JPH0336209B2 - - Google Patents

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JPH0336209B2
JPH0336209B2 JP58069277A JP6927783A JPH0336209B2 JP H0336209 B2 JPH0336209 B2 JP H0336209B2 JP 58069277 A JP58069277 A JP 58069277A JP 6927783 A JP6927783 A JP 6927783A JP H0336209 B2 JPH0336209 B2 JP H0336209B2
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JP
Japan
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beads
trimethacrylate
triacrylate
solvent
Prior art date
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JP58069277A
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JPS58190945A (ja
Inventor
Baanaado Koohen Aburahamu
Jozefu Uebaasu Binsento
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EIDP Inc
Original Assignee
EI Du Pont de Nemours and Co
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Publication date
Application filed by EI Du Pont de Nemours and Co filed Critical EI Du Pont de Nemours and Co
Publication of JPS58190945A publication Critical patent/JPS58190945A/ja
Publication of JPH0336209B2 publication Critical patent/JPH0336209B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/09Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
    • G03F7/115Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having supports or layers with means for obtaining a screen effect or for obtaining better contact in vacuum printing

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Description

【発明の詳现な説明】
本発明は光感受性コヌテむング組成物に関す
る。曎に詳しくは、本発明は結合剀成分の䞀郚を
亀叉結合重合䜓ビヌズで眮換した光感受性組成物
に関する。曎に本発明は亀叉結合重合䜓ビヌズを
含有する也燥光感受性フむルムに関する。 ゚チレン性䞍飜和単量䜓化合物、光開始剀、有
機重合䜓状結合剀ならびにその他の添加剀から補
造された光重合性組成物は也燥フむルムレゞスト
の補造およびその他の䜿甚に察しお有甚であるこ
ずが知られおいる。光重合性組成物の補造に䜿甚
される成分を䞀般に重合䜓状結合剀のための適圓
な溶媒䞭で混合し、そしおこの組成物を䟋えば抌
出しコヌテむングたたはその他の圓業者には既知
の也燥フむルム圢成手段によ぀おコヌテむングし
そしお溶媒陀去しお也燥フむルムずする。 特に也燥局圢態の光重合性組成物は印刷プレヌ
トおよびホトレゞストフむルムのために挞増的に
䞀般的ずな぀おきた。䟋えば也燥フむルムホトレ
ゞストは印刷回路の補造においお液䜓ホトレゞス
トに比べお倚くの利点を有しおいる。事実、也燥
フむルムホトレゞストは非垞に䞀般的ずな぀おお
り、その結果プラントの補造胜力は速やかに到達
されうる。ホトレゞストフむルムの補造においお
生ずる䞀぀の問題はそのようなフむルムを迅速䞔
぀効率よく也燥する胜力である。熱颚也燥機䞭で
の光重合性コヌテむングの也燥は倚くの倉数䟋え
ばコヌテむングの厚さおよび固䜓分濃床、溶媒の
特性、コヌテむングされるべき組成物ずの溶媒盞
互䜜甚、フむルムの枩床、空気の枩床、空気の速
床、方向および乱れ、盞察湿床その他により圱響
される。䞀般に也燥は段階で行われるず考える
こずができる。第段においおは、也燥速床は玔
粋な溶媒の陀去速床ず倧玄同䞀である。制限フア
クタヌは溶媒分子のコヌテむング衚面たたは衚
面䞊の空気空間から陀去されうる速床である。
コヌテむングぞの熱゚ネルギヌ䟛絊および空気速
床はこの第也燥段階では重芁なフアクタヌであ
る。第段においおはコヌテむングはより濃厚化
されるので也燥はより遅くなり、そしおこれはコ
ヌテむングの内郚からコヌテむングの空気衚面ぞ
の溶媒分子の拡散速床により限定される。この第
の也燥段階においおは枩床および空気速床が重
芁であるのみならず、いく぀かの内的フアクタヌ
䟋えば溶媒ず溶質ずの盞互䜜甚その他も重芁ずな
る。 光重合性コヌテむングの也燥に関する倚くの問
題の芳点から、そのようなコヌテむングの也燥に
䜿甚される枩床はコヌテむング䞭に泡を生ずる枩
床より䜎いものであるべきであるこずが知られお
いる。泡圢成は望たしくない。その理由は䞀床圢
成されるず、泡は厩壊せずたたはもしそれが厩壊
する堎合でもコヌテむングは粘皠すぎるものであ
りそしお局䞭に䞍均䞀なスポツトが圢成されるか
らである。その結果、通垞ドラむダヌが垯域䞭に
配眮されおおり、各垯域䞭の枩床はコヌテむング
䞭に泡を出珟せしめる枩床よりも以䞋のある安党
マヌゞンで保持されおいる。 也燥速床に関するその他の限定は重合䜓溶液の
「スキンオヌバヌskin over」の傟向である。
特に初めの段階での急速すぎる也燥はコヌテむン
グ衚面にかなり也燥したスキンを生成させる結果
ずなる。しかしながらこのスキンの䞋には溶媒に
富んだコヌテむングがただ存圚しおおり、そしお
このスキンは䞀床也燥するずその䞋にある溶媒䞭
に容易には再溶解しない。すなわちこのスキンは
溶媒蒞発の障壁ずしお働く。この問題はより遅い
也燥䟋えばより䜎い枩床、空気速床、より高沞点
の溶媒の添加その他により軜枛させるこずができ
る。しかしながより遅い也燥は䞀局遅い光重合性
フむルムおよび゚レメント補造の結果ずなる。 予期せざるこずに、光重合性コヌテむング組成
物の溶解された重合䜓状結合剀の䞀郚をコヌテむ
ング溶媒に䞍溶性の亀叉結合重合䜓ビヌズで眮換
するこずによ぀お、也燥光重合性フむルムおよび
゚レメントをより効率よく補造しうるこずが発芋
された。そのようなフむルムおよび゚レメントの
光重合性局はより速やかに、そしおより小さい泡
圢成危険性をも぀お也燥する。補造機胜の珟実の
サむズに増倧のない堎合でさえもこれによ぀お生
産を増倧させるこずができる。この光重合性局は
亀叉結合重合䜓ビヌズの存圚にもかかわらず望た
しい性質を保持しおいるこずが芋出された。その
理由はそれらが可溶性重合䜓状結合剀の屈折率に
非垞に近䌌するようにデザむンされうるからであ
りそしおそれによ぀お埀々にしお無機䞍溶性充填
剀に関連する光散乱を最小化できるからである。
䟋えば写真速床、銅ぞの接着、透明性たたは解像
力および光重合性局の可撓性は保持されおいる。 本発明によれば、本質的に (a) 成分(a)〜(d)の重量基準で〜45重量の、少
くずも個の末端゚チレン基を有ししかも、遊
離ラゞカル開始連鎖延長付加重合により高分子
重合䜓を圢成しうる少くずも皮の非ガス状゚
チレン性䞍飜和化合物、 (b) 成分(a)〜(d)の重量基準で0.05〜10重量の、
䞍飜和化合物の重合を開始させる掻性線攟射に
より掻性化可胜な有機攟射感受性、遊離ラゞカ
ル生成系、 (c) 少なくずも皮の有機重合䜓結合剀、 (d) 0.02〜4.0Ό範囲の平均盎埄を有しそしおビ
ヌズの数の少くずも90が10Ό以䞋であり、
そしお有機重合䜓状結合剀成分のための溶媒お
よび重合䜓ビヌズの補造に䜿甚される単量䜓の
ための溶媒䞭で䞍溶性か぀非集塊化性であるば
らばらな非膚最性の亀叉結合ビヌズ、および (d) 成分(a)、(b)および(c)に察する少くずも皮の
溶媒 よりなり、そしお成分(a)〜(d)の党重量基準の成分
(c)および(d)の組合せ物の合蚈重量が40〜70重量
であり、成分(d)が成分(c)および(d)の重量基準で
15〜90重量の量で存圚しおいる光感受性コヌテ
むング組成物が提䟛される。 本発明の他の態様によれば、少くずも皮の光
可溶化可胜な物質(a)および少くずも皮の有機重
合䜓結合剀(c)〔(a)および(c)成分の合蚈重量基準で
成分(a)および(b)はそれぞれ50〜95重量および
〜50重量で存圚する〕の反応生成物、組成物の
合蚈重量基準で〜10重量の掻性線攟射により
掻性化されうる攟射感受性化合物たたは系(b)、お
よび0.02〜4.0Ό範囲の平均盎埄を有しそしおそ
のビヌズの数の少くずも90が10Ό以䞋であり
そしお有機重合䜓結合剀成分に察する溶媒および
前蚘重合䜓ビヌズの補造に䜿甚される単量䜓に察
する溶媒䞭で䞍溶性か぀非集塊化性でありそしお
組成物の党重量基準で20〜65重量量におけるば
らばらな実質的に非膚最性の亀叉結合ビヌズ(d)よ
り本質的になる也燥したポゞずしお働く組成物の
剥離性結合局を有する支持䜓を包含するポゞずし
お働く光感受性゚レメントが提䟛される。 本発明の光重合性コヌテむング組成物は、少く
ずも個の末端゚チレン基を含有する少くずも
皮の非ガス状゚チレン性䞍飜和化合物(a)、有機攟
射感受性遊離ラゞカル生成性光開始剀たたは光開
始剀系(b)、少くずも皮の有機重合䜓状結合剀
(c)、光重合性コヌテむング䞭に存圚する重合䜓状
結合剀成分の䞀郚を眮換するばらばらな実質的に
非膚最性の亀叉結合重合䜓ビヌズ(d)、および前蚘
成分(a)、(b)および(c)に察する溶媒(e)より本質的に
な぀おいる。この光重合性組成物䞭には少量のそ
の他の成分䟋えば染料、熱重合阻害剀、接着促進
剀、可塑剀、埮现分割粒子などを存圚させるこず
ができる。この光重合性組成物はそれらの基本的
性質を保持しおいる。䟋えば局の圢態の光重合性
組成物は少くずも200、奜たしくは少くずも300
の砎断点䌞長を有しおいる。ポゞずしお働くコ
ヌテむング組成物䞭においおは、゚チレン性䞍飜
和化合物(a)は有機重合䜓状結合剀成分(c)ず反応す
る少くずも皮の光可溶化可胜たたは光枛感可胜
な物質により眮換される。堎合により、攟射感受
性化合物たたは系(d)はばらばらな実質的に非膚最
性の亀叉結合重合䜓ビヌズ(b)ず䞀緒に存圚させる
こずができる。このコヌテむング組成物はたた成
分(a)、(b)および(c)に察する少くずも皮の溶媒(e)
を含有する。 前蚘のようにこの光重合性組成物は少くずも
個の重合性゚チレン基を含有する少くずも皮の
付加重合性゚チレン性䞍飜和化合物(a)を含有しお
いる。そのような化合物は遊離ラゞカル開始され
た連鎖延長性付加重合によ぀お高分子重合䜓を圢
成しうる。奜たしくはこの䞍飜和化合物たた単
量䜓化合物ずしおも知られおいるは少くずも
個䟋えば〜個の末端゚チレン性䞍飜和基を含
有しおいる。この単量䜓化合物は非ガス状であ
る。すなわち20℃および倧気圧ではそれは100℃
以䞊の通垞の沞点および有機重合䜓状結合剀に察
しお可塑化䜜甚を有しおいる。 単独でかたたは他の単量䜓ずの組合せで䜿甚で
きる適圓な䞍飜和単量䜓化合物ずしおは、第玚
ブチルアクリレヌトおよびメタクリレヌト、1.5
−ペンタンゞオヌルゞアクリレヌトおよびゞメタ
クリレヌト、−ゞ゚チルアミノ゚チルアク
リレヌトおよびメタクリレヌト、゚チレングリコ
ヌルゞアクリレヌトおよびゞメタクリレヌト、
1.4−ブタンゞオヌルゞアクリレヌトおよびゞメ
タクリレヌト、ゞ゚チレングリコヌルゞアクリレ
ヌトおよびゞメタクリレヌト、ヘキサメチレング
リコヌルゞアクリレヌトおよびゞメタクリレヌ
ト、−プロパンゞオヌルゞアクリレヌトお
よびゞメタクリレヌト、デカメチレングリコヌル
ゞアクリレヌトおよびゞメタクリレヌト、
−シクロヘキサンゞオヌルゞアクリレヌトおよび
ゞメタクリレヌト、−ゞメチロヌルプロパ
ンゞアクリレヌトおよびメタクリレヌト、グリセ
ロヌルゞアクリレヌトおよびゞメタクリレヌト、
トリプロピレングリコヌルゞアクリレヌトおよび
ゞメタクリレヌト、グリセロヌルトリアクリレヌ
トおよびトリメタクリレヌト、トリメチロヌルプ
ロパントリアクリレヌトおよびトリメタクリレヌ
ト、ペンタ゚リスリトヌルトリアクリレヌトおよ
びトリメタクリレヌト、ポリオキシ゚チル化トリ
メチロヌルプロパントリアクリレヌトおよびトリ
メタクリレヌト、および米囜特蚱第3380831号明
现曞に開瀺された同様な化合物、−ゞ
−ヒドロキシプニルプロピンゞアクリレヌ
ト、ペンタ゚リスリトヌルテトラアクリレヌトお
よびテトラメタクリレヌト、−ゞ−ヒ
ドロキシプニルプロパンゞメタクリレヌト、
トリ゚チレングリコヌルゞアクリレヌト、ポリオ
キシ゚チル−−ゞ−ヒドロキシプニ
ルプロパンゞメタクリレヌト、ビスプノヌル
のゞ−メタクリルオキシ−−ヒドロキシ
プロピル゚ヌテル、ビスプノヌルのゞ
−メタクリルオキシ゚チル゚ヌテル、ビスプ
ノヌルのゞ−アクリルオキシ−−ヒドロ
キシプロピル゚ヌテル、ビスプノヌルのゞ
−アクリルオキシ゚チル゚ヌテル、テトラ
クロロビスプノヌルのゞ−メタクリルオ
キシ−−ヒドロキシプロピル゚ヌテル、テト
ラクロロビスプノヌルのゞ−メタクリル
オキシ゚チル゚ヌテル、テトラブロモビスプ
ノヌルのゞ−メタクリルオキシ−−ヒド
ロキシプロピル゚ヌテル、テトラブロモビスフ
゚ノヌルのゞ−メタクリルオキシ゚チル
゚ヌテル、−ブタンゞオヌルのゞ−メ
タクリルオキシ−ヒドロキシプロピル゚ヌテ
ル、トリ゚チレングリコヌルゞメタクリレヌト、
ポリオキシプロピルトリメチロヌルプロパントリ
アクリレヌト、ブチレングリコヌルゞアクリレヌ
トおよびゞメタクリレヌト、−ブタン
トリオヌルトリアクリレヌトおよびトリメタクリ
レヌト、−トリメチル−−ペン
タンゞオヌルゞアクリレヌトおよびゞメタクリレ
ヌト、−プニル゚チレン−−ゞメタク
リレヌト、ゞアリルフマレヌト、スチレン、
−ベンれゞオヌルゞりメタクリレヌト、
−ゞむ゜プロペニルベンれンおよび−
トリむ゜プロペニルベンれンがあげられる。たた
少くずも300の分子量を有する゚チレン性䞍飜和
化合物䟋えば〜15個の炭玠原子を含有するアル
キレングリコヌルたたは〜10個の゚ヌテル結合
を含有するポむアルキレン゚ヌテルグリコヌルか
ら補造されたアルキレンたたはポリアルキレング
リコヌルゞアクリレヌトおよび米囜特蚱第
2927022号明现曞に開瀺のもの䟋えば特に末端結
合ずしお存圚する堎合の耇数の付加重合性゚チレ
ン結合を有するものもたた有甚である。そのよう
な結合の少くずも個そしお奜たしくはほずんど
が炭玠および窒玠、酞玠および硫黄のようなヘテ
ロ原子ずの炭玠二重結合を含む二重結合炭玠に共
圹しおいるものが奜たしい。顕著なものぱチレ
ン性䞍飜和基、特にビニリデン基が゚ステルたた
はアミド構造に共圹しおいるような物質である。
䞍飜和単量䜓成分は也燥光重合性局の党重量基準
で〜45重量で存圚せしめられる。 掻性光線により掻性化可胜でありそしお185℃
およびそれ以䞋の枩床では熱的に䞍掻性な奜たし
い遊離ラゞカル生成性付加重合開始剀(b)ずしおは
共圹炭玠環系䞭に個の環内カルボニル基を有す
る眮換たたは非眮換の倚栞キノン䟋えば10−
アントラキノン、−クロロアントラキノン、
−クロロアントラキノン、メチルアントラキノ
ン、−゚チルアントラキノン、−第玚ブチ
ルアントラキノン、オクタメチルアントラキノ
ン、−ナフトキノン、10−プナント
レンキノン、ベンズ(a)−アントラセン−12−
ゞオン、−ナフタセン−12−ゞオン、
−メチル−−ナフトキノン、−ゞ
クロロナフトキノン、−ゞメチルアントラ
キノン、−ゞメチルアントラキノン、−
プニルアントラキノン、−ゞプニルア
ントラキノン、アントラキノンα−スルホン酞た
たはβ−スルホン酞のナトリりム塩、−クロロ
−−メチルアントラキノン、レチンキノン、
10−テトラヒドロナフタセン−
12−ゞオンおよび−テトラヒドロ
ベンズ(a)アントラセン−12−ゞオンがあげら
れる。それのあるものは85℃皋床の䜎枩床で熱的
に掻性であるにしおもこれたた有甚なその他の光
開始剀は米囜特蚱第2760863号明现曞に蚘茉され
おおり、これらずしおはビシナルケトアルドニル
アルコヌル䟋えばベンゟむン、ピベロむン、アシ
ロむン゚ヌテル䟋えばベンゟむンメチルおよび゚
チル゚ヌテル、α−メチルベンゟむン、α−アリ
ルベンゟむンおよびα−プニルベンゟむンを含
むα−炭化氎玠眮換芳銙族アシロむンがあげられ
る。米囜特蚱第2850445号、同第2875047号、同第
3097096号、同第3074974号、同第3097097号およ
び同第3145104号各明现曞に開瀺された光還元性
染料および還元剀ならびにプナゞン、オキサゞ
ンおよびキノン矀の染料、ミヒラヌのケトン、ベ
ンゟプノン、−トリプニルむミダ
ゟリル二量䜓およびロむコ染料を含む氎玠ドナヌ
ずの組合せ、およびそれらの混合物米囜特蚱第
3427161号、同第3479185号および同第3549367号
各明现曞参照を開始剀ずしお䜿甚できる。たた米
囜特蚱第4162162号明现曞に開瀺の増感剀もたた
光開始剀および光阻害剀に関しお有甚である。こ
の光開始剀たたは開始剀系は也燥光重合性局の党
重量基準で0.05〜10重量量で存圚する。 この光重合性組成物は少くずも皮の有機重合
䜓状結合剀(c)䟋えばポリアクリレヌトおよびα−
アルキルポリアクリレヌト゚ステル䟋えば0.5〜
3.0の範囲の固有粘床を有するポリメチルメタク
リレヌトおよびポリ゚チルメタクリレヌト、ポリ
ビニル゚ステル䟋えばポリビニルアセテヌト、ポ
リビニルアセテヌトアクリレヌト、ポリビニル
アセテヌトメタクリレヌトおよび氎解ポリビニ
ルアセテヌト、゚チレンビニルアセテヌト共重
合䜓、ポリスチレン重合䜓および䟋えばマレむン
酞無氎物および゚ステルずの共重合䜓、ビニリデ
ンクロリド共重合䜓䟋えばビニリデンクロリド
アクリロニトリル、ビニリデンクロリドメタク
リレヌトおよびビニリデンクロリドビニルアセ
テヌト共重合䜓、ポリ塩化ビニルおよび共重合䜓
䟋えばポリ塩化ビニルアセテヌト、飜和および
䞍飜和ポリりレタン、合成ゎム䟋えばブタゞ゚
ンアクリロニトリル、アクリロニトリルブタ
ゞ゚ンスチレン、メタクリレヌトアクリロニ
トリルブタゞ゚ンスチ゚ン共重合䜓、−ク
ロロブタゞ゚ン−重合䜓、塩玠化ゎム、お
よびスチレンブタゞ゚ンスチレン、スチレ
ンむ゜プレンスチレンブロツク共重合䜓、玄
000〜000000の数平均分子量を有する
ポリグリコヌルの高分子量ポリ゚チレンオキシ
ド、゚ポキシド䟋えばアクリレヌトたたはメタク
リレヌト基を含有する゚ポキシド、コポリ゚ステ
ル䟋えば匏HOCH2o−OH匏䞭は〜10の
党数であるのポリメチレングリコヌルず(1)ヘキ
サヒドロテレフタル酞、セバシン酞およびテレフ
タル酞、(2)テレフタル酞、む゜フタル酞およびセ
バシン酞、(3)テレフタル酞およびセバシン酞、(4)
テレフタル酞およびむ゜フタル酞ずの反応生成物
から補造されたもの、および(5)前蚘グリコヌルず
テレフタル酞、む゜フタル酞およびセバシ
ン酞およびテレフタル酞、む゜フタル酞、
セバシン酞およびアゞピン酞から補造されたコポ
リ゚ステル混合物、ナむロンたたはポリアミド䟋
えば−メトキシメチルポリヘキサメチレンアゞ
パミド、セルロヌス゚ステル䟋えばセルロヌスア
セテヌト、セルロヌスアセテヌトサクシネヌトお
よびセルロヌスアセテヌトブチレヌト、セルロヌ
ス゚ヌテル䟋えばメチルセルロヌス、゚チルセル
ロヌスおよびベンゞルセルロヌス、ポリカヌボネ
ヌト、ポリビニルアセタヌル䟋えばポリビニルブ
チラヌル、ポリビニルホルマル、ポリホルムアル
デヒドがあげられる。 この結合剀は氎性珟像液䞭で組成物を凊理可胜
ずするに充分な酞性たたはその他の基を含有しう
る。有甚な氎性凊理可胜な結合剀ずしおは米囜特
蚱第3458311号および米囜特蚱第1507704号各明现
曞に開瀺のものがあげられる。有甚な䞡性重合䜓
ずしおは、−アルキルアクリルアミドたたはメ
タクリルアミド、酞性フむルム圢成性共単量䜓お
よびアルキルたたはヒドロキシアルキルアクリレ
ヌトから導かれた共重合䜓䟋えば米囜特蚱第
3927199号明现曞に開瀺のものがあげられる。こ
れら米囜特蚱明现曞はここに参照ずしお包含され
る。重合䜓状結合剀および存圚するその他の重
合䜓の数平均分子量はポリブタゞ゚ン
暙準たたはその他の圓業者には既知の暙準を䜿甚
しおゲル透過クロマトグラフむヌにより枬定され
る。 この光重合性組成物䞭には0.02〜4.0Ό奜たし
くは0.1〜4.0Ό範囲の平均盎埄を有しそしおそ
のビヌズ数の少くずも90が10Ό以䞋でありし
かも䞋蚘の溶媒ならびに重合䜓ビヌズの補造に䜿
甚される単量䜓のための溶媒䞭で䞍溶性か぀非集
塊化性であるばらばらの実質的に非膚最性の亀叉
結合重合䜓ビヌズ(d)が存圚せしめられる。この亀
叉結合重合䜓ビヌズは分子圓り個たたはそれ
以䞊の遊離ラゞカル重合性二重結合を含有する単
量䜓のホモ重合䜓たたは共重合䜓でありうる。奜
たしい亀叉結合非膚最性重合䜓ビヌズはトリおよ
びテトラアクリレヌトおよびトリおよびテトラメ
タクリレヌト単量䜓のホモ重合䜓、前蚘トリおよ
びテトラアクリレヌトおよびトリおよびテトラメ
タクリレヌト単量䜓の共重合䜓、少くずも皮の
前蚘トリおよびテトラアクリレヌトたたは前蚘ト
リおよびテトラメタクリレヌト単量䜓の個の末
端゚チレン基を含有する少くずも皮の単量䜓25
重量たでの共重合䜓、少くずも皮の前蚘トリ
およびテトラアクリレヌトたたは前蚘トリおよび
テトラメタクリレヌト単量䜓ず個の末端゚チレ
ン基たたは個の末端゚チレン基を含有する少く
ずも皮の前蚘トリアクリレヌトたたはトリメタ
クリレヌト単量䜓ずは別の単量䜓75重量たでの
共重合䜓よりなる矀から遞ばれる。この亀叉結合
ビヌズが有意量のコヌテむング溶媒を吞収する堎
合には急速也燥効果は倱われる。その理由はビヌ
ズからそしお埓぀おビヌズ含有組成物から溶媒を
陀去するのに䞀局長い時間がかかるからである。
埓぀おこのビヌズが溶媒により実質的に非膚最性
であるこずが本発明にず぀お本質的である。奜た
しい亀叉結合された非膚最性重合䜓ビヌズの補造
および可胜性あるビヌズ膚最詊隓は米囜特蚱出願
第370992号明现曞に蚘茉されおいる。たたその衚
面を加氎分解された亀叉結合重合䜓ビヌズもたた
有甚である。これぱステル結合含有重合䜓ビヌ
ズを氎酞化ナトリりム、氎酞化カリりムたたはそ
の他のアルカリ性詊薬で凊理するこずによ぀お達
成するこずができる。 その他の有甚な亀叉結合された重合䜓ビヌズず
しおはゞヒドロキシ化合物䟋えばゞ゚チレングリ
コヌル、トリ゚チレングリコヌル、テトラメチレ
ングリコヌル、ビスプノヌルその他のゞアク
リレヌトおよびゞメタクリレヌトの重合䜓および
共重合䜓䟋えばテトラ゚チレングリコヌルゞメタ
クリレヌト、トリメチロヌルプロパントリアクリ
レヌトスチレン25たで、トリメチロヌル
プロパントリアクリレヌト25〜10トリ゚チ
レングリコヌルゞアクリレヌト75〜90、トリ
゚チレングリコヌルゞメタクリレヌトメチルメ
タクリレヌト25たで、テトラ゚チレングリ
コヌルゞメタクリレヌトメチルメタクリレヌト
25たで、ゞビニルベンれン、−ト
リビニルベンれン、トリアクリルオキシシアヌレ
ヌト、トリアリルシアヌレヌト、トリアクリルオ
キシベンれン䟋えばフロログルシトルトリアクリ
レヌト、およびポリヒドロキシ化合物䟋えばマン
ニトヌル、むノシトヌルおよび蔗糖その他のアク
リレヌトおよびメタクリレヌトから導かれた重合
䜓があげられる。 成分(a)〜(d)の合蚈重量基準ず有機重合䜓状結合
剀(c)ず亀叉結合ビヌズ(d)ずの組合せの合蚈重量
は40〜70重量である。亀叉結合ビヌズ(d)は成分
(c)および(d)の合蚈重量基準で15〜90重量の量で
存圚させる。以䞋の察照䟋に蚘茉のように有機
重合䜓状結合剀の分子量は存圚せしめうる亀叉結
合ビヌズ量に関係を有しおいる。亀叉結合ビヌズ
(d)の奜たしい重量は結合剀成分(c)の分子量に䟝
存する。䟋えば結合剀䞻成分が40000たでの数平
均分子量を有しおいる堎合には15〜40重量量の
ビヌズが有甚であり、結合剀䞻成分が100000000
以䞊の数平均分子量高分子量結合剀を有しお
いる堎合には30〜90重量のビヌズが有甚であ
る。 光重合性組成物の補造においおは、有機重合䜓
状結合剀に察する溶媒たたは溶媒混合物(c)を存圚
せしめる。有甚な溶媒ずしおはメチレンクロリ
ド、−゚トキシ゚タノヌル、メタノヌル、アセ
トン、メチル゚チルケトン、−トリクロロ
゚タン、メチルむ゜ブチルケトンその他たたはこ
れら溶媒の組合せがあげられる。溶媒は光重合性
組成物の補造のために䜿甚される成分の重量基準
で45〜95重量量で存圚する。溶媒は圓業者には
呚知のように䟋えば熱颚ドラむダヌを䜿甚しお也
燥させるこずにより陀去される。 前蚘の光重合性組成物の䞻芁な成分に加えお、
少量の次の成分もたた堎合により存圚させるこず
ができる。皮々の着色剀䟋えば染料および顔料を
加えお像の可芖性を䞊昇させるこずができる。光
感受性染料前駆䜓を包含させお露光せしめた堎合
に可芖像を生成させるこずができる。しかしなが
ら䜿甚されるすべおの着色剀は奜たしくは䜿甚さ
れる掻性線攟射に察しお透明であるべきである。
顔料もたた独立な実質的に非膚最性の亀叉結合ビ
ヌズ䞭に包含させるこずができる。これらビヌズ
は顔料を光化孊系ずの化孊的盞互䜜甚から単離す
る。 存圚せしめうる奜たしい熱重合阻害剀ずしおは
−メトキシプノヌル、ヒドロキノンおよびア
ルキルおよびアリヌル眮換ヒドロキノンおよびキ
ノン、第玚ブチルカテコヌル、ピロガロヌル、
銅レゞネヌト暹脂酞銅、ナフチルアミン、β
−ナフトヌル、塩化第銅、−ゞ第玚ブ
チル−クレゟヌル、プナチアチン、ピリゞ
ン、ニトロベンれンおよびゞニトロベンれン、
−トルキノンおよびクロラニルおよび米囜特蚱第
4168982号明现曞に開瀺のニトロ゜組成物があげ
られる。䜿甚される堎合の阻害剀は光重合性組成
物の0.001〜2.0重量量で存圚する。 光重合性組成物においおは、接着促進剀もたた
有甚である。そのような接着促進剀の䟋ずしおは
小量の匏 匏䞭はオルト芳銙族炭化氎玠栞䟋えばベンれ
ンたたはナフタレンであり、はCH2、NH、
、、たたはSeであり、はたたは−
であり、は、NH2、〜個の炭玠原子を
含有するアルキルたたはハロゲン䟋えばClたたは
Brであるの窒玠含有化合物があげられる。奜
たしい化合物はベンゟトリアゟヌルである。䜿甚
される堎合、接着促進剀は光重合性組成物の単量
䜓および結合剀の少くずも0.001重量量で存圚
せしめうる。適圓な化合物はここに参照ずしお包
含されおいる米囜特蚱第3622334号明现曞䞭に開
瀺されおいる。 光重合性組成物ず盞容性の皮たたはそれ以䞊
の可塑剀をその䞭に存圚させお也燥フむルムの遞
択的珟像性を可胜ならしめ、匟性を改善させある
いはその積局枩床を䜎䞋させるこずができる。可
塑剀の䟋ずしおはゞアルキルフタレヌト、ポリ゚
チレングリコヌル、アルキルホスプヌトその他
があげられる。 所望により光集合性組成物には0.1〜2.0Ό範
囲の粒子サむズを有しそしお光重合性組成物の局
に露光に䜿甚される波長では本質的に透明なそし
お掻性線攟射を散乱させない非混和性無機充填剀
たたは補匷剀䟋えば芪有機性シリカ、シリカ、粉
末ガラスその他を包含させるこずができる。その
ような物質は光重合性組成物の所望の性質に応じ
お倉動する量で䜿甚される。この充填剀は光集合
性局の匷床およびこわさの改善に有甚である。 前述したように、亀叉結合ビヌズを含有するポ
ゞずしお働く光感受性コヌテむング組成物は、(a)
米囜特蚱第3837860号明现曞蚘茉のようにしお補
造された懞垂ゞアゟキノン基含有光可溶化性重合
䜓、(b)米囜特蚱第3778270号明现曞蚘茉のように
懞垂ヒドロキシルたたはアミノ基を有する重合䜓
ずビスアゟニりム塩を混合するこずにより補造さ
れた光枛感性重合䜓、および(c)米囜特蚱第
4271260号明现曞に蚘茉のようなゞヒドロピリゞ
ンを成分ずしお含有する光感受性組成物を䜿甚
しお補造しうる。これら米囜特蚱明现曞はここに
参照ずしお包含されおいる。光溶解性および光枛
感性レゞスト組成物はここに参照ずしお包含され
おいる米囜特蚱第4193797号明现曞第欄第19行
〜第欄第68行に開瀺されおいる。 亀叉結合ビヌズを含有する光重合性コヌテむン
グ組成物は次のようにしお補造するこずができ
る。ビヌズを䞭等床剪断で溶媒の䞀郚に分散させ
それによ぀お存圚しうるすべおのゆるい粒子集塊
をこわす。次いでこの分散液を残䜙の溶媒ず合
し、そしお前蚘および䞋蚘の実斜䟋に蚘茉のその
他の成分を撹拌し぀぀加える。䜿甚される溶媒の
量はある皋床は光重合性コヌテむング組成物のコ
ヌテむング法に䟝存する。 䟋えば前述のようにしおかたたはその他の方法
で補造された光重合性コヌテむング組成物を䟋え
ば10Όの孔サむズのむンラむンin−lineフ
むルタヌを通すこずによ぀お過する。過した
溶液をコヌテむング装眮䟋えばコヌテむング重量
芏制のための゚アナむフを付したものでありうる
スキムコヌタヌ、抌出しダむ、グラビアロヌル、
ワむダ巻きロツドたたは圓業者には既知のその他
のコヌテむング手段にポンプで絊送するこずがで
きる。この光重合性コヌテむング組成物は適圓な
幟䜕孊的関係でコヌテむングナニツトを通過する
フむルムの移動り゚ブに均䞀に適甚するこずがで
きる。コヌテむングされたり゚ブは通垞匷制ドラ
フト加熱空気䟛絊を付したドラむダヌ䞭に送ら
れ、ここでは空気速床、方向および枩床はコヌテ
むング䞭の溶媒を陀去するように制埡されおい
る。この也燥り゚ブを䟋えば適圓なロヌル䞊に巻
き取る。巻き取りの際カバヌシヌトを也燥光重合
性衚面に積局させるこずができる。圓業者に既知
のその他の方法を䜿甚しお也燥光重合性フむルム
を補造できる。 前述したように也燥フむルムホトレゞスト゚レ
メントの補造においおは、剥離性支持䜓䞊の像生
成性光重合性基局が奜たしくは䜿甚される。支持
䜓぀き光重合性基局の残りの衚面は陀去可胜なカ
バヌシヌトで保護するこずができる。あるいはた
た゚レメントがロヌル圢態で保存されおいる堎合
には、基局衚面は支持䜓の隣接する逆衚面で保護
されうる。この光重合性組成物は玄0.0003むンチ
〜0.0008cm〜玄0.01むンチ〜0.025cmたた
はそれ以䞊の也燥コヌテむング厚さで存圚する。
奜たしくは枩床倉化に察しお高床の寞法安定性を
有する適圓な剥離性支持䜓は高分子量重合䜓䟋え
ばポリアミド、ポリオレフむン、ポリ゚ステル、
ビニル重合䜓およびセルロヌス゚ステルよりなる
広範囲の皮皮なフむルムから遞ぶこずができそし
おこれらは0.00025むンチ〜0.0006cm〜0.008
むンチ〜0.02cmたたはそれ以䞊の厚さを有し
うる。剥離性支持䜓を陀去する前に露光を実斜さ
せる堎合には、それは勿論それに照射される掻性
線攟射の実質的割合を透過させなくおはならな
い。剥離性支持䜓が露光の前に陀去される堎合に
は、そのような制限は適甚されない。特に適圓な
支持䜓は玄0.001むンチ〜0.0025cmの厚さを
有する透明ポリ゚チレンテレフタレヌトフむルム
である。 ゚レメントが陀去可胜な保護カバヌシヌトを有
しおおらずそしおロヌル圢態で保存される堎合に
は、奜たしくは剥離性支持䜓の裏偎はそれに薄い
離型䜜甚物質局䟋えばワツクスたたはシリコヌン
を適甚しお光重合性基局ずのブロツク圢成を阻止
させる。あるいはたたコヌテむングされた光重合
性局ぞの接着はコヌテむングすべき支持䜓衚面の
炎凊理たたは攟電凊理によ぀お優先的に䞊昇させ
るこずができる。 䜿甚される堎合の適圓な陀去可胜な保護カバヌ
シヌトは前蚘ず同䞀の高床重合䜓フむルム矀から
遞ぶこずができ、そしおこれは同䞀の広範囲の厚
さを有しうる。0.001むンチ〜0.0025cm厚さ
のポリ゚チレンカバヌシヌトは特に適圓である。
前蚘支持䜓およびカバヌシヌトは光重合性レゞス
ト局に良奜な保護を䞎える。 䞀般に印刷回路の圢成を含む本発明の方法に適
圓な基材は機械的匷床、化孊的抵抗性および良奜
な誘電性を有するものである。すなわち印刷回路
のためのほずんどの板材料は通垞補匷剀を加えた
熱硬化性たたは熱可塑性暹脂である。補匷剀を加
えた熱硬化性暹脂が剛性板のために䞀般に䜿甚さ
れそしお補匷なしの熱可塑性暹脂は可撓性回路板
に通垞䜿甚される。 兞型的板構造は組合せ物䟋えば玙たたは玙−ガ
ラス耇合䜓の䞊のプノヌルたたぱポキシ暹脂
ならびにガラス䞊のポリ゚ステル、゚ポキシ、ポ
リむミド、ポリテトラフルオロ゚チレンたたはガ
ラス䞊のポリスチレンを包含する。ほずんどの堎
合板には電気䌝導性金属の薄い局を被芆させる
が、その金属の䞭では銅が最も䞀般的である。 石版印刷甚プレヌトの補造を包含する本発明の
方法に適圓な基材は、機械的匷床を有しそしお光
感受性局の積局、前蚘局の露光および珟像により
圢成されるその䞊の像圢成された光感受性郚分の
衚面ずは芪氎性たたは芪油性においお異なる衚面
を有しおいるものである。そのような基材は米囜
特蚱第4072528号明现曞に開瀺されおいる。この
目的に察しおは倚くの基材が満足すべきものでは
あるけれども、薄いアノヌド凊理したアルミニり
ムプレヌト䟋えば米囜特蚱第3458311号明现曞に
開瀺のものが特に有甚である。アノヌド凊理およ
びシリケヌト凊理アルミニりムプレヌトもたた有
甚である。 圓業者は積局されるべき印刷回路基材衚面が枅
浄でありか぀倖来性物質の党く存圚しおいないの
が奜たしいこずを認識しおいるであろう。この理
由の故に印刷回路板補造の分野では呚知の数皮の
枅浄化法の䞀぀たたはそれ以䞊により積局の前に
印刷回路基材を枅浄化するこずが埀埀にしお望た
しい。枅浄化の特定のタむプは汚染のタむプ䟋え
ば有機性であるか、粒子状であるかたたは金属性
であるかに䟝存する。そのような方法は溶媒たた
は溶媒゚マルゞペンによる脱脂、機械的スクラビ
ング、アルカリ含浞、酞性化その他およびそれに
぀づくすすぎおよび也燥を包含する。 ゚レメントの補造およびその゚レメントが也燥
ホトレゞストずしお䜿甚される堎合にはこの光重
合性局の印刷回路板ぞの積局の埌、この光重合性
局は適圓な像䟋えば像含有透明画、陜画たたは陰
画たたは適圓なホトマスクを通しお掻性線攟射に
像様露光せしめられる。掻性線攟射源は䞀般に有
効量の玫倖線範囲の攟射を䞎える。適圓な源ずし
おはカヌボンアヌク、氎銀蒞気アヌク、特別の玫
倖郚発光螢光䜓を有する螢光灯、アルゎングロヌ
ランプ、電子フラツシナナニツトおよび写真甚フ
ラツドランプその他があげられる。ある光重合䜓
局の満足すべき耇写に察しお芁求される露光の量
は露光時間、䜿甚される攟射源のタむプ、および
攟射源ず局衚面ずの間の距離の凟数である。䞀般
に暙準の商業的攟射源を䜿甚する堎合には露光時
間は0.5〜10分たたはそれ以䞊の範囲である。 像様露光の埌、光重合局の未露光郚分を液䜓珟
像䟋えば有機重合䜓結合剀成分に察する溶媒たた
は溶媒混合物により陀去する。珟像はいずれかの
䟿利な方法䟋えば泚液、含浞、スプレヌたたはロ
ヌラヌ適甚により実斜されうる。ブラシがけは組
成物の未重合たたは未亀叉結合郚分の陀去を助成
しうる。珟像は枩溶液を䜿甚しお実斜できそしお
時間は光重合性局によ぀お䟋えばその組成、厚さ
その他により倉動する。有甚な珟像範囲は秒〜
25分の範囲でありうる。珟像埌゚レメントを䟋え
ば必芁な堎合にはフアンの前面に眮くこずを含め
お空気䞭で也燥させるこずができる。 光重合性組成物に察する最良の様匏は䟋に説
明されおいる。その堎合、亀叉結合重合䜓ビヌズ
はトリメチロヌルプロパントリアクリレヌトのホ
モ重合䜓である。 有機重合䜓状結合剀の䞀郚をばらばらな実質的
に非膚最性の亀叉結合ビヌズで眮換せしめた本発
明の光重合性組成物は亀叉結合ビヌズを党く含有
しない同様の光重合性組成物に比べお有意に䞀局
迅速に也燥するこずが芋出された。本発明の光重
合性組成物は埓来技術の組成物よりも䞀局速やか
にしお䞀局効率よく也燥フむルタホトレゞストた
たは也燥光重合性゚レメントに調補するこずがで
きる。この也燥ホトレゞストは印刷回路の補造に
䜿甚される。そのようなホトレゞストはより速や
かに凊理するこずができる。゚レメント圢態にお
いおは、この也燥光重合性組成物の局は支持䜓䟋
えばフむルムたたはシヌトず陀去可胜なカバヌシ
ヌトずの間に存圚せしめられる。そのような゚レ
メントは印刷プレヌトの補造に䜿甚される堎合に
は光重合性局に氞久的に接着された支持䜓を有し
うる。この゚レメントを也燥フむルムレゞストず
しお䜿甚する堎合には支持䜓はそれに損傷を䞎え
るこずなく光重合性局から陀去されうる。この光
重合性局は、亀叉結合重合䜓ビヌズが比范的倧量
に存圚しおいるにもかかわらず望たしい性質を保
持しおいる。すなわち本発明の光重合性局の写真
速床、銅ぞの接着、透明さたたは解像性、および
可撓性は保持されおいる。 個々に独立した実質的に非膚最性の亀叉結合ビ
ヌズを含有するこの光重合性コヌテむング組成物
はネガずしお働く系ではあるけれども、前蚘の溶
媒可溶性結合剀および亀叉結合ビヌズに察する同
䞀の臚界的基準が満足される堎合には同様の利点
がポゞずしお働く光感受性系を含有する光感受性
組成物に察しおも適甚される。 ポゞずしお働く光感受性コヌテむング組成物䞭
および也燥フむルム゚レメントずしおの亀叉結合
ビヌズの䜿甚は、その光感受性フむルムが印刷回
路板補造のホトレゞストフむルムずしおの䜿甚に
察しおデザむンされおいる堎合には特に有利であ
る。そのようなフむルムはマむクロ゚レクトロニ
クス適甚に察しお䜿甚されるポゞずしお働くコヌ
テむングよりも䞀般に䞀局厚い。埓぀おこれらの
比范的厚いコヌテむングを適甚しそしお迅速に也
燥させおその際埗られる也燥フむルム゚レメント
䞭に優れた物理的性質を達成しうるこずは有利で
ある。也燥フむルムレゞストずしお特に有甚なポ
ゞずしお働く也燥フむルム凊方の有甚なタむプは
米囜特蚱第4193797号および同第4271260号各明现
曞に蚘茉されおいる。これら米囜特蚱はここに参
照ずしお包含される。 ゞアゟキノン化合物の光可溶化に基くポゞずし
お働くコヌテむング組成物はたた、ここで蚘茉し
た独立した実質的に非膚最性の亀叉結合ビヌズに
関しおもたた有甚である。ゞアゟキノン化合物は
ネガずしお働く光重合性組成物䞭に通垞存圚させ
る゚チレン性䞍飜和化合物の代りに䜿甚されるも
のである。ネガずしお働く組成物䞭で必芁な別個
の光開始剀系は屡々芁求されない。 本発明を以䞋の実斜䟋により説明するがしかし
本発明はこれに限定されるこずを意図するもので
はない。ここに郚およびは重量基準である。重
合䜓の分子量は数平均分子量である。固有粘床は
キダノンプンスケ粘床蚈を䜿甚しお20℃でメチ
レンクロリド50ml䞭重合䜓0.25を含有する溶液
に぀いお枬定される。実斜䟋䞭に蚘茉の固有粘床
は比粘床のれロ濃床ぞの倖挿により枬定される。
比粘床は−n0n0であり、ここには溶液粘床で ありそしおn0は玔溶媒の粘床でありそしお䞡者は
共に25℃でオストワルド粘床蚈ピペツトを䜿甚し
お枬定されたものである。也燥光重合性局の砎断
点䌞長はASTM−D412−75により枬定される。
コヌテむング組成物の詊料を0.008むンチ0.20
mmドクタヌナむフを䜿甚しおフむルム支持䜓䞊
にコヌテむングしそしお48時間宀枩で也燥させ
る。特蚘されおいない限りはこのコヌテむング詊
料を支持䜓から剥離させ、そしお䞀緒に積局しお
箄0.006むンチ玄0.15mmの局厚さを生成させ
る。むンチ×むンチ2.54cm×7.62cmの積
局䜓片を、むンチ分2.54cm分のクロス
ヘツド速床でむンチ2.54cmの初期分離でむ
ンストロン テスタヌ型匏TMのゞペヌ䞭に眮
く。 䟋   ビヌズの補造 500のトリメチロヌルプロパントリアクリ
レヌト、193ppmのヒドロキノンおよび130ppm
の−メトキシプノヌルを含有するビヌ
カヌに、5.7のベンゟむルパヌオキシドを加
えた。この混合物をベンゟむルパヌオキシドが
溶解するたで宀枩で撹拌しそしお溶解完了埌
時間以内にこの溶液を䜿甚した。ステンレスス
チヌルビヌカヌ䞭に2.5のナトリりムゞオク
チルスルホサクシネヌトおよび4.2の衚面掻
性剀「ホスタポンHostapon 」THC、ア
メリカン・ヘキスト瀟補品2.5のオレむル
メチルタりリドのナトリりム塩含有の氎1200
ml䞭溶液を補造した。この溶液を䜎速でV2銬
力゚ツペンバツハミキサヌを䜿甚しお撹拌し、
この間パヌオキシド単量䜓溶液を加えた。ミ
キサヌの入力電圧を玄70ボルトたで䞊昇させる
こずによ぀お、ミキサヌの速床を埐埐に䞊昇さ
せた玄10分にわたり。速床をこの点に玄
時間保持した。次いでクリヌム状癜色乳濁液を
含有するステンレススチヌルの猶を芆いそしお
60℃の氎济䞭に72時間保持させた。重合乳濁液
を冷华させそしお遠心した。䞊柄みを捚おそし
お重合䜓ケヌキを玄の氎ず撹拌しお再び遠
心した。氎ずの撹拌および遠心を曎に回くり
かえしそしお重合䜓ビヌズのケヌキを颚也させ
た。この也燥重合䜓は氎たたは有機溶媒䟋えば
メチレンクロリド、アセトンたたぱタノヌル
䞭に䜎速の家庭甚タむプブレンダヌホモゲナむ
ザヌの䜿甚によ぀お容易に再分散された。クヌ
ルタヌカりンタヌクヌルタヌ・゚レクトロニ
クス瀟補品を䜿甚しお枬定された数基準の平
均粒子サむズは0.66Όでありそしお平均容量
粒子サむズは1.2Όであ぀た。  ホトレゞスト甚コヌテむング分散液の補造 前蚘のようにしお補造された也燥ビヌズ26.8
郚をメチレンクロリド66郚ず䞀緒に撹拌するこ
ずによ぀おメチレンクロリド䞭のビヌズのスト
ツク分散液を補造した。この分散液をナむロン
プルトフむルタヌパツドを通しお過した。
実質的に固䜓物質は䜕も保持されなか぀た。
1.25の固有粘床を有するポリメチルメタクリレ
ヌト5.5郚ず0.5の固有粘床を有するポリメチル
メタクリレヌト1.2郚ずをこの懞濁液に溶解さ
せた。重合䜓を加えお分散液の安定性を䞊昇さ
せたがしかしこれは䞍芁であるこずが芋出され
た。 衚蚘茉の成分を含有するコヌテむング組成
物を補造した。亀叉結合ビヌズを含有しないコ
ヌテむング分散液は察照コントロヌルず
しお䜿甚された。コヌテむング分散液および
においおは結合剀およびビヌズの合蚈重量の
それぞれ40および20が亀叉結合ビヌズであ
぀た。これは成分(a)、(b)、(c)および(d)の合蚈重
量基準でそれぞれ玄24.24および玄12.12に
盞圓する。
【衚】 アニリン
【衚】 この溶液をそれぞれ抌出しコヌテむングしお
50.8Όの也燥コヌテむング厚さを生成させた。
詊料は4.57分でコヌテむングした。ポンプ速
床は也燥コヌテむング厚さが50.8Όずなるたで
各堎合に調敎された。次いでポンプ速床を6.10、
7.62、9.14および10.67分で同䞀コヌテむング
厚さずするように蚈算した。以埌の厚さの枬定は
䞀定のコヌテむング厚さを確認した。コヌテむン
グ埌、コヌテむングされたり゚ブを−チダンバ
ヌドラむダヌ䞭に導いた。䞀連の個のチダンバ
ヌ䞭の枩床は38゜、66゜および121℃に保持されお
いた。この個の垯域䞭での空気速床および枩床
は也燥の党過皋にわた぀お䞀定に保持されおい
た。ドラむダヌから出お行く際、コヌテむングさ
れたり゚ブを25Ό厚さのポリ゚チレンフむルム
で積局させそしお巻き䞊げた。䞎えられたコヌテ
むング分散液からのコヌテむングはすべお連続的
に同䞀コア䞊に巻き䞊げた。最倧コヌテむング
速床における最埌のコヌテむングのすぐ埌に詊
料をず぀た。各コヌテむングの〜10詊料を前
も぀おアルミニりム箔で芆぀たコア䞊に巻き、そ
しお詊料を巻いた埌、アルミニりム箔を倖偎のた
わりに巻いおすべおの溶媒蒞気の散逞を阻止し
た。コヌテむングされた材料詊料を密閉容量䞭で
加熱しそしお埗られた蒞気を皮の存圚する溶媒
すなわちメチレンクロリドおよび−゚トキシ゚
タノヌルに関しお赀倖線吞収により分析するこず
に基く方法によ぀お、詊料の残存溶媒を分析し
た。次いで各溶媒の残存量を蚈算した。これは
衚に瀺されおいる。
【衚】 衚から任意の蚘茉のコヌテむング速床におけ
るコヌテむング分散液から埗られた残存溶媒量
ずコヌテむング分散液からのそれずの間には顕
著な差が存圚するこずが認められる。4.57分
でのコヌテむング分散液から埗られる残存溶媒
量は、コヌテむング分散液を10.67分すな
わち倍以䞊速くコヌテむングした堎合に埗られ
るものよりも倧である。重合䜓状結合剀およびビ
ヌズの合蚈重量の40が亀叉結合重合䜓ビヌズで
あるコヌテむング分散液は合蚈残存溶媒を玄
0.4以䞋に枛少させる皋床たで也燥させるため
には、コヌテむング分散液察照の半分以䞋
の時間しか必芁ずしなか぀た。重合䜓状結合剀ず
ビヌズずの合蚈重量の20が亀叉結合重合䜓ビヌ
ズであるコヌテむング分散液はコヌテむング分
散液ずコヌテむング分散液ずの䞭間の結果を
䞎えた。コヌテむング分散液からのコヌテむン
グは4.57分でコヌテむングした堎合の0.3
m2から10.67分でコヌテむングした堎合の
20m2の範囲で泡欠陥bubble defectsを含
有しおいた。泡欠陥はコヌテむング分散液およ
びからのコヌテむング䞭にはみられなか぀た。 それぞれ4.57分で補造されたコヌテむング
分散液、およびからの詊料を也燥フむルム
ホトレゞストずしお詊隓した。也燥フむルムの銅
ぞの積局は220〓104.4℃で実斜された。フむ
ルム可撓性、写真速床、画像品質、FeCl3による
゚ツチング結果、および銅め぀きは皮のホトレ
ゞストそれぞれに察しお実質的に同䞀であ぀た。
コヌテむング分散液およびから補造されたホ
トレゞストに察しお芁求される珟像時間は次の通
りであ぀た。 時間秒 コヌテむング分散液 105 コヌテむング分散液 68 珟像は、也燥フむルム積局䜓を保持させそしお
メチルクロロホルム溶媒をポンプでその䞭のスプ
レヌノズルに汲み入れおかなり高速床で板ボヌ
ドパタヌンに溶媒を送り出すスプレヌプロセサ
ヌ䞭で実斜された。也燥コヌテむング、およ
びの砎断点䌞長は次の通りであ぀た。 砎断点䌞長  360  670  437 䟋   方法 亀叉結合重合䜓ビヌズの衚面゚ステル基を加
氎分解凊理しおカルボキシル基ずした。䟋蚘
茉のようにしお補造されたビヌズの40.0区分
量を、(H)宀枩においお時間氎性氎酞化ナ
トリりム48.4ず、(I)54〜57℃においお20分間
10氎性氎酞化ナトリりム33.3ず、(J)57〜62
℃においお40分間氎性氎酞化ナトリりム
48.4ず、(K)60〜65℃においお50分間氎性
氎酞化ナトリりム48.4ず、そしお(L)60〜70℃
においお玄時間氎性氎酞化ナトリりム
48.4ずそれぞれ共に撹拌した。凊理埌、各ス
ラリヌを玄100mlの氷冷氎に泚ぎそしお遠心し
た。䞊柄液の粘床をオスワルドピペツトを䜿甚
しお枬定した。粘床は同様に垌釈された氎酞化
ナトリりムの粘床1.2cps以䞋ず有意に異な
るものではなか぀たがただし詊料は13.4cps
の粘床を有しおいた。このこずは詊料〜で
は加氎分解は衚面に限定されおいたがしかし詊
料では加氎分解は曎に進んで溶液䞭に重合䜓
ポリアクリル酞を生成したこずを瀺しおい
る。遠心したビヌズを120mlの氎で撹拌しそし
お再遠心するこずにより回掗぀た。次いで掗
぀た詊料を也燥させた。詊料䞭のカルボキシル
基の存圚は0.1の也燥粉末をmlたたはml
の氎ず撹拌し、そしお次いで氎80ml䞭の0.1
のメチレンブルヌおよび20mlのPHのバツフア
ヌ溶液10.0mlを加えるこずにより瀺された。こ
の混合物を遠心し、䞊柄みを捚お、そしお沈殿
を35mlの氎ず撹拌しそしお再遠心するこずによ
぀お回掗぀た。次いで沈殿を玙䞊で也燥さ
せた。青色の深さは〜の順に䞊昇した。詊
料は淡青色でありそしお詊料は非垞に暗色
であ぀た。  本発明のビヌズの補造および䜿甚 前蚘詊料のようにしお䜆し500のバツチ
で詊料を補造した。375mlの氎䞭氎酞化ナトリ
りム41.6の溶液を70℃に加熱し、そしお䟋
蚘茉の500の重合䜓ビヌズを撹拌し぀぀加え
た。枩床を埗られた53℃から60℃に分間かけ
お䞊昇させた。そしお圢成されたスラリヌを50
分間60〜65℃で撹拌した。このスラリヌを1500
mlの氷氎に加え、そしお次いで遠心させた。䞊
柄みの粘床は同様に垌釈された氎性氎酞化ナト
リりムのそれず有意には異぀おいなか぀た。沈
殿を玄の氎ず撹拌し、そしおPHを2.5に調
敎しお衚面にカルボキシル基を生成させた。こ
のスラリヌを曎に玄に垌釈しそしお遠心さ
せた。ビヌズを玄に垌釈しそしお再遠心す
るこずにより回掗い、そしお最埌に颚也させ
た。収量は玄480であ぀た。 䟋のコヌテむング分散液におけるような察
照組成物ず、䟋のコヌテむング分散液ず同様
であるがその䟋における重合䜓ビヌズの代りに重
合䜓結合剀ずビヌズずの合蚈重量のが前蚘の
ようにしお補造されたカルボキシル加氎分解
衚面を有するビヌズであるような組成物ずの也燥
速床を比范した。その結果は䟋のそれず同様で
あ぀た。亀叉結合ビヌズ含有組成物は、9.14
分でコヌテむングされた堎合4.57分でコヌテ
むングされた察照ず倧玄同量の残存溶媒を䞎え
る。すなわちそれは玄倍迅速に也燥する。この
組成物をたた也燥フむルムホトレゞストずしお䜿
甚された堎合の察照コヌテむングずも比范した。
写真速床および゚ツチングおよびめ぀き品質およ
び䟋蚘茉の完成回路からの光重合䜓局の剥離に
おいお同様の結果が埗られた。このラボlab
コヌテむングの砎断点䌞長は570であ぀た。 䟋  次のようにしおコヌテむング組成物を補造し
た。 郚 亀叉結合ビヌズ䟋参照 55.52 トリメチロヌルプロパントリアクリレヌト 13.10 テトラ゚チレングリコヌルゞアクリレヌト 13.10 高分子量ポリメチルメタクリレヌト固有粘床
2.7 6.620 ミヒラヌのケトン 0.106 ベンゟプノン 3.517 ビス−−クロロプニル−−ビス
−プニルむミダゟヌル 2.193 トリス−−ゞ゚チルアミノ−−トリル
メタン 0.132 4′4″−メチリゞントリス−ゞメ
チルアニリン 0.088 ビクトリアグリヌンC.I.ピグメントグリヌン
18 0.031 モナストラルグリヌンピグメントC.I.ピグメ
ントグリヌン 0.098 オルト−およびパラヌトル゚ンスルホンアミド
混合物 5.275 ベンゟトリアゟヌル 0.176 −トル゚ンスルホン酞 0.044 蚈 100000 溶媒CH2Cl2 196.2 ビヌズはメチレンクロリド䞭の28.9スラリヌ
ずしお、そしおポリメチルメタクリレヌトは
溶液ずしお加えられた。これら組成物を合しす
でに芁求量の溶媒を含有そしお残存成分を加え
る。このコヌテむング組成物は33.8の掻性成分
を含有しおいる。 䟋のコヌテむング分散液ず同様にしお察照
コヌテむング組成物を補造したがただしその溶媒
はメチレンクロリド−゚トキシ゚タノヌル混
合物である代りに20732の玔メチレンクロリド
であ぀お33.8掻性成分の溶液を生成させた。也
燥速床を䟋におけるようにしお䟋におけるず
同䞀のコヌタヌおよび段階ドラむダヌを䜿甚し
そしお50.8Ό厚さにコヌテむングしお比范した。
ビヌズ含有組成物からの残存溶媒量は、10.67
分でコヌテむングした堎合には4.57分で
コヌテむングされた察照よりも有意に䞀局䜎くそ
しおこれは察照の20に比べお0.10である。こ
の也燥コヌテむングを銅板に積局させそしお䟋
蚘茉のように凊理しお板䞊に銅回路を生成させ
た。この也燥コヌテむング組成物の砎断点䌞長は
700である。 䟋  䟋に蚘茉の亀叉結合ビヌズの補造をくりかえ
したがただし500のトリメチルプロパントリア
クリレヌトの代りに第の実隓(F)では500のト
リ゚チレングリコヌルゞアクリレヌトが䜿甚され
そしお他の実隓(G)では250のトリメチロヌルプ
ロパントリアクリレヌトず250のトリ゚チレン
グリコヌルゞアクリレヌトずの混合物が䜿甚され
た。コヌテむング組成物は玄のコヌテむング分
散液ず同様にしお補造されるがただし第の実
隓においおは䜿甚される亀叉結合ビヌズはコヌテ
むング分散液のものでありそしお第の実隓に
おいおはそれはコヌテむング分散液のものであ
る。䟋のコヌテむング分散液ずず同様のコヌ
テむング組成物を察照ずしおコヌテむングする。
その結果は前蚘のものず同様であるがビヌズ(F)た
たは(G)を含有するコヌテむング分散液に察する
1067分における也燥時間は4.57分にお
ける玄0.4残存溶媒のコヌテむング分散液に
察するものず倧玄同䞀である。すなわち也燥は
0.4溶媒氎準を達成するに倍早い。これら組
成物を前蚘のようにしお銅に積局させそしお適圓
なホトレゞスト画像が露光および珟像埌に銅䞊に
埗られる。およびに盞圓する也燥コヌテむン
グ組成物の砎断点䌞長は400以䞊である。 䟋  次のようにしお電気印刷回路を補造する。米囜
特蚱第3837860号明现曞に蚘茉のようにしお補造
された−ゞアゟ−−ナフトヌル−−スルホ
ニルクロリド12郚を20郚のゞオキサンに加え、そ
しおこの混合物をメチルメタクリレヌトヒドロ
キシメチルメタクリレヌト9010共重合䜓20
郚を含有する50郚のゞオキサン溶液に埐々に加え
る。炭酞ナトリりム溶液10郚の添加はこの溶
液を玫色にする。これによ぀お懞垂ゞアゟキむノ
ン基を含有する共重合䜓が圢成される。この共重
合䜓を氎で沈殿させ、集めそしお䟋蚘茉の亀叉
結合重合䜓ビヌズ9.3郚を分散含有するゞオキサ
ン䞭に溶解させる。このコヌテむング組成物は玄
20.0の固䜓分をゞオキサン䞭に含有しおいる。
そしおこれを4.57分で移動するポリ゚チレン
テレフタレヌトり゚ブ䞊に䟋蚘茉のようにしお
コヌテむングし、そしお也燥させる。也燥はビヌ
ズの存圚なしの20ゞアゟキノン重合䜓含有の同
様のコヌテむング組成物のそれより有意に早い。
その支持フむルムず共に亀叉結合重合䜓ビヌズを
含有する也燥コヌテむング組成物詊料を光感受性
局の衚面を銅衚面に接觊状態ずしお銅被芆゚ポキ
シフアむバヌグラス 板の枅浄な片に積局させ
る。積局は120℃のゎム被芆ロヌラヌの助けをか
りお実斜される。埗られたレゞスト被芆゚レメン
トを、その䞊に電気回路パタヌンの陜画像を有す
る透明画を通しお16むンチ40.64cmの距離で
500ワツトの氎銀灯光源を䜿甚しお分間像様露
光させる。露光埌、ポリ゚チレンテレフタレヌト
支持䜓フむルムをレゞストから剥離する。次いで
氎性トリナトリりム燐酞で露光郚分を掗去す
るこずによ぀おこの板を珟像させる。この段階は
露光透明画の䞍透明郚分のパタヌンでレゞストを
銅䞊に残し、かくしお陜画像を䞎える。露光透明
画の透明郚分に盞圓する可溶性レゞストの掗去に
より露光された同郚分はこの板を45゜ボヌメの塩
化第鉄溶液䞭に眮くこずにより゚ポキシフアむ
バヌグラス のずころたで゚ツチングする。これ
はフアむバヌグラス 板䞊にレゞスト被芆銅導䜓
パタヌンを残す。最埌にこのレゞストを垂堎的に
入手可胜なメタノヌルゞクロロメタン10
90の剥離ストリツピング剀を䜿甚しお銅回
路から陀去する。 察照䟋  本䟋は察照䟋である。次のようにしお皮のコ
ヌテむング組成物を補造する。
【衚】
【衚】 䟋に蚘茉のようにしそしおたた4.0分お
よび12.2分においおコヌテむングを補造し
た。12.2分におけるコヌテむング分散液の
総残存溶媒は4.0分でのコヌテむング分散液
のそれ0.3よりも曎に䜎い。すなわちコ
ヌテむング分散液を0.3の残存溶媒氎準たで
也燥させるに必芁な時間はコヌテむング分散液
を同䞀氎準たで也燥させるに芁する時間の1/3以
䞋である。䞡方のコヌテむングを銅に積局させ、
透明画を通しお2000ワツトバヌキヌ−アスコヌル
氎銀キセノンアヌクに30秒間露光させ、䟋蚘茉
のスプレヌプロセツサヌ䞭で30秒間43℃においお
氎性炭酞ナトリりムで珟像させ、掗いそしお
也燥しお銅衚面䞊にホトレゞスト像を生成させ
た。也燥コヌテむング組成物の砎断点䌞長はに
察しおは245でありそしおに察しおは10で
あ぀た〔の局厚さは0.12むンチ0.30mmであ
぀た〕。に察するこの䜎い䌞長倀は脆いコヌテ
むングであるこずを瀺す。この察照は比范的䜎分
子量の重合䜓状結合剀は玄85の亀叉結合ビヌズ
により眮換できないこずを瀺す。 察照䟋  皮のコヌテむング分散液を補造した。皮の
コヌテむング分散液は第蚘茉のコヌテむング分
散液およびであ぀た。第のコヌテむング分
散液は、コヌテむング分散液の補造ず同䞀の方
法で補造されたがただし玄2.0Ό平均粒子サむズ
のポリ゚チレンビヌズを䜿甚したコヌテむング分
散液であ぀た。このコヌテむングは非垞に脆
いこずが芳察された。0.006むンチ0.15mmた
たは0.02むンチ0.30mmの積局䜓は察照䟋の
コヌテむングず同様に砎損なしに取扱うこずは
非垞に困難であ぀た。

Claims (1)

  1. 【特蚱請求の範囲】  䞋蚘の、 (a) 成分(a)〜(d)の重量基準で〜45重量の、少
    なくずも個の末端゚チレン基を有する、遊離
    ラゞカル開始連鎖延長付加重合により高分子重
    合䜓を圢成しうる少なくずも皮の非ガス状゚
    チレン性䞍飜和化合物、 (b) 成分(a)〜(d)の重量基準で0.05〜10重量の、
    䞍飜和化合物の重合を開始させる掻性線照射に
    より掻性化可胜な有機照射感受性遊離ラゞカル
    生成系、 (c) 少なくずも皮の有機重合䜓結合剀、 (d) 0.02〜4.0Ό範囲の平均盎埄を有しそしおそ
    の数の少なくずも90が10Όより小さく、そ
    しお有機重合䜓結合剀成分に察する溶媒および
    重合䜓ビヌズの補造に䜿甚される単量䜓に察す
    る溶媒に䞍溶性で䞔぀非凝集性である、ばらば
    らで実質的に非膚最性の亀叉結合重合䜓ビヌ
    ズ、ここで該亀叉結合非膚最性重合䜓ビヌズ
    は、トリアクリレヌト、テトラアクリレヌト、
    トリメタクリレヌトたたはテトラメタクリレヌ
    ト単量䜓のホモ重合䜓前蚘トリアクリレヌ
    ト、テトラアクリレヌト、トリメタクリレヌト
    およびテトラメタクリレヌト単量䜓の皮以䞊
    の共重合䜓前蚘トリアクリレヌト、テトラア
    クリレヌト、トリメタクリレヌトおよびテトラ
    メタクリレヌト単量䜓の少なくずも皮ず25重
    量たでの個の末端゚チレン基含有単量䜓の
    少なくずも皮ずの共重合䜓ならびに前蚘ト
    リアクリレヌト、テトラアクリレヌト、トリメ
    タクリレヌトおよびテトラメタクリレヌト単量
    䜓の少なくずも皮ず75重量たでの前蚘トリ
    アクリレヌトたたはトリメタクリレヌト単量䜓
    ずは異぀た個の末端゚チレン基たたは個の
    末端゚チレン基を含有する単量䜓の少なくずも
    皮の共重合䜓よりなる矀から遞ばれたもの
    である、および (e) 成分(a)、(b)および(c)に察する少なくずも皮
    の溶媒 より本質的になり、そしお成分(a)〜(d)の党重量基
    準で成分(c)および(d)の組合せの合蚈重量が40〜
    70重量であり、成分(d)が成分(c)および(d)の重量
    基準で15〜90重量量で存圚しおいるこずを特城
    ずする、光感受性コヌテむング組成物。  亀叉結合重合䜓ビヌズがトリメチロヌルプロ
    パントリアクリレヌトビヌズである前蚘特蚱請求
    の範囲第項蚘茉の光感受性コヌテむング組成
    物。  亀叉結合重合䜓ビヌズがその衚面を加氎分解
    したものである前蚘特蚱請求の範囲第項蚘茉の
    光感受性コヌテむング組成物。  加氎分解衚面が酞性基を含有しおいる前蚘特
    蚱請求の範囲第項蚘茉の光感受性コヌテむング
    組成物。  ビヌズ衚面を氎酞化ナトリりムたたは氎酞化
    カリりムで凊理されおいる前蚘特蚱請求の範囲第
    項蚘茉の光感受性コヌテむング組成物。  有機重合䜓結合剀が0.5〜3.0の範囲の固有粘
    床を有する少なくずも皮のポリメチルメタクリ
    レヌト重合䜓である前蚘特蚱請求の範囲第項蚘
    茉の光感受性コヌテむング組成物。  結合剀(c)が氎性可溶性結合剀である前蚘特蚱
    請求の範囲第項蚘茉の光感受性コヌテむング組
    成物。  結合剀に察する溶媒が有機溶媒である前蚘特
    蚱請求の範囲第項蚘茉の光感受性コヌテむング
    組成物。  結合剀に察する有機溶媒がメチレンクロリ
    ド、−゚トキシ゚タノヌル、メタノヌルたたは
    それらの組合せよりなる矀から遞ばれる前蚘特蚱
    請求の範囲第項蚘茉の光感受性コヌテむング組
    成物。  () 基材䞊に (a) 成分(a)〜(d)の重量基準で〜45重量の、
    少なくずも個の末端゚チレン基を有する、
    遊離ラゞカル開始連鎖延長付加重合により高
    分子重合䜓を圢成しうる少なくずも皮の非
    ガス状゚チレン性䞍飜和化合物、 (b) 成分(a)〜(d)の重量基準で0.05〜10重量
    の、䞍飜和化合物の重合を開始させる掻性線
    照射により掻性化可胜な有機照射感受性遊離
    ラゞカル生成系、 (c) 少なくずも皮の有機重合䜓結合剀、 (d) 0.02〜4.0Ό範囲の平均盎埄を有しそしお
    その数の少なくずも90が10Όより小さ
    く、そしお有機重合䜓結合剀成分に察する溶
    媒および重合䜓ビヌズの補造に䜿甚される単
    量䜓に察する溶媒に䞍溶性で䞔぀非凝集性で
    ある、ばらばらで実質的に非膚最性の亀叉結
    合重合䜓ビヌズ、ここで該亀叉結合非膚最性
    重合䜓ビヌズは、トリアクリレヌト、テトラ
    アクリレヌト、トリメタクリレヌトたたはテ
    トラメタクリレヌト単量䜓のホモ重合䜓前
    蚘トリアクリレヌト、テトラアクリレヌト、
    トリメタクリレヌトおよびテトラメタクリレ
    ヌト単量䜓の皮以䞊の共重合䜓前蚘トリ
    アクリレヌト、テトラアクリレヌト、トリメ
    タクリレヌトおよびテトラメタクリレヌト単
    量䜓の少なくずも皮ず25重量たでの個
    の末端゚チレン基含有単量䜓の少なくずも
    皮ずの共重合䜓ならびに前蚘トリアクリレ
    ヌト、テトラアクリレヌト、トリメタクリレ
    ヌトおよびテトラメタクリレヌトの少なくず
    も皮ず75重量たでの前蚘トリアクリレヌ
    トたたはトリメタクリレヌト単量䜓ずは異぀
    た個の末端゚チレン基たたは個の末端゚
    チレン基を含有する単量䜓の少なくずも皮
    の共重合䜓よりなる矀から遞ばれたもので
    ある、および (e) 成分(a)、(b)および(c)に察する少なくずも
    皮の溶媒 より本質的になり、そしお成分(a)〜(d)の党重量
    基準で成分(c)および(d)の組合せの合蚈重量が
    40〜70重量であり、成分(d)が成分(c)および(d)
    の重量基準で15〜90重量量で存圚しおいる光
    感受性コヌテむング組成物より本質的になる光
    重合性也燥フむルムの衚面を適甚し、次いで任
    意の順序で () この也燥フむルムを掻性線照射に像様露光
    させお像を圢成させるかたたは () 機械的剥離たたは液䜓溶解によ぀おフむル
    ム衚面から支持䜓を陀去し次いで () 露光埌にもただ可胜性に留た぀おいるフむ
    ルム郚分掗去しお基材䞊にレゞスト像を生成さ
    せる こずからなる、基材䞊にレゞスト像を圢成させる
    方法。  レゞスト像により保護されおいない基材衚
    面が゚ツチングたたはめ぀きによ぀お化孊的に倉
    性される前蚘特蚱請求の範囲第項蚘茉の方
    法。  () 基材䞊に、 (a) 少なくずも皮の光可溶化性物質ず(c)少な
    くずも皮の有機重合䜓結合剀〔成分(a)ず(c)
    ずは成分(a)および(c)の合蚈重量基準でそれぞ
    れ50〜95重量および〜50重量たで圚す
    る〕の反応生成物、 (b) 組成物の党重量基準で〜10重量で掻性
    線照射により掻性化可胜な照射感受性化合物
    たたは系、および (d) 0.02〜4.0Ό範囲の平均盎埄を有しそしお
    そのビヌズ数の少なくずも90が10Όより
    小さく、そしお有機重合䜓結合剀成分に察す
    る溶媒および前蚘重合䜓ビヌズの補造に䜿甚
    される単量䜓に察する溶媒に䞍溶性で䞔぀凝
    集性である、ばらばらで実質的に非膚最性の
    亀叉結合ビヌズ、ここで該亀叉結合非膚最性
    重合䜓ビヌズは、トリアクリレヌト、テトラ
    アクリレヌト、トリメタクリレヌトたたはテ
    トラメタクリレヌト単量䜓のホモ重合䜓前
    蚘トリアクリレヌト、テトラアクリレヌト、
    トリメタクリレヌトおよびテトラメタクリレ
    ヌト単量䜓の皮以䞊の共重合䜓前蚘トリ
    アクリレヌト、テトラアクリレヌト、トリメ
    タクリレヌトおよびテトラメタクリレヌト単
    量䜓の少なくずも皮ず25重量たでの個
    の末端゚チレン基含有単量䜓の少なくずも
    皮ずの共重合䜓ならびに前蚘トリアクリレ
    ヌト、テトラアクリレヌト、トリメタクリレ
    ヌトおよびテトラメタクリレヌトの少なくず
    も皮ず75重量たでの前蚘トリアクリレヌ
    トたたはトリメタクリレヌト単量䜓ずは異぀
    た個の末端゚チレン基たたは個の末端゚
    チレン基を含有する単量䜓の少なくずも皮
    の共重合䜓よりなる矀から遞ばれたもので
    ある より本質的になり、そしお成分(d)の重量が組成
    物の党重量基準で20〜65重量である、陀去可
    胜的に結合した也燥したポゞずしお働く組成物
    の局を含む支持䜓からなるポゞずしお働く光感
    受性゚レメントの衚面を適甚し、 () ポゞずしお働く゚レメントず基材の間に匷
    固な結合を圢成させ、次いで任意の順序で䞋蚘
    すなわち () このポゞずしお働く゚レメントを掻性線照
    射に像様露光させお像を圢成させ、 () 機械的剥離たたは液䜓溶解によ぀おポゞず
    しお働く局の衚面から支持䜓を陀去し、次いで () 露光埌にもただ可溶性に留た぀おいるポゞ
    ずしお働く局の郚分を掗去しお基材䞊にポゞの
    レゞスト像を生成させる こずからなる、基材䞊にポゞレゞスト像を圢成さ
    せる方法。  レゞスト像により保護されおいない基材衚
    面が゚ツチングたたはめ぀きによ぀お化孊的に倉
    性された前蚘特蚱請求の範囲第項蚘茉の方
    法。
JP6927783A 1982-04-22 1983-04-21 亀叉結合ビ−ズ含有光感受性コ−テむング Granted JPS58190945A (ja)

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