JP4074727B2 - ディスクを製造するための装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報、映像等の記録メディアの一種であるディスクを製造するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、一対のディスク基板を貼り合わせてＤＶＤ等のディスクを製造する方法として、図８に示したように、一方のディスク基板Ｄａの中央部分にノズル５から接着剤をリング状に付与し、このディスク基板Ｄａに他方のディスク基板Ｄｂを重ね合わせた後、高速回転させて接着剤を均一に延展させて貼り合わせる方法が提案され、実用化されている。
【０００３】
また、特開平１０−２３３０４２号には他のディスク製造方法が示されており、この方法は、図９に示したように、常圧下で、一対のディスク基板Ｄａ、Ｄｂを対向させて低速度で相対的に回転させながら、ノズル５でディスク基板Ｄａ、Ｄｂ間に接着剤をリング状に付与した後、圧着して貼り合わせる方法である。この貼り合わせ方法は、適量の接着剤を塗布することにより、接着剤を無駄にしないことを特徴としている。
【０００４】
さらに、特開昭６３−１４４４４０号及び特開平２−１２８３３５号には、接着剤を塗布した一対のディスク基板を減圧下で貼り合わせる方法が提案されている。図１０は、この減圧下での貼り合わせ方法を実施するための装置を示しており、真空槽７０内には下型７１が固設され、この下型７１の上方には昇降型７２が昇降可能に配置されている。
【０００５】
下型７１には接着剤が塗布されたディスク基板Ｄａが載置され、昇降型７２にも接着剤が塗布されたディスク基板Ｄｂが保持されている。そして、真空ポンプ７３により真空槽７０内を排気して減圧状態とした後に、昇降型７２を下降させて上方のディスク基板Ｄｂを下方のディスク基板Ｄａに押圧して接着する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した各種の従来技術はそれぞれが以下に述べるような問題を有している。
【０００７】
まず、図８に示した高速回転によりディスク基板同士を貼り合わせる方法では、一方のディスク基板に塗布した接着剤上に他方のディスク基板を貼り合わせるときに気泡が混入してしまうという問題がある。特に、高速で貼り合わせると接着剤中に微小な気泡が多数混入し、高速回転で接着剤を延展しても接着剤中に気泡が残留してしまう。さらに、一対のディスク基板を重ね合わせて高速回転させて接着剤を均一に延展させるのに時間がかかるという問題もある。なお、この延展時間の短縮を図るためにディスクの上に重りを載せて回転させる方法などが提案されている。
【０００８】
また、図９に示した従来の貼り合わせ方法は、前記の如く適量の接着剤を塗布することにより接着剤を無駄にしないことを特徴としている。すなわち、この貼り合わせ方法は、付与した接着剤を一定厚さに、しかもディスク全面に過不足無く分散させるものであり、かなり高度な技術と熟練を要する方法であると考えられる。さらに、１つのステージでディスク基板のセット、接着剤塗布、圧着、貼り合わせディスクの取り外し等の全行程を行うので、タクトタイムが長くなり、量産性の面で劣ると考えられる。
【０００９】
また、図１０に示した従来の貼り合わせ方法は、真空槽７０内の１つのステージでディスク基板Ｄａ、Ｄｂのセット、貼り合わせ及び貼り合わせディスクの取り外しを行うため、製造ラインのタクトタイムが長くなり、貼り合わせの自動化には適した方法とは言えない。
【００１０】
上述したように従来の技術においては、接着剤への気泡混入の問題や、貼り合わせのタクトタイムが長いために自動化に適さないといった問題がある。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、接着剤への気泡の混入を防止できると共に貼り合わせ時間を短縮でき、自動化に適したディスク製造装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、一方のディスク基板と他方のディスク基板とを接着剤によって貼り合わせてディスクを製造するディスク製造装置において、前記一方のディスク基板を供給する一方の基板供給部と、前記他方のディスク基板を供給する他方の基板供給部と、を有する基板供給装置と、前記一方のディスク基板を低速回転させながらその表面に前記接着剤をリング状に付与する一方の低速スピン部と、前記他方のディスク基板を低速回転させながらその表面に接着剤をリング状に付与する他方の低速スピン部と、を有する低速スピン装置と、前記一方及び他方のディスク基板を前記基板供給装置から前記低速スピン装置に搬送する第１の搬送装置と、前記接着剤がリング状に付与された前記一方のディスク基板を高速回転させて前記接着剤を均一に分散させる一方の高速スピン部と、前記接着剤がリング状に付与された前記他方のディスク基板を高速回転させて前記接着剤を均一に分散させる他方の高速スピン部と、を有する高速スピン装置と、前記一方及び他方のディスク基板を前記低速スピン装置から前記高速スピン装置に搬送する第２の搬送装置と、前記接着剤が均一に分散された前記一方のディスク基板と前記接着剤が均一に分散された前記他方のディスク基板とを減圧雰囲気下で貼り合わせる貼り合わせ装置と、前記一方及び他方のディスク基板を前記高速スピン装置から前記貼り合わせ装置に搬送する第３の搬送装置と、前記一方及び他方のディスク基板を前記貼り合わせ装置により貼り合わせて形成したディスクをその両面から加圧するディスク加圧装置と、前記ディスク加圧装置により加圧処理された前記ディスクの前記接着剤を硬化する接着剤硬化装置と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
また、好ましくは、前記一方及び他方の基板供給部は、それぞれ、回転駆動される回転テーブルと、前記回転テーブルに同一円周上に配設され、複数の前記ディスク基板が挿通されて貯えられる複数のポールと、前記各ポールに複数挿通された前記ディスク基板のうちの１枚を前記ポールに沿って上昇させて前記第１の搬送装置に受け渡すリフターアームと、を備える。
【００１４】
また、好ましくは、前記一方及び他方の基板供給部は、それぞれ、前記ディスク基板の接着剤塗布面から静電気を除去すると共に清浄化する静電ブロー装置をさらに有する。
【００１５】
また、好ましくは、前記第１の搬送装置は、前記ディスク基板を保持する機能を有する複数の搬送アームを共通の回転軸に配設すると共に、前記接着剤を吐出するノズルを有する接着剤供給アームを前記回転軸に設け、前記一方の基板供給部から前記一方の低速スピン部への前記一方のディスク基板の搬送動作、前記他方の基板供給部から前記他方の低速スピン部への前記他方のディスク基板の搬送動作、及び前記ノズルを前記一方又は他方の低速スピン部のいずれかに選択的に位置させる位置合わせ動作を、前記回転軸の反復回転動作によって行うように構成する。
【００１６】
また、好ましくは、前記基板供給装置に貯えられた前記ディスク基板同士の間に設けられたスペーサを前記基板供給装置から回収して集積するスペーサ集積装置をさらに有し、前記複数の搬送アームのうちの少なくとも１本は、前記基板供給装置から前記スペーサを受け取って保持し、前記回転軸の回転動作によって前記スペーサ集積装置に前記スペーサを搬送する。
【００１７】
また、好ましくは、前記第３の搬送装置は、前記一方の高速スピン部から取り出した前記一方のディスク基板を反転させると共に前記貼り合わせ装置に搬送する一方の搬送部と、前記他方の高速スピン部から取り出した前記他方のディスク基板を反転させることなく前記貼り合わせ装置に搬送する他方の搬送部と、を有する。
【００１８】
また、好ましくは、前記貼り合わせ装置は、互いに離間して対向する一対の開口部を有する真空容器と、前記各開口部をそれらの外側から閉塞し得る各可動バルブ体と、前記各可動バルブ体を駆動して前記各開口部の閉塞状態と開放状態とを切り替える各バルブ駆動機構と、前記各可動バルブ体の内面側に移動自在に設けられ、前記一方及び他方のディスク基板を保持する各ディスクホルダーと、前記各可動バルブ体により前記各開口部を閉塞した状態において前記真空容器の内部を排気して減圧状態にする排気機構と、減圧状態にある前記真空容器の内部に位置する前記各ディスクホルダーを駆動して前記各ディスク基板の接着面同士を接合させる各ホルダー駆動機構と、前記真空容器の減圧状態を解除するベント機構と、を備える。
【００１９】
また、好ましくは、前記一対の開口部のうちの片側の前記ディスクホルダーは、前記ホルダー駆動機構を設けることなく前記可動バルブ体に対して固定して設けられており、前記各ディスク基板の接着面同士を接合する際には、前記一対の開口部のうちの他の片側の前記ディスクホルダーのみを移動させる。
【００２０】
また、好ましくは、前記一対の開口部は互いに上下の関係で配置されており、上側の前記開口部を閉塞する上側の前記可動バルブ体と、この上側の可動バルブ体を駆動する上側の前記バルブ駆動機構と、前記上側の可動バルブ体の内面側に移動自在に設けられた上側の前記ディスクホルダーと、この上側のディスクホルダーを駆動する上側の前記ホルダー駆動機構とから成る上側組立体を複数備え、さらに、複数の前記上側組立体が同一円周上に配置され取り付けられた上側回転体と、この上側回転体を回転駆動して複数の前記上側の可動バルブ体のうちの１つを選択的に前記上側の開口部の上方に位置させる上側回転体駆動機構と、を備える。
【００２１】
また、好ましくは、前記一対の開口部は互いに上下の関係で配置されており、下側の前記開口部を閉塞する下側の前記可動バルブ体と、この下側の可動バルブ体に設けられた下側の前記ディスクホルダーと、から成る下側組立体を複数備え、さらに、複数の前記下側組立体が同一円周上に配置され取り付けられた下側回転体と、この下側回転体を回転駆動して複数の前記下側の可動バルブ体のうちの１つを選択的に前記下側の開口部の下方に位置させる下側回転体駆動機構と、前記下側の開口部の下方に位置した前記下側の可動バルブ体を駆動する下側の前記バルブ駆動機構と、を備える。
【００２２】
また、好ましくは、前記下側のディスクホルダーは、前記下側の可動バルブ体に着脱自在に取り付けられており、前記ディスクホルダーが前記ディスク基板の中央孔に可及的密に填め込まれることにより、前記下側の可動バルブ体に対して前記ディスク基板が位置決めされると共に前記一方及び他方のディスク基板を貼り合わせる際の位置合わせがなされる。
【００２３】
また、好ましくは、前記接着剤硬化装置により硬化処理された前記ディスクに対して所定の検査を行うディスク検査装置と、このディスク検査装置により検査された前記ディスクを集積するディスク集積装置と、をさらに備える。
【００２４】
本発明の参考例は、一方のディスク基板と他方のディスク基板とを接着剤によって貼り合わせてディスクを製造するために前記一方及び他方のディスク基板を供給する基板供給装置において、前記一方のディスク基板を供給する一方の基板供給部と、前記他方のディスク基板を供給する他方の基板供給部と、を備え、前記一方及び他方の基板供給部は、それぞれ、回転駆動される回転テーブルと、前記回転テーブルに同一円周上に配設され、複数の前記ディスク基板が挿通されて貯えられる複数のポールと、前記各ポールに複数挿通された前記ディスク基板のうちの１枚を前記ポールに沿って上昇させて、前記ディスク基板を搬送するための基板搬送装置に受け渡すリフターアームと、を備えたことを特徴とする。
【００２５】
また、好ましくは、前記一方及び他方の基板供給部は、それぞれ、前記ディスク基板の接着剤塗布面から静電気を除去すると共に清浄化する静電ブロー装置をさらに有する。
【００２６】
本発明の参考例は、一方のディスク基板と他方のディスク基板とを接着剤によって貼り合わせてディスクを製造するために、前記一方のディスク基板を基板供給装置から一方の低速スピン部に搬送すると共に前記他方のディスク基板を前記基板供給装置から他方の低速スピン部に搬送する基板搬送装置において、前記一方のディスク基板を保持する機能を有する一方の搬送アームと、前記他方のディスク基板を保持する機能を有する他方の搬送アームと、前記接着剤を吐出するノズルが設けられた接着剤供給アームと、前記一方の搬送アーム、前記他方の搬送アーム、及び前記接着剤供給アームのすべてのアームが取り付けられた回転軸と、を備え、前記基板供給装置から前記一方の低速スピン部への前記一方のディスク基板の搬送動作、前記基板供給装置から前記他方の低速スピン部への前記他方のディスク基板の搬送動作、及び前記ノズルを前記一方の低速スピン部又は前記他方の低速スピン部のいずれかに選択的に位置させる位置合わせ動作を、前記回転軸の反復回転動作によって行うようにしたことを特徴とする。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態によるディスク製造装置及びこのディスク製造装置の一部を構成する基板供給装置及び基板搬送装置について図面を参照して説明する。
【００２８】
本実施形態によるディスク製造装置は、接着剤によって一方のディスク基板と他方のディスク基板とを貼り合わせてディスクを製造するディスク製造装置である。
【００２９】
図１は、本装置の全体構成の概略を示した平面図であり、図１に示したように本装置は、一方のディスク基板Ｄａを供給する一方の基板供給部１ａと、他方のディスク基板Ｄｂを供給する他方の基板供給部１ｂと、を有する基板供給装置１を備える。一方及び他方の基板供給部１ａ、１ｂは、それぞれ、ディスク基板Ｄａ、Ｄｂの接着剤塗布面から静電気を除去すると共に清浄化する静電ブロー装置６４ａ、６４ｂを有し、静電ブロー装置６４ａ、６４ｂは、イオン化したガスをディスク基板Ｄａ、Ｄｂの接着剤塗布面に吹き付けることにより、接着剤塗布面から静電気を除去すると共に接着剤塗布面に付着していたパーティクルを除去する。
【００３０】
また、本装置は、一方のディスク基板Ｄａを低速回転させながらその表面に接着剤をリング状に付与する一方の低速スピン部４ａと、他方のディスク基板Ｄｂを低速回転させながらその表面に接着剤をリング状に付与する他方の低速スピン部４ｂと、を有する低速スピン装置４を備える。基板供給装置１から低速スピン装置４への一方及び他方のディスク基板Ｄａ、Ｄｂの搬送は第１の搬送装置３によって行われる。
【００３１】
さらに、本装置は、一方の低速スピン部４ａにより接着剤が付与された一方のディスク基板Ｄａを高速回転させて接着剤を均一に分散させる一方の高速スピン部７ａと、他方の低速スピン部４ｂにより接着剤が付与された他方のディスク基板Ｄｂを高速回転させて接着剤を均一に分散させる他方の高速スピン部７ｂと、を有する高速スピン装置７を備える。
【００３２】
低速スピン装置４から高速スピン装置７への一方及び他方のディスク基板Ｄａ、Ｄｂの搬送は第２の搬送装置６によって行われる。この第２の搬送装置６は、一方及び他方のディスク基板Ｄａ、Ｄｂを保持して回転移送する一対の移載アーム６ａ、６ｂを備えている。
【００３３】
また、本装置は、一方の高速スピン部７ａにより接着剤が均一に分散された一方のディスク基板Ｄａと他方の高速スピン部７ｂにより接着剤が均一に分散された他方のディスク基板Ｄｂとを減圧状態の下で貼り合わせる貼り合わせ装置１０を備える。
【００３４】
一方の高速スピン部７ａから貼り合わせ装置１０への一方のディスク基板Ｄａの搬送は、反転移載アーム（一方の搬送部）９により行われ、この反転移載アーム９は、一方の高速スピン部７ａから取り出した一方のディスク基板Ｄａを反転させながら貼り合わせ装置１０へ搬送する。また、他方の高速スピン部７ｂから貼り合わせ装置１０への他方のディスク基板Ｄｂの搬送は、移載アーム（他方の搬送部）８により行われ、この移載アーム８は、他方の高速スピン部７ｂから取り出した他方のディスク基板Ｄｂを反転させることなく貼り合わせ装置１０へ搬送する。反転移載アーム９及び移載アーム８により、第３の搬送装置１７が構成されている。
【００３５】
図２は、図中左側から右側に向かって、時系列にて、接着剤吐出ノズル５から吐出された接着剤が低速スピン装置４によりリング状に付与される様子、リング状に付与された接着剤が高速スピン装置７により均一に分散される様子、減圧状態の真空容器３０の内部で一対のディスク基板Ｄａ、Ｄｂ同士が貼り合わされる様子を示している。
【００３６】
また、図１に示したように本装置は、一方及び他方のディスク基板Ｄａ、Ｄｂを貼り合わせ装置１０により貼り合わせて形成したディスクをその両面から加圧するディスク加圧装置１１と、このディスク加圧装置１１により加圧されたディスクの接着剤に紫外線を照射して硬化させる接着剤硬化装置１２とを備えている。貼り合わせ後のディスクのディスク加圧装置１１への搬送、及びディスク加圧装置１１から接着剤硬化装置１２へのディスクの搬送は、貼り合わせ装置１０の一部を構成する下側回転体２６がディスクと共に回転することにより行われる。
【００３７】
さらに、本装置は、接着剤硬化装置１２により硬化処理されたディスクに対して、接着剤の厚さ検査等の所定の検査を行うディスク検査装置１３と、ディスク検査装置１３により検査されたディスクを集積するディスク集積装置６０と、を備えており、ディスク集積装置６０は第１のスタッカ１５及び第２のスタッカ１６から構成されている。
【００３８】
接着剤硬化装置１２からディスク検査装置１３へのディスクの搬送は、貼り合わせ装置１０の一部を構成する下側回転体２６がディスクと共に回転した後、移載アーム１４によってディスクを受け取って移載アーム１４の回動動作でディスク検査装置１３まで移送することにより行われる。さらに、ディスク検査装置１３からディスク集積装置６０へのディスクの搬送も、移載アーム１４の回転動作によって行われる。
【００３９】
図３（ａ）、（ｂ）は、基板供給装置１の基板供給部１ａ（又は１ｂ）の正面図及び平面図であり、図３に示したように基板供給部１ａ（又は１ｂ）は、ベース板５７上に設置されたモータ５２を備え、このモータ５２によって回転テーブル５３が回転駆動される。回転テーブル５３には複数（本実施形態では６本）のポール５４が同一円周上に等角度間隔にて配設されており、各ポール５４にはカラー５６が昇降可能に設けられている。さらに、基板供給部１ａ（又は１ｂ）はカラー昇降部５５を備えており、このカラー昇降部５５は昇降可能且つ前後動可能なリフターアーム５８を備えている。
【００４０】
各ポール５４には多数のディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）が貯えられており、回転テーブル５３の回転動作により所望のポール５４がリフターアーム５８の位置まで移送されると、リフターアーム５８が前進してカラー５６を保持し、１枚のディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）と共に上昇して基板取り出し可能な位置へディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）を供給する。ディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）の接着剤塗布面に静電ブロー装置６４ａ（又は６４ｂ）によってイオン化したガスが吹き付けられ、静電気及びパーティクルの除去がなされる。
【００４１】
ポール５４が空になったら、リフターアーム５８を後退、下降させ、モータ５２により回転テーブル５３を回転駆動し、次のポール５４をリフターアーム５８のポジションに配置する。
【００４２】
図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は第１の搬送装置３を示した側面図、正面図、及び（ａ）を上から見た図であり、図４に示したように第１の搬送装置３は、モータ５１とこのモータ５１により回転駆動される回転軸５０とを備え、回転軸５０には３本の搬送アーム４６、４７、４８が配設されており、各搬送アーム４６、４７、４８の先端にはディスク基板Ｄａ、Ｄｂ、又はディスク基板同士の間に設けられたスペーサを吸着する吸着保持部４５がそれぞれ設けられている。
【００４３】
さらに、回転軸５０には、接着剤を吐出する接着剤吐出ノズル５が先端に設けられた接着剤供給アーム４９が設けられている。３本の搬送アーム４６、４７、４８及び接着剤供給アーム４９は、９０度の等角度間隔にて回転軸５０に配設されており、接着剤吐出ノズル５とスペーサ用の搬送アーム４７とが同一対角線上に配置されている。
【００４４】
そして、一方の基板供給部１ａから一方の低速スピン部４ａへの一方のディスク基板Ｄａの搬送動作、他方の基板供給部１ｂから他方の低速スピン部４ｂへの他方のディスク基板Ｄｂの搬送動作、及び接着剤供給ノズル５を一方又は他方の低速スピン部４ａ、４ｂのいずれかに選択的に位置させる位置合わせ動作はすべて、回転軸５０の反復回転動作によって行うことができる。搬送アーム４７により回収されたスペーサは、図１に示したスペーサ集積装置２によって集積される。
【００４５】
図５は、貼り合わせ装置１０を示した正面図であり、図６は貼り合わせ装置の一部を構成する真空容器３０を示した斜視図であり、図７は貼り合わせ装置の排気・ベント系統図である。
【００４６】
図５に示したように貼り合わせ装置１０は中空部材より成る真空容器３０を備えており、図６に示したように真空容器３０は互いに離間して上下方向に対向する一対の開口部３１、３２を有する。
【００４７】
さらに、貼り合わせ装置１０は、真空容器３０の上側開口部３２をその外側から閉塞し得る複数の上側可動バルブ体２２を備え、各上側可動バルブ体２２の内側面にはディスク基板Ｄａを保持する各上側ディスクホルダー２３が上下動自在に設けられている。上側可動バルブ体２２は上側バルブ駆動機構１９によって昇降駆動され、また、上側ディスクホルダー２３は上側ホルダー駆動機構２０によって上側可動バルブ体２２とは独立に昇降駆動される。
【００４８】
そして、上側可動バルブ体２２と上側ディスクホルダー２３と上側ホルダー駆動機構２０とから成る上側組立体６１の複数が、上側回転体２１に同一円周上に配置されて取り付けられており、この上側回転体２１はモータより成る上側回転体駆動機構１８によって回転駆動され、これにより、複数の上側可動バルブ体２２のうちの１つを選択的に真空容器３０の上側開口部３２の上方に位置させることができる。
【００４９】
また、貼り合わせ装置１０は、真空容器３０の下側開口部３１をその外側から閉塞し得る複数の下側可動バルブ体２７を備え、各下側可動バルブ体２７の内側面にはディスク基板Ｄｂを保持する各下側ディスクホルダー２８が設けられている。下側開口部３１の下方に位置する下側可動バルブ体２７は、ベース板６３に設けられた下側バルブ駆動機構２５によって昇降駆動される。
【００５０】
下側ディスクホルダー２８は、ディスク基板Ｄｂの中央孔に可及的密に填め込まれ、これにより下側可動バルブ体２７に対してディスク基板Ｄｂが位置決めされる。この下側ディスクホルダー２８は、下側可動バルブ体２７に対して着脱自在に取り付けられており、ディスク基板Ｄｂの中央孔の内径に合わせて適宜太さの異なる下側ディスクホルダー２８が下側可動バルブ体２７に装着される。
【００５１】
そして、下側可動バルブ体２７と下側ディスクホルダー２８とから成る下側組立体６２の複数が、下側回転体２６に同一円周上に配置されて取り付けられており、この下側回転体２６はモータより成る下側回転体駆動機構２４によって回転駆動され、これにより、複数の下側可動バルブ体２７のうちの１つを選択的に真空容器３０の下側開口部３１の下方で且つ下側バルブ駆動機構２５の上方に位置させることができる。前記の如くディスク基板Ｄｂは下側ディスクホルダー２８により下側可動バルブ体２７に対して位置決めされており、これにより、ディスク基板Ｄａとディスク基板Ｄｂとを貼り合わせる際の位置合わせがなされている。下側回転体駆動機構２４はベース板６３に設けられている。
【００５２】
図６に示したように真空容器３０は、互いに離間して対向する上側開口部３２及び下側開口部３１が形成されており、両開口部３２、３１間は円筒部材３３により連結され、この円筒部材３３には連通孔３４が形成されている。
【００５３】
さらに、本装置は、図７に示したように、上側及び下側可動バルブ体２２、２７により上側及び下側開口部３２、３１を閉塞した状態において真空容器３０の内部を排気して減圧状態にする排気機構３５を備えている。排気機構３５は、図６に示したように真空容器３０の左側取付板３６の部分に設けられた排気バルブ３７と、排気ライン４１に接続された油回転ポンプ４４とを備えている。また、右側取付板３９にはピラニー真空計４０が設けられている。
【００５４】
また、真空容器３０の減圧状態を解除するベント機構４３が設けられており、このベント機構４３は左側取付板３６の部分に設けられたベントバルブ３８を備えている。このベントバルブ３８は排気ライン４１の途中から分岐したベントライン４２の途中に位置している。
【００５５】
そして、真空容器３０の内部で一方及び他方のディスク基板Ｄａ、Ｄｂ同士を貼り合わせる際には、上側及び下側可動バルブ体２２、２７の内面側に設けられた上側及び下側ディスクホルダー２３、２８に、図１に示した反転移載アーム９及び移載アーム８を用いて一方及び他方のディスク基板Ｄａ、Ｄｂを装着する。
【００５６】
次に、真空容器３０に形成された上側及び下側開口部３２、３１をそれらの外側から上側及び下側可動バルブ体２２、２７によって閉塞し、これにより、真空容器３０の内部で各ディスク基板Ｄａ、Ｄｂの接着面同士を離間して対向させる。
【００５７】
この状態で排気機構３５によって真空容器３０の内部を排気して減圧状態とし、上側ホルダー駆動機構２０により上側ディスクホルダー２３を下方に移動させて、減圧状態にある真空容器３０の内部で各ディスク基板Ｄａ、Ｄｂの接着面同士を接合する。
【００５８】
ここで、貼り合わせ時の真空容器３０の内部の真空度は２０Ｐａ以下であることが好ましい。
【００５９】
なお、変形例としては、下側ディスクホルダー２８も下側可動バルブ体２７に対して移動自在に取り付けると共に、下側可動バルブ体２７にもホルダー駆動機構を設けて、上側ディスクホルダー２３と共に下側ディスクホルダー２８も同時に駆動するようにすることもできる。
【００６０】
ディスク基板Ｄａ、Ｄｂの貼り合わせが完了したら、ディスク基板Ｄａ、Ｄｂを貼り合わせて形成したディスクを下側ディスクホルダー２８に保持させながら、上側ホルダー駆動機構２０により上側ディスクホルダー２３を上昇させ、ベント機構４３によって真空容器３０の減圧状態を解除し、しかる後、上側及び下側可動バルブ体２２、２７を上側及び下側開口部３２、３１から引き離して真空容器３０の内部から上側及び下側ディスクホルダー２３、２８並びにディスクを引き出す。
【００６１】
下側ディスクホルダー２８に保持されたディスクは、下側回転体２６の回転動作によってディスク加圧装置１１まで運ばれる。ディスク加圧装置１１は、下側可動バルブ体２７と合体して、内部にディスクを保持した状態で密閉空間を形成し、この密閉空間に高圧流体（高圧エアー）を充填することによってディスクを加圧して接着剤の厚さを均一にする。
【００６２】
ディスク加圧装置１１により加圧処理されたディスクは、下側回転体２６の回転動作によって接着剤硬化装置１２まで運ばれる。本実施形態では接着剤として紫外線硬化接着剤が使用されており、接着剤硬化装置１２はディスクに対して紫外線を照射して接着剤を硬化する。
【００６３】
接着剤硬化装置１２によって硬化処理されたディスクは、下側回転体２６の回転動作、及び下側ディスクホルダー２８からディスクを受け取った移載アーム１４の回転動作によって、ディスク検査装置１３まで運ばれる。このディスク検査装置１３によって接着剤の膜厚等の所定の検査を行った後、移載アーム１４の回転動作によって検査済のディスクがディスク集積装置６０に運ばれる。
【００６４】
以上述べたように本実施形態によるディスク製造装置によれば、ディスク基板Ｄａ、Ｄｂ同士の貼り合わせ作業を、好ましくは約２０Ｐａ以下の減圧雰囲気下で行うようにしたので、接着剤中への気泡の残留を防止することができる。
【００６５】
また、本実施形態によるディスク製造装置によれば、ディスク基板Ｄａ、Ｄｂの供給から、製造されたディスクの回収までの全行程をすべて自動化することができる。
【００６６】
また、本実施形態によるディスク製造装置によれば、基板供給装置１は２つの基板供給部１ａ、１ｂを有し、低速スピン装置４は２つの低速スピン部４ａ、４ｂを有し、高速スピン装置７は２つの高速スピン部７ａ、７ｂを有しており、各装置１、４、７は一方のディスク基板Ｄａと他方のディスク基板Ｄｂとを同時に取り扱うことが可能であり、また、接着剤供給アーム４９の首振り動作によって１つの接着剤吐出ノズル５から２つの低速スピン部４ａ、４ｂに対して接着剤を交互に振り分けて供給することができ、さらに、低速スピン装置４と高速スピン装置７とを設けて接着剤の付与ステージと分散ステージとを分離したので、接着剤塗布のタクトタイムを大幅に短縮することができる。
【００６７】
また、本実施形態によるディスク製造装置によれば、上側及び下側可動バルブ体２２、２７に上側及び下側ディスクホルダー２３、２８を設け、上側及び下側可動バルブ体２２、２７によって真空容器３０の上側及び下側開口部３２、３１を開放可能に閉塞し、これによって貼り合わすべきディスク基板Ｄａ、Ｄｂを真空容器３０内に位置させると共に真空容器３０の内部を外部から気密に隔離するようにしたので、真空容器３０の外部において、貼り合わされるディスク基板Ｄａ、Ｄｂのセット及び貼り合わされたディスクの取り外しを行うことが可能であり、従来のディスク製造装置のように真空容器内の１つのステージの限られた空間においてディスクセット、貼り合わせ、貼り合わせディスクの取り外し等を行う場合に比べて、ディスクの貼り合わせ作業のタクトタイムを大幅に短縮することができると共に、ディスク製造工程の自動化を容易に行うことができる。
【００６８】
また、本実施形態によるディスク製造装置によれば、上側及び下側ディスクホルダー２３、２８を上側回転体２１及び下側回転体２６のそれぞれに複数設け、真空容器３０内でのディスク基板Ｄａ、Ｄｂの貼り合わせ処理と並行して、空の上側ディスクホルダー２３に次のディスク基板Ｄａをセットすると共に、貼り合わせ済のディスクを下側ディスクホルダー２８から搬出し、空になった下側ディスクホルダー２８にディスク基板Ｄｂをセットするようにしたので、ディスクの貼り合わせ作業のタクトタイムをさらに短縮することができる。
【００６９】
また、本実施形態によるディスク製造装置によれば、基板供給装置１の回転テーブル５３に複数のポール５４を配設して各ポール５４に複数のディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）を挿通し、回転テーブル５３の回転によってポール５４を選択すると共にリフターアーム５８によってディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）を上昇させるようにしたので、多数のディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）を貯えることができると共に、静電ブロー装置６４ａ（又は６４ｂ）によって接着剤塗布面を清浄化したディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）を連続的に供給することができる。
【００７０】
また、本実施形態によるディスク製造装置によれば、第１の搬送装置３の１本の回転軸５０に、３本の搬送アーム４６、４７、４８及び接着剤供給アーム４９を配設し、一方の基板供給部１ａから一方の低速スピン部４ａへの一方のディスク基板Ｄａの搬送動作、他方の基板供給部１ｂから他方の低速スピン部４ｂへの他方のディスク基板Ｄｂの搬送動作、及び接着剤供給ノズル５を一方又は他方の低速スピン部４ａ、４ｂのいずれかに選択的に位置させる位置合わせ動作のすべてを、回転軸５０の反復回転動作によって行うことができるので、ディスク製造装置全体の小型化を図ることができる。
【００７１】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によるディスク製造装置によれば、貼り合わせ装置によるディスク基板同士の貼り合わせ作業を減圧雰囲気下で行うようにしたので、接着剤中への気泡の残留を防止することが可能である。また、ディスク基板への接着剤の付与を低速スピン装置で行い、接着剤の均一分散を高速スピン装置で行うようにすると共に、低速スピン装置及び高速スピン装置のそれぞれが、貼り合わされる一対のディスク基板を同時に処理することができるので、各ディスク基板への接着剤の均一塗布のタクトタイムを短縮することができる。
【００７２】
本発明の参考例による基板供給装置によれば、回転テーブルに複数のポールを配設して各ポールに複数のディスク基板を挿通し、回転テーブルの回転によってポールを選択すると共にリフターアームによってディスク基板を上昇させるようにしたので、多数のディスク基板を貯えることができると共にディスク基板を連続的に供給することができる。
【００７３】
本発明の参考例による基板搬送装置によれば、基板供給装置から一方の低速スピン部への一方のディスク基板の搬送動作、基板供給装置から他方の低速スピン部への他方のディスク基板の搬送動作、及び接着剤を吐出するノズルを一方の低速スピン部又は他方の低速スピン部のいずれかに選択的に位置させる位置合わせ動作を、回転軸の反復回転動作によって行うようにしたので、基板搬送装置の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態によるディスク製造装置の全体構成を示した平面図。
【図２】図１に示したディスク製造装置によるディスクの製造方法の概略を説明するための説明図。
【図３】図１に示したディスク製造装置の基板供給装置の基板供給部を示した図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図。
【図４】図１に示したディスク製造装置の第１の搬送装置を示した図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は（ａ）を上から見た図。
【図５】図１に示したディスク製造装置の貼り合わせ装置を示した正面図。
【図６】図１に示したディスク製造装置の貼り合わせ装置の真空容器を示した斜視図。
【図７】図１に示したディスク製造装置の貼り合わせ装置の排気・ベント系統図。
【図８】従来のディスク製造方法の一例を説明するための説明図。
【図９】従来のディスク製造方法の他の一例を説明するための説明図。
【図１０】従来のディスク製造方法のさらに他の一例を説明するための説明図。
【符号の説明】
１ 基板供給装置
１ａ 一方の基板供給部
１ｂ 他方の基板供給部
２ スペーサ集積装置
３ 第１の搬送装置
４ 低速スピン装置
４ａ 一方の低速スピン部
４ｂ 他方の低速スピン部
５ 接着剤吐出ノズル
６ 第２の搬送装置
６ａ、６ｂ 移載アーム
７ 高速スピン装置
７ａ 一方の高速スピン部
７ｂ 他方の高速スピン部
８ 移載アーム（他方の搬送部）
９ 反転移載アーム（一方の搬送部）
１０ 貼り合わせ装置
１１ ディスク加圧装置
１２ 接着剤硬化装置
１３ ディスク検査装置
１４ 移載アーム
１５ 第１のスタッカ
１６ 第２のスタッカ
１７ 第３の搬送装置
１９ 上側バルブ駆動機構
２０ 上側ホルダー駆動機構
２１ 上側回転体
２２ 上側可動バルブ体
２３ 上側ディスクホルダー
２４ 下側回転体駆動機構
２５ 下側バルブ駆動機構
２６ 下側回転体
２７ 下側可動バルブ体
２８ 下側ディスクホルダー
３０ 真空容器
３１ 真空容器の下側開口部
３２ 真空容器の上側開口部
３５ 排気機構
４３ ベント機構
４５ 吸着保持部
４９ 接着剤供給アーム
５０ 回転軸
５１、５２ モータ
５３ 回転テーブル
５４ ポール
５５ カラー昇降部
５６ カラー
５８ リフターアーム
６０ ディスク集積装置
６１ 上側組立体
６２ 下側組立体
６３ ベース板
Ｄａ 一方のディスク基板
Ｄｂ 他方のディスク基板
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報、映像等の記録メディアの一種であるディスクを製造するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、一対のディスク基板を貼り合わせてＤＶＤ等のディスクを製造する方法として、図８に示したように、一方のディスク基板Ｄａの中央部分にノズル５から接着剤をリング状に付与し、このディスク基板Ｄａに他方のディスク基板Ｄｂを重ね合わせた後、高速回転させて接着剤を均一に延展させて貼り合わせる方法が提案され、実用化されている。
【０００３】
また、特開平１０−２３３０４２号には他のディスク製造方法が示されており、この方法は、図９に示したように、常圧下で、一対のディスク基板Ｄａ、Ｄｂを対向させて低速度で相対的に回転させながら、ノズル５でディスク基板Ｄａ、Ｄｂ間に接着剤をリング状に付与した後、圧着して貼り合わせる方法である。この貼り合わせ方法は、適量の接着剤を塗布することにより、接着剤を無駄にしないことを特徴としている。
【０００４】
さらに、特開昭６３−１４４４４０号及び特開平２−１２８３３５号には、接着剤を塗布した一対のディスク基板を減圧下で貼り合わせる方法が提案されている。図１０は、この減圧下での貼り合わせ方法を実施するための装置を示しており、真空槽７０内には下型７１が固設され、この下型７１の上方には昇降型７２が昇降可能に配置されている。
【０００５】
下型７１には接着剤が塗布されたディスク基板Ｄａが載置され、昇降型７２にも接着剤が塗布されたディスク基板Ｄｂが保持されている。そして、真空ポンプ７３により真空槽７０内を排気して減圧状態とした後に、昇降型７２を下降させて上方のディスク基板Ｄｂを下方のディスク基板Ｄａに押圧して接着する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した各種の従来技術はそれぞれが以下に述べるような問題を有している。
【０００７】
まず、図８に示した高速回転によりディスク基板同士を貼り合わせる方法では、一方のディスク基板に塗布した接着剤上に他方のディスク基板を貼り合わせるときに気泡が混入してしまうという問題がある。特に、高速で貼り合わせると接着剤中に微小な気泡が多数混入し、高速回転で接着剤を延展しても接着剤中に気泡が残留してしまう。さらに、一対のディスク基板を重ね合わせて高速回転させて接着剤を均一に延展させるのに時間がかかるという問題もある。なお、この延展時間の短縮を図るためにディスクの上に重りを載せて回転させる方法などが提案されている。
【０００８】
また、図９に示した従来の貼り合わせ方法は、前記の如く適量の接着剤を塗布することにより接着剤を無駄にしないことを特徴としている。すなわち、この貼り合わせ方法は、付与した接着剤を一定厚さに、しかもディスク全面に過不足無く分散させるものであり、かなり高度な技術と熟練を要する方法であると考えられる。さらに、１つのステージでディスク基板のセット、接着剤塗布、圧着、貼り合わせディスクの取り外し等の全行程を行うので、タクトタイムが長くなり、量産性の面で劣ると考えられる。
【０００９】
また、図１０に示した従来の貼り合わせ方法は、真空槽７０内の１つのステージでディスク基板Ｄａ、Ｄｂのセット、貼り合わせ及び貼り合わせディスクの取り外しを行うため、製造ラインのタクトタイムが長くなり、貼り合わせの自動化には適した方法とは言えない。
【００１０】
上述したように従来の技術においては、接着剤への気泡混入の問題や、貼り合わせのタクトタイムが長いために自動化に適さないといった問題がある。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、接着剤への気泡の混入を防止できると共に貼り合わせ時間を短縮でき、自動化に適したディスク製造装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、一方のディスク基板と他方のディスク基板とを接着剤によって貼り合わせてディスクを製造するディスク製造装置において、前記一方のディスク基板を供給する一方の基板供給部と、前記他方のディスク基板を供給する他方の基板供給部と、を有する基板供給装置と、前記一方のディスク基板を低速回転させながらその表面に前記接着剤をリング状に付与する一方の低速スピン部と、前記他方のディスク基板を低速回転させながらその表面に接着剤をリング状に付与する他方の低速スピン部と、を有する低速スピン装置と、前記一方及び他方のディスク基板を前記基板供給装置から前記低速スピン装置に搬送する第１の搬送装置と、前記接着剤がリング状に付与された前記一方のディスク基板を高速回転させて前記接着剤を均一に分散させる一方の高速スピン部と、前記接着剤がリング状に付与された前記他方のディスク基板を高速回転させて前記接着剤を均一に分散させる他方の高速スピン部と、を有する高速スピン装置と、前記一方及び他方のディスク基板を前記低速スピン装置から前記高速スピン装置に搬送する第２の搬送装置と、前記接着剤が均一に分散された前記一方のディスク基板と前記接着剤が均一に分散された前記他方のディスク基板とを減圧雰囲気下で貼り合わせる貼り合わせ装置と、前記一方及び他方のディスク基板を前記高速スピン装置から前記貼り合わせ装置に搬送する第３の搬送装置と、前記一方及び他方のディスク基板を前記貼り合わせ装置により貼り合わせて形成したディスクをその両面から加圧するディスク加圧装置と、前記ディスク加圧装置により加圧処理された前記ディスクの前記接着剤を硬化する接着剤硬化装置と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
また、好ましくは、前記一方及び他方の基板供給部は、それぞれ、回転駆動される回転テーブルと、前記回転テーブルに同一円周上に配設され、複数の前記ディスク基板が挿通されて貯えられる複数のポールと、前記各ポールに複数挿通された前記ディスク基板のうちの１枚を前記ポールに沿って上昇させて前記第１の搬送装置に受け渡すリフターアームと、を備える。
【００１４】
また、好ましくは、前記一方及び他方の基板供給部は、それぞれ、前記ディスク基板の接着剤塗布面から静電気を除去すると共に清浄化する静電ブロー装置をさらに有する。
【００１５】
また、好ましくは、前記第１の搬送装置は、前記ディスク基板を保持する機能を有する複数の搬送アームを共通の回転軸に配設すると共に、前記接着剤を吐出するノズルを有する接着剤供給アームを前記回転軸に設け、前記一方の基板供給部から前記一方の低速スピン部への前記一方のディスク基板の搬送動作、前記他方の基板供給部から前記他方の低速スピン部への前記他方のディスク基板の搬送動作、及び前記ノズルを前記一方又は他方の低速スピン部のいずれかに選択的に位置させる位置合わせ動作を、前記回転軸の反復回転動作によって行うように構成する。
【００１６】
また、好ましくは、前記基板供給装置に貯えられた前記ディスク基板同士の間に設けられたスペーサを前記基板供給装置から回収して集積するスペーサ集積装置をさらに有し、前記複数の搬送アームのうちの少なくとも１本は、前記基板供給装置から前記スペーサを受け取って保持し、前記回転軸の回転動作によって前記スペーサ集積装置に前記スペーサを搬送する。
【００１７】
また、好ましくは、前記第３の搬送装置は、前記一方の高速スピン部から取り出した前記一方のディスク基板を反転させると共に前記貼り合わせ装置に搬送する一方の搬送部と、前記他方の高速スピン部から取り出した前記他方のディスク基板を反転させることなく前記貼り合わせ装置に搬送する他方の搬送部と、を有する。
【００１８】
また、好ましくは、前記貼り合わせ装置は、互いに離間して対向する一対の開口部を有する真空容器と、前記各開口部をそれらの外側から閉塞し得る各可動バルブ体と、前記各可動バルブ体を駆動して前記各開口部の閉塞状態と開放状態とを切り替える各バルブ駆動機構と、前記各可動バルブ体の内面側に移動自在に設けられ、前記一方及び他方のディスク基板を保持する各ディスクホルダーと、前記各可動バルブ体により前記各開口部を閉塞した状態において前記真空容器の内部を排気して減圧状態にする排気機構と、減圧状態にある前記真空容器の内部に位置する前記各ディスクホルダーを駆動して前記各ディスク基板の接着面同士を接合させる各ホルダー駆動機構と、前記真空容器の減圧状態を解除するベント機構と、を備える。
【００１９】
また、好ましくは、前記一対の開口部のうちの片側の前記ディスクホルダーは、前記ホルダー駆動機構を設けることなく前記可動バルブ体に対して固定して設けられており、前記各ディスク基板の接着面同士を接合する際には、前記一対の開口部のうちの他の片側の前記ディスクホルダーのみを移動させる。
【００２０】
また、好ましくは、前記一対の開口部は互いに上下の関係で配置されており、上側の前記開口部を閉塞する上側の前記可動バルブ体と、この上側の可動バルブ体を駆動する上側の前記バルブ駆動機構と、前記上側の可動バルブ体の内面側に移動自在に設けられた上側の前記ディスクホルダーと、この上側のディスクホルダーを駆動する上側の前記ホルダー駆動機構とから成る上側組立体を複数備え、さらに、複数の前記上側組立体が同一円周上に配置され取り付けられた上側回転体と、この上側回転体を回転駆動して複数の前記上側の可動バルブ体のうちの１つを選択的に前記上側の開口部の上方に位置させる上側回転体駆動機構と、を備える。
【００２１】
また、好ましくは、前記一対の開口部は互いに上下の関係で配置されており、下側の前記開口部を閉塞する下側の前記可動バルブ体と、この下側の可動バルブ体に設けられた下側の前記ディスクホルダーと、から成る下側組立体を複数備え、さらに、複数の前記下側組立体が同一円周上に配置され取り付けられた下側回転体と、この下側回転体を回転駆動して複数の前記下側の可動バルブ体のうちの１つを選択的に前記下側の開口部の下方に位置させる下側回転体駆動機構と、前記下側の開口部の下方に位置した前記下側の可動バルブ体を駆動する下側の前記バルブ駆動機構と、を備える。
【００２２】
また、好ましくは、前記下側のディスクホルダーは、前記下側の可動バルブ体に着脱自在に取り付けられており、前記ディスクホルダーが前記ディスク基板の中央孔に可及的密に填め込まれることにより、前記下側の可動バルブ体に対して前記ディスク基板が位置決めされると共に前記一方及び他方のディスク基板を貼り合わせる際の位置合わせがなされる。
【００２３】
また、好ましくは、前記接着剤硬化装置により硬化処理された前記ディスクに対して所定の検査を行うディスク検査装置と、このディスク検査装置により検査された前記ディスクを集積するディスク集積装置と、をさらに備える。
【００２４】
本発明の参考例は、一方のディスク基板と他方のディスク基板とを接着剤によって貼り合わせてディスクを製造するために前記一方及び他方のディスク基板を供給する基板供給装置において、前記一方のディスク基板を供給する一方の基板供給部と、前記他方のディスク基板を供給する他方の基板供給部と、を備え、前記一方及び他方の基板供給部は、それぞれ、回転駆動される回転テーブルと、前記回転テーブルに同一円周上に配設され、複数の前記ディスク基板が挿通されて貯えられる複数のポールと、前記各ポールに複数挿通された前記ディスク基板のうちの１枚を前記ポールに沿って上昇させて、前記ディスク基板を搬送するための基板搬送装置に受け渡すリフターアームと、を備えたことを特徴とする。
【００２５】
また、好ましくは、前記一方及び他方の基板供給部は、それぞれ、前記ディスク基板の接着剤塗布面から静電気を除去すると共に清浄化する静電ブロー装置をさらに有する。
【００２６】
本発明の参考例は、一方のディスク基板と他方のディスク基板とを接着剤によって貼り合わせてディスクを製造するために、前記一方のディスク基板を基板供給装置から一方の低速スピン部に搬送すると共に前記他方のディスク基板を前記基板供給装置から他方の低速スピン部に搬送する基板搬送装置において、前記一方のディスク基板を保持する機能を有する一方の搬送アームと、前記他方のディスク基板を保持する機能を有する他方の搬送アームと、前記接着剤を吐出するノズルが設けられた接着剤供給アームと、前記一方の搬送アーム、前記他方の搬送アーム、及び前記接着剤供給アームのすべてのアームが取り付けられた回転軸と、を備え、前記基板供給装置から前記一方の低速スピン部への前記一方のディスク基板の搬送動作、前記基板供給装置から前記他方の低速スピン部への前記他方のディスク基板の搬送動作、及び前記ノズルを前記一方の低速スピン部又は前記他方の低速スピン部のいずれかに選択的に位置させる位置合わせ動作を、前記回転軸の反復回転動作によって行うようにしたことを特徴とする。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態によるディスク製造装置及びこのディスク製造装置の一部を構成する基板供給装置及び基板搬送装置について図面を参照して説明する。
【００２８】
本実施形態によるディスク製造装置は、接着剤によって一方のディスク基板と他方のディスク基板とを貼り合わせてディスクを製造するディスク製造装置である。
【００２９】
図１は、本装置の全体構成の概略を示した平面図であり、図１に示したように本装置は、一方のディスク基板Ｄａを供給する一方の基板供給部１ａと、他方のディスク基板Ｄｂを供給する他方の基板供給部１ｂと、を有する基板供給装置１を備える。一方及び他方の基板供給部１ａ、１ｂは、それぞれ、ディスク基板Ｄａ、Ｄｂの接着剤塗布面から静電気を除去すると共に清浄化する静電ブロー装置６４ａ、６４ｂを有し、静電ブロー装置６４ａ、６４ｂは、イオン化したガスをディスク基板Ｄａ、Ｄｂの接着剤塗布面に吹き付けることにより、接着剤塗布面から静電気を除去すると共に接着剤塗布面に付着していたパーティクルを除去する。
【００３０】
また、本装置は、一方のディスク基板Ｄａを低速回転させながらその表面に接着剤をリング状に付与する一方の低速スピン部４ａと、他方のディスク基板Ｄｂを低速回転させながらその表面に接着剤をリング状に付与する他方の低速スピン部４ｂと、を有する低速スピン装置４を備える。基板供給装置１から低速スピン装置４への一方及び他方のディスク基板Ｄａ、Ｄｂの搬送は第１の搬送装置３によって行われる。
【００３１】
さらに、本装置は、一方の低速スピン部４ａにより接着剤が付与された一方のディスク基板Ｄａを高速回転させて接着剤を均一に分散させる一方の高速スピン部７ａと、他方の低速スピン部４ｂにより接着剤が付与された他方のディスク基板Ｄｂを高速回転させて接着剤を均一に分散させる他方の高速スピン部７ｂと、を有する高速スピン装置７を備える。
【００３２】
低速スピン装置４から高速スピン装置７への一方及び他方のディスク基板Ｄａ、Ｄｂの搬送は第２の搬送装置６によって行われる。この第２の搬送装置６は、一方及び他方のディスク基板Ｄａ、Ｄｂを保持して回転移送する一対の移載アーム６ａ、６ｂを備えている。
【００３３】
また、本装置は、一方の高速スピン部７ａにより接着剤が均一に分散された一方のディスク基板Ｄａと他方の高速スピン部７ｂにより接着剤が均一に分散された他方のディスク基板Ｄｂとを減圧状態の下で貼り合わせる貼り合わせ装置１０を備える。
【００３４】
一方の高速スピン部７ａから貼り合わせ装置１０への一方のディスク基板Ｄａの搬送は、反転移載アーム（一方の搬送部）９により行われ、この反転移載アーム９は、一方の高速スピン部７ａから取り出した一方のディスク基板Ｄａを反転させながら貼り合わせ装置１０へ搬送する。また、他方の高速スピン部７ｂから貼り合わせ装置１０への他方のディスク基板Ｄｂの搬送は、移載アーム（他方の搬送部）８により行われ、この移載アーム８は、他方の高速スピン部７ｂから取り出した他方のディスク基板Ｄｂを反転させることなく貼り合わせ装置１０へ搬送する。反転移載アーム９及び移載アーム８により、第３の搬送装置１７が構成されている。
【００３５】
図２は、図中左側から右側に向かって、時系列にて、接着剤吐出ノズル５から吐出された接着剤が低速スピン装置４によりリング状に付与される様子、リング状に付与された接着剤が高速スピン装置７により均一に分散される様子、減圧状態の真空容器３０の内部で一対のディスク基板Ｄａ、Ｄｂ同士が貼り合わされる様子を示している。
【００３６】
また、図１に示したように本装置は、一方及び他方のディスク基板Ｄａ、Ｄｂを貼り合わせ装置１０により貼り合わせて形成したディスクをその両面から加圧するディスク加圧装置１１と、このディスク加圧装置１１により加圧されたディスクの接着剤に紫外線を照射して硬化させる接着剤硬化装置１２とを備えている。貼り合わせ後のディスクのディスク加圧装置１１への搬送、及びディスク加圧装置１１から接着剤硬化装置１２へのディスクの搬送は、貼り合わせ装置１０の一部を構成する下側回転体２６がディスクと共に回転することにより行われる。
【００３７】
さらに、本装置は、接着剤硬化装置１２により硬化処理されたディスクに対して、接着剤の厚さ検査等の所定の検査を行うディスク検査装置１３と、ディスク検査装置１３により検査されたディスクを集積するディスク集積装置６０と、を備えており、ディスク集積装置６０は第１のスタッカ１５及び第２のスタッカ１６から構成されている。
【００３８】
接着剤硬化装置１２からディスク検査装置１３へのディスクの搬送は、貼り合わせ装置１０の一部を構成する下側回転体２６がディスクと共に回転した後、移載アーム１４によってディスクを受け取って移載アーム１４の回動動作でディスク検査装置１３まで移送することにより行われる。さらに、ディスク検査装置１３からディスク集積装置６０へのディスクの搬送も、移載アーム１４の回転動作によって行われる。
【００３９】
図３（ａ）、（ｂ）は、基板供給装置１の基板供給部１ａ（又は１ｂ）の正面図及び平面図であり、図３に示したように基板供給部１ａ（又は１ｂ）は、ベース板５７上に設置されたモータ５２を備え、このモータ５２によって回転テーブル５３が回転駆動される。回転テーブル５３には複数（本実施形態では６本）のポール５４が同一円周上に等角度間隔にて配設されており、各ポール５４にはカラー５６が昇降可能に設けられている。さらに、基板供給部１ａ（又は１ｂ）はカラー昇降部５５を備えており、このカラー昇降部５５は昇降可能且つ前後動可能なリフターアーム５８を備えている。
【００４０】
各ポール５４には多数のディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）が貯えられており、回転テーブル５３の回転動作により所望のポール５４がリフターアーム５８の位置まで移送されると、リフターアーム５８が前進してカラー５６を保持し、１枚のディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）と共に上昇して基板取り出し可能な位置へディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）を供給する。ディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）の接着剤塗布面に静電ブロー装置６４ａ（又は６４ｂ）によってイオン化したガスが吹き付けられ、静電気及びパーティクルの除去がなされる。
【００４１】
ポール５４が空になったら、リフターアーム５８を後退、下降させ、モータ５２により回転テーブル５３を回転駆動し、次のポール５４をリフターアーム５８のポジションに配置する。
【００４２】
図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は第１の搬送装置３を示した側面図、正面図、及び（ａ）を上から見た図であり、図４に示したように第１の搬送装置３は、モータ５１とこのモータ５１により回転駆動される回転軸５０とを備え、回転軸５０には３本の搬送アーム４６、４７、４８が配設されており、各搬送アーム４６、４７、４８の先端にはディスク基板Ｄａ、Ｄｂ、又はディスク基板同士の間に設けられたスペーサを吸着する吸着保持部４５がそれぞれ設けられている。
【００４３】
さらに、回転軸５０には、接着剤を吐出する接着剤吐出ノズル５が先端に設けられた接着剤供給アーム４９が設けられている。３本の搬送アーム４６、４７、４８及び接着剤供給アーム４９は、９０度の等角度間隔にて回転軸５０に配設されており、接着剤吐出ノズル５とスペーサ用の搬送アーム４７とが同一対角線上に配置されている。
【００４４】
そして、一方の基板供給部１ａから一方の低速スピン部４ａへの一方のディスク基板Ｄａの搬送動作、他方の基板供給部１ｂから他方の低速スピン部４ｂへの他方のディスク基板Ｄｂの搬送動作、及び接着剤供給ノズル５を一方又は他方の低速スピン部４ａ、４ｂのいずれかに選択的に位置させる位置合わせ動作はすべて、回転軸５０の反復回転動作によって行うことができる。搬送アーム４７により回収されたスペーサは、図１に示したスペーサ集積装置２によって集積される。
【００４５】
図５は、貼り合わせ装置１０を示した正面図であり、図６は貼り合わせ装置の一部を構成する真空容器３０を示した斜視図であり、図７は貼り合わせ装置の排気・ベント系統図である。
【００４６】
図５に示したように貼り合わせ装置１０は中空部材より成る真空容器３０を備えており、図６に示したように真空容器３０は互いに離間して上下方向に対向する一対の開口部３１、３２を有する。
【００４７】
さらに、貼り合わせ装置１０は、真空容器３０の上側開口部３２をその外側から閉塞し得る複数の上側可動バルブ体２２を備え、各上側可動バルブ体２２の内側面にはディスク基板Ｄａを保持する各上側ディスクホルダー２３が上下動自在に設けられている。上側可動バルブ体２２は上側バルブ駆動機構１９によって昇降駆動され、また、上側ディスクホルダー２３は上側ホルダー駆動機構２０によって上側可動バルブ体２２とは独立に昇降駆動される。
【００４８】
そして、上側可動バルブ体２２と上側ディスクホルダー２３と上側ホルダー駆動機構２０とから成る上側組立体６１の複数が、上側回転体２１に同一円周上に配置されて取り付けられており、この上側回転体２１はモータより成る上側回転体駆動機構１８によって回転駆動され、これにより、複数の上側可動バルブ体２２のうちの１つを選択的に真空容器３０の上側開口部３２の上方に位置させることができる。
【００４９】
また、貼り合わせ装置１０は、真空容器３０の下側開口部３１をその外側から閉塞し得る複数の下側可動バルブ体２７を備え、各下側可動バルブ体２７の内側面にはディスク基板Ｄｂを保持する各下側ディスクホルダー２８が設けられている。下側開口部３１の下方に位置する下側可動バルブ体２７は、ベース板６３に設けられた下側バルブ駆動機構２５によって昇降駆動される。
【００５０】
下側ディスクホルダー２８は、ディスク基板Ｄｂの中央孔に可及的密に填め込まれ、これにより下側可動バルブ体２７に対してディスク基板Ｄｂが位置決めされる。この下側ディスクホルダー２８は、下側可動バルブ体２７に対して着脱自在に取り付けられており、ディスク基板Ｄｂの中央孔の内径に合わせて適宜太さの異なる下側ディスクホルダー２８が下側可動バルブ体２７に装着される。
【００５１】
そして、下側可動バルブ体２７と下側ディスクホルダー２８とから成る下側組立体６２の複数が、下側回転体２６に同一円周上に配置されて取り付けられており、この下側回転体２６はモータより成る下側回転体駆動機構２４によって回転駆動され、これにより、複数の下側可動バルブ体２７のうちの１つを選択的に真空容器３０の下側開口部３１の下方で且つ下側バルブ駆動機構２５の上方に位置させることができる。前記の如くディスク基板Ｄｂは下側ディスクホルダー２８により下側可動バルブ体２７に対して位置決めされており、これにより、ディスク基板Ｄａとディスク基板Ｄｂとを貼り合わせる際の位置合わせがなされている。下側回転体駆動機構２４はベース板６３に設けられている。
【００５２】
図６に示したように真空容器３０は、互いに離間して対向する上側開口部３２及び下側開口部３１が形成されており、両開口部３２、３１間は円筒部材３３により連結され、この円筒部材３３には連通孔３４が形成されている。
【００５３】
さらに、本装置は、図７に示したように、上側及び下側可動バルブ体２２、２７により上側及び下側開口部３２、３１を閉塞した状態において真空容器３０の内部を排気して減圧状態にする排気機構３５を備えている。排気機構３５は、図６に示したように真空容器３０の左側取付板３６の部分に設けられた排気バルブ３７と、排気ライン４１に接続された油回転ポンプ４４とを備えている。また、右側取付板３９にはピラニー真空計４０が設けられている。
【００５４】
また、真空容器３０の減圧状態を解除するベント機構４３が設けられており、このベント機構４３は左側取付板３６の部分に設けられたベントバルブ３８を備えている。このベントバルブ３８は排気ライン４１の途中から分岐したベントライン４２の途中に位置している。
【００５５】
そして、真空容器３０の内部で一方及び他方のディスク基板Ｄａ、Ｄｂ同士を貼り合わせる際には、上側及び下側可動バルブ体２２、２７の内面側に設けられた上側及び下側ディスクホルダー２３、２８に、図１に示した反転移載アーム９及び移載アーム８を用いて一方及び他方のディスク基板Ｄａ、Ｄｂを装着する。
【００５６】
次に、真空容器３０に形成された上側及び下側開口部３２、３１をそれらの外側から上側及び下側可動バルブ体２２、２７によって閉塞し、これにより、真空容器３０の内部で各ディスク基板Ｄａ、Ｄｂの接着面同士を離間して対向させる。
【００５７】
この状態で排気機構３５によって真空容器３０の内部を排気して減圧状態とし、上側ホルダー駆動機構２０により上側ディスクホルダー２３を下方に移動させて、減圧状態にある真空容器３０の内部で各ディスク基板Ｄａ、Ｄｂの接着面同士を接合する。
【００５８】
ここで、貼り合わせ時の真空容器３０の内部の真空度は２０Ｐａ以下であることが好ましい。
【００５９】
なお、変形例としては、下側ディスクホルダー２８も下側可動バルブ体２７に対して移動自在に取り付けると共に、下側可動バルブ体２７にもホルダー駆動機構を設けて、上側ディスクホルダー２３と共に下側ディスクホルダー２８も同時に駆動するようにすることもできる。
【００６０】
ディスク基板Ｄａ、Ｄｂの貼り合わせが完了したら、ディスク基板Ｄａ、Ｄｂを貼り合わせて形成したディスクを下側ディスクホルダー２８に保持させながら、上側ホルダー駆動機構２０により上側ディスクホルダー２３を上昇させ、ベント機構４３によって真空容器３０の減圧状態を解除し、しかる後、上側及び下側可動バルブ体２２、２７を上側及び下側開口部３２、３１から引き離して真空容器３０の内部から上側及び下側ディスクホルダー２３、２８並びにディスクを引き出す。
【００６１】
下側ディスクホルダー２８に保持されたディスクは、下側回転体２６の回転動作によってディスク加圧装置１１まで運ばれる。ディスク加圧装置１１は、下側可動バルブ体２７と合体して、内部にディスクを保持した状態で密閉空間を形成し、この密閉空間に高圧流体（高圧エアー）を充填することによってディスクを加圧して接着剤の厚さを均一にする。
【００６２】
ディスク加圧装置１１により加圧処理されたディスクは、下側回転体２６の回転動作によって接着剤硬化装置１２まで運ばれる。本実施形態では接着剤として紫外線硬化接着剤が使用されており、接着剤硬化装置１２はディスクに対して紫外線を照射して接着剤を硬化する。
【００６３】
接着剤硬化装置１２によって硬化処理されたディスクは、下側回転体２６の回転動作、及び下側ディスクホルダー２８からディスクを受け取った移載アーム１４の回転動作によって、ディスク検査装置１３まで運ばれる。このディスク検査装置１３によって接着剤の膜厚等の所定の検査を行った後、移載アーム１４の回転動作によって検査済のディスクがディスク集積装置６０に運ばれる。
【００６４】
以上述べたように本実施形態によるディスク製造装置によれば、ディスク基板Ｄａ、Ｄｂ同士の貼り合わせ作業を、好ましくは約２０Ｐａ以下の減圧雰囲気下で行うようにしたので、接着剤中への気泡の残留を防止することができる。
【００６５】
また、本実施形態によるディスク製造装置によれば、ディスク基板Ｄａ、Ｄｂの供給から、製造されたディスクの回収までの全行程をすべて自動化することができる。
【００６６】
また、本実施形態によるディスク製造装置によれば、基板供給装置１は２つの基板供給部１ａ、１ｂを有し、低速スピン装置４は２つの低速スピン部４ａ、４ｂを有し、高速スピン装置７は２つの高速スピン部７ａ、７ｂを有しており、各装置１、４、７は一方のディスク基板Ｄａと他方のディスク基板Ｄｂとを同時に取り扱うことが可能であり、また、接着剤供給アーム４９の首振り動作によって１つの接着剤吐出ノズル５から２つの低速スピン部４ａ、４ｂに対して接着剤を交互に振り分けて供給することができ、さらに、低速スピン装置４と高速スピン装置７とを設けて接着剤の付与ステージと分散ステージとを分離したので、接着剤塗布のタクトタイムを大幅に短縮することができる。
【００６７】
また、本実施形態によるディスク製造装置によれば、上側及び下側可動バルブ体２２、２７に上側及び下側ディスクホルダー２３、２８を設け、上側及び下側可動バルブ体２２、２７によって真空容器３０の上側及び下側開口部３２、３１を開放可能に閉塞し、これによって貼り合わすべきディスク基板Ｄａ、Ｄｂを真空容器３０内に位置させると共に真空容器３０の内部を外部から気密に隔離するようにしたので、真空容器３０の外部において、貼り合わされるディスク基板Ｄａ、Ｄｂのセット及び貼り合わされたディスクの取り外しを行うことが可能であり、従来のディスク製造装置のように真空容器内の１つのステージの限られた空間においてディスクセット、貼り合わせ、貼り合わせディスクの取り外し等を行う場合に比べて、ディスクの貼り合わせ作業のタクトタイムを大幅に短縮することができると共に、ディスク製造工程の自動化を容易に行うことができる。
【００６８】
また、本実施形態によるディスク製造装置によれば、上側及び下側ディスクホルダー２３、２８を上側回転体２１及び下側回転体２６のそれぞれに複数設け、真空容器３０内でのディスク基板Ｄａ、Ｄｂの貼り合わせ処理と並行して、空の上側ディスクホルダー２３に次のディスク基板Ｄａをセットすると共に、貼り合わせ済のディスクを下側ディスクホルダー２８から搬出し、空になった下側ディスクホルダー２８にディスク基板Ｄｂをセットするようにしたので、ディスクの貼り合わせ作業のタクトタイムをさらに短縮することができる。
【００６９】
また、本実施形態によるディスク製造装置によれば、基板供給装置１の回転テーブル５３に複数のポール５４を配設して各ポール５４に複数のディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）を挿通し、回転テーブル５３の回転によってポール５４を選択すると共にリフターアーム５８によってディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）を上昇させるようにしたので、多数のディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）を貯えることができると共に、静電ブロー装置６４ａ（又は６４ｂ）によって接着剤塗布面を清浄化したディスク基板Ｄａ（又はＤｂ）を連続的に供給することができる。
【００７０】
また、本実施形態によるディスク製造装置によれば、第１の搬送装置３の１本の回転軸５０に、３本の搬送アーム４６、４７、４８及び接着剤供給アーム４９を配設し、一方の基板供給部１ａから一方の低速スピン部４ａへの一方のディスク基板Ｄａの搬送動作、他方の基板供給部１ｂから他方の低速スピン部４ｂへの他方のディスク基板Ｄｂの搬送動作、及び接着剤供給ノズル５を一方又は他方の低速スピン部４ａ、４ｂのいずれかに選択的に位置させる位置合わせ動作のすべてを、回転軸５０の反復回転動作によって行うことができるので、ディスク製造装置全体の小型化を図ることができる。
【００７１】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によるディスク製造装置によれば、貼り合わせ装置によるディスク基板同士の貼り合わせ作業を減圧雰囲気下で行うようにしたので、接着剤中への気泡の残留を防止することが可能である。また、ディスク基板への接着剤の付与を低速スピン装置で行い、接着剤の均一分散を高速スピン装置で行うようにすると共に、低速スピン装置及び高速スピン装置のそれぞれが、貼り合わされる一対のディスク基板を同時に処理することができるので、各ディスク基板への接着剤の均一塗布のタクトタイムを短縮することができる。
【００７２】
本発明の参考例による基板供給装置によれば、回転テーブルに複数のポールを配設して各ポールに複数のディスク基板を挿通し、回転テーブルの回転によってポールを選択すると共にリフターアームによってディスク基板を上昇させるようにしたので、多数のディスク基板を貯えることができると共にディスク基板を連続的に供給することができる。
【００７３】
本発明の参考例による基板搬送装置によれば、基板供給装置から一方の低速スピン部への一方のディスク基板の搬送動作、基板供給装置から他方の低速スピン部への他方のディスク基板の搬送動作、及び接着剤を吐出するノズルを一方の低速スピン部又は他方の低速スピン部のいずれかに選択的に位置させる位置合わせ動作を、回転軸の反復回転動作によって行うようにしたので、基板搬送装置の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態によるディスク製造装置の全体構成を示した平面図。
【図２】図１に示したディスク製造装置によるディスクの製造方法の概略を説明するための説明図。
【図３】図１に示したディスク製造装置の基板供給装置の基板供給部を示した図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図。
【図４】図１に示したディスク製造装置の第１の搬送装置を示した図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は（ａ）を上から見た図。
【図５】図１に示したディスク製造装置の貼り合わせ装置を示した正面図。
【図６】図１に示したディスク製造装置の貼り合わせ装置の真空容器を示した斜視図。
【図７】図１に示したディスク製造装置の貼り合わせ装置の排気・ベント系統図。
【図８】従来のディスク製造方法の一例を説明するための説明図。
【図９】従来のディスク製造方法の他の一例を説明するための説明図。
【図１０】従来のディスク製造方法のさらに他の一例を説明するための説明図。
【符号の説明】
１ 基板供給装置
１ａ 一方の基板供給部
１ｂ 他方の基板供給部
２ スペーサ集積装置
３ 第１の搬送装置
４ 低速スピン装置
４ａ 一方の低速スピン部
４ｂ 他方の低速スピン部
５ 接着剤吐出ノズル
６ 第２の搬送装置
６ａ、６ｂ 移載アーム
７ 高速スピン装置
７ａ 一方の高速スピン部
７ｂ 他方の高速スピン部
８ 移載アーム（他方の搬送部）
９ 反転移載アーム（一方の搬送部）
１０ 貼り合わせ装置
１１ ディスク加圧装置
１２ 接着剤硬化装置
１３ ディスク検査装置
１４ 移載アーム
１５ 第１のスタッカ
１６ 第２のスタッカ
１７ 第３の搬送装置
１９ 上側バルブ駆動機構
２０ 上側ホルダー駆動機構
２１ 上側回転体
２２ 上側可動バルブ体
２３ 上側ディスクホルダー
２４ 下側回転体駆動機構
２５ 下側バルブ駆動機構
２６ 下側回転体
２７ 下側可動バルブ体
２８ 下側ディスクホルダー
３０ 真空容器
３１ 真空容器の下側開口部
３２ 真空容器の上側開口部
３５ 排気機構
４３ ベント機構
４５ 吸着保持部
４９ 接着剤供給アーム
５０ 回転軸
５１、５２ モータ
５３ 回転テーブル
５４ ポール
５５ カラー昇降部
５６ カラー
５８ リフターアーム
６０ ディスク集積装置
６１ 上側組立体
６２ 下側組立体
６３ ベース板
Ｄａ 一方のディスク基板
Ｄｂ 他方のディスク基板
Claims (12)
- 一方のディスク基板と他方のディスク基板とを接着剤によって貼り合わせてディスクを製造するディスク製造装置において、
前記一方のディスク基板を供給する一方の基板供給部と、前記他方のディスク基板を供給する他方の基板供給部と、を有する基板供給装置と、
前記一方のディスク基板を低速回転させながらその表面に前記接着剤をリング状に付与する一方の低速スピン部と、前記他方のディスク基板を低速回転させながらその表面に接着剤をリング状に付与する他方の低速スピン部と、を有する低速スピン装置と、
前記一方及び他方のディスク基板を前記基板供給装置から前記低速スピン装置に搬送する第１の搬送装置と、
前記接着剤がリング状に付与された前記一方のディスク基板を高速回転させて前記接着剤を均一に分散させる一方の高速スピン部と、前記接着剤がリング状に付与された前記他方のディスク基板を高速回転させて前記接着剤を均一に分散させる他方の高速スピン部と、を有する高速スピン装置と、
前記一方及び他方のディスク基板を前記低速スピン装置から前記高速スピン装置に搬送する第２の搬送装置と、
前記接着剤が均一に分散された前記一方のディスク基板と前記接着剤が均一に分散された前記他方のディスク基板とを減圧雰囲気下で貼り合わせる貼り合わせ装置と、
前記一方及び他方のディスク基板を前記高速スピン装置から前記貼り合わせ装置に搬送する第３の搬送装置と、
前記一方及び他方のディスク基板を前記貼り合わせ装置により貼り合わせて形成したディスクをその両面から加圧するディスク加圧装置と、
前記ディスク加圧装置により加圧処理された前記ディスクの前記接着剤を硬化する接着剤硬化装置と、を備えたことを特徴とするディスク製造装置。 - 前記一方及び他方の基板供給部は、それぞれ、回転駆動される回転テーブルと、前記回転テーブルに同一円周上に配設され、複数の前記ディスク基板が挿通されて貯えられる複数のポールと、前記各ポールに複数挿通された前記ディスク基板のうちの１枚を前記ポールに沿って上昇させて前記第１の搬送装置に受け渡すリフターアームと、を備えたことを特徴とする請求項１記載のディスク製造装置。
- 前記一方及び他方の基板供給部は、それぞれ、前記ディスク基板の接着剤塗布面から静電気を除去すると共に清浄化する静電ブロー装置をさらに有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のディスク製造装置。
- 前記第１の搬送装置は、前記ディスク基板を保持する機能を有する複数の搬送アームを共通の回転軸に配設すると共に、前記接着剤を吐出するノズルを有する接着剤供給アームを前記回転軸に設け、前記一方の基板供給部から前記一方の低速スピン部への前記一方のディスク基板の搬送動作、前記他方の基板供給部から前記他方の低速スピン部への前記他方のディスク基板の搬送動作、及び前記ノズルを前記一方又は他方の低速スピン部のいずれかに選択的に位置させる位置合わせ動作を、前記回転軸の反復回転動作によって行うように構成したことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のディスク製造装置。
- 前記基板供給装置に貯えられた前記ディスク基板同士の間に設けられたスペーサを前記基板供給装置から回収して集積するスペーサ集積装置をさらに有し、前記複数の搬送アームのうちの少なくとも１本は、前記基板供給装置から前記スペーサを受け取って保持し、前記回転軸の回転動作によって前記スペーサ集積装置に前記スペーサを搬送することを特徴とする請求項４記載のディスク製造装置。
- 前記第３の搬送装置は、前記一方の高速スピン部から取り出した前記一方のディスク基板を反転させると共に前記貼り合わせ装置に搬送する一方の搬送部と、前記他方の高速スピン部から取り出した前記他方のディスク基板を反転させることなく前記貼り合わせ装置に搬送する他方の搬送部と、を有することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載のディスク製造装置。
- 前記貼り合わせ装置は、互いに離間して対向する一対の開口部を有する真空容器と、前記各開口部をそれらの外側から閉塞し得る各可動バルブ体と、前記各可動バルブ体を駆動して前記各開口部の閉塞状態と開放状態とを切り替える各バルブ駆動機構と、前記各可動バルブ体の内面側に移動自在に設けられ、前記一方及び他方のディスク基板を保持する各ディスクホルダーと、前記各可動バルブ体により前記各開口部を閉塞した状態において前記真空容器の内部を排気して減圧状態にする排気機構と、減圧状態にある前記真空容器の内部に位置する前記各ディスクホルダーを駆動して前記各ディスク基板の接着面同士を接合させる各ホルダー駆動機構と、前記真空容器の減圧状態を解除するベント機構と、を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載のディスク製造装置。
- 前記一対の開口部のうちの片側の前記ディスクホルダーは、前記ホルダー駆動機構を設けることなく前記可動バルブ体に対して固定して設けられており、前記各ディスク基板の接着面同士を接合する際には、前記一対の開口部のうちの他の片側の前記ディスクホルダーのみを移動させることを特徴とする請求項７記載のディスク製造装置。
- 前記一対の開口部は互いに上下の関係で配置されており、上側の前記開口部を閉塞する上側の前記可動バルブ体と、この上側の可動バルブ体を駆動する上側の前記バルブ駆動機構と、前記上側の可動バルブ体の内面側に移動自在に設けられた上側の前記ディスクホルダーと、この上側のディスクホルダーを駆動する上側の前記ホルダー駆動機構とから成る上側組立体を複数備え、さらに、複数の前記上側組立体が同一円周上に配置され取り付けられた上側回転体と、この上側回転体を回転駆動して複数の前記上側の可動バルブ体のうちの１つを選択的に前記上側の開口部の上方に位置させる上側回転体駆動機構と、を備えたことを特徴とする請求項７又は請求項８に記載のディスク製造装置。
- 前記一対の開口部は互いに上下の関係で配置されており、下側の前記開口部を閉塞する下側の前記可動バルブ体と、この下側の可動バルブ体に設けられた下側の前記ディスクホルダーと、から成る下側組立体を複数備え、さらに、複数の前記下側組立体が同一円周上に配置され取り付けられた下側回転体と、この下側回転体を回転駆動して複数の前記下側の可動バルブ体のうちの１つを選択的に前記下側の開口部の下方に位置させる下側回転体駆動機構と、前記下側の開口部の下方に位置した前記下側の可動バルブ体を駆動する下側の前記バルブ駆動機構と、を備えたことを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれか一項に記載のディスク製造装置。
- 前記下側のディスクホルダーは、前記下側の可動バルブ体に着脱自在に取り付けられており、前記ディスクホルダーが前記ディスク基板の中央孔に可及的密に填め込まれることにより、前記下側の可動バルブ体に対して前記ディスク基板が位置決めされると共に前記一方及び他方のディスク基板を貼り合わせる際の位置合わせがなされることを特徴とする請求項１０記載のディスク製造装置。
- 前記接着剤硬化装置により硬化処理された前記ディスクに対して所定の検査を行うディスク検査装置と、このディスク検査装置により検査された前記ディスクを集積するディスク集積装置と、をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項１１のいずれか一項に記載のディスク製造装置。
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