JPH0333038A - 板ガラスの表面改質法 - Google Patents
板ガラスの表面改質法Info
- Publication number
- JPH0333038A JPH0333038A JP16641589A JP16641589A JPH0333038A JP H0333038 A JPH0333038 A JP H0333038A JP 16641589 A JP16641589 A JP 16641589A JP 16641589 A JP16641589 A JP 16641589A JP H0333038 A JPH0333038 A JP H0333038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- present
- irradiation
- plate
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 20
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 abstract description 8
- 238000002715 modification method Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 239000005329 float glass Substances 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は板ガラスの表面改質法に係わり、特にフロート
式製板装置により生産されたフロート板ガラスの化学強
化の際に有効となる仮ガラスの表面改質法に関する。
式製板装置により生産されたフロート板ガラスの化学強
化の際に有効となる仮ガラスの表面改質法に関する。
[従来の技術]
一般に光ディスクに使用されるガラス基板はフロート板
ガラスを化学強化した板が用いられてい。
ガラスを化学強化した板が用いられてい。
る。ところが、フロート板ガラスを化学強化する際、フ
ロート板ガラスの片表面層内(最表面から数lOμの深
さまでの層内)に存在する2〜4wt%のスズ元素の影
響で板が反るという現象が現れる。
ロート板ガラスの片表面層内(最表面から数lOμの深
さまでの層内)に存在する2〜4wt%のスズ元素の影
響で板が反るという現象が現れる。
この反りを防ぐためには今のところこのガラス表面層内
のスズ元素を完全除去することが最善であり、通常はそ
の片表面を機械研磨することが行なわれている。
のスズ元素を完全除去することが最善であり、通常はそ
の片表面を機械研磨することが行なわれている。
[発明が解決しようとする課題]
このような機械研磨を行なって反りの発生しないガラス
を得るためには最表面から10μもの層を研磨する必要
がある。これは費用も時間もかかる方法であり、そのた
め実際は研磨厚みを小さくすることも行なわれている。
を得るためには最表面から10μもの層を研磨する必要
がある。これは費用も時間もかかる方法であり、そのた
め実際は研磨厚みを小さくすることも行なわれている。
この場合、若干の反りの発生は避けられない。
本発明は上記従来の問題点を解決し、迅速かつ低費用で
スズ元素の完全除去を行なうという板ガラスの表面改質
法を提供する。
スズ元素の完全除去を行なうという板ガラスの表面改質
法を提供する。
[課題を解決するための手段]
本発明の板ガラス表面改質法は、フロート式製板装置に
より生産されたガラス板の片表面に存在するスズ元素を
除去するにあたり、CO□レーザーをその表面に照射し
て除去することを特徴としている。すなわち、化学強化
する前の光デイスク用基板ガラスに対し、5〜10に一
クラスのC(h レーザーをオシレーション照射する。
より生産されたガラス板の片表面に存在するスズ元素を
除去するにあたり、CO□レーザーをその表面に照射し
て除去することを特徴としている。すなわち、化学強化
する前の光デイスク用基板ガラスに対し、5〜10に一
クラスのC(h レーザーをオシレーション照射する。
この時ガラス基板上での照射密度に応じて表面層内のス
ズ元素は蒸発揮散し、ガラス表面層から完全除去される
。
ズ元素は蒸発揮散し、ガラス表面層から完全除去される
。
なお、照射時間はガラス表面層のみを瞬間溶解させるた
め短い方が好適で、1 sec以下が望ましい。
め短い方が好適で、1 sec以下が望ましい。
[実施例コ
以下に図面を参照して本発明の実施例について説明する
。
。
第1図は本発明の板ガラス表面改質法を実施するに好適
なCO,レーザー照射法を示す図である。
なCO,レーザー照射法を示す図である。
第1図に示す装置を用いてガラス板のスズ元素の存在す
る片表面に対しCO□レーザーの照射を実施した。すな
わち、CO□レーザー1より出射したレーザー光は、ミ
ラー5、集光レンズ4、ξう・−6を経由してオシレー
ション装置2により均一にガラス表面3に照射される。
る片表面に対しCO□レーザーの照射を実施した。すな
わち、CO□レーザー1より出射したレーザー光は、ミ
ラー5、集光レンズ4、ξう・−6を経由してオシレー
ション装置2により均一にガラス表面3に照射される。
このときガラス表面への照射密度、照射時間を種々変え
て実施した結果を第1表に示す。
て実施した結果を第1表に示す。
第
表
第1表に示されるように300J/c−以上の照射密度
で照射前には2〜4wt%あった表面層内のスズ元素は
、照射後はほぼ完全に消失した。
で照射前には2〜4wt%あった表面層内のスズ元素は
、照射後はほぼ完全に消失した。
[発明の効果]
以上説明した通り、本発明の板ガラス表面改質法によれ
ばフロート板ガラスの片表面層内に存在するスズ元素を
容易にかつ迅速低費用で完全除去でき、よって化学強化
の際反りの発生しない基板ガラスを供与することが可能
となる。
ばフロート板ガラスの片表面層内に存在するスズ元素を
容易にかつ迅速低費用で完全除去でき、よって化学強化
の際反りの発生しない基板ガラスを供与することが可能
となる。
第1図は本発明の板ガラス表面改質法を実施するに好適
なCO2レーザーの照射法を示す図である。
なCO2レーザーの照射法を示す図である。
Claims (1)
- フロート式製板装置により生産されたガラス板の片表面
に存在するスズ元素を除去するにあたり、CO_2レー
ザーをその表面に照射して除去することを特徴とする板
ガラスの表面改質法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16641589A JPH066497B2 (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 板ガラスの表面改質法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16641589A JPH066497B2 (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 板ガラスの表面改質法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0333038A true JPH0333038A (ja) | 1991-02-13 |
JPH066497B2 JPH066497B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=15831003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16641589A Expired - Lifetime JPH066497B2 (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 板ガラスの表面改質法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH066497B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004069760A1 (ja) * | 2003-02-04 | 2004-08-19 | Asahi Glass Company, Limited | ガラス基板表面の異物除去方法 |
DE102006003878A1 (de) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Schott Ag | Verfahren zum Verbessern der Oberflächenqualität von gefloatetem Flachglas |
-
1989
- 1989-06-28 JP JP16641589A patent/JPH066497B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004069760A1 (ja) * | 2003-02-04 | 2004-08-19 | Asahi Glass Company, Limited | ガラス基板表面の異物除去方法 |
US7767929B2 (en) | 2003-02-04 | 2010-08-03 | Asahi Glass Company, Limited | Method for removing foreign matter on glass substrate surface |
DE102006003878A1 (de) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Schott Ag | Verfahren zum Verbessern der Oberflächenqualität von gefloatetem Flachglas |
DE102006003878B4 (de) * | 2006-01-27 | 2010-09-02 | Schott Ag | Verfahren zum Verbessern der Oberflächenqualität von gefloatetem Flachglas |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH066497B2 (ja) | 1994-01-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS57102016A (en) | Pattern generator | |
JPH0333038A (ja) | 板ガラスの表面改質法 | |
US4087281A (en) | Method of producing optical image on chromium or aluminum film with high-energy light beam | |
JPS6113247A (ja) | フオトマスクの透明欠陥を修正する方法 | |
CA1155220A (en) | Optical information record member | |
JPS5988332A (ja) | フオト・マスク基板の再生方法 | |
JP3797703B2 (ja) | ガラス基材のレーザ加工方法 | |
JPH02140787A (ja) | ホログラムの作成方法 | |
JPS57501747A (ja) | ||
JPS6085525A (ja) | マスクリペア−方法 | |
JPS5857644A (ja) | 情報記録盤の製造法 | |
US2110319A (en) | Screen stencil and method of making the same | |
JPS59129423A (ja) | イオン注入によるマスクリペア−方法 | |
JP2825193B2 (ja) | 凹凸パターンの作製方法 | |
JPS605523A (ja) | マスク修正方法 | |
JP2000113520A (ja) | 光ディスク原盤の製造方法 | |
JPS59201081A (ja) | ホログラム製造方法 | |
RU2534814C1 (ru) | Способ записи изображений | |
JP3344602B2 (ja) | 光デイスク原盤及びその作成方法 | |
JPH05210231A (ja) | 位相シフトマスク及びその製造方法 | |
JPH0816083A (ja) | ホログラムの作製方法 | |
JPS5587148A (en) | Correction method for light shielding mask | |
KR19980020695A (ko) | 스크린의 제판방법 및 이를 수행하기 위한 장치 | |
JPH1184634A (ja) | 感光性樹脂版製造方法と装置 | |
JPH0256555A (ja) | 光ディスク用ガラス原盤の製造方法 |