JPH03256345A - 電子部品用ガラス端子のリード - Google Patents

電子部品用ガラス端子のリード

Info

Publication number
JPH03256345A
JPH03256345A JP5433890A JP5433890A JPH03256345A JP H03256345 A JPH03256345 A JP H03256345A JP 5433890 A JP5433890 A JP 5433890A JP 5433890 A JP5433890 A JP 5433890A JP H03256345 A JPH03256345 A JP H03256345A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead
glass
bonding area
jig
eyelet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5433890A
Other languages
English (en)
Inventor
Takemi Machida
武巳 町田
Masahiko Takahashi
昌彦 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinko Electric Industries Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Industries Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinko Electric Industries Co Ltd filed Critical Shinko Electric Industries Co Ltd
Priority to JP5433890A priority Critical patent/JPH03256345A/ja
Publication of JPH03256345A publication Critical patent/JPH03256345A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、半導体素子、光素子等の電子部品を搭載する
電子部品用ガラス端子(以下、ガラス端子という)に用
いるリードに関する。
[従来の技術] 上記端子として、金属製のアイレットにネイル状等をし
た入出力用線路のリードを、ホウケイ酸ガラス等のガラ
スを用いて、気密に封着してなるガラス端子がある。こ
のガラス端子は、アイレット上面に半導体素子等を搭載
して、その素子等の電極を、金線、アルミニウム線など
のワイヤを介して、アイレフトを貫通してその上方に突
出するリード上端のリードポストに接続すると共に、素
子等を搭載したアイレット上方周囲を金属製のキャップ
で覆うようにして用いている。即ち、このようにするこ
とにより、素子等をアイレットとキャップとで囲まれた
空間内に封入できると共に、アイレット外部から入力信
号等を、リード、ワイヤを介して、素子等の電極に伝え
たり、逆に素子等の電極から出力信号等を、ワイヤ、リ
ードを介して、アイレット外部に伝えたりできる。また
、上記リードポストにワイヤを接続する際には、リード
ポスト上面のボンディングエリアにワイヤを熱圧着、超
音波などにより接続している。
このガラス端子は、次のようにして製造している。耐熱
性のあるカーボン製の治具内に、上記アイレット、リー
ドおよびそれを封着するタブレット状等をしたガラスを
組み入れて、それらを上記治具内に位置決め支持してい
る。またその際には、アイレットを反転させると共にリ
ードを倒立させた状態として、アイレット上面とリード
上端のリードポスト上面とをそれぞれそれらに掛かる重
力を利用して治具内の所定部位に当接、支持させるよう
している。これは、素子等を搭載するアイレット上面と
リードポスト上面のボンディングエリアとの高低差は正
確さが要求され、その高低差が一定の値から約±Q、1
mm以下の誤差範囲内にないと、上記ボンディングエリ
アにワイヤをボンディングマシン等を用いて適度な押圧
力を掛けて確実に接続できなくなるからである。その後
、治具を炉内に入れる等して1000℃前後に加熱して
ガラスを溶融させ、治具内でアイレットにリードをガラ
スを用いて封着している。
ところで、このようにしてガラス端子を製造した場合に
は、治具を加熱した際に、耐摩耗性のないカーボン製の
治具から離脱したカーボン粉末やリード封着用のタブレ
ット状等をしたガラスから離脱したガラス粉末が、リー
ドポストを嵌入した治具内の凹部底面に侵入して、該底
面に直接に接触した状態にあるリードポスト上面のワイ
ヤを接続するボンディングエリアにカーボン粒やガラス
粒となって付着し、その後の上記ボンディングエリアへ
のワイヤの接続の障害となった。なお、ガラス端子の製
造に際しては、上記のようにして、アイレットにリード
をガラスを用いて封着した後に、通常アイレット表面や
上記ボンディングエリアを含むリード表面に金めっきな
どのめっきを施すための化学研磨等の前処理を施すが、
そうした際にも、上記ボンディングエリアに付着したカ
ーボン粒やガラス粒を、小径のものを除いて、除去でき
なかった。またそれと共に、上記のように、前処理によ
りボンディングエリアからカーボン粒やガラス粒を除去
できたとしても、それらの粒を除去したボンディングエ
リア部分が、他のボンディングエリア部分に比べて、凸
状に突出してしまい、その後のボンディングエリアへの
ワイヤの接続の障害となった。なお、このようにボンデ
ィングエリアの一部が凸状に突出するのは、化学的に安
定なカーボン粒やガラス粒がその直下のボンディングエ
リア部分を保護して、それらの校庭下のボンディングエ
リア部分を、他のボンディングエリア部分に比べて、前
処理用の化学研磨液等に溶解しにくくするからである。
そのため、特開昭63−204748号公報に記載され
たような、ガラス端子の製造方法が提案されている。こ
の製造方法では、第4図に示したように、リード10上
端のワイヤを接続するボンディングエリア14をリード
ポスト12上面に凸状に突出させると共に、リードポス
ト12を嵌入する治具内の凹部22底面に、上記凸状に
突出させたボンディングエリア14を挿入する深い空洞
部24を備えて、治具20内でアイレットにリード10
をガラスを用いて封着する際に、リードポスト上面のボ
ンディングエリア14を治具内の凹部22底面に直接に
接触させないようにして、そのボンディングエリア14
にカーボン粒やガラス粒が付着するのを防いでいる。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上記のようにしてガラス端子を製造した
場合には、第5図に示したように、その凸状に突出させ
たボンディングエリア14が、治具内の凹部22底而の
空洞部24に的確に挿入されずに、その空洞部24上端
縁に引っ掛かった状態となって、治具20内に組み込ん
だアイレットに対するリード10の位置が狂い、そのた
めに、治具20内でアイレットにリード10がその位置
が狂った状態に封着されてしまい、その後のボンディン
グエリア14へのワイヤの接続に支障を来すことがあっ
た。これは、前述のように、アイレット上面とボンディ
ングエリア14との高低差が一定の値から約10.1m
m以下の誤差範囲内にないと、ボンディングエリア14
にワイヤをボンディングマシン等を用いて適度な押圧力
を掛けて確実に接続できなくなるからである。
また、カーボン製の治具20は、脆くて耐摩耗性がない
ので、その使用中に、第6図に示したように、上記空洞
部24上端周縁が円弧状にだれた状態に摩耗して、治具
20内に絹み込んだアイレットに対するリード10の位
置が狂い、そのために、治具20内でアイレットにリー
ド10がその位置が狂った状態に封着されてしまった。
そして、上記と同様に、その後のリードポスト上面のボ
ンディングエリア14へのワイヤの接続に支障を来すこ
とがあった。
さらに、上記空洞部24は、治具20の構造を複雑化し
て、治具20を製造しに<<シた。
本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので、上
記のように治具を複雑化しなくても、リードポスト上面
のボンディングエリアにカーボン粒やガラス粒を付着さ
せずに、かつアイレットに対するリードの位置を狂わせ
ずに、ガラス端子のアイレットにガラスを用いて封着可
能なリードを提供することを目的としている。
[課題を解決するための手段] 上記目的のために、本発明のリードは、ガラス端子のア
イレットにガラスを用いて気密に封着するリードにおい
て、リード上端のリードポスト上面のワイヤを接続する
ボンディングエリアを、リードポスト内側に窪ませたこ
とを特徴とじている。
[作用] 上記構成のリードにおいては、そのボンディングエリア
をリードポスト内側に窪ませているので、アイレット、
リードおよびそれを封着するガラスを、リードを倒立さ
せた状態で、カーボン製の治具内に組み入れた際に、リ
ードポスト上面のボンディングエリアが、リードポスト
を嵌入してその上面を当接させた治具内の凹部底面に直
接に接触せずに、該底面上方に浮き上がった状態となる
そのため、治具を加熱して、治具内でアイレフトにリー
ドをガラスを用いて封着した際に、上記凹部底面に侵入
したカーボン粒やガラス粒が、リードポスト上面のボン
ディングエリアに付着することがない。
[実施例] 次に、本発明の実施例を図面に従い説明する。
第1図は本発明のリードの好適な実施例を示し、詳しく
は、その一部破断拡大正面図を示している。
以下、この図中の実施例を説明する。
図において、10は、入出力用線路を構成する鉄または
鉄−ニッケル合金などからなるネイル状をしたリードで
あって、その上端に円盤状のリードポスト12を備えて
いる。
以上は、従来のリードと同様であるが、図のリードにお
いては、リード10上端のリードポスト12上面中央の
ワイヤを接続するボンディングエリア14を、リードポ
スト12内側に、凹状、円弧状等(図では、凹状として
いる)に窪ませている。そして、第3図に示したように
、リード10を、倒立させた状態で、カーボン製の治具
20内に組み込んだ際に、上記ボンディングエリア14
が、リードポスト12を嵌入してその上面を当接させた
治具内の凹部22底面に直接に触れずに、該底面上方に
浮き上がるようにしている。
第1図に示したリードは、以上のように構成している。
第2図は、上述構成のリードを用いて形成したガラス端
子の好適な実施例を示し、詳しくはその一部破断正面断
面図を示している。以下、この図中のガラス端子を説明
する。
図において、30は、半導体素子等を搭載する、鉄また
は鉄−ニッケル合金などからなるアイレットであって、
キャップ状をしている。
40は、上記アイレット30に前記リード10を、貫通
させた状態で、気密に封着している、ホウケイ酸ガラス
等のガラスである。なお、アイレット30やリード10
のガラス40との接合面には、ガラス40に濡れやすく
て密着性の良いFe、04などの酸化被膜(図示せず)
を形成して、その酸化被膜を介して、アイレット30に
リード10をガラス40を用いて強固に封着している。
50は、ガラス端子を基板上に一定間隔浮かせて実装す
るための円柱状をしたセラミック製のスタンドオフであ
って、ガラス40を用いてアイレット30内天井面に下
方に向けて固着している。
以下、このガラス端子を前述構成のリードを用いて形成
した場合の作用を説明する。
第3図に示したように、上下型等からなる治具20内に
アイレット30.リード10およびそれを封着するタブ
レット状等に形成したガラス(図示せず)を、アイレッ
ト30を反転させると共にリード10を倒立させた状態
で、組み入れて、治具20を1000℃前後に加熱し、
ガラスを溶融させる。そして、治具20内でアイレット
30にリード10をガラス40を用いて封着する。する
と、前記のように、リードポスト12を嵌入してその上
面を当接させた治具内の凹部22底面上方にリードポス
ト上面のボンディングエリア14が浮き上がった状態に
あるので、上記凹部22底面にカーボン粒やガラス粒が
侵入しても、それらが上記ボンディングエリア14に付
着せずに、アイレット30にリード10がガラス40を
用いて封着される。そして、そのカーボン粒やガラス粒
が付着していないボンディングエリア14に、金線、ア
ルミニウム線などのワイヤ(図示せず)を、熱圧着によ
り、または超音波などをかけて、的確に接続可能となる
なお、本発明のリードは、リードポスト12をリード1
0と同径の線状に形成したガラス端子や、アイレット3
0をキャップ状でなく円盤状に形成したソリッドタイプ
のガラス端子にも利用可能である。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明のリードを用いてガラス端
子を形成すれば、ガラス端子製造用のカーボン製の治具
内のリードポストを嵌入する凹部底面に、リードポスト
上面に突出するボンディングエリア挿入用の空洞部を設
ける必要がなくなり、治具の簡易化とその製造の容易化
が図れる。
また、治具内にリードを組み込む際に、上記凹部底面の
空洞部にリードポスト上面に突出するボンディングエリ
アを挿入する必要がなくなり、治具内へのリードの組み
込み作業の容易化が図れると共に、リードポスト上面に
突出するボンディングエリアが、上記空洞部上端縁に引
っ掛かった状態となったり、治具の使用中に上記空洞部
上端周縁が円弧状にだれた状態に摩耗したりして、治具
内に組み込んだアイレットに対するリードの位置が狂い
、そのために、治具内でアイレットにリードがその位置
が狂った状態に封着されてしまい、その後のリードポス
ト上面のボンディングエリアへのボンディングマシン等
を用いてのワイヤの溶着に支障を来すことがない。
また、治具内でアイレットにリードをガラスを用いて封
着する際に、リードポスト上面のボンディングエリアに
、カーボン粒やガラス粒が付着して、その後のボンディ
ングエリアへのボンディングマシン等を用いてのワイヤ
の接続に支障を来すことがない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の電子部品用ガラス端子のリードの一部
破断拡大正面図、第2図は第1図のリードを用いて形成
した電子部品用ガラス端子の一部破断正面断面図、第3
図は第2図の電子部品用ガラス端子の製造方法を示す説
明図、第4図と第5図と第6図はそれぞれ従来の電子部
品用ガラス端子の製造方法を示す拡大説明図である。 10・・・リード、12・・・リードポスト、14・・
・ボンディングエリア、20・・治具、30・・・アイ
レット、40・・・ガラス。 第1図 第2図 第 3 図 第 図 第 図 第 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、ガラス端子のアイレットにガラスを用いて気密に封
    着するリードにおいて、リード上端のリードポスト上面
    のワイヤを接続するボンディングエリアを、リードポス
    ト内側に窪ませたことを特徴とする電子部品用ガラス端
    子のリード。
JP5433890A 1990-03-06 1990-03-06 電子部品用ガラス端子のリード Pending JPH03256345A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5433890A JPH03256345A (ja) 1990-03-06 1990-03-06 電子部品用ガラス端子のリード

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5433890A JPH03256345A (ja) 1990-03-06 1990-03-06 電子部品用ガラス端子のリード

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03256345A true JPH03256345A (ja) 1991-11-15

Family

ID=12967821

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5433890A Pending JPH03256345A (ja) 1990-03-06 1990-03-06 電子部品用ガラス端子のリード

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03256345A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH03256345A (ja) 電子部品用ガラス端子のリード
JPH01115127A (ja) 半導体装置
JPS5910229A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP3449268B2 (ja) 半導体圧力センサ
JP3553726B2 (ja) 電子部品用キャップおよびそれを用いた半導体レーザとその製法
JP2730352B2 (ja) Tabテープ
JPH01239958A (ja) 気密封止型半導体素子
JPH07146195A (ja) 圧力センサの製造方法
JPH0240936A (ja) 半導体装置のパッケージ
JPH0723961Y2 (ja) 半導体素子収納用パッケージ
JPS6043660B2 (ja) 半導体装置
JP2000162076A (ja) 半導体圧力センサ
KR100673645B1 (ko) 칩 패키지 및 그 제조방법
JPH0530115Y2 (ja)
JP4214577B2 (ja) 半導体圧力センサ
JPS6214096B2 (ja)
JPH0366150A (ja) 半導体集積回路装置
JPS60161640A (ja) 半導体装置
JPS60194547A (ja) 半導体装置
JPH0412226A (ja) センサモジュール
JPH05226716A (ja) 簡易外装型電歪効果素子
JPS6118884B2 (ja)
JPH1137873A (ja) 半導体圧力センサ
JPH02248827A (ja) 圧力センサー用気密端子及びその製造方法
JP2000105157A (ja) 半導体圧力センサ