JPH03268389A - 多層プリント基板の製造方法 - Google Patents
多層プリント基板の製造方法Info
- Publication number
- JPH03268389A JPH03268389A JP6749990A JP6749990A JPH03268389A JP H03268389 A JPH03268389 A JP H03268389A JP 6749990 A JP6749990 A JP 6749990A JP 6749990 A JP6749990 A JP 6749990A JP H03268389 A JPH03268389 A JP H03268389A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit board
- copper oxide
- oxide layer
- multilayer printed
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 43
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 claims abstract description 43
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 30
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 11
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract description 8
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 2
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 abstract 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 15
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 15
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 7
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 7
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002585 base Substances 0.000 description 5
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 125000001475 halogen functional group Chemical group 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- UKLNMMHNWFDKNT-UHFFFAOYSA-M sodium chlorite Chemical compound [Na+].[O-]Cl=O UKLNMMHNWFDKNT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229960002218 sodium chlorite Drugs 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- NWZSZGALRFJKBT-KNIFDHDWSA-N (2s)-2,6-diaminohexanoic acid;(2s)-2-hydroxybutanedioic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O.NCCCC[C@H](N)C(O)=O NWZSZGALRFJKBT-KNIFDHDWSA-N 0.000 description 1
- FUSNOPLQVRUIIM-UHFFFAOYSA-N 4-amino-2-(4,4-dimethyl-2-oxoimidazolidin-1-yl)-n-[3-(trifluoromethyl)phenyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C1NC(C)(C)CN1C(N=C1N)=NC=C1C(=O)NC1=CC=CC(C(F)(F)F)=C1 FUSNOPLQVRUIIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 5-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-2h-tetrazole Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(C2=NNN=N2)=C1 KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- BIVUUOPIAYRCAP-UHFFFAOYSA-N aminoazanium;chloride Chemical compound Cl.NN BIVUUOPIAYRCAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N hydrazine monohydrate Substances O.NN IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000377 hydrazine sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012493 hydrazine sulfate Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-N phosphinic acid Chemical compound O[PH2]=O ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- USHAGKDGDHPEEY-UHFFFAOYSA-L potassium persulfate Chemical compound [K+].[K+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O USHAGKDGDHPEEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DPLVEEXVKBWGHE-UHFFFAOYSA-N potassium sulfide Chemical compound [S-2].[K+].[K+] DPLVEEXVKBWGHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012279 sodium borohydride Substances 0.000 description 1
- 229910000033 sodium borohydride Inorganic materials 0.000 description 1
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001379 sodium hypophosphite Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的1
(産業上の利用分野)
本発明は、耐酸性良好な内層処理を行うことによって耐
熱性、接着性に優れたハローイング現象の少ない多層プ
リント基板の製造方法に関する。
熱性、接着性に優れたハローイング現象の少ない多層プ
リント基板の製造方法に関する。
(従来の技術)
電子機器の高度化、多様化、高信頼性に件って多層プリ
ント板の需要が増加している。 多層プリント板は1枚
以上の内層回路板、プリプレグ、銅箔等の外層導電層か
らなる多層プリント基板の外層導電層に回路形成をした
ものである。
ント板の需要が増加している。 多層プリント板は1枚
以上の内層回路板、プリプレグ、銅箔等の外層導電層か
らなる多層プリント基板の外層導電層に回路形成をした
ものである。
多層プリント基板の製造において最も重要なことは、内
層回路板とプリプレグ(樹脂)との接着を良くすること
である。 この接着を良くする方法として、■内層回路
板表面に@酸化物層を形成することか行われている。
すなわち、第1図に示したように、ます内層回路板λの
内層銅箔2a上に銅酸化物層3を形成し、その上下にプ
リプレグ4を介在させ外層導電N5を重ねて成形するこ
とにより多層化し、多層化したプリント基板1はドリル
加工してスルーホール6をあける。 第1図に示したス
ルーホール6の内面には、塩酸を含むメツキ液によって
スルーホールメツキをして内層銅箔2a、外層導電層5
間に電気的な接続がされる。
層回路板とプリプレグ(樹脂)との接着を良くすること
である。 この接着を良くする方法として、■内層回路
板表面に@酸化物層を形成することか行われている。
すなわち、第1図に示したように、ます内層回路板λの
内層銅箔2a上に銅酸化物層3を形成し、その上下にプ
リプレグ4を介在させ外層導電N5を重ねて成形するこ
とにより多層化し、多層化したプリント基板1はドリル
加工してスルーホール6をあける。 第1図に示したス
ルーホール6の内面には、塩酸を含むメツキ液によって
スルーホールメツキをして内層銅箔2a、外層導電層5
間に電気的な接続がされる。
内層回路板とプリプレグの接着向上には、上記#I酸化
物層を形成する■の方法のほが、■内層回鍔板用の銅箔
として両面処理(粗面化)銅箔を用いる、■回路パター
ンを形成する前の内層回路板銅箔面をエツチングまたは
電気メツキによって表面を粗化する、■■の銅酸化物層
を更に電解還元又は化学還元を行う方法等があり、最も
安価な方法としてfJIA酸化物層を形成する■の方法
が、−船釣に採用されている。
物層を形成する■の方法のほが、■内層回鍔板用の銅箔
として両面処理(粗面化)銅箔を用いる、■回路パター
ンを形成する前の内層回路板銅箔面をエツチングまたは
電気メツキによって表面を粗化する、■■の銅酸化物層
を更に電解還元又は化学還元を行う方法等があり、最も
安価な方法としてfJIA酸化物層を形成する■の方法
が、−船釣に採用されている。
(発明が解決しようとする課題)
多層プリント板は、高密度化に伴い、小径スルーホール
が増え、ハローインクという問題がでてきた。 ハロー
イングとは、第2図に示したように、基板上を、スルー
ホールメツキのためにメツキ液に浸漬すると、スルーホ
ール6の内壁に現われた内層銅箔2aの断面にメツキ液
中の塩酸が浸透し、特にプリプレグ4と接着している銅
酸化物層3を溶解して隙間7ができ、この結果ハンダ耐
熱性か低下する現象である。
が増え、ハローインクという問題がでてきた。 ハロー
イングとは、第2図に示したように、基板上を、スルー
ホールメツキのためにメツキ液に浸漬すると、スルーホ
ール6の内壁に現われた内層銅箔2aの断面にメツキ液
中の塩酸が浸透し、特にプリプレグ4と接着している銅
酸化物層3を溶解して隙間7ができ、この結果ハンダ耐
熱性か低下する現象である。
ハローイングは、ドリル条件やスルーホールメツキ条件
にも原因かあると考えられているが、特に内層回路板と
樹脂との接着方法に起因している。
にも原因かあると考えられているが、特に内層回路板と
樹脂との接着方法に起因している。
また、上記の内層回路板とプリプレグとの接着を改良し
た上記■〜■の方法には、ハローインク以外にも種々の
欠点かある。
た上記■〜■の方法には、ハローインク以外にも種々の
欠点かある。
■の方法では、前述したとおりハローイングが発生する
欠点かあり、■の方法では、両面処理銅箔の取扱いが面
倒であること、またこれをエツチング処理すると第3図
に示したような回路パターン、し」−の表面の平面部分
11は処理銅箔面であるから粗面化されているが、エツ
チングされた側面部分12は粗面化されておらず、耐熱
性の劣化や剥離等の原因となりやすい欠点かある。 こ
の欠点は、銅箔が厚いほど、またパターンがファイン化
するほど粗面化されていない未処理面積〈側面部分12
)が広く、耐酸性に悪影響を与える。
欠点かあり、■の方法では、両面処理銅箔の取扱いが面
倒であること、またこれをエツチング処理すると第3図
に示したような回路パターン、し」−の表面の平面部分
11は処理銅箔面であるから粗面化されているが、エツ
チングされた側面部分12は粗面化されておらず、耐熱
性の劣化や剥離等の原因となりやすい欠点かある。 こ
の欠点は、銅箔が厚いほど、またパターンがファイン化
するほど粗面化されていない未処理面積〈側面部分12
)が広く、耐酸性に悪影響を与える。
また■の方法は、回路パターンの形成前に粗面化するた
め■と同様な欠点がある。 ■の方法では、表面に金属
銅がむき出しとなるため、内層板表面が酸化しやすくな
り長期保存ができす、また乾燥やベーキングの際に変色
する等の欠点がある。
め■と同様な欠点がある。 ■の方法では、表面に金属
銅がむき出しとなるため、内層板表面が酸化しやすくな
り長期保存ができす、また乾燥やベーキングの際に変色
する等の欠点がある。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので耐酸性に
優れた内層処理を行うことによってスルーホールメツキ
時のハローイング現象を低減し、耐熱性、接着性、安定
性に優れた信頼性の高い多層プリント基板の製造方法を
提供することを目的としている。
優れた内層処理を行うことによってスルーホールメツキ
時のハローイング現象を低減し、耐熱性、接着性、安定
性に優れた信頼性の高い多層プリント基板の製造方法を
提供することを目的としている。
「発明の構成]
(課題を解決するための手段)
本発明者は、上記の目的を達成するために鋭意研究を重
ねた結果、内層回路板の表面形状をつくるためにまず第
一次銅酸化し、その酸化による厚い酸化銅層を金属銅に
還元し、そして還元した表面を薄く酸化する第二次銅酸
化の工程を行うことによって、薄い第二次酸化銅層によ
るメツキ液の塩酸の浸蝕を防止できることを見いたし、
本発明を完成したものである。
ねた結果、内層回路板の表面形状をつくるためにまず第
一次銅酸化し、その酸化による厚い酸化銅層を金属銅に
還元し、そして還元した表面を薄く酸化する第二次銅酸
化の工程を行うことによって、薄い第二次酸化銅層によ
るメツキ液の塩酸の浸蝕を防止できることを見いたし、
本発明を完成したものである。
すなわち、本発明は、
回路パターンか形成されている内層回路板、プリプレグ
、外層導電層からなる多層プリント基板の製造方法にお
いて、内層回路板の回路パターン表面に第一次の酸化銅
層を形成する工程と、形成された第一次酸化銅層を還元
性溶液によって金属銅に還元する工程と、還元された金
属銅に再度薄い第二次の酸化銅層を形成する工程を含む
ことを特徴とする多層プリント基板の製造方法である。
、外層導電層からなる多層プリント基板の製造方法にお
いて、内層回路板の回路パターン表面に第一次の酸化銅
層を形成する工程と、形成された第一次酸化銅層を還元
性溶液によって金属銅に還元する工程と、還元された金
属銅に再度薄い第二次の酸化銅層を形成する工程を含む
ことを特徴とする多層プリント基板の製造方法である。
通常の黒化処理では、表面の酸化銅層か酸に弱くハロー
イングとなりやすいことから、酸化銅層によらずに表面
に凹凸を形成することがハローイングを防止する最もよ
い方法と考えられるか、酸化銅層の有する優れた安定性
、耐熱性等をも失ってはならない。 一方、酸化鋼層が
厚いとハローイングが起こりやすく、薄いと耐酸性に優
れて、へローイングが起こりにくいと考えられる。 そ
れはブラウンオキサイド(黒化処理に比べ、低温、低温
度アルカリによる薄い酸化銅処理によるもの)が耐酸性
に優れていることからも立証できる。
イングとなりやすいことから、酸化銅層によらずに表面
に凹凸を形成することがハローイングを防止する最もよ
い方法と考えられるか、酸化銅層の有する優れた安定性
、耐熱性等をも失ってはならない。 一方、酸化鋼層が
厚いとハローイングが起こりやすく、薄いと耐酸性に優
れて、へローイングが起こりにくいと考えられる。 そ
れはブラウンオキサイド(黒化処理に比べ、低温、低温
度アルカリによる薄い酸化銅処理によるもの)が耐酸性
に優れていることからも立証できる。
しかし酸化銅層を薄くするだけでは引剥し強度か低下す
るので好ましくない。 従って引剥し強度が低下せず、
しかもハローイングが起こらない程度に酸化銅層を薄く
することが必要である。 本発明はこれらの背景から出
発し、第一次酸化工程と第二次酸化工程とを組み合せた
ものである。
るので好ましくない。 従って引剥し強度が低下せず、
しかもハローイングが起こらない程度に酸化銅層を薄く
することが必要である。 本発明はこれらの背景から出
発し、第一次酸化工程と第二次酸化工程とを組み合せた
ものである。
以下、本発明の多層プリント基板の製造方法について詳
述する。
述する。
本発明に用いる内層回路板としては、通常内層回路板と
して使用されるものであればよく、特に制限するもので
はない、 通常、ガラス布基材エポキシ、ガラス布基材
ポリイミド等の両面銅張積層板等が使用される。 両面
銅張積層板に回路形成をした内層回路板は、過酸化水素
−硫酸水溶液等に浸漬しエツチングを行って粗面化した
後、希塩酸で洗浄し十分水洗するのがよい。
して使用されるものであればよく、特に制限するもので
はない、 通常、ガラス布基材エポキシ、ガラス布基材
ポリイミド等の両面銅張積層板等が使用される。 両面
銅張積層板に回路形成をした内層回路板は、過酸化水素
−硫酸水溶液等に浸漬しエツチングを行って粗面化した
後、希塩酸で洗浄し十分水洗するのがよい。
本発明における第一次の酸化鋼層を形成する方法として
は、特に制限はなく、アルカリ性亜塩素酸ナトリウム水
溶液、アルカリ性過硫酸カリ水溶液、硫化カリ塩化アン
モニア水溶液等に浸漬して酸化銅層を形成することかで
きる。 例えば、Na CI O4、Na OH,Na
2POa−2H20水溶液で第一次酸化をする場合、
通常採用される80〜100°Cの温度で数分間浸漬し
、その後水洗して第一次の酸化銅層を形成させる。
は、特に制限はなく、アルカリ性亜塩素酸ナトリウム水
溶液、アルカリ性過硫酸カリ水溶液、硫化カリ塩化アン
モニア水溶液等に浸漬して酸化銅層を形成することかで
きる。 例えば、Na CI O4、Na OH,Na
2POa−2H20水溶液で第一次酸化をする場合、
通常採用される80〜100°Cの温度で数分間浸漬し
、その後水洗して第一次の酸化銅層を形成させる。
本発明の還元性溶液によって還元する方法としては、還
元剤として通常使用される例えば、次亜リン酸、次亜リ
ン酸ナトリウム、抱水ヒドラジン、塩酸ヒドラジン、硫
酸ヒドラジン、水素化ホウ素ナトリウム、N、N′−ト
リメチルホラサン、N。
元剤として通常使用される例えば、次亜リン酸、次亜リ
ン酸ナトリウム、抱水ヒドラジン、塩酸ヒドラジン、硫
酸ヒドラジン、水素化ホウ素ナトリウム、N、N′−ト
リメチルホラサン、N。
N′−ジメチルボラゼン等を水で溶解したアルカリ性溶
液に、常温で数分間浸漬して第一次の酸化銅層を還元す
る。 この場合、還元力を高めるために加熱することも
できる。
液に、常温で数分間浸漬して第一次の酸化銅層を還元す
る。 この場合、還元力を高めるために加熱することも
できる。
本発明における第二次の酸化銅層を形成する方法として
は、Na Cl 04、Na 0H5Na 2 PO4
・2H20水溶液等に浸漬するが、第一次の酸化銅層の
場合に比べてより低温で、アルカリ濃度をより低くし、
薄い酸化銅層を形成するようにする。 例えば Na Cl O,10〜20 g/ INa OH’
3〜15 q/lNa2PO,・2H20
5!11/J 温度 65〜80”Cのアルカリ性亜
塩素酸ナトリウム水溶液に5〜10分間浸漬して第二次
の酸化銅層を形成する。
は、Na Cl 04、Na 0H5Na 2 PO4
・2H20水溶液等に浸漬するが、第一次の酸化銅層の
場合に比べてより低温で、アルカリ濃度をより低くし、
薄い酸化銅層を形成するようにする。 例えば Na Cl O,10〜20 g/ INa OH’
3〜15 q/lNa2PO,・2H20
5!11/J 温度 65〜80”Cのアルカリ性亜
塩素酸ナトリウム水溶液に5〜10分間浸漬して第二次
の酸化銅層を形成する。
この第一次酸化工程、還元工程及び第二次酸化工程の3
工程は連続的に行うことか効率的で望ましいが、非連続
的にすること、また必要な2工程のみ連続的に行うこと
もできる。
工程は連続的に行うことか効率的で望ましいが、非連続
的にすること、また必要な2工程のみ連続的に行うこと
もできる。
本発明に用いるプリプレグとしては、通常多層プリント
基板用として使用されているものであればいかなるもの
でもよく、特に限定されるものではない。
基板用として使用されているものであればいかなるもの
でもよく、特に限定されるものではない。
また、外層導電層としては、銅箔等の金属箔を使用する
のがよいが、積層成形後にアディティブ法等により形成
したものでもよく、特に限定されるものではない。
のがよいが、積層成形後にアディティブ法等により形成
したものでもよく、特に限定されるものではない。
こうして得られた内層回路板、プリプレグ、外層導電層
を積層成形一体にして多層プリント基板を製造すること
ができる。
を積層成形一体にして多層プリント基板を製造すること
ができる。
(作用)
本発明の多層プリント基板の製造方法は、内層回路板の
処理工程として、第一次酸化銅を形成する工程、これを
還元する工程、更に還元したものに薄く第二次酸化銅を
形成する工程を設けることによって、ハローイング現象
の低減と酸化銅本来の安定性と耐熱性をともに維持させ
ることかできるものである。 これによって内層回路板
の取扱いが簡単で、また長期保存等ができるものとなる
。
処理工程として、第一次酸化銅を形成する工程、これを
還元する工程、更に還元したものに薄く第二次酸化銅を
形成する工程を設けることによって、ハローイング現象
の低減と酸化銅本来の安定性と耐熱性をともに維持させ
ることかできるものである。 これによって内層回路板
の取扱いが簡単で、また長期保存等ができるものとなる
。
(実施例)
次に本発明を実施例によって具体的に説明する。
実施例 1
(1)カラス布基材エポキシ樹脂@張積層板に回路を形
成して内層回路板とした。 これを)(20234Q/
I H2SO,46(]/A 温度 常温 の水溶液に2分間浸漬し、エツチングを行い粗面化した
後、希塩酸で洗浄した。
成して内層回路板とした。 これを)(20234Q/
I H2SO,46(]/A 温度 常温 の水溶液に2分間浸漬し、エツチングを行い粗面化した
後、希塩酸で洗浄した。
(2)この内層回路板を十分水洗し
Na CI 0. 30(1/I!NaO
H25a/A Na 2 po、t −2H205Q/I!温度
85°C の水溶液に3分間浸漬して第一次の酸化銅層を形成した
。
H25a/A Na 2 po、t −2H205Q/I!温度
85°C の水溶液に3分間浸漬して第一次の酸化銅層を形成した
。
(3)次に
NaBH42g/1
NaOH10g/j!
(CH3) 2NH20g/It
温度 常温
の水溶液に3分間浸漬して第一次の酸化銅層を還元した
。
。
(4)これを
Na CI O,10!11/l
NaOH3Q/I
Na 2 PO,・2H205Q/1
温度 80℃
の水溶液に5分間浸漬して第二次の酸化銅層を形成し、
十分水洗した後乾燥させ、105℃で30分間ベーキン
グを行って内層回路板を処理した。
十分水洗した後乾燥させ、105℃で30分間ベーキン
グを行って内層回路板を処理した。
実施例 2
実施例1において(2)の第一次の酸化銅を形成する工
程で、 Na C1O,30g/l NaOHIOg/I Na 2 PO4−2H205(1/I温度
80℃ の水溶液で5分間浸漬した以外は、すべて実施例1と同
一にして内層回路板を処理した。
程で、 Na C1O,30g/l NaOHIOg/I Na 2 PO4−2H205(1/I温度
80℃ の水溶液で5分間浸漬した以外は、すべて実施例1と同
一にして内層回路板を処理した。
実施例 3
実施例1において(3)の還元する工程で、BH3NH
(CH3) 2 5g/l NaOH10c+/1 ポリエチレングリコール 51q/ 1温度
常温 の水溶液で2分間浸漬した以外は、すべて実施例1と同
一にして内層回路板を処理しな。
(CH3) 2 5g/l NaOH10c+/1 ポリエチレングリコール 51q/ 1温度
常温 の水溶液で2分間浸漬した以外は、すべて実施例1と同
一にして内層回路板を処理しな。
実施例 4
実施例3において(4)の第二次の酸化銅形成工程を
Na CI 0420Q/l
NaOH15(]/j!
Na 2 P O−・2 H205g/ 1温度
65℃ の水溶液で10分間浸漬した以外は、すべて実施例3と
同一にして内層回路板を処理した。
65℃ の水溶液で10分間浸漬した以外は、すべて実施例3と
同一にして内層回路板を処理した。
比較例 1
実施例1において(3)の還元工程及び(4)の第二次
酸化銅層の形成工程を行わなかった以外は実施例1と同
様にして内層回路板を処理した。
酸化銅層の形成工程を行わなかった以外は実施例1と同
様にして内層回路板を処理した。
比較例 2
実施例2において(2)の第一次酸化銅層の形成工程及
び(3)の還元工程を行わなかった以外は実施例2と同
様にして内層回路板を処理した。
び(3)の還元工程を行わなかった以外は実施例2と同
様にして内層回路板を処理した。
比較例 3
実施例1において(4)の第二次酸化銅層の形成を行わ
なかった以外は実施例1と同様にして内層回路板を処理
した。
なかった以外は実施例1と同様にして内層回路板を処理
した。
比較例 4
実施例3において(4)の第二次酸化銅の形成工程を行
わなかった以外は実施例3と同様にして内層回路板を処
理した。
わなかった以外は実施例3と同様にして内層回路板を処
理した。
比較例 5
カラス布基材エポキシ樹脂銅張積層板に回路形成した内
層回路板を DTPA −5Na 52g/jICu S
o、−5H205(lj/j!p)[4,5 温度 45℃ の水溶液中、電流密度5A/dl′12で15秒間陰極
電解し、水洗乾燥して内層回路板を粗面化した。
層回路板を DTPA −5Na 52g/jICu S
o、−5H205(lj/j!p)[4,5 温度 45℃ の水溶液中、電流密度5A/dl′12で15秒間陰極
電解し、水洗乾燥して内層回路板を粗面化した。
比較例 6
両面処理銅箔を使用したカラス布エポキシ樹脂銅張積層
板に印刷法により回路形成して内層回路板とした。
板に印刷法により回路形成して内層回路板とした。
以上実施例1〜4及び比較例1〜6で得られたそれぞれ
の内層回路板を用いて、エポキシ樹脂を含浸したプリプ
レグを介して銀箔を重ねて 170℃。
の内層回路板を用いて、エポキシ樹脂を含浸したプリプ
レグを介して銀箔を重ねて 170℃。
25 kof/cn’で90分間加熱加圧一体に成形し
て多層プリント基板を製造した。
て多層プリント基板を製造した。
実施例1〜4及び比較例1〜6で得られた内層回路板、
多層プリント基板について処理表面の安定性、耐熱性、
耐ハローイング性、内層銀箔の引剥し強さの諸試験を行
ったのでその結果を第1表に示したか、本発明の多層プ
リント基板はすべて特性に優れており、頚著な効果が確
認された。
多層プリント基板について処理表面の安定性、耐熱性、
耐ハローイング性、内層銀箔の引剥し強さの諸試験を行
ったのでその結果を第1表に示したか、本発明の多層プ
リント基板はすべて特性に優れており、頚著な効果が確
認された。
*1 、内層回路板を温度50°C1湿度90%RHの
条件で60分間放置した後、表面の変色、色ムラの有無
を試験した。 ◎印・・・変色ムラなし、×印・・・変
色ムラ有り *2 :内層回路板を温度30°C1湿度90%RHの
条件で10日間放置した後、表面の変色、色ムラの有無
を試験した。 ◎印・・・変色ムラなし、X印・・・変
色ムラ有り。
条件で60分間放置した後、表面の変色、色ムラの有無
を試験した。 ◎印・・・変色ムラなし、×印・・・変
色ムラ有り *2 :内層回路板を温度30°C1湿度90%RHの
条件で10日間放置した後、表面の変色、色ムラの有無
を試験した。 ◎印・・・変色ムラなし、X印・・・変
色ムラ有り。
*3:内層銅箔に70μmの銅箔を使用し、この表面に
幅100μmのラインを200μm間隔を格子状にパタ
ーンニングし、これを内層板として積層して多層プリン
ト基板をつくり、その後外層銅箔をエツチングし、28
8℃の半田浴に30秒間浸漬し、フクロの有無を試験し
た。 ◎印・・・フクロなし、×印・・・フクレ有り。
幅100μmのラインを200μm間隔を格子状にパタ
ーンニングし、これを内層板として積層して多層プリン
ト基板をつくり、その後外層銅箔をエツチングし、28
8℃の半田浴に30秒間浸漬し、フクロの有無を試験し
た。 ◎印・・・フクロなし、×印・・・フクレ有り。
*4:多層プリント基板の外層導電層をエツチング除去
し、これにドリル径0.4φ、送り1.5n/分1回転
数80.0OOr、 p、 rgの条件で3枚重ねて穴
明けを行い、これを試料とじて20%の塩酸に120分
浸漬し、ハローイングの長さを計測した。
し、これにドリル径0.4φ、送り1.5n/分1回転
数80.0OOr、 p、 rgの条件で3枚重ねて穴
明けを行い、これを試料とじて20%の塩酸に120分
浸漬し、ハローイングの長さを計測した。
*5:内層回路板の基材と、内層銀箔との引剥し強さを
JIS法に基づき試験しな。
JIS法に基づき試験しな。
*6:260°C,20秒間の熱処理後、常態引き剥し
強さにおけると同じ試験を行った。
強さにおけると同じ試験を行った。
[発明の効果コ
以上の説明及び第1表から明らかなように、本発明の多
層プリント基板の製造方法によれば、耐酸性良好な内層
回路板の処理を行うことによって、表面状態か安定で取
扱いやすく、スルーホール時のハローイング現象を低減
し、耐熱性、接着性の優れた、多層プリント基板を製造
することかできるものである。
層プリント基板の製造方法によれば、耐酸性良好な内層
回路板の処理を行うことによって、表面状態か安定で取
扱いやすく、スルーホール時のハローイング現象を低減
し、耐熱性、接着性の優れた、多層プリント基板を製造
することかできるものである。
第1図は本発明に関連する多層プリント基板の層構成を
説明する端面図、第2図は本発明の課題であるハローイ
ング現象を説明する基板端面図、第3図は本発明におけ
る粗面化課題を説明する回路パターンの斜視図である。 1・・・多層プリント基板、 2・・・内層回路板、2
a・・・内層銅箔、 3・・・銅酸化物層、 4・・・
プリプレグ、 5・・・外層導電層、 6・・・スルー
ホール、10・・・回路パターン、 11・・・粗面
化されて1する平面部分、 12・・・粗面化されない
側面部分。
説明する端面図、第2図は本発明の課題であるハローイ
ング現象を説明する基板端面図、第3図は本発明におけ
る粗面化課題を説明する回路パターンの斜視図である。 1・・・多層プリント基板、 2・・・内層回路板、2
a・・・内層銅箔、 3・・・銅酸化物層、 4・・・
プリプレグ、 5・・・外層導電層、 6・・・スルー
ホール、10・・・回路パターン、 11・・・粗面
化されて1する平面部分、 12・・・粗面化されない
側面部分。
Claims (1)
- 1 回路パターンが形成されている内層回路板、プリプ
レグ、外層導電層からなる多層プリント基板の製造方法
において、内層回路板の回路パターン表面に第一次の酸
化銅層を形成する工程と、形成された酸化銅層を還元性
溶液によって金属銅に還元する工程と、還元された金属
銅に再度薄い第二次の酸化銅層を形成する工程を含むこ
とを特徴とする多層プリント基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6749990A JPH03268389A (ja) | 1990-03-17 | 1990-03-17 | 多層プリント基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6749990A JPH03268389A (ja) | 1990-03-17 | 1990-03-17 | 多層プリント基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03268389A true JPH03268389A (ja) | 1991-11-29 |
Family
ID=13346742
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6749990A Pending JPH03268389A (ja) | 1990-03-17 | 1990-03-17 | 多層プリント基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03268389A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1879436A2 (en) * | 2006-07-14 | 2008-01-16 | Rohm and Haas Electronic Materials LLC | Method for manufacturing a composite of copper and resin |
-
1990
- 1990-03-17 JP JP6749990A patent/JPH03268389A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1879436A2 (en) * | 2006-07-14 | 2008-01-16 | Rohm and Haas Electronic Materials LLC | Method for manufacturing a composite of copper and resin |
EP1879436A3 (en) * | 2006-07-14 | 2009-11-04 | Rohm and Haas Electronic Materials LLC | Method for manufacturing a composite of copper and resin |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3936548A (en) | Method for the production of material for printed circuits and material for printed circuits | |
JP2002047583A (ja) | 銅または銅合金のマイクロエッチング剤およびそれを用いるマイクロエッチング法 | |
US5538616A (en) | Process for copper plating a wiring board | |
JPH0335394B2 (ja) | ||
JP4870699B2 (ja) | 銅の表面処理方法およびプリント配線板の表面処理方法 | |
JPS648479B2 (ja) | ||
EP0245305A1 (en) | Copper oxide treatment in printed circuit board | |
JPH07123181B2 (ja) | プリント配線板の製造法 | |
JPH03268389A (ja) | 多層プリント基板の製造方法 | |
JPH0217953B2 (ja) | ||
JPH0621157A (ja) | 銅 ポ リ イ ミ ド 基 板 の 製 造 方 法 | |
JPH06216520A (ja) | 多層プリント基板の製造方法 | |
JPH06256960A (ja) | 銅被覆アラミド基板の製造方法 | |
JPH05167248A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JPH08148810A (ja) | プリント配線板の製造法 | |
JPH03274792A (ja) | 多層プリント基板の製造方法 | |
JP3698694B2 (ja) | スルーホールめっき方法 | |
JPH09321443A (ja) | 多層板の製造方法 | |
JP2768123B2 (ja) | 多層配線板の製造方法 | |
JP2768122B2 (ja) | 多層配線板の製造方法 | |
JP3185516B2 (ja) | 多層配線板の製造方法 | |
JP3367189B2 (ja) | 内層用配線板の銅回路の処理方法 | |
JPH0734507B2 (ja) | 多層プリント配線板 | |
JPH10126057A (ja) | 多層配線板の製造方法 | |
JPH04208596A (ja) | 多層プリント配線板の製造方法 |