JPH03252425A - イソシアネート又はイソチオシアネート改質ポリシラザンセラミック先駆体 - Google Patents

イソシアネート又はイソチオシアネート改質ポリシラザンセラミック先駆体

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JPH03252425A
JPH03252425A JP2047087A JP4708790A JPH03252425A JP H03252425 A JPH03252425 A JP H03252425A JP 2047087 A JP2047087 A JP 2047087A JP 4708790 A JP4708790 A JP 4708790A JP H03252425 A JPH03252425 A JP H03252425A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はポリシラザン付加ポリマー、このようなポリマ
ーの製造方法、及び硬化ポリマーまたは非硬化ポリマー
の熱分解によつて生ずる窒化ケイ素含有セラミック材料
に関する。
窒化ケイ素はその高い熱安定性と酸化安定性及び非常な
硬さのために、セラミック材料としてかなりの興味を持
たれている。他の有利な特性には、低い導電率、低い熱
膨張係数、良好な熱ショック及び耐クリープ性、高温で
の高強度及びすぐれた耐食性がある。
窒化ケイ素含有セラミック材料を得るために最近開発さ
れた方法はポリオルガノシラザンの熱分解である。セイ
7エルス(5ayfartk ) 等(米fAf#計第
4,482,669号)はポリシラザンセラミック先駆
体を形成するためのオルガノジノ・ロシランのアンモノ
リシス生成物の塩基触媒架橋を述べている。この1質は
特にセラミック粉床の結合剤として有用である。ヴエル
ビーク(米国特許第3.853,567号)は、不活性
雰囲気中での可融性カルボシラザン樹脂の成形体の熱分
解によって炭化ケイ素と窒化ケイ素との均質な混合物を
含む線維のような成形体fJta造した。レブレン(L
mbrasa)とボルナ(Porte) (米国特許第
4.689,252号)は、S誓−Hと不飽和炭化水素
基との両方を含む、シラザンまたはシラザン混合物ノ白
金触媒ヒドロシレーンヨン(HydrosilG−ti
onンによるポリシラザンの製造を述べている。
これらのポリマーは加熱によって架橋されることができ
、熱分解後のセラミック材料による基体(S%bstr
atg)の被覆または含浸のために用いることができる
。ライネ(Lai%#)とプラム(B藷嘱)(米国特許
第4,612,383号ンはオリゴマー及びポリマーを
得るための金属錯体による7ランまたはシラザン中のS
i −H,Si−Siまたは、5s−N結合の触媒活性
化を述べている。これらの生成物は窒化ケイ素に熱分解
することかできる。キング(King ン等(米国特許
第4,675,424号)は酸触媒の存在下でのアミノ
シランと低分子址アミンとの反応によるポリシラザンの
製造を述べている。このようなポリマーを窒素下で熱分
解し″′C%窒化ケイ素含有セラミックを得ることがで
きる。
ボ”テ(Forte )とVブラン(Lgbrs* )
 (米国特許第4.722.988号)は例えば過酸化
物のようなフリーラジカル発生体の存在下でアルケニル
またはアルキニルffl1換基な含むシラザンの果倫に
よるセラミックのポリシラザン先駆体の製造を開示して
いる。フィンク(Fink)C木画特許第3.239.
489号)は二官能性または多官能性イソシアネートと
シラザンとの反応による、可動性水素原子な含まないポ
リ尿素シラサンの製造を述べている。これらのポリマー
のセラミック材料への熱分解は開示され℃いない。
一般に、上記方法はポリシラザンの粘度なポリマーの予
定の末端用途に適した粘度であるように制御することが
困難または不可能であるという点で不充分である。例え
ば、薄フィルムtt製造するまたは多孔質セラミック体
に浸透させるために用いるポリマーには低粘度が好まし
く、繊維の製造には高粘度が好ましい。
ポリマーの粘度を容易に制御することのできる。
ポリシラザン付加ポリマーの製造方法が今回発見された
。これらのポリマーは液体であり5通常の有機溶媒に可
溶であり、水分の存在下で安定である。これらのポリマ
ーは次の工程=(υ アンモニアと、R51X、 、R
R’SiX、及びこれらの混合物〔式中、XはCI、B
y及びIから成る群から選択した基であり、RとR′は
同一または異なる基であり、H,R換したまたは置換し
ないC3〜C6アルキル、 71J −jA/、 CI
−C藝アルケニル及rJ Cl5−C@アルキニル基か
ら成る群から選択した基である〕から成る群から選択さ
れ、その中の少なくとも1檜類は54−N結合を含む、
ハロゲン化ケイ素化合物との反応によって、シラザンア
ンモノリシス生成物tll製する工程及び(2J  シ
ラザンアンモノリシス生成物を、イソシアネート、イソ
チオシアネート、ケテン、チオケテン、カルボジイミド
及び二硫化炭素から成る群から選択した化合物の、アミ
ツリシス生成物の重量を基準にして、約0.1〜約30
重量%と反応させる工程から成る方法によって製造され
る。RとR′の少なくとも一方がアルケニルまたはアル
キニル基であるポリマーは、エネルギーを供給してフリ
ーラジカルを発生させることによって硬化させることが
できる。硬化したまたは(il化しないポリシラザンポ
リマーは不活性雰囲気中またはアンモニア含有雰囲気中
で少なくとも800℃の温度に加熱することによって、
窒化ケイ素含有セラミック材料の製造に用いることがで
きる。
本発明のポリシラザン付加ポリマーの製造方法の第1工
程は、アンモニアまたはアンモニアと置換もしくは非置
換C1〜C,アルキルもしくはアリールアミンとの混合
物と、R51X、 、 RR’SiXt及び式R51X
、もしくはRR’SiX、  を有する2種類以上の化
合物を用いる混合物を含めたこれらの混合物から成る群
から選択したI・ロゲン化ケイ素化合物との反応から成
る。任意に、RR’R”SiX%SiX、  またはこ
れらの混合物が反応混合物中に存在することもある。X
はCl、BrまたはIでありうる。αが好ましい。R,
R’、R″は同一または異なる基であり、H1置換もし
くは非置換C,−C6アルキル、7 リ−ル、C1−C
@アルケニル及ヒC3−C−アルキニル基から成る群か
ら選択される。ハロゲン化ケイ素化合物の少なくとも1
つはS i−H結合を有する。
本発明の方法への使用に適したノ〜ロゲン化ケイ素化合
物の例は、限定するわけではな(、メチルジクロロ7ラ
ン、ビニルメチルジクロロシラン、テトラクロロシラン
、テトラブロモシラン、トリクロロシラン、ビニルトリ
クロロシラン、メチルジクロロ7ラン、フェニルトリク
ロロシラン、エチルトリクロロシラン、プロピルトリク
ロロシラン、ブナルトリクロロシラン、メチルトリブロ
モ7ラン、ジメチルジクロロシラン、フェニルメチルジ
クロロシラン、ジメチルジブロモシラン、トリメチルク
ロロシラン、ジメチルクロロシラン、ジメチルビニルク
ロロシラン及びトリメチルブロモシランを含む。
アンモニアのみをハロゲン化ケイ素化合物と反応させる
場合には、形成されるアンモノリシス生成物は王として
環状化合物であるが、少量(通常は1%未満)の線状化
合物も含みうる。アンモニアとアルキルアミンまたはア
リールアミンとの混合物を用いる場合には、アンモノリ
シス生成物は環状化合物よりも多(の線状化合物を含む
次にアンモノリシス生成物をイソシアネート、イソチオ
シアネート、ケテン、チオケテン、カルボジイミドまた
は二硫化炭素の、アンモノリシス生成物の重量を基準に
して、約0.1〜約30重蓋チと200℃未満の温度に
おいて反応させる。約1〜約lO重量%のイソシアネー
トまたはイソチオシアネートが好ましい。反応は溶媒を
用いてまたは用いずに実施することができるが、溶媒を
用いずに実施することが好ましい。正確な反応機構は不
明であるが、シラザンアンモノリシス生成物のSi−N
結合中に反応物質が挿入されることが考えられる。
本発明の方法に用いるイソシアネート及びイソチオシア
ネートは単官能性または多官能性の5ai換または非置
換C1〜C@アルキル、アリール、C1〜C6アルケニ
ルまたはC8〜C6アルキニル化合物でありうる。アリ
ールが好ましい。適当な化合物は、限定するわけではな
いが、2.6−トリレンジイソシアネート、フェニルイ
ソシアネート、フェニルイソチオシアネート%フェニル
メチルイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネ
ート、5−プロモドリレンー2,4−ジイソシアネート
、3−クロロトリレン−2,6−ジイソシアネート、ジ
フェニルメタン−4,4′−ジイソシアネート、ジフェ
ニルエタン−2,2’−ジイソシアネート、ナフタレン
ジイソシアネート、2,5−ジメトキシベンゼン−1,
4−ジイソシアネート及び儒テトラメチルキシリレンー
ジイソシアネートがある。
アンモノリシス生成物とイソシアネートまたはイソチオ
シアネートとの反応によつて生ずるポリシラザン付加ポ
リマーは次の単位を含む:存する、すtxbチX+Tl
7−0.1〜30 %、Y+Z−999%〜70%(ポ
リマー単位を基準とする)。
式中、WとZはOKなりうるまたはXとy −z oに
なりうる。
単位: ↓ 式、中、AはOまたはSであり%RとR′は上記と同じ
意味を有し、RとR′の少なくとも1つは水素である。
R″′はR及びR′と同じX味を有する。R″′がHで
ある場合な除いて、R″′はイソシアネートまたはイソ
チオシアネートに由来する有機基である。多官能性イソ
シアネートまたはイソチオシアネートがポリマーの製造
に用いられる場合には、R″′が1つ以上のインクアネ
ートまたはイソチオシアネート基によって置換され、こ
れらの基はポリシラザン付加ポリマーの形成中にも反応
する。
2とVの値は反応へのイソシアネート使用量に依はR5
1Xsが反応混合物中に存在する場合にのみ、存在する
ポリシラザン付加ポリマーの形成後に、例えば25℃に
おける15〜20,000 cpsの粘度増加及び水素
ガ久の発生のように、分子量及び粘度の実質的増加によ
って実ffiされるような部分的架橋を開始させるため
に、熱を加えて温度を300℃以下に好ましくは110
℃〜180℃に高めることができる。ポリシラザン付加
ポリマーがSi −H結合を含まない場合には、ガスは
発生しない。最終生成物の粘度はシラザンアンモノリシ
ス生成物と反応する化合物の量を変えることによって、
またはイソシアネートもしくはイソチオシアネートの添
加量を変えることによって調節することができる。低レ
ベルの反応物質は低粘度ポリマーを生ずるが、高レベル
の反応物質は特に高粘度ポリマーを生ずる。粘度は加熱
温度によっても影響を受ける、すなわち温度が高いと粘
度が高くなる。従って、粘度はポリマーの末端使用に耐
えることができる。大ていの用途に対して、溶解性また
は可融性物質が好ましい。
少なくとも1つのフルケニルまたはアルキニル基を含む
、本発明のポリシラザン付加ポリマーはエネルギーを加
えて7リーラジカルを発生させることによって4ざらに
架橋すなわち硬化させることができる。例えば、ポリマ
ーを例えば過酸化物のようなラジカル発生源の存在下で
加熱することができる。ポリマーなUV元線また&!電
電子ビー縁縁暴露させることによっても、ポリマーを硬
化さゼることができる。
本発明の硬化またI工非硬化ポリシラザ/ポリマーを不
活性雰囲気またはアンモニア含有雰囲気下で少なくとも
800℃の温度で熱分解することによって、窒化ケイ累
含有セラミック材料を得ることができる。
ポリシラザン付加ポリマーはセラミック繊維及び発泡体
の製造、窒化ケイ素含有複合構造を得るための予備成形
構造体への浸透及び次の熱分解、ならびに電子工学用途
の薄フィルムとし℃、接着剤もしくはシーテントとして
及びセラミックもしくは金属粉末の結合剤としての耐酸
化性被膜の製造に用いることができる。
例   l。
メチルジクロロシランとビニルメチルジクロロシランの
コアンモノリシス(coamvmonotyxis )
5j−三つロフラスコにオーバーヘッドメカニカルスタ
ーラー ドライアイス/アセトン冷NJ器(−78℃)
、アンモニア/窒素供給口及び温度計を1iIc4Ii
する。この装置に窒素をqL霧し℃から、ヘキサン(1
760d、4Aモレキユラーシーブ上で乾燥)、メチル
ジクロロシラン(20114、230.9f、2.0モ
ル)及ヒビニルメチルジクロロシラン(64Wlt、 
69.6 jE、 o、sモル)を装入する。アンモニ
アQ3.54!/分(9,37モル)の速度で1時間加
える。添加中に、反応温度が25℃から69℃へ上昇す
る。1時間後に、アンモニア流を停止し、反応混合物を
室温に冷却する。反応混合物をガラスフィルター(gl
atts−frittmdf曽%sat )上で濾過し
、沈降した塩化アンモニウムを除去する。ヘキサンを減
圧(28mH17,60℃)下でF液から除去し、透明
な油状物としてC”5siHNH)am (CHsSi
CH−CH2NH)ox (150,76F、2.34
モル、94%収率)が得られる。この油状物は25℃で
の43 cpsの粘度と分子量560P1モルを有する
例   Z (CM、SiHNH)。(礪SiCH=CH,NH)。
と2.6−トリレンジイソシアネートとの反応:加熱期
間17時間 撹拌バーと中隔(sgptu嘱)を備えた、10〇−一
つロフラスコに窃累を噴霧してから、例1で述べたよう
にpI製したシラザン10.01と下記の表に示した重
lt%の2.6−トリレンジイソシアネート(TDI)
とを装入する。フラスコなスターチー/ホットプレート
上の油浴に入れ、中隔の代りに中隔を取付けた水冷却器
を用いる。窒素供給針と油バブラー出口とを中隔に取付
ける。次に、反応混合物を窒素雰囲気下で指定温度に1
7時間加熱する。水素ガスの発生が観察される。室温に
冷却した後に、液体ポリマーの粘度tt25℃において
ブルックフィールドコーン/プレート粘度計(Broo
kfimLd  cone  and  plate 
 viscow*mtzr)を用いて測定する。幾つか
の反応において、不溶性ゴム状生成物が形成される。こ
の生成物は下記の表において「ゲル」とし℃明示される
TDI 3重量− 0 10 20 30 60 00 30 43 600 770 TDI 4重fjkチ 0 10 20 30 60 25 077 ゲル ゲル ゲル TDI 5重量% 0 10 20 30 60 50 10.000 ゲル ゲル ゲル 液体の粘度は続いての測定によつC4!tl定すると、
1か月間にわたって一定である。
例   3゜ (CHsSiHNH)am (CBrSiCH−CBr
NH)、、と2.6トリレンジイソシアネートとの反応
:加熱期間4時間 液体の粘度は続いての測定によって判定すると、1か月
間にわたって一定である。
例   3゜ (CBsSiHNH)o、a (CH,SiCH−CH
,NH)。、、  と 2 、6−トリレンジイソシア
ネートとの反応:加熱期間例2に述べた反応装置に例1
で述べたシラザン10、OFと下記の表に示した重量%
の2.6−トリレンジイソシアネートとを装入する。反
応混合物を次に窒素雰囲気下で指定温度に4時間加熱す
る。水素ガスの発生が観察される。室温に冷却した後に
、液体ポリマーの粘度な25℃におい℃ブルックフィー
ルドコーン/プレート粘度ttV用い℃測定する。幾つ
かの反応におい℃、不溶性のゴム状生成物が形成される
。この生成物は下記の表におい℃「ゲル」とし℃明示さ
れる。
T77T+mts: 20 30 08 ゲル TDT 5重音チ PI  4重量S:  10 20 30 60 11 250 ゲル ゲル 例   4゜ (CHs SiHNH)e、a (CM、SiCH−C
H,NH)I、j とフェ例2で述べた反応装置に例1
に述べたように調製したシラザン10.Oj’と下記の
表に示した重量−のフェニルインシアネー) CPI)
とを装入する。
次に、反応混合物を窒素雰囲気下で指定温度に17時間
加熱する。水素ガスの発生が観察される。
室温に冷却した後に、液体ポリマーの粘度を25℃にお
いてブルックフィールドコーン/プレート粘度計によっ
て測定する。幾つかの反応において、不溶性ゴム状生成
物が形成される。この生成物は下記の表中で「ゲル」と
し℃明示される。
0 10 30 PI5,5重量嘩: 温度(℃) 0 10 20 30 PI 6.911℃%: 10 20 30 PI  10重量$: 10 19 530 000 粘度(cps ) 075 800 000 ゲル 13.000 ゲル ケル ゲル PI20重量S重 量度C℃)   粘度(cps ) 110        ゲル P130重量−二 10 ゲル 例   5゜ (CH,SiHNH)am(CH,SiCH−CH,N
H)olと7工二例2に述べた反応装置に9111で述
べたように調製したシラザン20. OFと下記の表に
示した重量−のフェニルイソチオシアネート(PIF)
とを装入する。次に反応混合物を窒素雰囲気下で指定温
度に17時間加熱する。水素ガスの発生が観察される。
室温に冷却した後に、液体ポリマーの粘度を25℃にお
いて、ブルックフィールドコーン/プレート粘度計によ
って測定する。
PIT 重量− 5,5 温度C℃)  粘度(CpJ) 110        3.400 110      30αO00 例   6 (礪SiHNH)。s (CH,SiCB−CH,NH
)。2とジケテ1001一つロフラスコに中隔を装備し
、窒素を噴霧する。次に、装置に例1で述べたように調
製したシラザン10.OF、ヘキサン30wLt及び無
水トリエチルアミン1.68勧(1,21F 、 0.
0120モル)な装入する。塩化アジポイル<O,SW
、10F、5.5ミリモル)な注射器によって温顔して
、ジケテンを発生する。直ちK、白色沈殿が形成される
。室温におい’1−10分間後に、反応混合物’kF遇
し”(1−IJエチルアンモニウム塩酸塩を除去する。
ヘキサンを減圧下除云し、反応混合物を例2に述べたよ
うに130℃において20時間加熱する。水素ガスの発
生がlI!察される。23,000cpsの粘度を有す
る透明で粘稠な油状物が祷られる。
fI17゜ ポリシラザンのジクミルペルオキシドによる硬化(CH
s5 sHNH)o 1(CHs Ss CH−C4N
H)a!とTDI3重量%との反応によって調製したポ
リシラザン付加ポリマーを例2に述べた反応装置に装入
する。
ボリシラザ79f13Q℃において17時間加熱すると
、水素ガスの発生が観察される。加熱後に、ポリシラザ
ンは25℃におい”(1600cpsの粘度を有する。
ジクミルペルオキシド(使用したポリシラザンの重量を
基準にして0.5重量%)を加え5反応流合物を油浴中
で加熱する。140℃の温度において、液体ポリマーは
脆いガラス状固体になる。非硬化ポリマーと硬化ポリマ
ーのチャー収率(Char yield ) k、室温
から950℃まで10℃/分でサンプルな加熱した後に
窒素流下での熱重量分析(T G A ) (Tkgr
mogrcwimg t pi cαnaLyxis 
)によって側足する。
非硬化ポリシラサン 硬化ポリシラザン

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.次の工程 (1)アンモニアと、RSiX_3、RR′SiX_2
    及びこれらの混合物〔式中、XはCl、Br及びIから
    成る群から選択され、RとR′は同一または異なる基で
    あり、H、置換もしくは非置換C_1−C_6アルキル
    、アリール、C_1−C_6アルケニル及びC_1−C
    _6アルキニル基から成る群から選択される〕 から成る群から選択されるハロゲン化ケイ素化合物(ハ
    ロゲン化ケイ素化合物の少なくとも1種類又はSi−H
    結合を含む)との反応によつてシラザンアンモノリシス
    生成物を調製する工程;及び (2)シラザンアンモノリシス生成物と、 イソシアネート、イソチオシアネート、ケテン、チオケ
    テン、カルボジイミド及び二硫化炭素から成る群から選
    択した化合物の、アンモノリシス生成物の重量を基準に
    して、約 0.1〜約30重量%とを反応させる工程 から成るポリシラザン付加ポリマーの製造方法。 2.ハロゲン化ケイ素化合物がさらにRR′R″SiX
    、SiX_4またはこれらの混合物〔式中、R″はR及
    びR′と同じ意味を有する〕を含む請求項1記載の方法
    。 3.さらに、ポリシラザン付加ポリマーを300℃を越
    えない温度に、粘度の特定の増加が生ずるために充分な
    時間加熱する工程を含む請求項1記載の方法。 4.さらに、ポリシラザン付加ポリマーを300℃を越
    えない温度に、粘度の特定の増加が生ずるために充分な
    時間加熱する工程を含む請求項2記載の方法。 5.請求項1記載の方法によつて調製されるポリマー。 6.請求項2記載の方法によつて調製されるポリマー。 7.請求項3記載の方法によつて調製されるポリマー。 8.請求項4記載の方法によつて調製されるポリマー。 9.下記の単位: ▲数式、化学式、表等があります▼ 〔式中、AはOまたはSであり;R、R′及びR″は同
    一または異なる基であつて、H、置換または非置換C_
    1−C_6アルキル、アリール、C_1−C_6アルケ
    ニル及びC_1−C_6アルキニル基から成る群から選
    択される基であり、RとR′の少なくとも1つは水素で
    ある;ポリマー単位を基準として、X+W=0.1〜3
    0重量%、Y+Z=99.9〜70重量%であり、X及
    びYは0でありうるまたはW及びZは0でありうる〕 を含むポリシラザン付加ポリマー。 10.RとR′基の少なくとも1つがC_1−C_6ア
    ルケニルまたはアルキニル基である、請求項1記載の方
    法によつて調製されるポリマーの硬化によつて製造され
    る生成物。 11.RとR′基の少なくとも1つがC_1−C_6ア
    ルケニルまたはアルキニル基である、請求項2記載の方
    法によつて調製されるポリマーの硬化によつて製造され
    る生成物。 12.RとR′基の少なくとも1つがC_1−C_6ア
    ルケニルまたはアルキニル基である請求項3記載の方法
    によつて調製されるポリマーの硬化によつて製造される
    生成物。 13.RとR′基の少なくとも1つがC_1−C_6ア
    ルケニルまたはアルキニル基である、請求項4記載の方
    法によつて調製されるポリマーの硬化によつて製造され
    る生成物。 14.RとR′基の少なくとも1つがC_1−C_6ア
    ルケニルまたはアルキニル基である、請求項9記載のポ
    リマーを硬化することによつて製造される生成物。 15.請求項1記載の方法によつて調製されるポリマー
    を不活性雰囲気またはアンモニア含有雰囲気において少
    なくとも800℃の温度に加熱することから成る窒化ケ
    イ素含有セラミック材料の製造方法。 16.請求項2記載の方法によつて調製されるポリマー
    を不活性雰囲気またはアンモニア含有雰囲気において少
    なくとも800℃の温度に加熱することから成る窒化ケ
    イ素含有セラミック材料の製造方法。 17.請求項3記載の方法によつて調製されるポリマー
    を不活性雰囲気またはアンモニア含有雰囲気において少
    なくとも800℃の温度に加熱することから成る窒化ケ
    イ素含有セラミック材料の製造方法。 18.請求項4記載の方法によつて調製されるポリマー
    を不活性雰囲気またはアンモニア含有雰囲気において少
    なくとも800℃の温度に加熱することから成る窒化ケ
    イ素含有セラミック材料の製造方法。 19.請求項9記載のポリマーを不活性雰囲気またはア
    ンモニア含有雰囲気において少なくとも800℃の温度
    に加熱することから成る窒化ケイ素含有セラミック材料
    の製造方法。 20.請求項10記載の生成物を不活性雰囲気またはア
    ンモニア含有雰囲気において少なくとも800℃の温度
    に加熱することから成る窒化ケイ素含有セラミック材料
    の製造方法。 21.請求項11記載の生成物を不活性雰囲気またはア
    ンモニア含有雰囲気において少なくとも800℃の温度
    に加熱することから成る窒化ケイ素含有セラミック材料
    の製造方法。 22.請求項12記載の生成物を不活性雰囲気またはア
    ンモニア含有雰囲気において少なくとも800℃の温度
    に加熱することから成る窒化ケイ素含有セラミック材料
    の製造方法。 23.請求項13記載の生成物を不活性雰囲気またはア
    ンモニア含有雰囲気において少なくとも800℃の温度
    に加熱することから成る窒化ケイ素含有セラミック材料
    の製造方法。 24.請求項14記載の生成物を不活性雰囲気またはア
    ンモニア含有雰囲気において少なくとも800℃の温度
    に加熱することから成る窒化ケイ素含有セラミック材料
    の製造方法。
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