JPH03261657A - 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法 - Google Patents
電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法Info
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- JPH03261657A JPH03261657A JP2061465A JP6146590A JPH03261657A JP H03261657 A JPH03261657 A JP H03261657A JP 2061465 A JP2061465 A JP 2061465A JP 6146590 A JP6146590 A JP 6146590A JP H03261657 A JPH03261657 A JP H03261657A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は電気機器、電子機器で発生する異常高電圧、ノ
イズ、静電気などから機器の半導体および回路を保護す
るためのコンデンサ特性とバリスタ特性を有する電圧依
存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法
に関するものである。
イズ、静電気などから機器の半導体および回路を保護す
るためのコンデンサ特性とバリスタ特性を有する電圧依
存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法
に関するものである。
従来の技術
従来、各種の電気機器、電子機器における異常高電圧の
吸収、ノイズの除去、火花消去、静電気対策のために電
圧依存性非直線抵抗特性を有するSiCバリスタや、Z
nO系バリスタなどが使用されている。このようなバリ
スタの電圧−電流特性は近似的に次式のように表すこと
ができる。
吸収、ノイズの除去、火花消去、静電気対策のために電
圧依存性非直線抵抗特性を有するSiCバリスタや、Z
nO系バリスタなどが使用されている。このようなバリ
スタの電圧−電流特性は近似的に次式のように表すこと
ができる。
!=(V/C)α
ここで、■は電流、■は電圧、Cはバリスタ固有の定数
、αは電圧−Tl流非直線指数である。
、αは電圧−Tl流非直線指数である。
SiCバリスタのαは2〜7程度、ZnO系バリスタで
はαが50にもおよぶものがある。このようなバリスタ
は比較的高い電圧の吸収には優れた性能を有しているが
、誘電率が低く、固有の静電容量が小さいため、バリス
タ電圧以下の比較的低い電圧の吸収にはほとんど効果を
示さず、また誘電損失tanδが5〜10%と大きい。
はαが50にもおよぶものがある。このようなバリスタ
は比較的高い電圧の吸収には優れた性能を有しているが
、誘電率が低く、固有の静電容量が小さいため、バリス
タ電圧以下の比較的低い電圧の吸収にはほとんど効果を
示さず、また誘電損失tanδが5〜10%と大きい。
一方、これらの低電圧のノイズなどの除去には見かけの
誘電率が5X10’程度で、tanδが1%前後の半導
体コンデンサが利用されている。しかし、このような半
導体コンデンサはサージなどによりある限度以上の電圧
または電流が印加されると、静電容量が減少したり破壊
したりしてコンデンサとしての機能を果たさなくなった
りする。
誘電率が5X10’程度で、tanδが1%前後の半導
体コンデンサが利用されている。しかし、このような半
導体コンデンサはサージなどによりある限度以上の電圧
または電流が印加されると、静電容量が減少したり破壊
したりしてコンデンサとしての機能を果たさなくなった
りする。
そこで最近になって5rTiO+を主成分とし、バリス
タ特性とコンデンサ特性の両方の機能を有するものが開
発され、コンピュータなどの電子機器におけるIC,L
SIなどの半導体素子の保護に利用されている。
タ特性とコンデンサ特性の両方の機能を有するものが開
発され、コンピュータなどの電子機器におけるIC,L
SIなどの半導体素子の保護に利用されている。
発明が解決しようとする課題
上記の5rTi03を主成分とするバリスタとコンデン
サの両方の機能を有する素子は、ZnO系バリスタに比
べ誘電率が約10倍と大きいが、αやサージ耐量が小さ
く、バリスタ電圧を低くすると特性が劣化しやすいとい
った欠点を有していた。
サの両方の機能を有する素子は、ZnO系バリスタに比
べ誘電率が約10倍と大きいが、αやサージ耐量が小さ
く、バリスタ電圧を低くすると特性が劣化しやすいとい
った欠点を有していた。
そこで本発明では、誘電率が大きくバリスタ電圧が低く
、αが大きいと共にサージ耐量が大きい電圧依存性非直
線抵抗体磁器&ltc物およびバリスタの製造方法を提
供することを目的とするものである。
、αが大きいと共にサージ耐量が大きい電圧依存性非直
線抵抗体磁器&ltc物およびバリスタの製造方法を提
供することを目的とするものである。
課題を解決するための手段
上記、間理点を解決するために本発明では、(Sr、−
、Ca1I)IITiOi(0,001≦χ≦0.30
0,0.950≦a〈1.000) (以下、第1成分
と呼ぶ)を90.000〜99.998ao 1%、N
btOz、TazOs+WOi、 DyzOs、 Y2
O2+ La2k CeO2,Sn+zOz、 Pr1
Oz、 NbtOz のうち少なくとも1種類以上(以
下、第2成分と呼ぶ)を0.001〜5.000no
1%、A1.0.、 sb、olBad、 Bed、
PbO+82031 Cry(h+ FezOz+ c
ao、にzO,Cab、 CO20,Cu0CuzO+
Litu、 Lid、 MgO,Mn0z+ MoO
:+、NazO,NaP。
、Ca1I)IITiOi(0,001≦χ≦0.30
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と呼ぶ)を90.000〜99.998ao 1%、N
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:+、NazO,NaP。
Nip、 RhJi、 5eOz+ Ag、o、 si
o□、 SiC,SrO,TizOiTh02. T!
Ox、 V2O5+ Bi、o、、 ZnO,Zr0t
、 Sno□のうち少なくとも1種類以上(以下、第3
戒分と呼ぶ)を0.001〜5.000a+o 1%含
有してなる主成分100重量部と、BaTjOz 6
0.000〜32.500a+o 1%、5i0240
.000〜67.5mol%からなる混合物を1200
〜1300°C以上で焼成してなる添加物(以下、第4
威分と呼ぶ) 0.001〜10.000重要部とか
らなる電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物を得ることに
より問題を解決しようとするものである。
o□、 SiC,SrO,TizOiTh02. T!
Ox、 V2O5+ Bi、o、、 ZnO,Zr0t
、 Sno□のうち少なくとも1種類以上(以下、第3
戒分と呼ぶ)を0.001〜5.000a+o 1%含
有してなる主成分100重量部と、BaTjOz 6
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.000〜67.5mol%からなる混合物を1200
〜1300°C以上で焼成してなる添加物(以下、第4
威分と呼ぶ) 0.001〜10.000重要部とか
らなる電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物を得ることに
より問題を解決しようとするものである。
作用
上記の発明において、第1威分は主たる成分であり、5
rTiO,、のSrの一部をCaで置換することにより
、粒界に形成される高抵抗層がサージに対して強くなる
。また、Sr、 CaからなるAサイトの化学量論比と
TiからなるBサイトの化学量論比をTi過剰すること
により、粒子内部の抵抗を低くし、粒界に形成される誘
電体の誘電率を大きくすることができる。さらに、第2
戒分は主に第1戒分の半導体化を促進する金属酸化物で
ある。また、第3成分は誘電率、α、サージ耐量の改善
に寄与するものであり、第4戒分はバリスタ電圧の低下
、誘電率の改善に有効なものである。特に、第4成分は
融点が1230〜1250°Cと比較的低いため、融点
前後の温度で焼威すると液相となり、その他の成分の反
応を促進すると共に粒子の成長を促進する。
rTiO,、のSrの一部をCaで置換することにより
、粒界に形成される高抵抗層がサージに対して強くなる
。また、Sr、 CaからなるAサイトの化学量論比と
TiからなるBサイトの化学量論比をTi過剰すること
により、粒子内部の抵抗を低くし、粒界に形成される誘
電体の誘電率を大きくすることができる。さらに、第2
戒分は主に第1戒分の半導体化を促進する金属酸化物で
ある。また、第3成分は誘電率、α、サージ耐量の改善
に寄与するものであり、第4戒分はバリスタ電圧の低下
、誘電率の改善に有効なものである。特に、第4成分は
融点が1230〜1250°Cと比較的低いため、融点
前後の温度で焼威すると液相となり、その他の成分の反
応を促進すると共に粒子の成長を促進する。
そのため粒界部分に第3威分が偏析しやすくなり、粒界
が高抵抗化され易くなり、バリスタ機能およびコンデン
サ機能が改善される。また、粒成長が促進されるためバ
リスタ電圧が低くなり、粒径の均一性が向上するため特
性の安定性が良くなり、特にサージ耐量が改善されるこ
ととなる。
が高抵抗化され易くなり、バリスタ機能およびコンデン
サ機能が改善される。また、粒成長が促進されるためバ
リスタ電圧が低くなり、粒径の均一性が向上するため特
性の安定性が良くなり、特にサージ耐量が改善されるこ
ととなる。
実施例
以下に、本発明を実施例を挙げて具体的に説明する。
まず、BaTiOs、 5if2を下記の第1表に示す
ように組成比を種々変えて秤量し、ボールミルなどで2
011r混合する。次に、乾燥した後、下記の第1表に
示すように温度を種々変えて焼成し、再びボールごルな
どで2Hr粉砕した後、乾燥し、第4威分とする0次い
で、第1成分、第2威分、第3威分、第4成分を下記の
第1表に示した組成比になるように秤量し、ボール旦ル
などで2411r混合した後、乾燥し、ポリビニルアル
コールなどの有機バインダーを10wt%添加して造粒
した後、1(t/d)のプレス圧力で10φx l L
閣)の円板状に成形し、1000″Cで1011r焼威
し脱バインダーする0次に、第1表に示したように温度
と時間を種々変えて焼成(第1m或)し、その後還元性
雰囲気、例えばNt:Hz=9:1のガス中で温度と時
間を種々変えて焼成(第2焼威)する。さらに、その後
、酸化性雰囲気中で温度と時間を種々変えて焼威(第3
焼成)する。
ように組成比を種々変えて秤量し、ボールミルなどで2
011r混合する。次に、乾燥した後、下記の第1表に
示すように温度を種々変えて焼成し、再びボールごルな
どで2Hr粉砕した後、乾燥し、第4威分とする0次い
で、第1成分、第2威分、第3威分、第4成分を下記の
第1表に示した組成比になるように秤量し、ボール旦ル
などで2411r混合した後、乾燥し、ポリビニルアル
コールなどの有機バインダーを10wt%添加して造粒
した後、1(t/d)のプレス圧力で10φx l L
閣)の円板状に成形し、1000″Cで1011r焼威
し脱バインダーする0次に、第1表に示したように温度
と時間を種々変えて焼成(第1m或)し、その後還元性
雰囲気、例えばNt:Hz=9:1のガス中で温度と時
間を種々変えて焼成(第2焼威)する。さらに、その後
、酸化性雰囲気中で温度と時間を種々変えて焼威(第3
焼成)する。
こうして、得られた第1図、第2図に示す焼結体1の両
平面に外周を残すようにして^gなどの導電性ペースト
をスクリーン印刷などにより塗布し、600°(,5+
+inで焼威し、電極2.3を形成する。
平面に外周を残すようにして^gなどの導電性ペースト
をスクリーン印刷などにより塗布し、600°(,5+
+inで焼威し、電極2.3を形成する。
次に、半田などによりリード線(図示せず)を取付け、
エポキシなどの樹脂を塗装する。このようにして得られ
た素子の特性を下記の第2表に示す。
エポキシなどの樹脂を塗装する。このようにして得られ
た素子の特性を下記の第2表に示す。
なお、誘電率はI KHzでの静電容量から計算したも
のであり、αは a = 1 / Log V l0IIA/ V im
A(ただし、V IIIA % VlllaAは1゜、
10.Aの電流を流した時に素子の両端にかかる電圧で
ある。)で評価した。また、サージ耐量はパルス性の電
流を印加した後のVlmAの変化率が±lO%以内であ
る時の最大のパルス性電流値により評価している。
のであり、αは a = 1 / Log V l0IIA/ V im
A(ただし、V IIIA % VlllaAは1゜、
10.Aの電流を流した時に素子の両端にかかる電圧で
ある。)で評価した。また、サージ耐量はパルス性の電
流を印加した後のVlmAの変化率が±lO%以内であ
る時の最大のパルス性電流値により評価している。
また、第1威分の(Sr+−xcax ) a Ti0
1のχの範囲を規定したのは、χが0.001よりも小
さいと効果を示さず、0.300を超えると格子欠陥が
発生しにくくなるため半導体化が促退されず、粒界にC
aが単一相として析出するため、組織が不均一になり、
VI+aAが高くなりすぎて特性が劣化するためである
。また、aの範囲を規定したのは、aが0.950より
も小さいとTi単体の結晶が析出して組織が不均一にな
り、i、oooを超えると誘電率が小さくなるためであ
る。さらに、第2成分は0.001mol%未満では効
果を示さず、5.OOOmol%を超えると粒界に偏析
して粒界の高抵抗化を抑制し、粒界に第2相を形成する
ため特性劣化するものである。そして、第3成分はO,
OO1mol%未満では効果を示さず、5.000mo
l%を超えると粒界に偏析して第2相を形成するため特
性が劣化するものである。
1のχの範囲を規定したのは、χが0.001よりも小
さいと効果を示さず、0.300を超えると格子欠陥が
発生しにくくなるため半導体化が促退されず、粒界にC
aが単一相として析出するため、組織が不均一になり、
VI+aAが高くなりすぎて特性が劣化するためである
。また、aの範囲を規定したのは、aが0.950より
も小さいとTi単体の結晶が析出して組織が不均一にな
り、i、oooを超えると誘電率が小さくなるためであ
る。さらに、第2成分は0.001mol%未満では効
果を示さず、5.OOOmol%を超えると粒界に偏析
して粒界の高抵抗化を抑制し、粒界に第2相を形成する
ため特性劣化するものである。そして、第3成分はO,
OO1mol%未満では効果を示さず、5.000mo
l%を超えると粒界に偏析して第2相を形成するため特
性が劣化するものである。
また、第4成分は8aTi03とSmogの2威分系の
相図のなかで最も融点の低い領域で物質であり、その範
囲外では融点が高くなるものである。そして、第4戒分
の添加量は、0.001重量部未満では効果を示さず、
10.000重量部を超えると粒界の抵抗は高くなるが
粒界の幅が厚くなるため、静電容量が小さくなると共に
V、□が高くなり、サージに対して弱くなるものである
。また、第4成分の焼成温度を規定したのは、低融点の
第4戒分が合成される温度が1200°C以上であるた
め、さらに、第1焼威の温度を規定したのは、第4成分
の融点が1230〜1250°Cであるため、1100
°C以上の温度で坑底すると第4威分が液相に近い状態
になって焼結が促進されるためであり、1100℃未満
では第4成分の液相焼結効果がないためである。また、
第2焼威の温度を規定したのは、1200°C未満では
第1焼成後の焼結体が十分に還元されず、バリスタ特性
、コンデンサ特性共に劣化するためである。さらに、第
3焼威の温度を規定したのは、900°C未満では粒界
の高抵抗化が十分に進まないため、■1oが低くなりす
ぎバリスタ特性が劣化するためであり、】300°Cを
超えると静電容量が小さくなりすぎコンデンサ特性が劣
化するためである。また、第1焼成の雰囲気は酸化性雰
囲気でも還元性雰囲気でも同様の効果があることを確認
した。
相図のなかで最も融点の低い領域で物質であり、その範
囲外では融点が高くなるものである。そして、第4戒分
の添加量は、0.001重量部未満では効果を示さず、
10.000重量部を超えると粒界の抵抗は高くなるが
粒界の幅が厚くなるため、静電容量が小さくなると共に
V、□が高くなり、サージに対して弱くなるものである
。また、第4成分の焼成温度を規定したのは、低融点の
第4戒分が合成される温度が1200°C以上であるた
め、さらに、第1焼威の温度を規定したのは、第4成分
の融点が1230〜1250°Cであるため、1100
°C以上の温度で坑底すると第4威分が液相に近い状態
になって焼結が促進されるためであり、1100℃未満
では第4成分の液相焼結効果がないためである。また、
第2焼威の温度を規定したのは、1200°C未満では
第1焼成後の焼結体が十分に還元されず、バリスタ特性
、コンデンサ特性共に劣化するためである。さらに、第
3焼威の温度を規定したのは、900°C未満では粒界
の高抵抗化が十分に進まないため、■1oが低くなりす
ぎバリスタ特性が劣化するためであり、】300°Cを
超えると静電容量が小さくなりすぎコンデンサ特性が劣
化するためである。また、第1焼成の雰囲気は酸化性雰
囲気でも還元性雰囲気でも同様の効果があることを確認
した。
なお、本実施例では添加物の組み合わせについては、第
1底分として(Sr、−、Ca、 ) −Ti0s(0
,001≦χ≦0.300.0.950≦a<1.00
0)、第2威分としてNbzOs、TazOs+WOi
+ ”/zOff+ Y2O3+ LazOx+ Ce
OzSw20i、 Pr1Oz、 NbzOa、第3威
分としてAh(h。
1底分として(Sr、−、Ca、 ) −Ti0s(0
,001≦χ≦0.300.0.950≦a<1.00
0)、第2威分としてNbzOs、TazOs+WOi
+ ”/zOff+ Y2O3+ LazOx+ Ce
OzSw20i、 Pr1Oz、 NbzOa、第3威
分としてAh(h。
PbO,CrzOi、CdO,LO,CO20:l C
ub、 CuzO,MgO。
ub、 CuzO,MgO。
門n02. Mo0=、 Neo、 AgtO,SIC
,T120312r02第4成分としてBaTi01.
sio□についてのみ示したが、その他の組み合わせと
して第3成分として5b2o。
,T120312r02第4成分としてBaTi01.
sio□についてのみ示したが、その他の組み合わせと
して第3成分として5b2o。
Bad、 Bed、 Cab、 LiF、 NazO,
NaF、 RhzO3,5ioZSrO,TFIOz+
TtOz、 v、o、、 st!o、、 ZnO,S
nugを用いた組み合わせでも同様の効果が得られるこ
とを確認した。また、第1成分、第2威分、第3成分、
第4成分を第1焼威しただけでもバリスタ電圧が低く、
誘電率εを大きくするのに効果があることを確認した。
NaF、 RhzO3,5ioZSrO,TFIOz+
TtOz、 v、o、、 st!o、、 ZnO,S
nugを用いた組み合わせでも同様の効果が得られるこ
とを確認した。また、第1成分、第2威分、第3成分、
第4成分を第1焼威しただけでもバリスタ電圧が低く、
誘電率εを大きくするのに効果があることを確認した。
発明の効果
以上に示したように本発明によれば、粒子径が大きいた
めバリスタ電圧が低く、誘電率εおよびαが大きく、粒
子径のばらつきが小さいためサージ電流が素子に均一に
流れ、またCaによって粒界が効果的に高抵抗化される
ため、サージ耐量が大きくなるという効果が得られる。
めバリスタ電圧が低く、誘電率εおよびαが大きく、粒
子径のばらつきが小さいためサージ電流が素子に均一に
流れ、またCaによって粒界が効果的に高抵抗化される
ため、サージ耐量が大きくなるという効果が得られる。
第1図は本発明による素子を示す上面図、第241り
図は本発明による素子を示す晰面図である。
1・・・・・・焼結体、2.3・・・・・・電極。
代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか1名第1図
第2図
Claims (3)
- (1)(Sr_1_−_χCa_χ)_aTiO_3(
0.001≦χ≦0.300,0.950≦a<1.0
00)を90.000〜99.998mol%、Nb_
2O_5,Ta_2O_6,WO_3,Dy_2O_3
,Y_2O_3,La_2O_3,CeO_2,Sm_
2O_3,Pr_6O_1_1,Nb_2O_3のうち
少なくとも1種類以上を0.001〜5.000mol
%、Al_2O_3,Sb_2O_3,BaO,BeO
,PbO,B_2O_3,Cr_2O_3,Fe_2O
_3,CdO,K_2O,CaO,Co_2O_3,C
uO,Cu_2O,Li_2O,LiF,MgO,Mn
O_2,MoO_3,Na_2O,NaF,NiO,R
h_2O_3,SeO_2,Ag_2O,SiO_2,
SiC,SrO,Ti_2O_3,ThO_2,TiO
_2,V_2O_5,Bi_2O_3,ZnO,ZrO
_2,SnO_2のうち少なくとも1種類以上を0.0
01〜5.000mol%含有してなる主成分100重
量部と、BaTiO_3 60.000〜32.500
mol%、SiO_240.000〜67.5mol%
からなる混合物を1200°以上で焼成してなる添加物
0.001〜10.000重要部とからなることを特徴
とする電圧依存性非直線抵抗体磁器組成。 - (2)(Sr_1_−_χCa_χ)_aTiO_3(
0.001≦χ≦0.300,0.950≦a<1.0
00)を90.000〜99.998mol%,Nb_
2O_5,Ta_2O_5,WO_3,Dy_2O_3
,Y_2O_3,La_2O_3,CeO_2,Sm_
2O_3,Pr_6O_1_1,Nb_2O_3のうち
少なくとも1種類以上を0.001〜5.000mol
%、Al_2O_3,Sb_2O_3,BaO,BeO
,PbO,B_2O_3,Cr_2O_3,Fe_2O
_3,CdO,K_2O,CaO,Co_2O_3,C
uO,Cu_2O,Li_2O,LiF,MgO,Mn
O_2,MoO_3,Na_2O,NaF,NiO,R
h_2O_3,SeO_2,Ag_2O,SiO_2,
SiC,SrO,Ti_2O_3,ThO_2,TiO
_2,V_2O_5,Bi_2O_3,ZnO,ZrO
_2,SnO_2のうち少なくとも1種類以上を0.0
01〜5.000mol%含有してなる主成分100重
量部と、BaTiO_360.000〜32.500m
ol%、SiO_240.000〜67.5mol%か
らなる混合物を1200℃以上で焼成してなる添加物0
.001〜10.000重要部とからなる組成物を11
00℃以上で焼成したことを特徴とするバリスタの製造
方法。 - (3)(Sr_1_−_χCa_χ)_aTiO_3(
0.001≦χ≦0.300,0.950≦a<1.0
00)を90.000〜99.998mol%,Nb_
2O_5,Ta_2O_5,WO_3,Dy_2O_3
,Y_2O_3,La_2O_3,CeO_2,Sm_
2O_3,Pr_6O_1_1,Nb_2O_3のうち
少なくとも1種類以上を0.001〜5.000mol
%、Al_2O_3,Sb_2O_3,BaO,BeO
,PbO,B_2O_3,Cr_2O_3,Fe_2O
_3,CdO,K_2O,CaO,Co_2O_3,C
uO,Cu_2O,Li_2O,LiF,MgO,Mn
O_2,MoO_3,Na_2O,NaF,NiO,R
h_2O_3,SeO_2,Ag_2O,SiO_2,
SiC,SrO,Ti_2O_3,ThO_2,TiO
_2,V_2O_5,Bi_2O_3,ZnO,ZrO
_2,SnO_2のうち少なくとも1種類以上を0.0
01〜5.000mol%含有してなる主成分100重
量部と、BaTiO_3 60.000〜32.500
mol%、SiO_240.000〜67.5mol%
からなる混合物を1200℃以上で焼成してなる添加物
0.001〜10.000重要部とからなる組成物を1
100℃以上で焼成した後、還元性雰囲気中で1200
℃以上で焼成し、その後酸化性雰囲気中で900〜13
00℃で焼成したことを特徴とするバリスタの製造方法
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2061465A JPH03261657A (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2061465A JPH03261657A (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03261657A true JPH03261657A (ja) | 1991-11-21 |
Family
ID=13171819
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2061465A Pending JPH03261657A (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03261657A (ja) |
-
1990
- 1990-03-13 JP JP2061465A patent/JPH03261657A/ja active Pending
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