JPH03235956A - スピンナ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、紫外線硬化型等の塗料を用いてディスク部材
上に保Ｍ膜等の塗布を行うスピンナ装置に関する。

〔従来の技術〕

第４図は従来の回転テーブルを用いたスピンナ装置の一
例として、紫外線硬化型塗料を用いたＣＤ（コンパクト
ディスク）用保護膜塗布装置を説明するための図である
。

先ず、保ｔＩＬ膜の未だ形成されていないディスク状の
部材（以下ディスク部材という）ｌが回転テーブル２上
のディスク供給位Ｗ３に外部のマニプレータ等により＠
置される。次に１回転テーブル２が１ピッチ回転してデ
ィスク部材１が静電ブロー除塵処理位Ｗ４に達し、ここ
でディスク部材ｌに帯電により付着しているゴミ等の異
物が取り除かれる。次に１回転テーブル２が１ピッチ回
転すると、ディスク部材ｌはスピン塗布機構５のスピン
ナ位置６に達する。スピンナ位Ｗ６のディスク部材１は
ここで低速回転し、この低速回転しているディスク部材
ｌに塗料吐出ノズル７から紫外線硬化型塗料が滴下・供
給される。塗料の供給が完了すると、ディスク部材ｌは
高速回転し、ディスク部材１の塗料は遠心力によりディ
スク部材表面（２）各装置が２セツトとなるため装置全
体の価格が高い。

（３）送りピッチに要する時間が２倍になるので。

厳密に言えば処理能力が２倍にはならない。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は以上の欠点を除去するために、光学式情報記録
媒体としてのディスク部材に液状の塗料を滴下・回転・
分散し、ディスク部材上に均一な塗膜を形成するスピン
ナ装置において、複数のディスク部材上に並列的に均一
な塗膜を形成するスピン塗布機構を回転テーブル上方に
設けると共に該回転テーブルにより上記複数のディスク
部材の搬送を同時に行うことを特徴とするスピンナ装置
を提供するものである。

〔作用〕

このようなスピンナ装置によれば、単位時間当たりの処
理枚数は従来装置の複数倍となり、処理能力当たりの装
置全体の寸法が極力小さくなると共に、装置のコストダ
ウンを図ることができる。

に均一に分散される。次に５回転テーブル２が１ピッチ
回転すると、ディスク部材ｌは紫外線照射位置８に達し
、ディスク部材１上の塗料は紫外線照射装置９により硬
化する。この時点て全ての処理は完了する。次に５回転
テーブル２がｌピッチ回転してディスク部材ｌがディス
ク排出位ｔｔｏに達すると、処理済ディスク部材ｌはデ
ィスク排出位Ｗ１０にて外部のマニプレータ等により払
い出される。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし２　このような従来のスピンナ装置で処理能力を
例えば２倍にするためには、第４図に示されたｊｊｌ−
円周上の各処理位置を２倍にし、静電ブロー除塵処理装
置、スピン塗布機構５．塗料吐出ノズル７及び紫外線照
射装ｗ９を各々２セツト配置しなければならない。そう
なると１次のような欠点がある。

（１）回転テーブル２の直径が２倍となり、装置が大き
すぎる。

〔実施例〕

第１図乃至第３図により本発明の一実施例を説明する。

先ず、第２図に示すように保ＩＩＩの未だ形成されてい
ないディスク部材ｌがスタックボール１１に集積され、
コンベア１２上に置かれる。スタックボール１１がコン
ベア１２により搬送され、移動して所定の位置に来ると
、コンベア１２が停止しスタックボール１１も停止する
。ここで、内周側ディスク吸着アーム１３と外周側ディ
スク吸着アーム１５は、後述する回転テーブル２上のデ
ィスク供給位置３の間隔に合わせて配置され、結合部材
２８により互いに結合されている。結合部材２８は昇降
シリンダＩ４に結合されており１　昇降ンリンダ１４の
昇降に伴い、内周側ディスク吸着アーム１３と外周側デ
ィスク吸着アーム１５は一緒に昇降するよう構成されて
いる。ディスク部材１を回転テーブル２に供給する場合
には、先ず内周側ディスク吸着アーム１３がスタックボ
ール１１よりディスク部材ｌを１枚取り出し、胃降シリ
ンダ１４により上昇後１ビノチ移動する。このとき、同
時に外周側ディスク吸着アーム１５もｌピッチ移動して
おり、スタックボール１１よりディスク部材ｌを１枚取
り出し、昇降シリンダ１４により上昇する。しかる後、
これらアームはディスク供給位置３方向に延びて、２枚
同時に回転テーブル２上のディスク供給位置３の内周側
ディスク受台１６．外周側ディスク受台１７に載置する
。第１図において９回転テーブル２が１ピッチ回転して
２枚のディスク部材ｌが静電ブロー除塵処理位置４に達
し、ここで２枚のディスク部材ｌは同時にブロー処理が
行われ、ディスク部材ｌに帯電により付着しているゴミ
等の異物が取り除かれる０次に１回転テーブル２が１ピ
ッチ回転すると、内周側のディスク部材ｌは内周側スピ
ン塗布機構１８の内周側スピンナ位置１９に達する。こ
こで、内周側ディスク受台１６は、第３図に示す駆動機
構と似ているが、先ずモータのような回転駆動装置に一
端が結合されたシリンダのロフトが上昇し、そのロッド
先端部に支持され１回転テーブルいる０次に１回転テー
ブル２が１ピッチ回転すると、ディスク部材１は紫外線
照射位置８に達する。ここでは第３図に示すように、内
周側及び外周側２枚のディスク部材１は、夫々内周側シ
リンダ２４、外周側シリンダ２５の夫々のシリンダロフ
トが前進することにより紫外線反射板２６内に挿、入さ
れる０次に、モータのような回転駆動装置２７が回転す
るに伴い、その回転駆動部！２７の回転駆動部にベルト
により結合され、支持されている内周側シリンダ２４．
外周側シリンダ２５が夫々その中心部を中心として回転
することにより、内周側ディスク受台１６上のディスク
部材ｌ及び外周側ディスク受台１７上のディスク部材１
は同時に回転しながら紫外線照射装置９により紫外線を
均一に照射され。

ディスク部材表面に塗布された紫外線硬化型塗料は硬化
する。この時点で全ての処理は完了する。

次に１回転テーブル２が１ピッチ回転してディスク部材
１がディスク排出位ＷＩＯに達すると、２枚の処理済デ
ィスク部材１は第２図に示すように。

低速回転に伴い、内周側スピンナ位１２１９のディスク
部材ｌはここで低速回転し、この低速回転しているディ
スク部材ｌに内周側塗料吐出ノズル２０から紫外線硬化
型塗料が滴下・供給される。塗料の供給が完了すると、
ディスク部材１は高速回転しディスク部材１の塗料は遠
心力によりディスク部材表面に均一に分散される。この
とき、外周側ディスク受台１７は待機している６次に９
回転テーブル２が１ピッチ回転すると、外周側のディス
ク部材ｌは外周側スピン塗布機構２１の外周側スピンナ
位置２２に達する。外周側スピンナ位Ｗ２２のディスク
部材ｌは、前述と同様にしてここで低速回転し、この低
速回転しているディスク部材１に外周側塗料吐出ノズル
２３から紫外線硬化型塗料が滴下・供給される。塗料の
供給が完了すると、ディスク部材ｌは高速回転し、ディ
スク部材１の塗料は遠心力によりディスク部材表面に均
一に分散される。このとき、内周側ディスク受台１６は
待機して内周側ディスク吸着アーム１３．外周側ディス
ク吸着アーム１５により２枚同時に回転テーブル２上か
ら取り除かれる。そして、これら内周側ディスク吸着ア
ーム１３．外周側ディスク吸着アーム１５は後退し、先
ず外周側ディスク吸着アーム１５によりディスク部材ｌ
が１次いで１ピツチ後退して内周側ディスク吸着アーム
１３によりディスク部材ｌが。

コンベア１２上の空のスタックボール１１に夫々１枚づ
つ集積され、排出される。

尚９以上の実施例においては、内周側スピンナ位置１９
と外周側スピンナ位置２２とを回転テーブル２の１ピッ
チ分ずらし、内周側スピン塗布機構１８と外周側スピン
塗布機構２１とに分けたが１分けずに同一のスピン塗布
機構で同時に紫外線硬化型塗料の塗布を行うこともでき
る。また、内周側、外周側の２つに分けたが、３つ以上
に分けて同時に行うこともできる。また、ディスク部材
ｌに塗布される塗料は紫外線硬化型塗料に限定されるこ
とはない。更にまた。ディスク収納手段としてスタツク
ボールで説明したが、ディスクを横方向に順次集積する
収納器などであっても勿論よい。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明は、光学式情報記録媒体として
のディスク部材に液状の塗料を滴下・回転・分散し、デ
ィスク部材上に均一な１Ｍを形成するスピンナ装置にお
いて、複数のディスク部材上に並列的に均一な塗膜を形
成するスピン塗布機構を回転テーブル上方に設けると共
に、該回転テーブルにより上記複数のディスク部材の搬
送を同時に行うことを特徴とするスピンナ装置である。

本発明はこのような特徴を有するので、単位時間当たり
の処理枚数は従来装置の複数倍となり、処理能力当たり
の装置全体の寸法が極力小さくなると共に、装置のコス
トダウンを図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明の一実施例を説明するための
図、第４図は従来のスピンナ装置を説明するための図で
ある。 ２６・・・紫外線反射板 ２７・・・回転駆動装置 ２８・・・結合部材

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）光学式情報記録媒体としてのディスク部材に液状
   の塗料を滴下・回転・分散し、ディスク部材上に均一な
   塗膜を形成するスピンナ装置において、複数のディスク
   部材上に並列的に均一な塗膜を形成するスピン塗布機構
   を回転テーブル上方に設けると共に、該回転テーブルに
   より上記複数のディスク部材の搬送を同時に行うことを
   特徴とするスピンナ装置。
2. （２）光学式情報記録媒体としてのディスク部材に液状
   の塗料を滴下・回転・分散し、ディスク部材上に均一な
   塗膜を形成するスピンナ装置において、未処理ディスク
   部材を集積したディスク収納手段から１枚づつディスク
   部材を取り出し、複数枚同時に回転テーブル上のディス
   ク受台に載置するディスク吸着アームを備えていること
   を特徴とするスピンナ装置。
3. （３）光学式情報記録媒体としてのディスク部材に液状
   の塗料を滴下・回転・分散し、ディスク部材上に均一な
   塗膜を形成するスピンナ装置において、処理済ディスク
   部材を回転テーブルより複数枚同時に取り出し、ディス
   ク収納手段にディスク部材を１枚づつ集積するディスク
   吸着アームを備えていることを特徴とするスピンナ装置
   。
4. （４）光学式情報記録媒体としてのディスク部材に液状
   の塗料を滴下・回転・分散し、ディスク部材上に均一な
   塗膜を形成するスピンナ装置において、上記ディスク部
   材表面に塗布された塗料をディスク部材を回転させるこ
   とにより均一に硬化させることを特徴とするスピンナ装
   置。