WO1996006812A1 - Herstellung keramischer materialien durch pyrolyse von hochvernetzten polymeren carbodiimiden - Google Patents

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WO1996006812A1
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ceramic
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pyrolysis
hydrogen content
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Joachim Bill
Fritz Aldinger
Andreas Kienzle
Ralf Riedel
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MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
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Definitions

  • the present invention relates to a process for the production of ceramic materials by pyrolysis treatment of a polymeric ceramic precursor.
  • Element-organic polymers are increasingly used for the production of ceramic layers, fibers, powders and moldings.
  • Polysilazanes are an example of such organic polymers.
  • the pyrolysis of these polysilazanes initially leads to single-phase amorphous silicon carbide nitrides in the ternary system Si-C-N, which are distinguished by a high resistance to oxidation.
  • Si-C-N ternary system
  • stability in air could be demonstrated even at 1600 ° C (Riedel et al., Nature 355 (1992), 714).
  • the structure of the materials produced from element-organic polymers can be influenced by targeted crystallization above 1000 ° C., which can be used to produce metastable intermediate states or structures with new material properties.
  • the ceramics produced in this way in the Si-CN system have exceptional thermomechanical properties.
  • a considerable improvement in the strength of Si 3 N 4 / SiC composite ceramics and superplastic behavior could be achieved by hot pressing amorphous Si, C and N-containing ceramic powders which were produced from element-organic polymer precursors (Niihara, J. Ceram. Soc. Of Japan 99 (1991) 974 and Wakai et al, Nature 344 (1990), 421).
  • Element-organic polymers such as polysilazanes are usually produced by direct synthesis via condensation reactions, for example by reacting chlorosilanes with ammonia or amines. In such a process, a salt is formed together with the polymeric compound, which can only be separated with great effort. Finding synthetic routes where this salt formation can be avoided is therefore of great interest.
  • known elemental organic polymers such as polysilazanes generally have a relatively high hydrogen content, which leads to the elimination of gaseous compounds such as H 2 , NH 3 and methane during pyrolysis.
  • gaseous compounds such as H 2 , NH 3 and methane during pyrolysis.
  • the resulting strong gas development of these hydrogen-rich ceramic precursors leads to foaming and / or to crack formation in the production of the corresponding ceramic materials.
  • An object of the present invention was therefore to provide new ceramic organic precursors in which the disadvantages of the prior art, in particular salt formation during the preparation of the ceramic precursors and the elimination of hydrogen during the pyrolysis, can be largely avoided.
  • This object was achieved by a process for the production of ceramic materials by pyrolysis treatment of a polymeric ceramic precursor, which is characterized in that the ceramic precursor is obtained by (a) halides of elements from groups IIIA, IVA, VA of the periodic table, transition metals and rare earth metals are selected, with a compound of formula (I)
  • the process according to the invention enables the production of new polymeric ceramic precursors with a low hydrogen content via a synthetic route which does not involve salt formation.
  • Element-halogen compounds are reacted with a bis (trialkylsilyl) carbodiimide as starting compounds.
  • trialkylchlorosilane With the elimination of trialkylchlorosilane, a highly crosslinked polymeric ceramic precursor is formed, which is converted into ceramic materials in high yield by pyrolysis.
  • the advantages of the process according to the invention are in particular that the salt-free preparation of highly crosslinked polymeric ceramic precursors under mild reaction conditions, e.g. at room temperature.
  • the product of this reaction in addition to the polymer is only trialkylchlorosilane, which can be distilled off from the batch in a simple manner and can be used for the renewed preparation of compounds of the formula (I).
  • the bis (trialkylsilyl) carbodiimide the incorporation of further elements into the polymer can be made possible.
  • Halides of elements selected from groups IIIA, IVA, VA of the periodic table, transition metals and rare earth metals are used for the process according to the invention.
  • Halides of boron, silicon, phosphorus, titanium, tungsten or mixtures thereof are preferably used.
  • Halides of boron, silicon, titanium or mixtures thereof are particularly preferably used.
  • a halide of silicon is most preferably used.
  • the halides used are preferably chlorides or bromides, particularly preferably chlorides. Most preferred as the element-halogen compound is silicon tetrachloride.
  • the element-halogen compound is reacted with a bis (trialkylsilyl) carbodiimide of the formula (I).
  • the compound of formula (I) used is N, N'-bis (triethylsilyl) carbodiimide.
  • the reaction with the element-halogen compound produces trimethylchlorosilane as a volatile reaction product, which can be distilled off from the batch by heating to 78.degree.
  • the reaction to obtain the polymeric ceramic precursor is preferably carried out in an organic solvent.
  • organic solvents are aromatic hydrocarbon solvents such as toluene.
  • other solvents such as tetrahydrofuran are also suitable.
  • the reaction can be carried out in the range from room temperature to the reflux temperature of the solvent.
  • the reaction is preferably carried out at room temperature (20-25 ° C.).
  • the volatile constituents are removed from the reaction mixture by customary methods, e.g. by distillation and / or drying.
  • Ceramic precursors which have a low hydrogen content can be produced by the process according to the invention, so that no foaming takes place during the subsequent pyrolysis.
  • the ceramic precursor preferably has a hydrogen content of ⁇ . 6% by mass, particularly preferably from ⁇ . 4, 5 mass% and most preferably of. 3 mass%.
  • the ceramic precursor has a low halogen content, for example of . 2% by mass and in particular of ⁇ . Has 0.2 mass%.
  • the ceramic precursor produced by steps (a) and (b) of the process according to the invention can further be reacted with a borane or a borane adduct and the volatile constituents of the reaction mixture can be separated off.
  • This borated ceramic precursor can be used to produce a ceramic material that contains boron as a further component.
  • the boronization takes place by addition of boranes or borane adducts to the ceramic precursor produced by reaction of the element-halogen compound with the silylcarbodiimide of the formula (I).
  • boranes are BH 3 or B 2 H 6 or B S H 9 .
  • the reaction is preferably carried out with borane adducts.
  • borane-sulfide adducts for example borane-dialkylsulfide adducts such as, for example, dimethylsulfide-borane, borane-ether adducts, for example adducts of borane with cyclic ethers, such as tetrahydrofuran-borane, and borane-amine adducts, such as, for example, pyridine Boran.
  • borane-sulfide adducts in particular dimethyl sulfide-borane, or borane-ether adducts, in particular tetrahydrofuran-borane, is particularly preferred.
  • the ceramic precursor is preferably borated in an organic solvent.
  • the molar ratio of boron atoms to carbodiimide groups in the reaction is preferably 5: 1 to 1: 5 and particularly preferably 2: 1 to 1: 2.
  • Another object of the present invention is a crosslinked polymeric low-hydrogen product which contains one or more elements selected from Groups IIIA, IVA, VA of the periodic table, transition metals and rare earth metals, C, N and H, the element atoms in are essentially linked via -NCN bridges.
  • the product has an at least largely hydrogen-free and highly crosslinked structure in the interior, in which only valences on the surface can still be saturated by hydrogen-containing groups, for example trimethylsilyl.
  • the what- Hydrogen content of the ceramic precursor according to the invention is preferably ⁇ . 6% by mass, particularly preferably ⁇ . 4.5 mass% and most preferably ⁇ . 2 mass%.
  • the halogen content is preferably ⁇ . 2% by mass and particularly preferably ⁇ . 0.2 mass%.
  • the product as such is already a ceramic material and can e.g. by pyrolysis, to be modified into further ceramic materials.
  • Figure lb a pyrolysate obtained at 1200 ° C from the compound in Figure la.
  • a mixture of 4.0 ml (3.28 g, 0.017 mol) of bis (trimethylsilyl) carbodiimide and 20 ml of THF is placed in a 100 ml three-necked flask.
  • a solution of 1.0 ml (1.48 g, 0.0087 mol! Tetrachlorosilane in 5 ml THF) is slowly added dropwise to this reaction mixture with vigorous stirring.
  • the reaction mixture slowly becomes cloudy during the dropwise addition , gel-like and solid product.
  • the temperature is slowly raised to 70 ° C. with stirring. 10 ml of a mixture of chlorotrimethylsilane / THF are distilled off. The mixture is then stirred for a further 12 hours at room temperature.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung keramischer Materialien durch Pyrolysebehandlung einer polymeren Keramikvorstufe, wobei man die Keramikvorstufe gewinnt, indem man (a) Halogenide von Elementen, die aus den Gruppen IIIA, IVA, VA des Periodensystems, Übergangsmetallen und Seltenerdmetallen ausgewählt sind, mit einer Verbindung der Formel (I) R3 Si-N=C=N-SiR3, worin R jeweils unabhängig eine C1-C3-Alkyl- oder Alkenylgruppe bedeutet, umsetzt und (b) flüchtige Bestandteile des Reaktionsgemisches abtrennt.

Description

Herstellung keramischer Materialien durch Pyrolyse von hochvernetzten polymeren Carbodiimiden
Beschreibung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Her¬ stellung keramischer Materialien durch Pyrolysebehandlung einer polymeren Keramikvorstufe.
Elementorganische Polymere werden zunehmend zur Herstellung von keramischen Schichten, Fasern, Pulvern und Formkörpern eingesetzt. Ein Beispiel für solche elementorganische Polymere sind Polysilazane. Die Pyrolyse dieser Polysilazane führt zunächst zur einphasigen amorphen Siliciumcar- bidnitriden im ternären System Si-C-N, die sich durch eine hohe Oxidationsbeständigkeit auszeichnen. So konnte für keramische Monolithe, die durch direkte Pyrolyse von Form¬ körpern aus einer polymeren Keramikvorstufe hergestellt wurden, eine Stabilität an Luft selbst bei 1600 °C nach¬ gewiesen werden (Riedel et al . , Nature 355 (1992) , 714) .
Aufgrund des amorphen einphasigen Charakters kann die Struktur der aus elementorganischen Polymeren hergestellten Materialien durch gezielte Kristallisation oberhalb von 1000 °C beeinflußt werden, was zur Herstellung von metastabilen Zwischenzuständen bzw. Gefügen mit neuen Material¬ eigenschaften verwendet werden kann.
Weiterhin besitzen die auf diese Weise hergestellten Kera¬ miken im System Si-C-N außergewöhnliche thermomechanische Eigenschaften. So konnte eine beachtliche Verbesserung der Festigkeit von Si3N4/SiC-Verbundkeramiken sowie superplasti¬ sches Verhalten durch Heißpressen amorpher Si-, C- und N-haltiger Keramikpulver erzielt werden, die aus element¬ organischen Polymervorstufen hergestellt wurden (Niihara, J. Ceram. Soc . of Japan 99 (1991) 974 und Wakai et al, Nature 344 ( 1990 ) , 421 ) .
Elementorganische Polymere wie etwa Polysilazane werden üblicherweise durch direkte Synthese über Kondensations- reaktionen hergestellt, beispielsweise durch Umsetzung von Chlorsilanen mit Ammoniak oder Aminen. Bei einem solchen Prozeß fällt zusammen mit der polymeren Verbindung ein Salz an, das nur unter großem Aufwand getrennt werden kann. Das Auffinden von Synthesewegen, bei denen diese Salzbildung vermieden werden kann, ist daher von großem Interesse.
Weiterhin besitzen bekannte elementorganische Polymere wie etwa Polysilazane im allgemeinen einen relativ hohen Gehalt an Wasserstoff, der während der Pyrolyse zur Abspaltung gasförmiger Verbindungen wie etwa H2, NH3 und Methan führt. Die hierdurch bedingte starke Gasentwicklung dieser wasser¬ stoffreichen Keramikvorstufen führt zum Aufschäumen oder/und zur Rißbildung bei der Herstellung der entsprechenden Keramikmaterialien.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung war somit die Bereitstellung neuer elementorganischer Keramikvorstufen, bei denen die Nachteile des Standes der Technik, insbesondere die Salzbildung während der Herstellung der Keramikvorstufen und die Abspaltung von Wasserstoff während der Pyrolyse weitgehend vermieden werden können.
Diese Aufgabe wurde gelöst durch ein Verfahren zur Her¬ stellung keramischer Materialien durch Pyrolysebehandlung einer polymeren Keramikvorstufe, welches dadurch gekenn¬ zeichnet ist, daß man die Keramikvorstufe gewinnt, indem man (a) Halogenide von Elementen, die aus den Gruppen IIIA, IVA, VA des Periodensystems, Übergangsmetallen und Seltenerdme¬ tallen ausgewählt sind, mit einer Verbindung der Formel (I)
R3 Si-N=C=N-SiR3 (I) worin R jeweils unabhängig eine C1-C3-Alkyl- oder Alken- ylgruppe bedeutet, umsetzt und (b) flüchtige Bestandteile des Reaktionsgemisches abtrennt.
Es wurde festgestellt, daß das erfindungsgemäße Verfahren die Herstellung neuer polymerer Keramikvorstufen mit geringem Wasserstoffgehalt über einen Syntheseweg ermöglicht, der keine Salzbildung beinhaltet. Als Ausgangsverbindungen werden Element-Halogen-Verbindungen mit einem Bis (trialkyl- silyl) carbodiimid umgesetzt. Unter Abspaltung von Trialkyl- chlorsilan bildet sich eine hochvernetzte polymere Keramik¬ vorstufe, die durch Pyrolyse in hoher Ausbeute zu keramischen Materialien umgewandelt wird.
Die Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens bestehen insbesondere darin, daß die salzfreie Darstellung hochver- netzter polymerer Keramikvorstufen unter milden Reaktions- bedingungen, z.B. bei Raumtemperatur ermöglicht wird. Als Produkt fällt bei dieser Reaktion neben dem Polymer nur Trialkylchlorsilan an, das sich in einfacher Weise aus dem Ansatz abdestillieren läßt und zur erneuten Herstellung von Verbindungen der Formel (I) verwendet werden kann. Weiterhin kann durch Mischen verschiedener Element-Halogen-Verbindungen bei der Umsetzung mit dem Bis (trialkylsilyl) carbodiimid der Einbau weiterer Elemente in das Polymer ermöglicht werden.
Für das erfindungsgemäße Verfahren werden Halogenide von Elementen verwendet, die aus den Gruppen IIIA, IVA, VA des Periodensystems, Übergangsmetallen und Seltenerdmetallen ausgewählt sind. Vorzugsweise verwendet man Halogenide von Bor, Silicium, Phosphor, Titan, Wolfram oder Mischungen davon. Besonders bevorzugt verwendet man Halogenide von Bor, Silicium, Titan oder Mischungen davon. Am meisten bevorzugt verwendet man ein Halogenid von Silicium.
Als Halogenide verwendet man vorzugsweise Chloride oder Bromide, besonders bevorzugt Chloride. Am meisten bevorzugt als Element-Halogen-Verbindung ist Siliciumtetrachlorid.
Die Element-Halogen-Verbindung wird mit einem Bis (trialkyl- silyl) carbodiimid der Formel (I) umgesetzt. Vorzugsweise verwendet man als Verbindung der Formel (I) N,N' -Bis (tri e- thylsilyl) carbodiimid. In diesem Fall entsteht bei der Umsetzung mit der Element-Halogen-Verbindung als flüchtiges Reaktionsprodukt Trimethylchlorsilan, das sich durch Erwärmen auf 78 °C aus dem Ansatz abdestillieren läßt.
Die Reaktion zur Gewinnung der polymeren Keramikvorstufe wird vorzugsweise in einem organischen Lösungsmittel durchgeführt. Beispiele für geeignete organische Lösungsmittel sind aromatische Kohlenwasserstoff-Lösungsmittel wie etwa Toluol. Es sind jedoch auch andere Lösungsmittel wie etwa Tetrahydrofuran geeignet.
Die Reaktion kann im Bereich von Raumtemperatur bis zur Rückflußtemperatur des Lösungsmittels durchgeführt werden. Vorzugsweise wird die Reaktion bei Raumtemperatur (20-25 °C durchgeführt) . Die Entfernung flüchtiger Bestandteile aus dem Reaktionsgemisch erfolgt nach üblichen Methoden, z.B. durch Destillation oder/und Trocknung.
Durch das erfindungsgemäße Verfahren können Keramikvorstufen hergestellt werden, die einen geringen Wasserstoffgehalt aufweisen, so daß während der anschließenden Pyrolyse kein Aufschäumen stattfindet. Vorzugsweise besitzt die Keramikvorstufe einen Wasserstoffgehalt von <. 6 Masse-%, besonders bevorzugt von <. 4, 5 Masse-% und am meisten bevorzugt von . 3 Masse-%.
Weiterhin ist bevorzugt, daß die Keramikvorstufe einen geringen Halogengehalt, beispielsweise von . 2 Masse-% und insbesondere von <. 0,2 Masse-% aufweist.
Wenn eine zusätzliche Einführung von Bor in die poly ere Keramikvorstufe gewünscht wird, so kann die durch die Schritte (a) und (b) des erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellte Keramikvorstufe weiterhin mit einem Boran oder einem Boran-Addukt umgesetzt und die flüchtigen Bestandteile des Reaktionsgemisches abgetrennt werden. Diese borierte Keramikvorstufe kann zur Herstellung eines Keramikmaterials verwendet werden, das als weitere Komponente Bor enthält.
Die Borierung erfolgt durch Anlagerung von Boranen oder Boran-Addukten an die durch Reaktion der Element-Halogen- Verbindung mit dem Silylcarbodiimid der Formel (I) herge¬ stellte Keramikvorstufe. Beispiele für Borane sind BH3 bzw. B2H6 oder BSH9. Vorzugsweise erfolgt die Umsetzung mit Boran- Addukten. Beispiele derartiger Verbindungen sind Boran- Sulfid-Addukte, z.B. Boran-Dialkylsulfid-Addukte wie etwa Dimethylsulfid-Boran, Boran-Ether-Addukte, z.B. Addukte von Boran mit cyclischen Ethern wie etwa Tetrahydrofuran-Boran und Boran-Amin-Addukte wie etwa Pyridin-Boran. Die Verwendung von Boran-Sulfid-Addukten, insbesondere Dimethylsulfid-Boran, oder Boran-Ether-Addukten, insbesondere Tetrahydrofuran- Boran, ist besonders bevorzugt.
Die Borierung der Keramikvorstufe wird vorzugsweise in einem organischen Lösungsmittel durchgeführt. Das molare Verhältnis von Boratomen zu Carbodiimidgruppen bei der Reaktion ist vorzugsweise 5:1 bis 1:5 und besonders bevorzugt 2:1 bis 1:2.
Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein vernetztes polymeres Wasserstoffarmes Produkt, welches ein oder mehrere Elemente, ausgewählt aus den Gruppen IIIA, IVA, VA der Periodensystems, Übergangsmetallen und Seltenerdme¬ tallen, C, N und H enthält, wobei die Element-Atome im wesentlichen über -N-C-N-Brücken verknüpft sind. Das Produkt weist eine im Inneren zumindest weitgehend Wasserstoffreie und hochvernetzte Struktur auf, bei der lediglich Valenzen an der Oberfläche noch durch Wasserstoffhaltige Gruppen, z.B. Trimethylsilyl, abgestättigt sein können. Der Was- serstoffgehalt der erfindungsgemäßen Keramikvorstufe ist vorzugsweise <. 6 Masse-%, besonders bevorzugt <. 4, 5 Masse-% und am meisten bevorzugt <. 2 Masse-%. Der Halogengehalt ist vorzugsweise <. 2 Masse-% und besonders bevorzugt <. 0, 2 Masse-%.
Das Element ist vorzugsweise Si und die Keramikvorstufe besitzt im wesentlichen die Zusammensetzung Si(N=C=N)2 und sollte aus einem Netzwerk von über Ecken verknüpften Si (N=C=N)„-Tetraedern bestehen.
Das Produkt ist bereits als solches ein keramisches Material und kann z.B. durch Pyrolyse, zu weiteren keramischen Materialien modifiziert werden.
Die Erfindung wird weiterhin durch die Abbildung und die nachfolgenden Beispiele erläutert. Es zeigen:
Abbildung la: eine röntgenelektronenmikroskopische Aufnahme eines in Toluol hergestellten Polymerpulvers Si(N=C=N)2 und
Abbildung lb: ein bei 1200 °C aus der Verbindung in Abbil¬ dung la erhaltenes Pyrolysat .
Beispiel 1:
Umsetzung von Tetrachlorsilan mit Bis (trimethylsilyl) carbo¬ diimid in Tetrahvdrofuran (THF) als Lösungsmittel
In einem 100 ml Dreihalskolben wird eine Mischung von 4, 0 ml (3,28 g, 0,017 mol) Bis (trimethylsilyl) carbodiimid und 20 ml THF vorgelegt. Unter starkem Rühren wird zu dieser Reaktionsmischung eine Lösung von 1,0 ml (1,48 g, 0,0087 mol! Tetrachlorsilan in 5 ml THF langsam zugetropft. Die Reaktionsmischung trübt sich während dem Zutropfen langsam ein. Nach kurzer Zeit bildet sich ein farbloses, gelartiges und festes Produk . Die Temperatur wird unter Rühren langsam auf 70 °C erhöht. Dabei werden 10 ml eines Gemisches aus Chlortrimethylsilan/THF abdestilliert. Danach wird das Gemisch noch 12 Stunden bei Zimmertemperatur gerührt. Anschließend werden das restliche Lösungsmittel und das Chlortrimethylsilan abdestilliert. Nach dem Trocknen bei 200 °C im Vakuum (0,001 Torr) wurden 1,42 g (29,8 % Ausbeute bezogen auf die Edukte) eines farblosen Polymers erhalten. Die theoretische Ausbeute an Si(N=C=N)2 beträgt 20,1 %. Die höhere Ausbeute erklärt sich durch die teilweise Absättigung der Endgruppen mit Tri ethylsilylresten.
Beispiel 2:
Umsetzung von Tetrachlorsilan mit Bis (trimethylsilyl) carbo¬ diimid in Toluol als Lösungsmittel
Der Reaktionsverlauf entspricht dem in Beispiel 1 be¬ schriebenen Verfahren. Bei dieser Reaktion wurden 20 ml (16,4 g, 0,088 mol) Bis (trimethylsilyl) carbodiimid und 80 ml Toluol vorgelegt und mit 5 ml (7,41 g, 0,044 mol) Tetrachlorsilan in 20 ml Toluol umgesetzt. Nach dem Abdestillieren des Lösungs¬ mittels und dem Trocknen bei 200 °C im Vakuum (0,001 Torr) wurden 5,5 g (23,1 % Ausbeute) eines sehr feinen, farblosen Polymer-Pulvers erhalten.
Analyse der Polymere
[Si (N=C=N)2]n C H N CΪ dargestellt in: [Masse%] [Masse%] [Masse ] [Massel]
28 , 4 4 , 16 2 6 , 78 0 , 06
Toluol 23 , 9 2 , 49 37 , 1 0 , 06 Beispiel 3 :
Pyrolvse von [Si (N=C=N) ?] n
Zur Pyrolyse der gemäß den Beispielen 1 und 2 hergestellten Polymere [Si (N=C=N)2]n wurden diese in einem Quarzschlenkgefäß unter Argon mit einer Aufheizrate von 1 °C/min auf 1200 °C erhitzt. Diese Temperatur wurde für eine Zeit von drei Stunden beibehalten. Die Abkühlung des keramischen Materials auf 75 °C erfolgte mit 3 °C/min. Während der Pyrolyse des Polymers destillierte eine farblose Flüssigkeit ab.
IR- und massenspektroskopische Untersuchungen dieser Flüs¬ sigkeit zeigen, daß es sich dabei im wesentlichen um durch Kondensationsreaktionen gebildetes Bis (trimethylsilyl) car¬ bodiimid handelt. Der hierdurch bedingte Masseverlust betrug nach Pyrolyse 42,7 % für das in THF hergestellte gelartige Polymer und 25,8 % für das in Toluol synthetisierte Polymer- Pulver. Die durch die Polymerpulver-Schüttung vorgegebenen Formen bleiben erhalten, und die Polymerpulver schäumten während der Pyrolyse nicht auf. Röntgen- elektronenmikroskopische Untersuchungen des keramischen Rückstandes zeigen, daß es sich hierbei um Agglomerate kleiner Pulverteilchen mit Durchmessern zwischen 50-100 nm handelt .
Wie aus Abb. 1 hervorgeht, bleibt die Form der Polymerteil¬ chen während der Pyrolyse erhalten. Diese Polymerpulver eignen sich daher besonders gut für die Herstellung hoch- sinterfähiger Pulver oder monolithischer, keramischer Formteile durch Pyrolyse polymerer Grünkörper.
Elementaranalyse der Keramik in [Massel] : C: 25,3 N:29,0 Si:45,0 0:1,0

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung keramischer Materialien durch Pyrolysebehandlung einer polymeren Keramikvor¬ stufe, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man die Keramikvorstufe gewinnt, indem man (a) Halogenide von Elementen, die aus den Gruppen IIIA, IVA, VA des Periodensystems, Übergangsmetallen und Seltenerdmetallen ausgewählt sind, mit einer Verbindung der Formel (I)
R3 Si-N=C=N-SiR3 (I)
worin R jeweils unabhängig eine C1-C3-Alkyl- oder Al- kenylgruppe bedeutet, umsetzt und (b) flüchtige Bestandteile des Reaktions¬ gemisches abtrennt .
2. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man Halogenide von Bor, Silicium, Phosphor, Titan, Wolfram oder Mischungen davon verwendet.
3. Verfahren nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man Halogenide von Bor, Silicium, Titan oder Mi¬ schungen davon verwendet.
4. Verfahren nach Anspruch 3 , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man ein Halogenid von Silicium verwendet .
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man als Halogenid ein Chlorid oder Bromid verwen- det.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man als Verbindung der Formel (I) N,N' -Bis(trime¬ thylsilyl)carbodiimid verwendet.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Reaktion zur Gewinnung der Keramikvorstufe in einem organischen Lösungsmittel durchgeführt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Reaktion in einen aromatischen Kohlenwasser¬ stoff-Lösungsmittel durchgeführt wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Keramikvorstufe einen Wasserstoffgehalt von . 6 Masse-% aufweist.
10. Verfahren nach Anspruch 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Keramikvorstufe einen Wasserstoffgehalt von <. 3 Masse-% aufweist.
11. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man die durch die Schritte (a) und (b) herge¬ stellte Keramikvorstufe weiterhin mit einem Boran oder einem Boran-Addukt umsetzt und flüchtige Bestandteile des Reaktionsgemisches abtrennt.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man die Pyrolysebehandlung der Keramikvorstufe durch Erhitzen auf eine Temperatur im Bereich von 1.000 bis 1.300 °C durchführt.
13. Vernetzte polymere Wasserstoffarme Keramikvorstufe, welche ein oder mehrere Elemente, ausgewählt aus den Gruppen IIIA, IVA, VA des Periodensystems, Übergangs¬ metallen und Seltenerdmetallen, C, N und H enthält, wobei die Elemen -Atome im wesentlichen über -N-C-N-Brücken verknüpft sind und der Wasserstoffge¬ halt <_ 6 Masse-% ist.
14. Keramikvorstufe nach Anspruch 13, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Wasserstoffgehalt <. 4, 5 Masse-% ist.
15. Keramikvorstufe nach Anspruch 14, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Wasserstoffgehalt <. 3 Masse-% ist.
16. Keramikvorstufe nach einem der Ansprüche 13 bis 15, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Halogengehalt <, 2 Masse-% ist.
17. Keramikvorstufe nach einem der Ansprüche 13 bis 16, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das Element Si ist.
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