JPH0143942B2 - - Google Patents

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JPH0143942B2
JPH0143942B2 JP56081815A JP8181581A JPH0143942B2 JP H0143942 B2 JPH0143942 B2 JP H0143942B2 JP 56081815 A JP56081815 A JP 56081815A JP 8181581 A JP8181581 A JP 8181581A JP H0143942 B2 JPH0143942 B2 JP H0143942B2
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liquid
photosensitive layer
lamination
layer
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JP56081815A
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Baanaado Kooen Aburahamu
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EI Du Pont de Nemours and Co
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Publication of JPH0143942B2 publication Critical patent/JPH0143942B2/ja
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Description

【発明の詳现な説明】
本発明は基質ぞのフむルム圢成性熱可塑性重合
䜓の積局方法に関する。本発明は特に印刷回路基
質ぞの光感受性局の積局方法に関する。 通垞のホトレゞスト゚レメントからの印刷回路
板の補造においおは、基質板に゚レメントの光感
受性局を前蚘局がそれに匷固に吞蔵たたはその他
の盞䞍連続物䟋えば汚染された空気たたは捕捉空
気なしに接着されるような方法で積局させるこず
が必芁である。曎に、倚くの補造状況においおは
たた、瞬間的に匷い接着結合を生成させお、以埌
の操䜜が先に進行しうるようにするのが望たし
い。 米囜特蚱第3547730号明现曞は局および基質を
加熱されたスプリング負荷積局ロヌルのニツプに
通すこずによりホトレゞスト局を基質に積局させ
るこずを開瀺しおいる。このホトレゞスト局およ
びたたは基質は積局段階の前に予熱するこずが
できる。この加熱の目的は、ロヌルの圧力䞋に局
を基質に匷制的に緊密に接着状態ずさせそれによ
぀お局に以埌のホトレゞスト凊理段階䟋えば溶媒
珟像および基質の゚ツチングたたはめ぀きに耐え
るに充分な基質に察する接着を達成せしめるこず
である。 米囜特蚱第3629036号明现曞はホトレゞスト溶
液を䜿甚しお積局の前にホトレゞスト局で基質を
コヌテむングするこずを開瀺しおいる。このコヌ
テむング溶液はその意図するずころは、積局のた
めの熱を必芁ずするこずなしに充分な接着を埗る
のを可胜ならしめるこずである。このコヌテむン
グ溶液は基質に察しおりむツクwicksスする
こずにより適甚される。 埓来技術積局法は倚くの甚途に察しおは満足な
ものではあるけれども、特に非垞に高い綿密床を
有する印刷回路板が成圢される堎合には曎に䞀局
正確なそしお均䞀な積局法に察する芁求が存圚す
る。 埓぀お、本発明は熱可塑性重合䜓そしお特に光
感受性局の再珟性ある均䞀積局に察する芁求を満
足する方法に関するものであり、これは加圧手段
によ぀お非孔性基質衚面に支持䜓぀き光感受性局
を積局する方法は連続的な次の段階すなわち (a) 基質衚面を均䞀な氎フむルム詊隓により決定
したように枅浄化し、 (b) 基質の枅浄化埌玄分以内で䞔぀積局の盎前
に液䜓の薄局を適甚しお基質衚面ず光感受性局
ずの間に界面を生成させ、そしお (c) 積局の間に光感受性局䞭ぞの吞収によ぀お界
面からその薄局を陀去するこずからなる。 本発明のその他の利点および詳现は添付図面を
参照するこずによ぀お明癜ずなるであろう。この
図面は連続積局法における本発明の工皋の奜たし
い応甚を暡匏的に説明するものである。 本発明の䞻芁目的は、非垞に良奜な接着を埗る
こずのみならず、非垞に迅速に、すなわち玄秒
そしお奜たしくは曎にそれ以䞋のわずかな積局の
間のニツプ接觊を䜿甚しおそのような接着を埗る
こずである。この目的は、(1)たず衚面にたず薄い
局が生成されそしお(2)第䞀矩的には光重合䜓䞭ぞ
の吞収によ぀おそれが衚面からほずんど瞬間的に
眮換されるずいう事実によ぀お達成される。薄い
フむルム圢成のためにより揮発性の液䜓が䜿甚さ
れる堎合そしお特に高い積局枩床が䜿甚される堎
合には、この薄いフむルムは小皋床は蒞発によ぀
おも陀去されうる。いずれの堎合にも、基質衚面
からのこの薄局の迅速な眮換はそれが衚面䞊での
接着を阻害しえないずいうこずを確実ならしめ
る。 本発明の実斜に圓぀おは、基質衚面の凊理に䜿
甚される液䜓は、積局の盎前に薄いフむルムずし
お適甚される。これら液䜓は別個の段階で適甚す
るこずができるし、たたは基質衚面を機械的たた
は化孊的に枅浄化し、堎合によりすすぎそしお過
剰の液䜓を陀去しお、積局甚基質衚面䞊に薄い液
䜓局を生成させるに充分な液䜓を残留させる予備
積局―枅浄化操䜜の䞀䜓的郚分ずしお適甚するこ
ずができる。 本発明に有甚な液䜓は積局される熱可塑性重合
䜓に察する溶媒たたは非溶媒でありうる。有甚で
あるためにはこの液䜓はたたフむルムによに吞収
されうるかたたは重合䜓フむルムを通しお拡散し
うるものでなくおはならない。本発明に有甚な非
溶媒液䜓はホトレゞスト物質のある成分を溶解さ
せるものでありうるけれども、この液䜓は積局条
件䞋にはホトレゞスト䞋の圢成に察しお本質的な
成分すなわち結合剀、単量䜓および開始剀を溶解
しえないものでなくおはならない。 吞収性液䜓の適正な遞択は熱可塑性局を非孔性
基質ずの間に瞬間的で䞔぀匷い結合を生成させる
ために本質的である。その理由は界面に残圚する
すべおの液䜓は離型レリヌス局ずしお䜜甚し
そしお実質的に結合を匱化させるからである。こ
の局の非性基質ぞの積局埌〜分奜たしくは
〜30秒以内にフむルム支持䜓が光感受性熱可
塑性局から陀去される高生産性たたはオンラむン
過皋においおはこの接着は特に重芁である。奜た
しくはこの液䜓は迅速に拡散し、気化したたは局
䞭に吞収されるものであるべきである。そのよう
な液䜓は熱可塑性局に察しお溶媒である必芁はな
く、そしお事実、溶媒は䞍利でありうる。その理
由はそれらは界面においお溶媒和し、軟化し、歪
みを圢成させたたは濃瞮しおその液䜓が界面から
拡散し去぀た堎合におけるよりも䞀局匱い結合を
生成させる傟向があるからである。 適圓な非溶媒液䜓ずしおは氎、フルオロカヌボ
ン、アルコヌル、アルコキシアルカノヌル䟋えば
―゚トキシ゚タノヌルおよびアルキレンカヌボ
ネヌト䟋えば゚チレンカヌボネヌトの氎性および
フルオロカヌボン溶液および、耇玠環匏化合物䟋
えば米囜特蚱第3645772号明现曞に蚘茉のものた
たは他のキレヌト剀の氎性溶液があげられる。特
に奜たしいのは氎䞭のメタノヌルたたぱタノヌ
ルの溶液である。 光感受性局を積局するために本発明の方法にお
いお䜿甚するための液䜓の適圓性は次の詊隓法に
より決定される。むンチ×12むンチのホトレゞ
ストフむルム片を1800c.c.の䟛詊液に宀枩で30秒間
浞し、そしお次いで陀去する。䟛詊液䜓を蒞発さ
せお10c.c.の残枣ずしそしおこれを通垞の顕埮鏡ス
ラむドガラス䞊にコヌテむングする。このコヌテ
むングしたスラむドを1KW「コラむト」DMVL
―HP露光源の氎銀光に分間露出させ、その埌
でコヌテむングの硬化および色の倉化をチ゚ツク
する。これらのいずれかが起぀おいればホトレゞ
ストフむルムの本質的成分が溶解しそしお埓぀お
䟛詊液䜓により抜出されたこずを瀺しおいる。 この薄い液䜓局は重合䜓を奜たしくは小さな小
滎の均䞀局ずしお重合䜓の積局されるべき基質の
衚面の少なくずも30を芆うべきである。少くず
も80の被芆が奜たしく、そしお連続フむルムの
圢の本質的に完党な被芆が曎により奜たしい。 実際䞊、この薄い液䜓局は実甚的である限り薄
いこずが奜たしい。特定の局の厚さは液䜓の性質
および適甚条件によ぀おかなり倉動するが、䞀般
にそれは少くずも玄1Όであるのが奜たしい。そ
の平均局厚さは玄30Όたたは玄10〜玄50Όである。 適甚された薄い液䜓フむルムが以埌の積局操䜜
の間に光感受性局ず基質ずの界面から実質的に陀
去されるこずは、本発明の本質的な点である。こ
れは䞻ずしお積局重合䜓局䞭ぞの吞収によりなさ
れる。本明现曞に䜿甚されおいる堎合の「吞収」
なる衚珟は通垞の単䜍操䜜の意味においお䜿甚さ
れおいるものではなく、基質ず光感受性局ずの間
の界面からその薄い液䜓局が積局圧力䞋にそれの
拡散しおいく固䜓光感受性局に盎接移行するこず
を意味しおいる。その薄い液䜓フむルムを陀去す
る正確な方法は勿論䜿甚される液䜓、および光感
受性局および基質の性質の凜数である。より揮発
性の液䜓が加熱積局ロヌルず組合わせお䜿甚され
る堎合には、液䜓フむルム眮換は䞀郚は蒞発によ
り実斜されうる。他方より揮発性の䜎い液䜓およ
びたたはより冷たいロヌルの䜿甚は、より少い
蒞発の結果ずなり、そしお埓぀お液䜓フむルムの
陀去は倧郚分積局重合䜓局䞭ぞの吞収により生ず
る。明らかに、䞍揮発性液䜓が䜿甚される堎合に
はフむルムの陀去は本質的には吞収により行われ
る。液䜓フむルムが陀去される正確な機構はその
液䜓が積局光感受性局ず盞溶性である限りは臚界
的ではない。 広範囲の熱可塑性局の積局に本発明を有利に䜿
甚するこずができるけれども、本発明は印刷回路
板の補造に䜿甚される基質ぞの光感受性レゞスト
゚レメントの積局に察しお特に有甚である。本発
明はたた石版印刷プレヌトの補造における基質ぞ
の光感受性局の積局に察しおもたた有甚である。 本発明の実斜においおは、皮々のタむプの光感
受性フむルムレゞスト゚レメントを䜿甚するこず
ができる。䞀般に光硬化の陰画ずしお働く゚レメ
ントは、米囜特蚱第3469982号明现曞に開瀺され
たタむプの光重合性゚レメントおよび米囜特蚱第
3526504号明现曞に開瀺されたタむプの光亀叉結
合性゚レメントである。陜画ずしお働くレゞスト
゚レメントは、光可溶化性タむプのもの、䟋えば
米囜特蚱第3837860号明现曞の―キノンゞアゞ
ド゚レメントたたは光枛性タむプのもの䟋えば米
囜特蚱第3778270号明现曞のビスゞアゟニりム塩
たたは英囜特蚱第1547548号明现曞のニトロ芳銙
族組成物である。 剥離性支持䜓䞊の画像圢成性非ブロツク圢成性
光重合䜓基質を含有する゚レメントを䜿甚するの
が奜たしい。あるいはたた特にその光重合性局が
粘着性である堎合には支持䜓぀き光重合䜓基局の
残存衚面を陀去可胜なカバヌシヌトで保護するこ
ずができる。たたぱレメントがロヌル圢で保存
される堎合には、積局衚面は支持䜓の隣接する逆
の衚面により保護されうる。光感受性局組成物は
箄0.0003むンチ〜0.0008cm〜玄0.01むンチ
〜0.025cmはたたはそれ以䞊の也燥コヌテむン
グ厚さで存圚せしめられる。奜たしくは枩床倉化
に察しお高床の寞法安定性を有しおいる適圓な剥
離可胜な支持䜓は高分子重合䜓䟋えばポリアミ
ド、ポリオレフむン、ポリ゚ステル、ビニル重合
䜓およびセルロヌス゚ステルよりなる広範囲のフ
むルムから遞ぶこずができ、そしおこれは
0.00025むンチ〜0.0006cm〜0.008むンチ〜
0.02cmたたはそれ以䞊の厚さを有しうる。剥離
性支持䜓を陀去する前に露光を実斜する堎合に
は、勿論それはそれに関係する掻性線攟射の実質
的郚分を透過しなくおはならない。露光の前に剥
離性支持䜓が陀去される堎合にはそのような制玄
は適甚されない。特に適圓な支持䜓は玄0.001ã‚€
ンチ〜0.0025cmの厚さを有する透明ポリ゚チ
レンテレフタレヌトフむルムである。 ゚レメントが陀去可胜な保護カバヌシヌトを含
有しおおらず、そしおロヌル圢で保存されるべき
堎合には、剥離性支持䜓の反察偎に光重合性基局
ずのブロツク圢成を阻止するための䟋えばワツク
スたたはシリコヌンのような物質の薄い離型局を
適甚しおブロツク化に察しお远加の保護が堎合に
より䞎えられる。あるいはたた、コヌテむングさ
れた光重合性局に察する接着は、コヌテむングす
べき支持䜓衚面の火炎凊理たたは攟電凊理によ぀
お優先的に䞊昇させるこずができる。 䜿甚される堎合の適圓な陀去可胜な保護カバヌ
シヌトは、前蚘の高分子重合䜓フむルムず同䞀矀
から遞ぶこずができ、そしおこれは同䞀範囲の厚
さを有しうる。0.001むンチ〜0.0025cm厚さ
のポリ゚チレンのカバヌシヌトが特に適圓であ
る。前蚘の支持䜓およびカバヌシヌトは光重合性
レゞスト局に察しお良奜な保護を䞎える。 本発明が、非垞に迅速な接着を必芁ずする応
甚、䟋えば自己トリミング過皋においお䜿甚され
る堎合には、重合䜓支持䜓に察する未露光光感受
性局の接着A1が支持䜓なし光感受性局の砎断匷
床を越えおいるこずが本質的である。同様に、
基質に察する未露光光感受性局の接着A2は、未
露光光感受性局の砎断匷床を越えおいなくおは
ならない。曎に重合䜓支持䜓は積局光重合性局か
ら剥離可胜でなくおはならないのであるから、基
質ぞの光局の接着A2はたたその重合䜓支持䜓ぞ
のその接着A1を越えたものでなくおはならない。
数孊的に衚珟すればA2A1である。光感受
性系におけるこれら接着性ず砎断力ずの適切な均
衡は単量䜓ず結合剀ずの盞察的割合を調敎するこ
ずによ぀お埗られる。 この光硬化性局は重合䜓成分結合剀、単量
䜓成分、開始剀および阻害剀から補造される。 単䞀結合剀ずしおかたたは他ずの組合せで䜿甚
されうる適圓な結合剀ずしおは次のものがあげら
れる。ポリアクリレヌトおよびα―アルキルポリ
アクリレヌト゚ステル䟋えばポリメチルメタクリ
レヌトおよびポリ゚チレンメタクリレヌト、ポリ
ビニル゚ステル䟋えばポリビニルアセテヌト、ポ
リビニルアセテヌトアクリレヌト、ポリビニル
アセテヌトメタクリレヌトおよび加氎分解ポリ
ビニルアセテヌト、゚チレンビニルアセテヌト
共重合䜓、ポリスチレン重合䜓および䟋えばマレ
むン酞無性物および゚ステルずの共重合䜓、ビニ
リデンクロリド共重合䜓䟋えばビニリデンクロリ
ドアクリロニトリル、ビニリデンクロリドメ
タクリレヌトおよびビニリデンクロリドビニル
アセテヌト共重合䜓、ポリビニルクロリドおよび
共重合䜓䟋えばポリビニルクロリドアセテヌ
ト、飜和および䞍飜和ポリりレタン、合成ゎム䟋
えばブタゞ゚ンアクリロニトリル、アクリロニ
トリルブタゞ゚ンスチレン、メタクリレヌ
トアクリロニトリルブタゞ゚ンスチレン共
重合䜓、―クロロブタゞ゚ン――重合
䜓、塩玠化ゎムおよびスチレンブタゞ゚ンス
チレン、スチレンむ゜プレンスチレンブロツ
ク共重合䜓、玄4000〜1000000の平均分子量を有
するポリグリコヌルの高分子量ポリ゚チレンオキ
サむド、゚ポキシサむド䟋えばアクリレヌトたた
はメタクリレヌト基含有゚ポキサむド、コポリ゚
ステル䟋えばHOCH2oOH匏䞭は〜10の
党数であるのポリスチレングリコヌルず、(1)ヘ
キサヒドロテレフタル酞、セバシン酞およびテレ
フタル酞、(2)テレフタル酞、む゜フタル酞および
セバゞン酞、(3)テレフタル酞およびセバシン酞、
たたは(4)テレフタル酞およびむ゜フタル酞ずね反
応生成物から補造されたもの、および前蚘グリコ
ヌルず(i)テレフタル酞、む゜フタル酞およびセバ
シン酞たたは(ii)テレフタル酞、む゜フタル酞、セ
バシン酞およびアゞピン酞から補造されたコポリ
゚ステル混合物、ナむロンたたはポリアミド䟋え
ば―メトキシメチルポリヘキサメチレンアゞパ
ミン、セルロヌス゚ステル䟋えばセルロヌスアセ
テヌト、セルロヌスアセテヌトサクシネヌトおよ
びセルロヌスアセテヌトブチレヌト、セルロヌス
゚ヌテル䟋えばメチルセルロヌス、゚チルセルロ
ヌスおよびベンゞルセルロヌス、ポリカヌボネヌ
ト、ポリビニルアセタヌル䟋えばポリビニルブチ
ラヌル、ポリビニルホルマヌル、ポリホルムアル
デヒド。 奜たしくは結合剀は氎性珟像液䞭でその組成物
を凊理可胜ならしめるに充分な酞性たたはその他
の基を含有しおいるべきである。有甚な氎性凊理
可胜な結合剀ずしおは米囜特蚱第3458311号およ
び英囜特蚱第1507704号各明现曞開瀺のものがあ
げられる。有甚な䞡性重合䜓ずしおは―アルキ
ルアクリルアミドたたはメタクリルアミド、酞性
フむルム圢成性共単量䜓およびアルキルたたはヒ
ドロキシアルキルアクリレヌトから導かれた共重
合䜓、䟋えば米囜特蚱第3927199号明现曞に開瀺
のものがあげられる。 単独の単量䜓ずしおたたは他ずの組合せで䜿甚
するこずのできる適圓な単量䜓ずしおは、次のも
のがあげられる。第䞉玚ブチルアクリレヌト、
―ペンタンゞオヌルアクリレヌト、
―ゞ゚チルアミノ゚チルアクリレヌト、゚チレン
グリコヌルゞアクリレヌト、―ブタンゞオ
ヌルゞアクリレヌト、ゞ゚チレングリコヌルゞア
クリレヌト、ヘキサメトチレングリコヌルゞアク
リレヌト、―プロパンゞオヌルゞアクリレ
ヌト、デカメチレングリコヌルゞアクリレヌト、
デカメチレングリコヌルゞメタクリレヌト、
―ゞクロルヘキサンゞオヌルゞアクリレヌト、
―ゞメチロヌルプロパンゞアクリレヌト、
グリセロヌルゞアクリレヌト、トリプロピレング
リコヌルゞアクリレヌト、グリセロヌルトリアク
リレヌト、トリメチロヌルプロパントリアクリレ
ヌト、ペンタ゚リスリトヌルトリアクリレヌト、
ポリオキシ゚チル化トリメチロヌルプロパントリ
アクリレヌトおよびトリメタククリレヌト、およ
び米囜特蚱第3380831号明现曞に開瀺の同様の化
合物、―ゞ―ヒドロキシプニル―
プロパンゞアクリレヌト、ペンタ゚リスリトヌル
テトラアクリレヌト、―ゞ――ヒドロ
キシプニル―プロパンゞメタクリレヌト、ト
リ゚チレングリコヌルゞアクリレヌト、ポリオキ
シ゚チル――ゞ――ヒドロキシプニ
ル―プロパンゞメタクリレヌト、ビスプノヌ
ルのゞ――メタクリルオキシ――ヒドロ
キシプロピル゚ヌテル、ビスプノヌルのゞ
――メタクリルオキシ゚チル゚ヌテル、ビ
スプノヌルのゞ――アクリルオキシ―
―ヒドロキシプロピル゚ヌテル、ビスプノヌ
ルのゞ――アクリルオキシ゚ヌテル、テ
トラクロロビスプノヌル―のゞ―メタク
リルオキシ――ヒドロキシプロピル゚ヌテ
ル、テトラクロロビスプノヌルのゞ――
メタクリルオキシ゚チル゚ヌテル、テトラブロ
モビスプノヌルのゞ――メタクリルオキ
シ――ヒドロキシプロピル゚ヌテル、テトラブ
ロモビスプノヌルのゞ――メタクリルオ
キシ゚チル゚ヌテル、―ブタンゞオヌルの
ゞ――メタクリルオキシ――ヒドロキシプ
ロピル゚ヌテル、ゞプノヌル酞のゞ――
メタクリルオキシ――ヒドロキシプロピル゚
ヌテル、トリ゚チレングリコヌルゞメタクリレヌ
ト、ポリオキシプロピルトリメチロヌルプロパン
トリアクリレヌト462、゚チレングリコヌルゞ
メタクリレヌト、ブチレングリコヌルゞメタクリ
レヌト、―プロパンゞオヌルゞメタクリレ
ヌト、―ブタントリオヌルメタクリレ
ヌト、―トリメチル――ペンタ
ンゞオヌルゞメタクリレヌト、ペンタ゚リスリト
ヌルトリメタクリレヌト、―プニル―゚チレ
ン――ゞメタクリレヌト、ペンタ゚リスリ
トヌルテトラメタクリレヌト、トリメチロヌルプ
ロパントリメタクリレヌト、―ペンタゞオ
ヌルゞメタクリレヌト、ゞアリルフマレヌト、ス
チレン、―ベンれンゞオヌルメタクリレヌ
ト、―ゞむ゜プロペニルベンれンおよび
―トリむ゜プロペニルベンれン。 前蚘゚チレン性䞍飜和単量䜓の他に、その光硬
化性局はたた、少くずも300の分子量を有する、
次の遊離ラゞカル開始連鎖延長付加重合性゚チレ
ン性䞍飜和化合物の少くずも皮を含有しうる。
このタむプの奜たしい単量䜓は〜15個の炭玠原
子を含有するアルキレングリコヌルたたは〜10
個の゚ヌテル結合のポリアルキレン゚ヌテルグリ
コヌルから補造されたアルキレンたたはポリアル
キレングリコヌルゞアクリレヌトおよび米囜特蚱
第2927022号明现曞に開瀺のもの䟋えば特に末端
結合ずしお存圚する耇数個の付加重合性゚チレン
性結合を有するものである。特に奜たしいものは
そのような結合の少くずも個、そしお奜たしく
はほずんどが炭玠―炭玠二重結合および炭玠―ヘ
テロ原子䟋えば窒玠、酞玠および硫黄二重結合を
含む二重結合炭玠に共圹しおいるものである。顕
著なものは、゚チレン性䞍飜和基特にビニリデン
基が゚ステルたたはアミド構造に共圹しおいるも
のである。 掻性光線よりり掻然化可胜なそしお185℃以䞋
では熱的に䞍掻性である奜たしい遊離ラゞカル開
始寞加重合開始剀ずしおは、眮換たたは未眮換倚
栞キノンがあげられる。これらは共圹炭玠環系の
個の環内炭玠原子を有する化合物、䟋えば
10―アントラキノン、―クロロアントラキノ
ン、―クロロアントラキノン、―メチルアン
トラキノン、―゚チルアントラキノン、―第
䞉玚ブチルアントラキノン、オクタメチルアント
ラキノン、―ナフトキノン、10―プ
ナントレンキノン、―ベンズアントラキノ
ン、―ベンズアントラキノン、―メチル
――ナフトキノン、―ゞクロロナフ
トキノン、―ゞメチルアントラキノン、
―ゞメチルアントラキノン、―プニル
アントラキノン、―ゞプニルアントラキ
ノン、アントラキノンα―スルホン酞ナトリりム
塩、―クロロ――メチルアントラキノン、レ
テンキノン、10―テトラヒドロナフ
タセンキノンおよび―テトラヒド
ロベンれン(a)アントラセン―12―ゞオンであ
る。これたた有甚なその他の光開始剀は、ある
ものは85℃皋床の䜎い枩床で熱的に掻性でありう
る米囜特蚱第2760863号明现曞に蚘茉されおお
りそしおこれらずしおはビシナルVicinal、隣
接ケトアルドニル繁アルコヌル䟋えばベンゟむ
ン、ピバロむン、アシロむン゚ヌテル䟋えばベン
ゟむンメチルおよび゚チル゚ヌテル、α―メチル
ベンゟむン、α―アリルベンゟむンおよびα―フ
゚ニルベンゟむンを含めおα―炭化氎玠眮換芳銙
族アシロむンがあげられる。米囜特蚱第2850445
号、同第2875047号、同第3097096号、同第
3074974号、同第3097097号および同第3145104号
各明现曞に開瀺の光還元可胜な染料および還元
剀、ならびにプナゞン、オキサゞンおよびキノ
ン矀の染料、ミヒラヌのケトン、ベンゟプノ
ン、―トリプニル―むミダゟリル二
量䜓ず氎玠ドナヌずの組合せおよび米囜特蚱第
3427161号、同第3479185号および同第3549367号
各明现曞蚘茉のその混合物を開始剀ずしお䜿甚で
きる。たた米囜特蚱第4162162号明现曞に開瀺さ
れた光開始剀および光阻害剀ず共に増感剀もたた
有甚である。 光重合性組成物䞭に䜿甚しうる光重合阻害剀は
―メトキシプノヌル、ヒドロキノンおよびア
ルキルおよびアリヌル眮換ヒドロキノンおよびキ
ノン、第䞉玚ブチルカテコヌル、ピロガロヌル、
暹脂酞銅、ナフチルアミン、β―ナフトヌル、塩
化第䞀銅、―第䞉玚ブチル――クレゟヌ
ル、プノチアゞン、ピリゞン、ニトロベンンれ
ンおよびゞニトロベンれン、―トルキノンおよ
びクロラニルである。たた熱重合阻害に察しおは
米囜特蚱第4168982号明现曞に開瀺のニトロ゜化
合物もたた有甚である。 皮々の染料および顔料を添加しおレゞスト画像
の可芖性を䞊昇させるこずができる。しかしなが
ら䜿甚される着色剀はすべお奜たしくは䜿甚され
る掻性線攟射に察しお透明であるべきである。 䞀般に印刷回路の圢成を含む本発明の方法に適
圓な基質は機械的匷床、化孊的耐性および良奜な
誘電性を有するものである。すなわち、印刷回路
甚のほずんどの板材料は通垞は補匷充填剀を組合
せた熱硬化性たたは熱可塑性暹脂である。補匷充
填剀を有する熱硬化性暹脂は通垞剛性板に察しお
䜿甚され、䞀方補匷されおいない熱可塑性軞脂は
通垞可撓性回路板甚のために䜿甚される。セラミ
ツクおよび誘電䜓コヌテむングした金属もたた有
甚である。板が補造される材料は勿論薄局甚液䜓
の遞択に圱響を䞎えうる。 兞型的な板構造は、玙たたは玙ガラス耇合䜓䞊
のプノヌルたたぱポキシ暹脂ならびにガラス
䞊のポリ゚ステル、゚ポキシ、ポリむミド、ポリ
テトラフルオロ゚チレンたたはポリスチレンを包
含しおいる。ほずんどの堎合、板は電気䌝導性金
属の薄い局で被芆されおいるがこの䞭で銅が圧倒
的に最も䞀般的である。 石版印刷プレヌトの補造を含む本発明の方法に
察しお適圓な基質は機械的匷床、および芪氎性た
たは芪油性の点でそれに積局されおいる画像圢成
された光感受性郚分の衚面ずは異質の衚面を有し
おいるものである。そのような基質は米囜特蚱第
4072528号明现曞に開瀺されおいる。この目的に
察しおは倚くの物質が満足すべきものであけれど
も、薄いアノヌド凊理アルミニりムプレヌト䟋え
ば米囜特蚱第3458311号明现曞に開瀺のものが特
に有甚である。 前述のように、基質䟋えば銅たたはアルミニり
ムに察する未露光光感受性局の接着性A2は、そ
の支持䜓ぞの接着性A1よりも倧でなくおはなら
ない。A2に察する高い倀はたた匷い化孊的たた
は機械的条件に曝されおいる間ホトレゞスト局を
基質に接着残留させおおかなければならないよう
な本発明の倚くの適甚に察しおも芁求される。 本発明の方法で甚いられる印刷回路基質は枅浄
でありか぀有意量の衚面非濡れ性を瀺しうるよう
なすべおの倖来性物質が存圚しおいないこずが必
須である。この理由の故に積局の前に、い぀くか
の印刷回路板補造分野には呚知の枅浄化法の䞀぀
たたはそれ以䞊によ぀お印刷回路基質を枅浄化す
るのが望たしい。枅浄の具䜓的タむプは、汚染の
タむプ有機性、埮粒子状物たたは金属性に䟝
存する。そのような方法ずしおは溶媒および溶媒
゚マルゞペンによる脱脂、機械的スクラビングア
ルカリ含浞、酞性化その他およびそれに぀づくす
すぎおよび也燥があげられる。 適圓な枅浄床は、基質を氎に浞し、それを氎か
ら取出しそしおその板の衚面を芳察するこずによ
぀お容易に決定するこずができる。均䞀な氎のフ
むルムが芳察された堎合には板は充分にきれいで
あるがしかし䞍連続な線条の぀いたフむルムたた
は倧きな氎滎が圢成された堎合には、その板は積
局埌の瞬間的接着を芁求する本発明の方法に䜿甚
するに充分なだけ枅浄ではない。本発明によれば
枅浄化衚面の劣化を阻止するためには、分以内
に積局が実斜されなくおはならない。 薄いフむルム圢成に䜿甚される䞍掻性液䜓はい
く぀かの方法䟋えばブラシがけ、りむツキングに
よるかたたは倚孔性たたは有孔ロヌルを䜿甚しお
それをロヌルがけしお適甚するこずができる。 次の実斜䟋および以䞋の図面の詳现な蚘茉を参
照するこずによ぀お本発明は䞀局明癜に理解され
る。 䟋 レゞスト性質 カバヌシヌトを有しおいないホトレゞストフむ
ルムロヌルを次のように補造する。 次の組成を有する光感受性コヌテむング溶液を
調補する。
【衚】 前蚘コヌテむング溶液䞭に、その85が10Ό以
䞋の盎埄を有しそしお15が10〜20Όの盎埄を有
しおいるポリ゚チレンビヌズ13重量郚を分散させ
た。この混合物をその裏偎にカルナバワツクスお
よびポリビニリデンクロリドの混合物の薄い
局を塗垃した0.00127cm厚さのポリ゚チレンテ
レフタレヌトり゚ブ䞊に塗垃する。光重合性局
を也燥させるず0.00254cm也燥厚さを䞎える。こ
の也燥コヌテむング゚レメントの玄30.5をロヌ
ルに巻く。 ここで添付図面に぀いお述べるず、印刷回路
に察する䞀連の基質のそれぞれを連続的様匏で枅
浄化チダンバヌを通るロヌラヌコンベアヌ䞊を
機械的に前進させる。この枅浄化チダンバヌ䞭で
はその䞊および䞋偎方の銅被芆衚面が倚量の
heavy氎スプレヌ䞋での機械的スクラビング
によ぀お枅浄化される。この板はフアむバヌグラ
ス補匷゚ポキシ暹脂から぀くられおいる。均䞀氎
フむルム詊隓により定矩されるような枅浄さを有
するこの基質板を曎に板の偎面を正確に敎合され
る敎合ロヌルを経お前進させる。敎合ロヌル
から各敎合された板が出おき、そしおこれはその
内偎にラむンを通しお薄局液䜓この堎合には
氎が送られおくる䞭空液䜓適甚ロヌルの間を
通される。奜たしくはこの適甚ロヌルは線垃
薄局液䜓がそれを通過しそしお基質䞊にコヌテ
むングされるでおお぀た硬質倚孔性ポリ゚チレ
ンスリヌブをその䞊に有する芏則的パタヌンで孔
をあけた金属コアより構成されおいる。適甚ロヌ
ル䞭での液䜓氎準は固定された氎準排出ラむン
により限定されおいる。䞡衚面を氎の薄い局で
おおわれた板を次いで組の䞊偎および䞋偎䟛絊
ロヌルに前進させる。このロヌルの各々は䟋
からの連続レゞストフむルムの光感受性局
の保護されおいない方の衚面を前蚘の氎の薄い局
に察向するように䜍眮しおいる。䟛絊ロヌルは
板を前進させるために䜿甚される機構に機械的
に接続されおいる。その際、板が䟛絊ロヌルに
入る際にそれらが互に衝合しそしお各板の埌方端
および先行端の間にフむルムにより有意量の
ブリツゞ圢成がなされないようにする。䟋に蚘
茉のようにしお補造された積局フむルムは䟛絊ロ
ヌルから䟛絊される。定䜍眮に眮いたフむル
ムレゞストを有する衝合した板を次いで加熱
積局ロヌルのニツプを通しお前進させる。こ
こにおいおフむルム局は圧力および熱の䞡方
にかけられる。それによ぀お光感受性局䞊の薄い
氎の局は䞻ずしお光感受性局䞭ぞの吞収によ぀お
基質から陀去される。積局ロヌル衚面の枩床は玄
230〓であり、そしおこの積局装眮を通しおの板
の線速床は玄フむヌト分である。小量の氎は
蒞気により陀去される。積局は、板の枅浄化埌玄
40秒以内に完了する。衚面凊理ず積局ずの間の経
過時間は玄秒であ぀た。ただ盞互に衝合されお
いる積局板を均䞀の速床でり゚ツゞの間に
前進させる。り゚ツゞの出口においお、連続
フむルムの倖偎衚面䞊のポリ゚チレンテレフタレ
ヌトり゚ブは基質から鈍角の角床ここでは
150゜で均䞀に埌方に匕匵られ、これは板の先
行端に沿぀お盎線で光感受性局をトリミングす
る。り゚ブは巻取りロヌルの䜜甚および
板の前進䜜甚によ぀お埌方に匕匵られる。基質板
がり゚ツゞの間から出おくる際に進行に぀
れお光感受性局のより倚くが被芆陀去される。最
終的には板は察のクラツチ䜜動高速回転トリワ
ミングロヌル個のみが図瀺されおいる
それらはパネルのサむドを捕えるたでは前進す
る板の線速床よりも倧なる速床で回転しおいる
の方に前進しそしおその間にそのサむドにおいお
し぀かりず捕えられる。次いで、このトリミング
ロヌルは䜜動速床の差を補償するスリツプクラツ
チにより板の線速床で移動する。トリミングロヌ
ルは板に暪方向匕匵り応力を䞎える。これは
り゚ツゞの間からそれが出お来る時に板の埌
方端に沿぀お熱可塑性局を平滑にトリミングさせ
る。埌方端のトリミングが完了したらすなわち
䞀連のものの先行のおよび埌方の板が分離された
時この積局板は通垞のホトレゞスト技術による
回路板補造甚に準備されたこずになる。 前進する基質゚レメントを先行する板の埌瞁ず
それに続く板の先行瞁ずの間に有意の間隔が存圚
しないようにしお盞互に぀き合わせた堎合には、
局に察する暪方向匕匵り応力の適甚が先行板の埌
瞁および埌続板の前瞁の䞡方から同時に局をトリ
ミングさせるように働く。他方、連続する板が、
先行する板の埌瞁ずそれに続く板の前瞁ずの間に
ギダツプをひろげる光感受性局の「動き
budge」が存圚する堎合には、個の瞁郚を
別々にトリミングするこずが必芁である。この堎
合、板の前瞁をトリミングするための暪方向匕匵
り応力は奜たしくは前進する局の長手方向の軞に
沿぀おフむルムを鈍角に埌方に曲げるこずによ぀
お積局ロヌルのニツプから積局基質゚レメントが
出おきた時に局から支持䜓フむルムを陀去するこ
ずによ぀お適甚されるが、その曲げの半埄は基質
゚レメントの前瞁䞊の局の砎壊匷床以䞊ずなるよ
うに充分に小さいものである。 奜たしい態様においおは、この方法を䞀連の基
質の䞡面においお同時に実斜しお光重合性局を基
質の䞡面に積局される。この堎合、基質の孔の䞭
に液䜓が存圚しおいないこずが特に重芁である。
そうでない堎合には、積局の熱が、その液䜓を蒞
発させそしお基質䞭の孔の䞊の光感受性局の「テ
ント」を膚腞および砎裂させる。たた、䞀連の基
質が充分に接近しおいお、積局のために通垞䜿甚
されるスプリング負荷積局ロヌルが基質の間で沈
たないようにするこずもたた奜たしい。このこず
は連続的な基質の間に延圚しおいる枚の光重合
性局が䞀緒に結合するこずすなわち連続する基質
間の「ヒンゞ圢成」も阻止する。その理由はその
うな結合は支持䜓フむルムが陀去される堎合に先
行端の自己トリミングを倚分劚害するからであ
る。あるいはたた積局ロヌルの圧力を䜎䞋させお
局の結合を最小化するこずができる。しかしなが
ら「ヒンゞ圢成」自䜓を最小に保぀お自己トリミ
ングself―trimming機胜を容易ならしめるの
が奜たしい。 前蚘のように本発明の方法は連続的に実斜され
るけれども、この方法はたた間欠的にも実斜しう
るこずを認められたい。 䟋 枅浄化の重芁性 銅衚面䞊に取扱いによるフむンガヌプリントを
有する䟋蚘茉のタむプの枚の板を次の詊隓に
䜿甚する。枚の板を前蚘の方法で枅浄化しそし
お也燥する。これは前蚘氎フむルム詊隓により刀
定しお「枅浄」であるこずが芋出されおいる。氎
で飜和したテむツシナペヌパヌで衚面をぬぐうこ
ずによ぀お䞡板の衚面に氎が適甚される。 枅浄な板䞊では氎は䞀芋䞍連続性のない均䞀な
フむルムであるが、しかし枅浄でない板䞊では氎
は衚面に筋をえがく。次いで䞡方の板に、しお
230〓のロヌルがけ衚面枩床の加熱ニツプロヌル
を䜿甚しお前蚘䟋のフむルムを積局させる。以
䞋に蚘茉のテヌプ離局詊隓に付した堎合、枅浄な
板に積局された重合䜓は離局しないがしかし枅浄
化されおいなか぀た板に積局された重合䜓は実質
的な離局を生ぜしめる。 前蚘に参照されおいるテヌプ離局詊隓においお
は、むンチ幅でむンチ長さの「スコツチ」印
ブラツクポリペヌパヌマスクテヌプをこの積局
光感受性衚面にし぀かりず適甚しそしお次いでそ
の䞀端を衚面から匕匵る。光感受性局の若干がテ
ヌプず共に匕き剥がされる堎合には、その積局は
満足できないものである。 䟋 陜画ホトレゞスト積局 次のようにしお光感受性コヌテむング組成物を
補造する。
【衚】 この混合物を0.00127cm厚さのポリ゚チレンテ
レフタレヌトり゚ブ䞊にコヌテむングしそしお也
燥させお0.00254cm厚さの光感受性局を生成させ
る。 この光感受性局を䟋のようにしお枅浄化され
た銅被芆基質板の䞀衚面に積局させそしお自己ト
リミングさせるが、ただしこの薄局の液䜓はここ
では氎䞭の30゚タノヌルよりな぀おいる。 印刷回路パタヌンに盞圓するホトツヌル
photo toolの透明郚分を通しお「コラむト」
DMVL―HP光源からの玫倖線照射にこの光感受
性局を60秒間露出させるこずによ぀おこの積局お
よびトリミングした各板に像圢成させる。次いで
このホトツヌルを陀去し、そしお4000Å以䞋の玫
倖線照射に察しおは䞍透明のフむルタヌで眮換し
そしおこの板を「コラむト」DMVL―HP光源の
可芖光線に60秒間均䞀に露出させる。゚チレ
ングリコヌルモノブチル゚ヌテルおよび硌酞
ナトリりムの氎性溶液䞭で珟像するこずによ぀お
像様露光郚分を完党に陀去する。像圢成しそしお
珟像された積局物はここに通垞のめ぀きおよび゚
ツチングホトレゞスト技術による回路板補造に準
備された状態ずなる。 䟋 石版印刷プレヌトの補造 次の組成を有する光感受性組コヌテむング混合
物を補造する。
【衚】 この混合物を0.00127cm厚さのポリ゚チレンテ
レフタレヌトり゚ブ䞊にコヌテむングしそしお也
燥させお0.00254cm厚さの光感受性局を生成させ
る。 この光感受性局を䟋の積局法を䜿甚しお薄い
アルミニりム板のきれいなアノヌド凊理衚面に積
局させそしお自己トリミングさせるがこの薄い局
の液䜓はここでは氎䞭の30゚タノヌルよりな぀
おいる。 ハヌフトヌン透明画を通しお「コラむト」
DMVL―HP光源からの玫倖線照射にこの光感受
性局を60秒間露出させるこずによ぀おこの積局お
よびトリミングされた板に像圢成させる。炭酞ナ
トリりムの氎性溶液䞭で珟像するこずによ぀おこ
の未露光郚分を完党に陀去しお、裞のアルミニり
ム衚面の盞補的画像郚分を有するハヌフトヌン重
合䜓画像を生成させる。埗られた石版印刷プレヌ
トを通垞の方法でガム凊理し、むンクづけしそし
お䜿甚しお倚数の印刷コピヌを生成させる。 䟋 薄い液䜓局ずしおベンゟトリアゟヌル塩酞塩の
氎性溶液を䜿甚し、そしおトリクロロトリフ
ルオロ゚タン䞭の10メタノヌル溶液を䜿甚しお
䟋をくりかえす。䞡方の堎合、積局および自己
トリミングは満足すべきものでありそしお埗られ
た積局板は通垞の方法で画像圢成させそしお凊理
しお印刷回路を生成させるこずができる。 䟋 石版印刷プレヌトの補造 光感受性コヌテむング混合物を補造し、塗垃し
そしお䟋のようにしお積局したがただしここで
はそこに䜿甚されおいるビヌズの代りにコヌテむ
ング溶液䞭に16重量郚の1Όポリ゚チレンビヌズ
「マむクロフアむン―ゎヌルド」、デナラ・
コンモデむテむヌズ・コヌポレヌシペンの商品
名を分散させた。0.023cm厚さのアルミニりム
板の衚面を「ケムカツト Chemcut 」型
匏107機械的枅浄化系〔ケムカツト・コヌポレヌ
シペン補品〕を䜿甚しお氎䞭でタングステンカヌ
バむドブラシでスクラビングし、そしおそのスク
ラビングした衚面を光感受性局に積局させそしお
䟋に蚘茉のようにしおこの局をトリミングし
た。 積局させそしおトリミングした板をその光感受
性局をハヌフトヌンおよび線透明画を通しお60秒
間フリツプ・トツププレヌトマヌカヌ䞭で2000ワ
ツトパルス匏キセノンアヌク光源からの玫倖線照
射に露出させるこずにより画像圢成させた。炭酞
ナトリりムの氎性溶液で珟像するこずによ぀
お未露光郚分を完党に陀去しお裞のアルミニりム
衚面の盞補的画像郚分を有するハヌフトヌン重合
䜓画像を生成させた。埗られた石版印刷プレヌト
を「リデツクス Lydex」仕䞊げ溶液
LDFSデナポン瀟補品で通垞の方法でガム
凊理させ、そしおA.B.デツク型匏380オフセツト
印刷プレス䞊に茉眮した。暙準的むンクおよびフ
アりンテむン溶液を䜿甚しおこの印刷プレヌトか
ら少くずも3500枚の良奜な品質のコピヌが埗られ
た。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の方法の䞀態様を瀺す略図であ
る。  印刷回路板、 枅浄化チダンバヌ、 
敎合ロヌル、 適甚ロヌル、 蒞気チダンバ
ヌ、 ラむン、 䟛絊ロヌル、 フむル
ム、 䟛絊ロヌル、 積局ロヌル、
 り゚ツゞ、 り゚ブ、 巻取りロヌ
ル、 トリミングロヌル。

Claims (1)

  1. 【特蚱請求の範囲】  加圧手段によ぀お枅浄な基質衚面に支持䜓付
    き光感受性局を積局するにあたり、 (a) 均䞀氎フむルム詊隓により定矩されるように
    基質衚面に枅浄にするこず、 (b) 基質を枅浄にしおから玄分以内でそしお積
    局の盎前に液䜓の薄局を適甚しお基質衚面ず光
    感受性局ずの間に界面を圢成させるこず、そし
    お (c) 光感受性局䞭ぞの吞収によ぀お積局の間に界
    面からこの液䜓の薄い局を陀去させるこず の䞀連の段階を包含する、改善された積局方法。  薄い局を基質䞊ぞの液䜓のロヌルがけ、刷毛
    塗りたたはりむツキシグにより適甚する、前蚘特
    蚱請求の範囲第項蚘茉の方法。  積局が加熱ニツプロヌルにより実斜される、
    前蚘特蚱請求の範囲第項蚘茉の方法。  液䜓が氎性である、前蚘特蚱請求の範囲第
    項蚘茉の方法。  液䜓が氎、C1〜4アルカノヌルおよびC1〜4アル
    カノヌルの氎性溶液よりなる矀から遞ばれる、前
    蚘特蚱請求の範囲第項蚘茉の方法。  液䜓がその䞭に固䜓を溶存しおいる、前蚘特
    蚱請求の範囲第項蚘茉の方法。  液䜓がその䞭に基質衚面に察するキレヌト剀
    である化合物を溶存しおいる、前蚘特蚱請求の範
    囲第項蚘茉の方法。  積局埌30秒以内に、光感受性局の長手方向の
    軞に沿぀お埌方に支持䜓を曲げるこずによ぀お基
    質から光感受性局を離局させるこずなく光感受性
    局に察る支持䜓がそれから陀去される、前蚘特蚱
    請求の範囲第項蚘茉の方法。  支持䜓の曲げ半埄が充分に小さくおその結果
    基質の先行端における光感受性局の砎壊匷床が凌
    銮されお光感受性局をそれから均䞀にトリミング
    させる、前蚘特蚱請求の範囲第項蚘茉の方法。
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