JPH032776B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はクリーンルーム内に於ける精密電子部
品等をエア浮上させながら製造工程間を移送させ
るリニアモータを用いた搬送装置に係り、特に搬
送路の分岐部に於て搬送台車の方向を転換させる
のに好適な分岐装置に関するものである。

従来この種の搬送装置としては、吊垂式無端状
のトロリコンベヤ等があるが、これらは接触可動
部分に於て微塵を発生するため微塵付着を嫌う精
密電子部品の組立や医薬品製造等に用いることが
できないので、搬送物を載荷した搬送台車をエア
ー浮上させながらリニアモータを駆動源とする搬
送装置が実用に供されている。しかしながら搬送
物の行先が複数個に亘る場合、搬送路が複数とな
り、これら搬送路の間を被搬送物を移載させる必
要があるが、被搬送物の移載が複雑となり、従つ
て移載機の構成を複雑高価となる欠点がある。

本発明は以上の点に鑑みてなされたもので、被
搬送物を無接触で搬送および方向転換させるとと
もに方向転換後の停止精度が高く、一つの経路か
ら他の経路に無接触で接続できる装置を提供する
ものである。

即ち本発明を要約すれば、搬送路分岐部に設け
た旋回用エアベアリングと旋回用リニアモータに
より被搬送物の搬送路との接触をなくすととも
に、摩擦抵抗を略零にすることにより搬送制御を
安定させ、駆動用リニアモータにより駆動制御位
置決めを行うことにより無接触で発塵がなく且つ
高精度の停止を可能とさせるものである。

〔実施例〕

以下本発明の実施例として搬送路をＴ字形に分
岐する側について説明するがこの分岐の形態はこ
れに限定されることなくあらゆる形態に応用でき
るものである。

第１図は本発明装置の構成を示す平面説明図、
第２図は同断面図、第３図は同側面図で搬送台車
１は、搬送路２から搬送路４間を又は搬送路２か
ら搬送路５間を走行し目的点に到達する。搬送路
２，４，５は密閉ケースの上面に圧縮空気を噴射
し搬送台車１を浮上せしめるためのエア浮上用ノ
ズル１１１…を多数有するエアダクトで構成され
ており、搬送台車１の走行路となり、前記ダクト
の適宜箇所に設けた配管（図示省略）よりエアを
供給させる。

搬送台車１は前記搬送路２，４，５をまたぐよ
うにつばを有する床面１０１と被搬送物を保持さ
せる台枠とよりなり、前記床面はリニアモータの
２次側部分のリアクシヨンプレートと兼用させ
る。実施例としては鉄板床面下部にアルミ板を一
体に張り合わせたものとした。

前記搬送路２，４，５のエアダクト内部には駆
動用リニアモータ１次側部分１０２を適宜間隔を
おいて配設し、前記搬送台車１をノズル孔１１１
…からエアを噴射することによりエアダクトつま
り搬送路上より浮上せしめ且つ前記リニアモータ
の１次側部分と搬送台車１の床面に設けたリニア
モータの２次側部分とによつて構成されたリニア
モータの駆動によつて搬送台車１を直行させるも
のである。３は旋回形搬送路で、該旋回形搬送路
３の両端は旋回時夫々搬送路２，４，５と微少間
隔離隔して運接しうるようになす。又旋回形搬送
路３の構成は前記搬送路２，４，５と同様エアダ
クトよりなるほか、旋回中心点１４エアダクト内
部に制御用リニアモータ１次側部分６を設ける。

なお旋回形搬送路３のエアダクトに設けるノズ
ル孔は上面の他両側面にも適宜設けるものとす
る。

前記旋回形搬送路３は旋回ベアリング８にて保
持され、旋回ベアリング８は円筒形に形成し、前
面に周設した支持台９に蓋状に載置し、支持台９
の下部パイプ１０により供給される圧縮空気によ
り支持台９の上部及び側部に設けられた多数のノ
ズルから噴射する空気圧によつて支えられるよう
になす。

又旋回中心軸に支持台９および旋回ベアリング
８を貫通しエアダクトに至る下部パイプ７を配し
該パイプ７より供給される圧縮空気はエアダクト
上部及び側部に設けられた多数のノズルから噴出
し、搬送台車１が旋回形搬送路３に搬入したとき
これを支えるようになす。

前記旋回ベアリングの外周に適宜間隔離隔して
旋回用リニアモータ１次側部分１１，１２を所望
の分岐方向に応じて複数個（図示例では２方向の
ため２×２個）を同一半径円周線上に床面に対設
する。

又旋回ベアリング８の外側部には前記旋回用リ
ニアモータ１次側部分１１，１２をカバーしうる
ように（図示例では旋回形搬送路３軸方向と90゜）
扇の骨板状にリアクシヨンプレート１３，１３を
対設させ、両者で旋回用リニアモータとして作動
させるようになす。

なお図示を省略したが駆動用、制動用、旋回用
リニアモータ、１０２…６，１１，１２，１０２
…は位置検出手段によつて信号を検知し制御され
る。

次に本発明装置の動作につき、搬送台車１が搬
送路２から搬送路５に走行する場合について説明
する。ノズル１１１…によつて浮上しつつ搬送路
２内に設けた駆動用リニアモータ１０２によつて
駆動走行してきた搬送台車１が搬送路２から旋回
形搬送路３に侵入し、図示しない別設の検知手段
により搬送台車の位置を検知すると、この検知信
号によつて駆動用リニアモータ６を制御すること
により、旋回形搬送路３上に搬送台車１を制動停
止させる。ついでパイプ７によつて供給される圧
縮空気を遮断させ搬送台車１を旋回形搬送路３上
に着地させる。但し被搬送物の種類とが停止位置
精度の度合によつては必ずしも着地させなくとも
よい。

次にパイプから空気を供給し旋回ベアリング８
を支持台９から浮かし旋回用リニアモータ１次側
部分１１，１１を交互に反対方向に駆動力を生ず
るように通電すると、リアクシヨンプレート１
３，１３に推力が発生し、旋回ベアリング８は搬
送台車１を載せた状態で旋回し、所望方向の位置
に設けたリニアモータ１次側部分１２，１２は図
示しない別設の検知手段によつて検出した信号に
よりリアクシヨンプレート１３，１３を介して旋
回ベアリングを制動停止させる如く作動し旋回を
停止させる。停止後パイプ１０から供給されてい
た圧縮空気の供給を停止すると旋回ベアリング８
は着地して固定される。

而して再び圧縮空気をパイプ７より旋回形搬送
路３のエアダクトに供給し搬送台車１を浮上させ
るとともにリニアモータ６を作動させ搬送台車１
を駆動させると、搬送台車１は搬送路５に向かつ
て進行し所望の目的点に到達する。

搬送台車１の分岐旋回点到着の位置検知手段の
一実施例として光電管等の３対の発光、受光部を
有するフオトインタラプタを設け、３対のうち２
対は搬送台車の中に略等しくしておけば、３対の
受光部のON、OFFの組み合せで搬送台車１の位
置を検知することができる。

又リニアモータの１次側コイルに予め定められ
た周波数の出力を供給するようにインバータを制
御することにより搬送台車を所望の速度に加減速
させることも、又逆相電圧印加によつて制動させ
るものである。

なお終点目的点に於て次工程につながる移載機
等によつて次工程につながるコンベヤストツカ又
は自動倉庫等を任意に組合わせることもできる。

上述の搬送装置の作動順序つまり搬送路のエア
噴射、リニアモータ駆動、旋回搬送路の位置検
出、制動用リニアモータ作動、エア噴射停止、旋
回ベアリング浮上用エア噴射、旋回用リニアモー
タ作動、位置検出、旋回停止、旋回ベアリング浮
上用エア噴射停止、搬送台車浮上用エア噴射、駆
動用リニアモータ作動等の各動作は夫々検知手段
を併設し予め搬送物の基本運行パターンとしてマ
イコンに記憶させておくことにより自動的に運行
させるものである。

上記説明はＴ字形分岐の場合につき述べたがこ
れに限らず任意の角度でもよく、又分岐方向が複
数個であつても上記に準じて実施しうるものであ
る。

〔発明の効果〕

本発明による時は、前記各動作に於て接触点が
全くなく完全に発塵を防止することができるとと
もに駆動源に減速機等を有しないため極めて円滑
な駆動を行うことができるほか、多岐に亘る分岐
方向へも前記利点を損なうことなく単一の搬送路
のみで移送しうるので、微塵を嫌う精密電子部品
の組立や医薬製造等無菌室等の多岐に亘る目的点
への搬送等に適したものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の構成を示す平面説明図、
第２図は同断面図、第３図は同側面図、第４図は
搬送路を示す換式図である。 １……搬送台車、２，４，５……搬送路、３…
…旋回形搬送路、６……リニアモータ１次側部
分、７……パイプ、８……エアベアリング、９…
…支持台、１０……パイプ、１１，１２……旋回
用リニアモータ１次側部分、１３……旋回用リア
クシヨンプレート。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 搬送物を圧縮空気で浮上させながら、リニア
   モータで駆動し、搬送物を目的地まで搬送するも
   のに於て、搬送経路分岐部固定側に、旋回自在に
   なしたエアベアリングと、旋回用リニアモータ１
   次側部分とを配設し、前記搬送経路分岐部可動側
   に、前記旋回用リニアモータ１次側に対応する、
   旋回用リアクシヨンプレート（旋回用リニアモー
   タ２次側）を固設し且つ搬送台車の停止および駆
   動用リニアモータ１次側部分を内蔵した旋回形搬
   送路を前記エアベアリングに載置させ旋回用リニ
   アモータを構成させるとともに、搬送台車に具備
   したリアクシヨンプレートによつて、搬送路分岐
   部に於ける搬送台車の停止および駆動用リニアモ
   ータを構成せしめることにより、搬送台車を走
   行、旋回させ方向の異なる搬送路に移行させるよ
   うになしたことを特徴とするエア搬送分岐装置。 ２ 前記エアベアリングと旋回形搬送路とは支持
   台に設けたパイプより供給される圧縮空気で支持
   されるものであることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載のエア搬送分岐装置。