DE4430817C2 - Herstellung keramischer Materialien durch Pyrolyse von hochvernetzten polymeren Carbodiimiden als Keramikvorstufe sowie Keramikvorstufe - Google Patents
Herstellung keramischer Materialien durch Pyrolyse von hochvernetzten polymeren Carbodiimiden als Keramikvorstufe sowie KeramikvorstufeInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Her
stellung keramischer Materialien durch Pyrolysebehandlung
einer polymeren Keramikvorstufe sowie die Keramikvorstufe.
Elementorganische Polymere werden zunehmend zur Herstellung
von keramischen Schichten, Fasern, Pulvern und Formkörpern
eingesetzt. Ein Beispiel für solche elementorganische
Polymere sind Polysilazane. Die Pyrolyse dieser Polysila
zane führt zunächst zu einphasigen amorphen Siliciumcar
bidnitriden im ternären System Si-C-N, die sich durch eine
hohe Oxidationsbeständigkeit auszeichnen. So konnte für
keramische Monolithe, die durch direkte Pyrolyse von Form
körpern aus einer polymeren Keramikvorstufe hergestellt
wurden, eine Stabilität an Luft selbst bei 1600°C nach
gewiesen werden (Riedel et. al., Nature 355 (1992), 714).
Aufgrund des amorphen einphasigen Charakters kann die
Struktur der aus elementorganischen Polymeren hergestellten
Materialien durch gezielte Kristallisation oberhalb von
1000°C beeinflußt werden, was zur Herstellung von metasta
bilen Zwischenzuständen bzw. Gefügen mit neuen Material
eigenschaften verwendet werden kann.
Weiterhin besitzen die auf diese Weise hergestellten Kera
miken im System Si-C-N außergewöhnliche thermomechanische
Eigenschaften. So konnte eine beachtliche Verbesserung der
Festigkeit von Si₃N₄/SiC-Verbundkeramiken sowie superpla
stisches Verhalten durch Heißpressen amorpher Si-, C- und
N-haltiger Keramikpulver erzielt werden, die aus element
organischen Polymervorstufen hergestellt wurden (Niihara,
J. Ceram. Soc. of Japan 99 (1991) 974 und Wakai et al,
Nature 344 (1990), 421).
Elementorganische Polymere wie etwa Polysilazane werden
üblicherweise durch direkte Synthese über Kondensations
reaktionen hergestellt, beispielsweise durch Umsetzung von
Chlorsilanen mit Ammoniak oder Aminen. Bei einem solchen
Prozeß fällt zusammen mit der polymeren Verbindung ein Salz
an, das nur unter großem Aufwand getrennt werden kann. Das
Auffinden von Synthesewegen, bei denen diese Salzbildung
vermieden werden kann, ist daher von großem Interesse.
Weiterhin besitzen bekannte elementorganische Polymere wie
etwa Polysilazane im allgemeinen einen relativ hohen Gehalt
an Wasserstoff, der während der Pyrolyse zur Abspaltung
gasförmiger Verbindungen wie etwa H₂, NH₃ und Methan führt.
Die hierdurch bedingte starke Gasentwicklung dieser wasser
stoffreichen Keramikvorstufen führt zum Aufschäumen
oder/und zur Rißbildung bei der Herstellung der entspre
chenden Keramikmaterialien.
Z. Naturforsch. (1986), 1367-1372 offenbart die Herstellung
von borylierten Carbodiimiden durch Umsetzung von N,N′-
Bis(trimethylsilyl)carbodiimid mit Diorganylhalogenboranen.
Es werden nach thermischer Dismutierung der Reaktionspro
dukte polymere Substanzen erhalten, die einen wasserstoff
haltigen Organylrest am Boratom aufweisen.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung war somit die
Bereitstellung neuer elementorganischer Keramikvorstufen,
bei denen die Nachteile des Standes der Technik, insbeson
dere die Salzbildung während der Herstellung der Keramik
vorstufen und die Abspaltung von Wasserstoff während der
Pyrolyse weitgehend vermieden werden können.
Diese Aufgabe wurde gelöst durch ein Verfahren zur Her
stellung keramischer Materialien durch Pyrolysebehandlung
einer polymeren Keramikvorstufe, welches dadurch gekenn
zeichnet ist, daß man die Keramikvorstufe gewinnt, indem
man (a) Verbindungen, die ausschließlich aus Elementen und
Halogenen bestehen, wobei die Elemente aus den Gruppen
IIIA, IVA, VA des Periodensystems, Übergangsmetallen und
Seltenerdmetallen ausgewählt sind, mit einer Verbindung der
Formel (I)
R₃ Si-N=C=N-SiR₃ (I)
worin R jeweils unabhängig eine C₁-C₃-Alkyl- oder Alken
ylgruppe bedeutet, in einem organischen Lösungsmittel
umsetzt und (b) flüchtige Bestandteile des Reaktionsgemi
sches abtrennt.
Es wurde festgestellt, daß das erfindungsgemäße Verfahren
die Herstellung neuer polymerer Keramikvorstufen mit gerin
gem Wasserstoffgehalt über einen Syntheseweg ermöglicht,
der keine Salzbildung beinhaltet. Als Ausgangsverbindungen
werden Element-Halogen-Verbindungen mit einem Bis(trialkyl
silyl)carbodiimid umgesetzt. Unter Abspaltung von Trialkyl
chlorsilan bildet sich eine hochvernetzte polymere Keramik
vorstufe, die durch Pyrolyse in hoher Ausbeute zu kerami
schen Materialien umgewandelt wird.
Die Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens bestehen
insbesondere darin, daß die salzfreie Darstellung hochver
netzter polymerer Keramikvorstufen unter milden Reaktions
bedingungen, z. B. bei Raumtemperatur ermöglicht wird. Als
Produkt fällt bei dieser Reaktion neben dem Polymer nur
Trialkylchlorsilan an, das sich in einfacher Weise aus dem
Ansatz abdestillieren läßt und zur erneuten Herstellung von
Verbindungen der Formel (I) verwendet werden kann. Weiter
hin kann durch Mischen verschiedener Element-Halogen-Ver
bindungen bei der Umsetzung mit dem Bis(trialkylsilyl)car
bodiimid der Einbau weiterer Elemente in das Polymer er
möglicht werden.
Für das erfindungsgemäße Verfahren werden Halogenide von
Elementen verwendet, die aus den Gruppen IIIA, IVA, VA des
Periodensystems, Übergangsmetallen und Seltenerdmetallen
ausgewählt sind. Vorzugsweise verwendet man Halogenide von
Bor, Silicium, Phosphor, Titan, Wolfram oder Mischungen
davon. Besonders bevorzugt verwendet man Halogenide von
Bor, Silicium, Titan oder Mischungen davon. Am meisten
bevorzugt verwendet man ein Halogenid von Silicium.
Als Halogenide verwendet man vorzugsweise Chloride oder
Bromide, besonders bevorzugt Chloride. Am meisten bevorzugt
als Element-Halogen-Verbindung ist Siliciumtetrachlorid.
Die Element-Halogen-Verbindung wird mit einem Bis(trialkyl
silyl)carbodiimid der Formel (I) umgesetzt. Vorzugsweise
verwendet man als Verbindung der Formel (I) N,N′-Bis(trime
thylsilyl)carbodiimid. In diesem Fall entsteht bei der
Umsetzung mit der Element-Halogen-Verbindung als flüchtiges
Reaktionsprodukt Trimethylchlorsilan, das sich durch Erwär
men auf 78°C aus dem Ansatz abdestillieren läßt.
Die Reaktion zur Gewinnung der polymeren Keramikvorstufe
wird in einem organischen Lösungsmittel durchgeführt.
Beispiele für geeignete organische Lösungsmittel sind
aromatische Kohlenwasserstoff-Lösungsmittel wie etwa Tolu
ol. Es sind jedoch auch andere Lösungsmittel wie etwa
Tetrahydrofuran geeignet.
Die Reaktion kann im Bereich von Raumtemperatur bis zur
Rückflußtemperatur des Lösungsmittels durchgeführt werden.
Vorzugsweise wird die Reaktion bei Raumtemperatur (20-25°C
durchgeführt). Die Entfernung flüchtiger Bestandteile aus
dem Reaktionsgemisch erfolgt nach üblichen Methoden, z. B.
durch Destillation oder/und Trocknung.
Durch das erfindungsgemäße Verfahren können Keramikvor
stufen hergestellt werden, die einen geringen Wasserstoff
gehalt aufweisen, so daß während der anschließenden Pyro
lyse kein Aufschäumen stattfindet. Vorzugsweise besitzt die
Keramikvorstufe einen Wasserstoffgehalt von 6 Masse-%,
besonders bevorzugt von 4,5 Masse-% und am meisten
bevorzugt von 3 Masse-%.
Weiterhin ist bevorzugt, daß die Keramikvorstufe einen
geringen Halogengehalt, beispielsweise von 2 Masse-% und
insbesondere von 0,2 Masse-% aufweist.
Wenn eine zusätzliche Einführung von Bor in die polymere
Keramikvorstufe gewünscht wird, so kann die durch die
Schritte (a) und (b) des erfindungsgemäßen Verfahrens
hergestellte Keramikvorstufe weiterhin mit einem Boran oder
einem Boran-Addukt umgesetzt und die flüchtigen Bestand
teile des Reaktionsgemisches abgetrennt werden. Diese bo
rierte Keramikvorstufe kann zur Herstellung eines Keramik
materials verwendet werden, das als weitere Komponente Bor
enthält.
Die Borierung erfolgt durch Anlagerung von Boranen oder
Boran-Addukten an die durch Reaktion der Element-Halogen-
Verbindung mit dem Silylcarbodiimid der Formel (I) herge
stellte Keramikvorstufe. Beispiele für Borane sind BH₃ bzw.
B₂H₆ oder B₅H₉. Vorzugsweise erfolgt die Umsetzung mit
Boran-Addukten. Beispiele derartiger Verbindungen sind
Boran-Sulfid-Addukte, z. B. Boran-Dialkylsulfid-Addukte wie
etwa Dimethylsulfid-Boran, Boran-Ether-Addukte, z. B. Ad
dukte von Boran mit cyclischen Ethern wie etwa Tetrahydro
furan-Boran und Boran-Amin-Addukte wie etwa Pyridin-Boran.
Die Verwendung von Boran-Sulfid-Addukten, insbesondere
Dimethylsulfid-Boran, oder Boran-Ether-Addukten, insbeson
dere Tetrahydrofuran-Boran, ist besonders bevorzugt.
Die Borierung der Keramikvorstufe wird vorzugsweise in
einem organischen Lösungsmittel durchgeführt. Das molare
Verhältnis von Boratomen zu Carbodiimidgruppen bei der
Reaktion ist vorzugsweise 5 : 1 bis 1 : 5 und besonders bevor
zugt 2 : 1 bis 1 : 2.
Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist eine
vernetzte polymere wasserstoffarme Keramikvorstufe, erhält
lich durch ein Verfahren wie zuvor erläutert, welche ein
oder mehrere Elemente, ausgewählt aus den Gruppen IIIA,
IVA, VA der Periodensystems, Übergangsmetallen und Selten
erdmetallen, C, N und H enthält, wobei die Element-Atome
nur über -N-C-N-Brücken verknüpft sind. Der Wasserstoff
gehalt der erfindungsgemäßen Keramikvorstufe ist 6 Mas
se-%, besonders bevorzugt 4,5 Masse-% und am meisten
bevorzugt 2 Masse-%. Der Halogengehalt ist vorzugsweise
2 Masse-% und besonders bevorzugt 0,2 Masse-%.
Das Element ist vorzugsweise Si und die Keramikvorstufe
besitzt im wesentlichen die Zusammensetzung Si(N=C=N)₂ und
sollte aus einem Netzwerk von über Ecken verknüpften
Si(N=C=N)₄-Tetraedern bestehen.
Die Erfindung wird weiterhin durch die Abbildung und die
nachfolgenden Beispiele erläutert. Es zeigen
Abb. 1a eine röntgenelektronenmikroskopische Auf
nahme eines in Toluol hergestellten Polymer
pulvers Si(N=C=N)₂ und
Abb. 1b ein bei 1200°C aus der Verbindung in Abb. 1a
erhaltenes Pyrolysat.
In einem 100 ml Dreihalskolben wird eine Mischung von 4,0
ml (3,28 g, 0,017 mol) Bis(trimethylsilyl)carbodiimid und
20 ml THF vorgelegt. Unter starkem Rühren wird zu dieser
Reaktionsmischung eine Lösung von 1,0 ml (1,48 g, 0,0087
mol) Tetrachlorsilan in 5 ml THF langsam zugetropft. Die
Reaktionsmischung trübt sich während dem Zutropfen langsam
ein. Nach kurzer Zeit bildet sich ein farbloses, gelartiges
und festes Produkt. Die Temperatur wird unter Rühren lang
sam auf 70°C erhöht. Dabei werden 10 ml eines Gemisches
aus Chlortrimethylsilan/THF abdestilliert. Danach wird das
Gemisch noch 12 Stunden bei Zimmertemperatur gerührt.
Anschließend werden das restliche Lösungsmittel und das
Chlortrimethylsilan abdestilliert. Nach dem Trocknen bei
200°C im Vakuum (0,001 Torr) wurden 1,42 g (29,8% Aus
beute bezogen auf die Edukte) eines farblosen Polymers
erhalten. Die theoretische Ausbeute an Si(N=C=N)₂ beträgt
20,1%. Die höhere Ausbeute erklärt sich durch die teil
weise Absättigung der Endgruppen mit Trimethylsilylresten.
Der Reaktionsverlauf entspricht dem in Beispiel 1 be
schriebenen Verfahren. Bei dieser Reaktion wurden 20 ml
(16,4 g, 0,088 mol) Bis(trimethylsilyl)carbodiimid und 80
ml Toluol vorgelegt und mit 5 ml (7,41 g, 0,044 mol) Tetra
chlorsilan in 20 ml Toluol umgesetzt. Nach dem Abdestillie
ren des Lösungsmittels und dem Trocknen bei 200°C im
Vakuum (0,001 Torr) wurden 5,5 g (23,1% Ausbeute) eines
sehr feinen, farblosen Polymer-Pulvers erhalten.
Zur Pyrolyse der gemäß den Beispielen 1 und 2 hergestellten
Polymere [Si(N=C=N)₂]n wurden diese in einem Quarzschlenk
gefäß unter Argon mit einer Aufheizrate von 1°C/min auf
1200°C erhitzt. Diese Temperatur wurde für eine Zeit von
drei Stunden beibehalten. Die Abkühlung des keramischen
Materials auf 75°C erfolgte mit 3°C/min. Während der
Pyrolyse des Polymers destillierte eine farblose Flüssig
keit ab.
IR- und massenspektroskopische Untersuchungen dieser Flüs
sigkeit zeigen, daß es sich dabei im wesentlichen um durch
Kondensationsreaktionen gebildetes Bis(trimethylsilyl)car
bodiimid handelt. Der hierdurch bedingte Masseverlust
betrug nach Pyrolyse 42,7% für das in THF hergestellte
gelartige Polymer und 25,8% für das in Toluol syntheti
sierte Polymer-Pulver. Die durch die Polymerpulver-Schüt
tung vorgegebenen Formen bleiben erhalten, und die Polymer
pulver schäumten während der Pyrolyse nicht auf. Röntgen
elektronenmikroskopische Untersuchungen des keramischen
Rückstandes zeigen, daß es sich hierbei um Agglomerate
kleiner Pulverteilchen mit Durchmessern zwischen 50-100 nm
handelt.
Wie aus Abb. 1 hervorgeht, bleibt die Form der Polymerteil
chen während der Pyrolyse erhalten. Diese Polymerpulver
eignen sich daher besonders gut für die Herstellung hoch
sinterfähiger Pulver oder monolithischer, keramischer
Formteile durch Pyrolyse polymerer Grünkörper.
Elementaranalyse der Keramik in [Masse%]:
C: 25,3; N: 29,0; Si: 45,0; O: 1,0.
Elementaranalyse der Keramik in [Masse%]:
C: 25,3; N: 29,0; Si: 45,0; O: 1,0.
Claims (14)
1. Verfahren zur Herstellung keramischer Materialien durch
Pyrolysebehandlung einer polymeren Keramikvorstufe,
dadurch gekennzeichnet,
daß man die Keramikvorstufe gewinnt, indem man
- (a) Verbindungen, die ausschließlich aus Elementen und
Halogenen bestehen, wobei die Elemente aus den Gruppen IIIA,
IVA, VA des Periodensystems, Übergangsmetallen und
Seltenerdmetallen ausgewählt sind, mit einer Verbindung der
Formel (I)
R₃ Si-N=C=N-SiR₃ (I)worin R jeweils unabhängig eine C₁-C₃-Alkyl- oder
Alkenylgruppe bedeutet,
in einem organischen Lösungsmittel umsetzt und - (b) flüchtige Bestandteile des Reaktionsgemisches abtrennt.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß man Halogenide von Bor, Silicium, Phosphor, Titan,
Wolfram oder Mischungen davon verwendet.
3. Verfahren nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß man Halogenide von Bor, Silicium, Titan oder Mischungen
davon verwendet.
4. Verfahren nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß man ein Halogenid von Silicium verwendet.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß man als Halogenid ein Chlorid oder Bromid verwendet.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß man als Verbindung der Formel (I)
N,N′-Bis(trimethylsilyl)carbodiimid verwendet.
7. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Reaktion in einem aromatischen Kohlenwasserstoff-
Lösungsmittel durchgeführt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß man die durch die Schritte (a) und (b) hergestellte
Keramikvorstufe weiterhin mit einem Boran oder einem Boran-
Addukt umsetzt und flüchtige Bestandteile des
Reaktionsgemisches abtrennt.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß man die Pyrolysebehandlung der Keramikvorstufe durch
Erhitzen auf eine Temperatur im Bereich von 1.000 bis 1.300°C
durchführt.
10. Vernetzte polymere wasserstoffarme Keramikvorstufe,
erhältlich durch ein Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis
9, welche ein oder mehrere Elemente, ausgewählt aus den
Gruppen IIIA, IVA, VA des Periodensystems, Übergangsmetallen
und Seltenerdmetallen, C, N und H enthält, wobei die Element-
Atome nur über -N-C-N-Brücken verknüpft sind und der
Wasserstoffgehalt 6 Masse-% ist.
11. Keramikvorstufe nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Wasserstoffgehalt 4,5 Masse-% ist.
12. Keramikvorstufe nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Wasserstoffgehalt 3 Masse-% ist.
13. Keramikvorstufe nach einem der Ansprüche 10 bis 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Halogengehalt 2 Masse-% ist.
14. Vernetzte polymere wasserstoffarme Keramikvorstufe nach einem der Ansprüche 10-13, dadurch gekennzeichnet, daß sie im
wesentlichen die Zusammensetzung Si(N=C=N)₂ besitzt und aus
einem Netzwerk von über Ecken verknüpften Si(N=C=N)₄-
Tetraedern besteht.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944430817 DE4430817C2 (de) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | Herstellung keramischer Materialien durch Pyrolyse von hochvernetzten polymeren Carbodiimiden als Keramikvorstufe sowie Keramikvorstufe |
PCT/EP1995/003403 WO1996006812A1 (de) | 1994-08-30 | 1995-08-29 | Herstellung keramischer materialien durch pyrolyse von hochvernetzten polymeren carbodiimiden |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
DE19944430817 DE4430817C2 (de) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | Herstellung keramischer Materialien durch Pyrolyse von hochvernetzten polymeren Carbodiimiden als Keramikvorstufe sowie Keramikvorstufe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4430817A1 DE4430817A1 (de) | 1996-03-07 |
DE4430817C2 true DE4430817C2 (de) | 1997-02-13 |
Family
ID=6526955
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4430817C2 (de) |
WO (1) | WO1996006812A1 (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19634799A1 (de) * | 1996-08-29 | 1998-03-05 | Bayer Ag | SiCN-Gele als Vorstufen zu nichtoxidischen Silicium-Keramiken |
DE19706028C1 (de) * | 1997-02-17 | 1998-07-02 | Bayer Ag | Neue Carbodiimid-Polymere als Vorstufen für C/N- und B/C/N-Werkstoffe |
JP2010174133A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Teijin Ltd | ポリシリルカルボジイミド化合物およびその製造方法 |
DE102009034090A1 (de) | 2009-07-21 | 2011-01-27 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Verfahren zur Darstellung anorganischer Harze auf der Basis wasserstofffreier, polymerer Isocyanate zur Darstellung nitridischer, carbidischer und carbonitridischer Netzwerke und deren Verwendung als Schutzüberzüge |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4929704A (en) * | 1988-12-20 | 1990-05-29 | Hercules Incorporated | Isocyanate- and isothiocyanate-modified polysilazane ceramic precursors |
DE4314497A1 (de) * | 1993-05-03 | 1994-11-10 | Bayer Ag | Polymere multinäre Azane, Verfahren zu deren Herstellung und deren Verwendung |
-
1994
- 1994-08-30 DE DE19944430817 patent/DE4430817C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-08-29 WO PCT/EP1995/003403 patent/WO1996006812A1/de active Application Filing
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Publication number | Publication date |
---|---|
WO1996006812A1 (de) | 1996-03-07 |
DE4430817A1 (de) | 1996-03-07 |
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WO1996006813A1 (de) | Herstellung keramischer materialien über die hydroborierung von silylcarbodiimiden |
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