
ーパ面を有するテーパ電極が内側に設けられた、ローラ
本体の小径部側に形成された小径部より大きい径を有す
るテーパ付通電ストッパと、テーパ電極と電気的に接続
され、かつ電解液と接する部分が絶縁材からなるカラー
で覆われている、テーパ付ローラ本体およびテーパ付通
電ストッパの回転軸となる導電材で形成されたカソード
ローラ・シャフトとからなるカソードローラ、およびス
ポンジで形成され弾性をもってリードフレームをテーパ
付ローラ本体の傾斜の付いた側面上に押圧する押さえロ
ーラ本体と、この押さえローラ本体の回転軸となる少な
くとも表面が絶縁材からなる押さえローラ・シャフトと
からなる押さえローラ、を備えたカソードローラ機構に
ある。
［作用］
この発明においては、テーパ付ローラ本体に形成された
ストッパ部およびこれの内側に設けられた第１のテーパ
面、テーパ付通電ストッパの内側に設けられたテーパ電
極の第２のテーパ面等により、搬送中のリードフレーム
の位置ズレを修正して脱輪を防止すると共にリードフレ
ームのカーソド化をより確実なものとする。
ストッパ部およびこれの内側に設けられた第１のテーパ
面、テーパ付通電ストッパの内側に設けられたテーパ電
極の第２のテーパ面等により、搬送中のリードフレーム
の位置ズレを修正して脱輪を防止すると共にリードフレ
ームのカーソド化をより確実なものとする。
［実施例コ
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例によるカソードローラ機構の断
面図であり、また第１Ａ図はリードフレームの側面図で
ある。カソードローラ機構〈５０〉は、カソードローラ
（６０〉と押さえローラとからなる。カソードローラ〈
６０）のローラ部分はテーパ付ローラ本体（６２）とテ
ーパ付通電ストッパ（６３）とからなる、テーパ付ロー
ラ本体（６２）は絶縁材で形成されており、小径部（６
２ｃ）と大径部（６２ｂ）の間に、リードフレーム（４
０）の載置面となる傾斜の付いた測面（６２ａ）を有す
る。この側面（６２ａ）の大径部（６２ｂ）側にはフラ
ンジ状のストッパ部（６２ｄ）が設けられ、このストッ
パ部（６２ｄ）の内側には側面（６２ａ）と同じ方向に
傾斜の付いた第１のテーパ面（６２ｅ）が形成されてい
る。テーパ付通電ストッパ（６３）はテーパ付ローラ本
体（６２〉の小径部（６２ｃ）側に設けられ、この小径
部（６２ｃ）より大きい径を有する。テーパ付通電スト
ッパ（６３）の内側には、テーパ付ローラ本体（６２〉
の側面（６２ａ）と反対方向に傾斜の付いた、リードフ
レーム（４０〉の先端部（４０ａ）（第１Ａ図参照）が
当接する第２のテーパ面（８４ａ）が設けられている。
図はこの発明の一実施例によるカソードローラ機構の断
面図であり、また第１Ａ図はリードフレームの側面図で
ある。カソードローラ機構〈５０〉は、カソードローラ
（６０〉と押さえローラとからなる。カソードローラ〈
６０）のローラ部分はテーパ付ローラ本体（６２）とテ
ーパ付通電ストッパ（６３）とからなる、テーパ付ロー
ラ本体（６２）は絶縁材で形成されており、小径部（６
２ｃ）と大径部（６２ｂ）の間に、リードフレーム（４
０）の載置面となる傾斜の付いた測面（６２ａ）を有す
る。この側面（６２ａ）の大径部（６２ｂ）側にはフラ
ンジ状のストッパ部（６２ｄ）が設けられ、このストッ
パ部（６２ｄ）の内側には側面（６２ａ）と同じ方向に
傾斜の付いた第１のテーパ面（６２ｅ）が形成されてい
る。テーパ付通電ストッパ（６３）はテーパ付ローラ本
体（６２〉の小径部（６２ｃ）側に設けられ、この小径
部（６２ｃ）より大きい径を有する。テーパ付通電スト
ッパ（６３）の内側には、テーパ付ローラ本体（６２〉
の側面（６２ａ）と反対方向に傾斜の付いた、リードフ
レーム（４０〉の先端部（４０ａ）（第１Ａ図参照）が
当接する第２のテーパ面（８４ａ）が設けられている。
またこれらのローラ部分の回転軸となるカソードローラ
・シャフト（６１）は芯部が導電材がらり、テーパ電極
く６４）と電気的に接続されている。そして電解液と接
する部分は絶縁材でできたカラー（６１ａ）で覆われて
いる。また押さえローラ（７０〉はスポンジで形成され
、弾性をもってリードフレーム（４０）をテーパローラ
本体（６２）の側面（６２ａ）上に押圧する押さえるロ
ーラ本体（７１）と、この押さえローラ本体（７１）の
回転軸となる少なくとも表面が絶縁材からなる（第１図
では芯部まで絶縁材となっている）押さえローラ・シャ
フト（７２）からなる、なお、テーパ電極（６４）の小
径部の内側に、第２のテーパ面（６４ａ）と同じ方向に
傾斜した第３のテーパ面（６４ｃ）を有する補助電極（
６４ｂ）をさらに設け、第３のテーパ面（６４ｃ）の大
径部側の部分がリードフレーム（４０〉の先端測面（４
０ｂ）（第１Ａ図参照）に当接するようにしてもよい。
・シャフト（６１）は芯部が導電材がらり、テーパ電極
く６４）と電気的に接続されている。そして電解液と接
する部分は絶縁材でできたカラー（６１ａ）で覆われて
いる。また押さえローラ（７０〉はスポンジで形成され
、弾性をもってリードフレーム（４０）をテーパローラ
本体（６２）の側面（６２ａ）上に押圧する押さえるロ
ーラ本体（７１）と、この押さえローラ本体（７１）の
回転軸となる少なくとも表面が絶縁材からなる（第１図
では芯部まで絶縁材となっている）押さえローラ・シャ
フト（７２）からなる、なお、テーパ電極（６４）の小
径部の内側に、第２のテーパ面（６４ａ）と同じ方向に
傾斜した第３のテーパ面（６４ｃ）を有する補助電極（
６４ｂ）をさらに設け、第３のテーパ面（６４ｃ）の大
径部側の部分がリードフレーム（４０〉の先端測面（４
０ｂ）（第１Ａ図参照）に当接するようにしてもよい。
また、テーパ付ローラ本体（６２〉に形成されたストッ
パ部（６２ｃｌ）の内側に設けられた第１のテーパ面（
６２ｅ）のテーパ角、およびテーパ付通電ストッパ（６
３）の内側に設けられたテーパ電極（６４）の第２のテ
ーパ面（６４ａ）のテーパ角はそれぞれ、送られてくる
リードフレーム（４０）に位置ズレがあってこれらに乗
り上げた場合に、このリードフレーム（４０〉を脱輪し
ないように元の位置、すなわちテーパ付ローラ本体（６
２）の側面（６２ａ）の低部に位置修正できるようなテ
ーパ角を選ぶ。例えば第２図にはテーパ電′！ｌ１Ａ（
６４）の第２のテーパ面（６４ａ）の、破線Ａで示す垂
直線に対するテーパ角θを示した。このテーパ角θは小
さ過ぎると修正幅が小さく、大き過ぎると修正能力がな
くなる。
パ部（６２ｃｌ）の内側に設けられた第１のテーパ面（
６２ｅ）のテーパ角、およびテーパ付通電ストッパ（６
３）の内側に設けられたテーパ電極（６４）の第２のテ
ーパ面（６４ａ）のテーパ角はそれぞれ、送られてくる
リードフレーム（４０）に位置ズレがあってこれらに乗
り上げた場合に、このリードフレーム（４０〉を脱輪し
ないように元の位置、すなわちテーパ付ローラ本体（６
２）の側面（６２ａ）の低部に位置修正できるようなテ
ーパ角を選ぶ。例えば第２図にはテーパ電′！ｌ１Ａ（
６４）の第２のテーパ面（６４ａ）の、破線Ａで示す垂
直線に対するテーパ角θを示した。このテーパ角θは小
さ過ぎると修正幅が小さく、大き過ぎると修正能力がな
くなる。
一実施例をあげると、テーパ付ローラ本体（６２）およ
びテーパ付通電ストッパ（６３）からなるローラ部の幅
が約６センチ、テーパ付ローラ本体（６２）のストッパ
部（６２ｂ）およびテーパ付通電ストッパ（６３〉の最
大径部分の直径がそれぞれ約７センチ、テーパ付ローラ
本体（６２）の最小径部分の直径が約４．５センチ、ス
トッパ部（６２ｄ）の第１のテーパ面（６２ｅ）の内側
の端とテーパ電ｆｆ１（６４）の第２のテーパ面（６４
ａ）の内側の端との間が約４゜３センチのカソードロー
ラ機構の場合、第２のテーパ面（６４ａ）のテーパ角θ
は約２５度にするとよい、一方、補助電極（６４ｂ）の
第３のテーパ面（６４ｃ）の場合は、リードフレーム（
４０）の先端部（４０ａ）が第２のテーパ面（６４ａ）
へスムーズに当接し、かつこの補助電極（６４ｂ）の最
大径部分がリードフレーム（４０）の先端側面（４０ｂ
）に当接し、これによってリードフレーム（４０）のカ
ソード化をより確実にするように丸みを持たせたもので
あればよい。
びテーパ付通電ストッパ（６３）からなるローラ部の幅
が約６センチ、テーパ付ローラ本体（６２）のストッパ
部（６２ｂ）およびテーパ付通電ストッパ（６３〉の最
大径部分の直径がそれぞれ約７センチ、テーパ付ローラ
本体（６２）の最小径部分の直径が約４．５センチ、ス
トッパ部（６２ｄ）の第１のテーパ面（６２ｅ）の内側
の端とテーパ電ｆｆ１（６４）の第２のテーパ面（６４
ａ）の内側の端との間が約４゜３センチのカソードロー
ラ機構の場合、第２のテーパ面（６４ａ）のテーパ角θ
は約２５度にするとよい、一方、補助電極（６４ｂ）の
第３のテーパ面（６４ｃ）の場合は、リードフレーム（
４０）の先端部（４０ａ）が第２のテーパ面（６４ａ）
へスムーズに当接し、かつこの補助電極（６４ｂ）の最
大径部分がリードフレーム（４０）の先端側面（４０ｂ
）に当接し、これによってリードフレーム（４０）のカ
ソード化をより確実にするように丸みを持たせたもので
あればよい。
なお、テーパ付ローラ本体（６２）の側面（６２ａ）も
従来のものと同様に、リードフレーム（４０）を側面（
６２ａ）の小径部（６２ｃ）すなわち低部に移動させる
機能を持つことは言うまでもない。
従来のものと同様に、リードフレーム（４０）を側面（
６２ａ）の小径部（６２ｃ）すなわち低部に移動させる
機能を持つことは言うまでもない。
また、テーパ電極（６４）および補助型ｉ （６４ｂ）
は、電気分解処理装置の消費電力の問題、およびメツキ
処理の場合にはこれらの、電極の表面にもメツキ物が付
着すること等を考慮して、リードフレーム（４０）をカ
ソード化するための必要最小限の大きさにすることが望
ましい。
は、電気分解処理装置の消費電力の問題、およびメツキ
処理の場合にはこれらの、電極の表面にもメツキ物が付
着すること等を考慮して、リードフレーム（４０）をカ
ソード化するための必要最小限の大きさにすることが望
ましい。
また押さえローラ本体（７１）は第２図に示すように、
そのテーパ電極（６４）側の一端がテーパ電極（６４）
の第２のテーパ面（６４ａ）の小径部の端の上に位置す
るように位置決めし、かつ搬送するリードフレームく４
０〉の最大幅のもののモールド部（４１）の、テーパ付
ローラ本体（６２）の大径部（６２ｂ）側にある角（４
１ａ）（第１Ａ図参照）を押圧できるような幅にする。
そのテーパ電極（６４）側の一端がテーパ電極（６４）
の第２のテーパ面（６４ａ）の小径部の端の上に位置す
るように位置決めし、かつ搬送するリードフレームく４
０〉の最大幅のもののモールド部（４１）の、テーパ付
ローラ本体（６２）の大径部（６２ｂ）側にある角（４
１ａ）（第１Ａ図参照）を押圧できるような幅にする。
モールド部（４１〉の角（４１ａ）を押すのは、リード
フレーム（４０）の先端部（４０ａ）がＴＬ極部に押さ
え付けられる力を増加させるたである。さらにその幅を
搬送する最大幅のリードフレームに合わせておくことで
、従来フレーム幅の異なったリードフレームを電気分解
処理装置に流す場合、ローラの交換をする必要（多品種
少量生産時における汎用性の問題）があったが、この発
明のものにおいては、リードフレームの品種交換時にロ
ーラの交換は不要である。
フレーム（４０）の先端部（４０ａ）がＴＬ極部に押さ
え付けられる力を増加させるたである。さらにその幅を
搬送する最大幅のリードフレームに合わせておくことで
、従来フレーム幅の異なったリードフレームを電気分解
処理装置に流す場合、ローラの交換をする必要（多品種
少量生産時における汎用性の問題）があったが、この発
明のものにおいては、リードフレームの品種交換時にロ
ーラの交換は不要である。
以上のように構成されたカソードローラ機構（５０）に
おいては、（ａ）テーパ付ローラ本体（６２〉のテーパ
の付いた側面（６２ａ）、（ｂ）テーパ付ローラ本体（
６２）に形成されたストッパ部（６２ｂ）およびこれの
内側に設けられた第１のテーパ面（６２ｅ）、（ｃ）テ
ーパ付通電ストッパ（６３）の内側に設けられたテーパ
電極〈６４）の第２のテーパ面（６４ａ）、および（ｄ
）押さえローラ（７０）のスポンジで形成された押さえ
ローラ本体（７１）の上述した幅の設定およびこれの位
置決めの作用により、位置ズレしたリードフレーム（４
０）の軌道の修正、位置ズレするリードフレーム（４０
）を押さえることにより脱輪を防止するようにした。ま
た、（ｅ）テーパ電極（６４）の内側に設けられた補助
電極（６４ｂ）およびこれの第３のテーパ面（６４ｃ）
の作用、並びに上述した（ｄ）押さえローラ本体（７１
〉の幅を、最大幅のリードフレーム（４０）のモールド
部（４１）の角（４１ａ）を押すのに十分な長さにした
ので、電気取りすなわちリードフレーム（４０）と電極
との接続を安定化させ、リードフレーム〈４０〉のカソ
ード化をより確実なものにした。また、ローラ本体（７
１）の幅を搬送する最大幅のリードフレームに合わせて
十分にとるようにしたので、リードフレームの品種交換
時のローラの交換が不要となった。
おいては、（ａ）テーパ付ローラ本体（６２〉のテーパ
の付いた側面（６２ａ）、（ｂ）テーパ付ローラ本体（
６２）に形成されたストッパ部（６２ｂ）およびこれの
内側に設けられた第１のテーパ面（６２ｅ）、（ｃ）テ
ーパ付通電ストッパ（６３）の内側に設けられたテーパ
電極〈６４）の第２のテーパ面（６４ａ）、および（ｄ
）押さえローラ（７０）のスポンジで形成された押さえ
ローラ本体（７１）の上述した幅の設定およびこれの位
置決めの作用により、位置ズレしたリードフレーム（４
０）の軌道の修正、位置ズレするリードフレーム（４０
）を押さえることにより脱輪を防止するようにした。ま
た、（ｅ）テーパ電極（６４）の内側に設けられた補助
電極（６４ｂ）およびこれの第３のテーパ面（６４ｃ）
の作用、並びに上述した（ｄ）押さえローラ本体（７１
〉の幅を、最大幅のリードフレーム（４０）のモールド
部（４１）の角（４１ａ）を押すのに十分な長さにした
ので、電気取りすなわちリードフレーム（４０）と電極
との接続を安定化させ、リードフレーム〈４０〉のカソ
ード化をより確実なものにした。また、ローラ本体（７
１）の幅を搬送する最大幅のリードフレームに合わせて
十分にとるようにしたので、リードフレームの品種交換
時のローラの交換が不要となった。
また、陽極の金属板（図示せず）には、電気メツキ処理
を行う場合には可溶性ハンダ板、電解脱脂パリ取りを行
う場合には不溶性金属を用いると電解液の劣化が防止で
きる。
を行う場合には可溶性ハンダ板、電解脱脂パリ取りを行
う場合には不溶性金属を用いると電解液の劣化が防止で
きる。
［発明の効果］
以上のようにこの発明によれば、テーパ付ローラ本体（
６２）のテーパの付いた側面（６２ａ）、テーパ付ロー
ラ本体（６２）に形成されたストッパ部（６２ｂ）の内
側に設けられた第１のテーパ面（６２ｅ）、テーパ電極
（６４）の第２のテーパ面（６４ａ）、および押さえロ
ーラ（７０）の幅の設定およびこれの位置決め等の作用
により、位置ズレしたリードフレームの軌道を修正し、
また位置ズレしないようにリードフレームを押さえるこ
とにより脱輪を積極的に防止できるようになった。また
、テーパ電極（６４）の内側に設けられた補助電極（６
４ｂ）およびこれの第３のテーパ面（６４ｃ）の作用、
並びに押さえローラ本体（７１）の幅を、搬送される最
大幅のリードフレーム（４０）のモールド部（４１〉の
角（４１ａ）を押すのに十分な長さにしたので、電気取
りすなわちリードフレーム（４０）と電極との接続を安
定化させ、リードフレーム（４０）のカソード化をより
安定させることができるようになった。
６２）のテーパの付いた側面（６２ａ）、テーパ付ロー
ラ本体（６２）に形成されたストッパ部（６２ｂ）の内
側に設けられた第１のテーパ面（６２ｅ）、テーパ電極
（６４）の第２のテーパ面（６４ａ）、および押さえロ
ーラ（７０）の幅の設定およびこれの位置決め等の作用
により、位置ズレしたリードフレームの軌道を修正し、
また位置ズレしないようにリードフレームを押さえるこ
とにより脱輪を積極的に防止できるようになった。また
、テーパ電極（６４）の内側に設けられた補助電極（６
４ｂ）およびこれの第３のテーパ面（６４ｃ）の作用、
並びに押さえローラ本体（７１）の幅を、搬送される最
大幅のリードフレーム（４０）のモールド部（４１〉の
角（４１ａ）を押すのに十分な長さにしたので、電気取
りすなわちリードフレーム（４０）と電極との接続を安
定化させ、リードフレーム（４０）のカソード化をより
安定させることができるようになった。
また、ローラ本体く７■）の幅を搬送する最大幅のリー
ドフレームに合わせて十分にとるようにしたので、リー
ドフレームの品種交換時のローラの交換が不要となった
。以上のような効果がある。
ドフレームに合わせて十分にとるようにしたので、リー
ドフレームの品種交換時のローラの交換が不要となった
。以上のような効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるカソードローラ機構
の断面図、第１Ａ図はリードフレームの側面図、第２図
は第１図のカソードローラ機構の電極部とリードフレー
ムの接続する部分を拡大して示した破断拡大図、第３図
は従来のカソードローラｍ楕を示す側面図である。 図において、（４０）はリードフレーム、（４１）はモ
ールド部、（５０）はカソードローラ機構、（６Ｏ）は
カソードローラ、（６１〉はカソードローラ・シャフト
、（６２）はテーパ付ローラ本体、（６２ａ）は側面、
（６２ｄ）はストッパ部、（６２ｅ）は第１のテーパ面
一（６３）はテーパ付通電ストッパ、（６４）はテーパ
電極、（６４ａ）は第２のテーパ面、（６４ｂ）は補助
電極、（６４ｃ）は第３のテーパ面、く７０）は押さえ
ローラ、（７１）は押さえローラ本体１７２）は押さえ
ローラ・シャフトである。 尚、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
の断面図、第１Ａ図はリードフレームの側面図、第２図
は第１図のカソードローラ機構の電極部とリードフレー
ムの接続する部分を拡大して示した破断拡大図、第３図
は従来のカソードローラｍ楕を示す側面図である。 図において、（４０）はリードフレーム、（４１）はモ
ールド部、（５０）はカソードローラ機構、（６Ｏ）は
カソードローラ、（６１〉はカソードローラ・シャフト
、（６２）はテーパ付ローラ本体、（６２ａ）は側面、
（６２ｄ）はストッパ部、（６２ｅ）は第１のテーパ面
一（６３）はテーパ付通電ストッパ、（６４）はテーパ
電極、（６４ａ）は第２のテーパ面、（６４ｂ）は補助
電極、（６４ｃ）は第３のテーパ面、く７０）は押さえ
ローラ、（７１）は押さえローラ本体１７２）は押さえ
ローラ・シャフトである。 尚、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (4)
- （１）電解液中において半導体装置のリードフレームを
カソード化しながら搬送するためのカソードローラ機構
であって、 小径部と大径部の間にリードフレームを上記小径部側に
移動させるための傾斜の付いた、上記リードフレームの
載置面となる側面を有し、かつ大径部側の上記側面上に
、内側に上記側面と同じ方向にリードフレームを側面側
に移動させるための傾斜の付いた第１のテーパ面を有す
るフランジ状のストッパ部が形成さた、絶縁材で形成さ
れたテーパ付ローラ本体、上記テーパ付ローラ本体の側
面の傾斜と反対方向に、上記リードフレームを上記ロー
ラ本体の小径部側に移動させるための傾斜の付いた、上
記リードフレームの先端部が当接する第２のテーパ面を
有するテーパ電極が内側に設けられた、上記ローラ本体
の小径部側に形成された上記小径部より大きい径を有す
るテーパ付通電ストッパ、および上記テーパ電極と電気
的に接続され、かつ上記電解液と接する部分が絶縁材か
らなるカラーで覆われている、テーパ付ローラ本体およ
びテーパ付通電ストッパの回転軸となる導電材よりなる
カソードローラ・シャフトからなるカソードローラと、 スポンジで形成され弾性をもって上記リードフレームを
上記テーパ付ローラ本体の側面上に押圧する押さえロー
ラ本体、およびこの押さえローラ本体の回転軸となる少
なくとも表面が絶縁材からなる押さえローラ・シャフト
からなる押さえローラと、 を備えたカソードローラ機構。 - （２）上記テーパ付通電ストッパが上記テーパ電極の小
径部側に、上記第２のテーパ面と同じ方向に傾斜した第
３のテーパ面を有する補助電極を備え、リードフレーム
が所望の位置にある時、上記第３のテーパ面の大径部が
上記リードフレームの端部側面に当接することを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のカソードローラ機構。 - （３）上記リードフレームがモールド部と一体になって
おり、上記押さえローラ本体の一端が上記テーパ電極の
第２のテーパ面の小径部の端の上に位置するように設け
られ、かつ押さえローラ本体が、搬送する最大幅のリー
ドフレームのモールド部の上記テーパ付ローラ本体の大
径部側にある角を押圧できるような幅を有することを特
徴とする特許請求の範囲第２項に記載のカソードローラ
機構。 - （４）上記テーパ付ローラ本体およびテーパ付通電スト
ッパからなる部分の幅が約６センチ、上記テーパ付ロー
ラ本体のストッパ部およびテーパ付通電ストッパの最大
径部分の直径が約７センチ、上記テーパ付ローラ本体の
最小径部分の直径が約４．５センチ、上記ストッパ部の
第１のテーパ面の内側の端とテーパ電極の第２のテーパ
面の内側の端との間が約４．３センチ、および上記第２
のテーパ面の垂直面に対する傾きが約２５度であること
を特徴とする特許請求の範囲第３項記載のカソードロー
ラ機構。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1178166A JPH0344495A (ja) | 1989-07-12 | 1989-07-12 | カソードローラ機構 |
| US07/548,572 US5096559A (en) | 1989-07-12 | 1990-07-05 | Cathode roller mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1178166A JPH0344495A (ja) | 1989-07-12 | 1989-07-12 | カソードローラ機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0344495A true JPH0344495A (ja) | 1991-02-26 |
Family
ID=16043773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1178166A Pending JPH0344495A (ja) | 1989-07-12 | 1989-07-12 | カソードローラ機構 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5096559A (ja) |
| JP (1) | JPH0344495A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006145301A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Sanyo Special Steel Co Ltd | 渦電流を用いた鍛造リング状素材の表面欠陥の検査方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101797678B (zh) * | 2010-01-14 | 2012-05-09 | 上海志卓机械制造有限公司 | 阴极辊钛套加装工艺 |
| KR101585629B1 (ko) * | 2013-01-16 | 2016-01-14 | 주식회사 잉크테크 | 캐소드 롤러 조립체 및 도금 장치 |
| CN114161085B (zh) * | 2021-11-23 | 2023-09-19 | 西安泰金新能科技股份有限公司 | 一种超大幅宽旋压阴极辊制造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6324273A (ja) * | 1986-07-16 | 1988-02-01 | ソニー株式会社 | 学習装置 |
-
1989
- 1989-07-12 JP JP1178166A patent/JPH0344495A/ja active Pending
-
1990
- 1990-07-05 US US07/548,572 patent/US5096559A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006145301A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Sanyo Special Steel Co Ltd | 渦電流を用いた鍛造リング状素材の表面欠陥の検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5096559A (en) | 1992-03-17 |
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