JPH07104603B2 - スピンナ装置 - Google Patents
スピンナ装置Info
- Publication number
- JPH07104603B2 JPH07104603B2 JP2031967A JP3196790A JPH07104603B2 JP H07104603 B2 JPH07104603 B2 JP H07104603B2 JP 2031967 A JP2031967 A JP 2031967A JP 3196790 A JP3196790 A JP 3196790A JP H07104603 B2 JPH07104603 B2 JP H07104603B2
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- JP
- Japan
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- disk
- disk member
- spinner device
- rotary table
- rotating
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は，紫外線硬化型等の塗料を用いてディスク部材
上に保護膜等の塗布を行うスピンナ装置に関する。
上に保護膜等の塗布を行うスピンナ装置に関する。
第４図は従来の回転テーブルを用いたスピンナ装置の一
例として，紫外線硬化型塗料を用いたCD（コンパクトデ
ィスク）用保護膜塗布装置を説明するための図である。
例として，紫外線硬化型塗料を用いたCD（コンパクトデ
ィスク）用保護膜塗布装置を説明するための図である。
先ず，保護膜の未だ形成されていないディスク状の部材
（以下ディスク部材という）１が回転テーブル２上のデ
ィスク供給位置３に外部のマニプレータ等により載置さ
れる。次に，回転テーブル２が１ピッチ回転してディス
ク部材１が静電ブロー除塵処理位置４に達し，ここでデ
ィスク部材１に帯電により付着しているゴミ等の異物が
取り除かれる。次に，回転テーブル２が１ピッチ回転す
ると，ディスク部材１はスピン塗布機構５のスピンナ位
置６に達する。スピンナ位置６のディスク部材１はここ
で低速回転し，この低速回転しているディスク部材１に
塗料吐出ノズル７から紫外線硬化型塗料が滴下・供給さ
れる。塗料の供給が完了すると，ディスク部材１は高速
回転し，ディスク部材１の塗料は遠心力によりディスク
部材表面に均一に分散される。次に，回転テーブル２が
１ピッチ回転すると，ディスク部材１は紫外線照射位置
８に達し，ディスク部材１上の塗料は紫外線照射位置９
により硬化する。この時点で全ての処理は完了する。次
に，回転テーブル２が１ピッチ回転してディスク部材１
がディスク排出位置10に達すると，処理済ディスク部材
１はディスク排出位置10にて外部のマニプレータ等によ
り払い出される。
（以下ディスク部材という）１が回転テーブル２上のデ
ィスク供給位置３に外部のマニプレータ等により載置さ
れる。次に，回転テーブル２が１ピッチ回転してディス
ク部材１が静電ブロー除塵処理位置４に達し，ここでデ
ィスク部材１に帯電により付着しているゴミ等の異物が
取り除かれる。次に，回転テーブル２が１ピッチ回転す
ると，ディスク部材１はスピン塗布機構５のスピンナ位
置６に達する。スピンナ位置６のディスク部材１はここ
で低速回転し，この低速回転しているディスク部材１に
塗料吐出ノズル７から紫外線硬化型塗料が滴下・供給さ
れる。塗料の供給が完了すると，ディスク部材１は高速
回転し，ディスク部材１の塗料は遠心力によりディスク
部材表面に均一に分散される。次に，回転テーブル２が
１ピッチ回転すると，ディスク部材１は紫外線照射位置
８に達し，ディスク部材１上の塗料は紫外線照射位置９
により硬化する。この時点で全ての処理は完了する。次
に，回転テーブル２が１ピッチ回転してディスク部材１
がディスク排出位置10に達すると，処理済ディスク部材
１はディスク排出位置10にて外部のマニプレータ等によ
り払い出される。
しかし，このような従来のスピンナ装置で処理能力を例
えば２倍にするためには，第４図に示された同一円周上
の各処理位置を２倍にし，静電ブロー除塵処理装置，ス
ピン塗布機構5,塗料吐出ノズル７及び紫外線照射装置９
を各々２セット配置しなければならない。そうなると，
次のような欠点がある。
えば２倍にするためには，第４図に示された同一円周上
の各処理位置を２倍にし，静電ブロー除塵処理装置，ス
ピン塗布機構5,塗料吐出ノズル７及び紫外線照射装置９
を各々２セット配置しなければならない。そうなると，
次のような欠点がある。
（１） 回転テーブル２の直径が２倍となり，装置が大
きすぎる。
きすぎる。
（２） 各装置が２セットとなるため装置全体の価格が
高い。
高い。
（３） 送りピッチに要する時間が２倍になるので，厳
密に言えば処理能力が２倍にはならない。
密に言えば処理能力が２倍にはならない。
本発明は以上の欠点を除去するために，光学式情報記録
媒体としてのディスク部材に液状の塗料を滴下・回転・
分散し，ディスク部材上に均一な塗膜を形成するスピン
ナ装置において，複数のディスク部材上に並列的に均一
な塗膜を形成するスピン塗布機構を回転テーブル上方に
設けると共に，該回転テーブルにより上記複数のディス
ク部材の搬送を同時に行うことを特徴とするスピンナ装
置を提供するものである。
媒体としてのディスク部材に液状の塗料を滴下・回転・
分散し，ディスク部材上に均一な塗膜を形成するスピン
ナ装置において，複数のディスク部材上に並列的に均一
な塗膜を形成するスピン塗布機構を回転テーブル上方に
設けると共に，該回転テーブルにより上記複数のディス
ク部材の搬送を同時に行うことを特徴とするスピンナ装
置を提供するものである。
〔作用〕 このようなスピンナ装置によれば，単位時間当たりの処
理枚数は従来装置の複数倍となり，処理能力当たりの装
置全体の寸法が極力小さくなると共に，装置のコストダ
ウンを図ることができる。
理枚数は従来装置の複数倍となり，処理能力当たりの装
置全体の寸法が極力小さくなると共に，装置のコストダ
ウンを図ることができる。
第１図乃至第３図により本発明の一実施例を説明する。
先ず，第２図に示すように保護膜の未だ形成されていな
いディスク部材１がスタックポール11に集積され，コン
ベア12上に置かれる。スタックポール11がコンベア12に
より搬送され，移動して所定の位置に来ると，コンベア
12が停止しスタックポール11も停止する。ここで，内周
側ディスク吸着アーム13と外周側ディスク吸着アーム15
は，後述する回転テーブル２上のディスク供給位置３の
間隔に合わせて配置され，結合部材28により互いに結合
されている。結合部材28は昇降シリンダ14に結合されて
おり，昇降シリンダ14の昇降に伴い，内周側ディスク吸
着アーム13と外周側ディスク吸着アーム15は一緒に昇降
するよう構成されている。ディスク部材１を回転テーブ
ル２に供給する場合には，先ず内周側ディスク吸着アー
ム13がスタックポール11よりディスク部材１を１枚取り
出し，昇降シリンダ14により上昇後１ピッチ移動する。
このとき，同時に外周側ディスク吸着アーム15も１ピッ
チ移動しており，スタックポール11よりディスク部材１
を１枚取り出し，昇降シリンダ14により上昇する。しか
る後，これらアームはディスク供給位置２方向に延び
て,2枚同時に回転テーブル２上のディスク供給位置３の
内周側ディスク受台16,外周側ディスク受台17に載置す
る。第１図において，回転テーブル２が１ピッチ回転し
て２枚のディスク部材１が静電ブロー除塵処理位置４に
達し，ここで２枚のディスク部材１は同時にブロー処理
が行われ，ディスク部材１に帯電により付着しているゴ
ミ等の異物が取り除かれる。次に，回転テーブル２が１
ピッチ回転すると，内周側のディスク部材１は内周側ス
ピン塗布機構18の内周側スピンナ位置19に達する。ここ
で，内周側ディスク受台16は，第３図に示す駆動機構と
似ているが，先ずモータのような回転駆動装置に一端が
結合されたシリンダのロッドが上昇し，そのロッド先端
部に支持され，回転テーブル２から離れた状態になる。
次に，回転駆動装置の低速回転に伴い，内周側スピンナ
位置19のディスク部材１はここで低速回転し，この低速
回転しているディスク部材１に内周側塗料吐出ノズル20
から紫外線硬化型塗料が滴下・供給される。塗料の供給
が完了すると，ディスク部材１は高速回転し，ディスク
部材１の塗料は遠心力によりディスク部材表面に均一に
分散される。このとき，外周側ディスク受台17は待機し
ている。次に，回転テーブル２が１ピッチ回転すると，
外周側のディスク部材１は外周側スピン塗布機構21の外
周側スピンナ位置22に達する。外周側スピンナ位置22の
ディスク部材１は，前述と同様にしてここで低速回転
し，この低速回転しているディスク部材１に外周側塗料
吐出ノズル23から紫外線硬化型塗料が滴下・供給され
る。塗料の供給が完了すると，ディスク部材１は高速回
転し，ディスク部材１の塗料は遠心力によりディスク部
材表面に均一に分散される。このとき，内周側ディスク
受台16は待機している。次に，回転テーブル２が１ピッ
チ回転すると，ディスク部材１は紫外線照射位置８に達
する。ここでは第３図に示すように，内周側及び外周側
２枚のディスク部材１は，夫々内周側シリンダ24,外周
側シリンダ25の夫々のシリンダロッドが前進することに
より紫外線反射板26内に挿入される。次に，モータのよ
うな回転駆動装置27が回転するに伴い，その回転駆動装
置27の回転駆動部にベルトにより結合され，支持されて
いる内周側シリンダ24,外周側シリンダ25が夫々その中
心部を中心として回転することにより，内周側ディスク
受台16上のディスク部材１及び外周側ディスク受台17上
のディスク部材１は同時に回転しながら紫外線照射装置
９により紫外線を均一に照射され，ディスク部材表面に
塗布された紫外線硬化型塗料は硬化する。この時点で全
ての処理は完了する。次に，回転テーブル２が１ピッチ
回転してディスク部材１がディスク排出位置10に達する
と,2枚の処理済ディスク部材１は第２図に示すように，
内周側ディスク吸着アーム13,外周側ディスク吸着アー
ム15により２枚同時に回転テーブル２上から取り除かれ
る。そして，これら内周側ディスク吸着アーム13,外周
側ディスク吸着アーム15は後退し，先ず外周側ディスク
吸着アーム15によりディスク部材１が，次いで１ピッチ
後退して内周側ディスク吸着アーム13によりディスク部
材１が，コンベア12上の空のスタックポール11に夫々１
枚づつ集積され，排出される。
先ず，第２図に示すように保護膜の未だ形成されていな
いディスク部材１がスタックポール11に集積され，コン
ベア12上に置かれる。スタックポール11がコンベア12に
より搬送され，移動して所定の位置に来ると，コンベア
12が停止しスタックポール11も停止する。ここで，内周
側ディスク吸着アーム13と外周側ディスク吸着アーム15
は，後述する回転テーブル２上のディスク供給位置３の
間隔に合わせて配置され，結合部材28により互いに結合
されている。結合部材28は昇降シリンダ14に結合されて
おり，昇降シリンダ14の昇降に伴い，内周側ディスク吸
着アーム13と外周側ディスク吸着アーム15は一緒に昇降
するよう構成されている。ディスク部材１を回転テーブ
ル２に供給する場合には，先ず内周側ディスク吸着アー
ム13がスタックポール11よりディスク部材１を１枚取り
出し，昇降シリンダ14により上昇後１ピッチ移動する。
このとき，同時に外周側ディスク吸着アーム15も１ピッ
チ移動しており，スタックポール11よりディスク部材１
を１枚取り出し，昇降シリンダ14により上昇する。しか
る後，これらアームはディスク供給位置２方向に延び
て,2枚同時に回転テーブル２上のディスク供給位置３の
内周側ディスク受台16,外周側ディスク受台17に載置す
る。第１図において，回転テーブル２が１ピッチ回転し
て２枚のディスク部材１が静電ブロー除塵処理位置４に
達し，ここで２枚のディスク部材１は同時にブロー処理
が行われ，ディスク部材１に帯電により付着しているゴ
ミ等の異物が取り除かれる。次に，回転テーブル２が１
ピッチ回転すると，内周側のディスク部材１は内周側ス
ピン塗布機構18の内周側スピンナ位置19に達する。ここ
で，内周側ディスク受台16は，第３図に示す駆動機構と
似ているが，先ずモータのような回転駆動装置に一端が
結合されたシリンダのロッドが上昇し，そのロッド先端
部に支持され，回転テーブル２から離れた状態になる。
次に，回転駆動装置の低速回転に伴い，内周側スピンナ
位置19のディスク部材１はここで低速回転し，この低速
回転しているディスク部材１に内周側塗料吐出ノズル20
から紫外線硬化型塗料が滴下・供給される。塗料の供給
が完了すると，ディスク部材１は高速回転し，ディスク
部材１の塗料は遠心力によりディスク部材表面に均一に
分散される。このとき，外周側ディスク受台17は待機し
ている。次に，回転テーブル２が１ピッチ回転すると，
外周側のディスク部材１は外周側スピン塗布機構21の外
周側スピンナ位置22に達する。外周側スピンナ位置22の
ディスク部材１は，前述と同様にしてここで低速回転
し，この低速回転しているディスク部材１に外周側塗料
吐出ノズル23から紫外線硬化型塗料が滴下・供給され
る。塗料の供給が完了すると，ディスク部材１は高速回
転し，ディスク部材１の塗料は遠心力によりディスク部
材表面に均一に分散される。このとき，内周側ディスク
受台16は待機している。次に，回転テーブル２が１ピッ
チ回転すると，ディスク部材１は紫外線照射位置８に達
する。ここでは第３図に示すように，内周側及び外周側
２枚のディスク部材１は，夫々内周側シリンダ24,外周
側シリンダ25の夫々のシリンダロッドが前進することに
より紫外線反射板26内に挿入される。次に，モータのよ
うな回転駆動装置27が回転するに伴い，その回転駆動装
置27の回転駆動部にベルトにより結合され，支持されて
いる内周側シリンダ24,外周側シリンダ25が夫々その中
心部を中心として回転することにより，内周側ディスク
受台16上のディスク部材１及び外周側ディスク受台17上
のディスク部材１は同時に回転しながら紫外線照射装置
９により紫外線を均一に照射され，ディスク部材表面に
塗布された紫外線硬化型塗料は硬化する。この時点で全
ての処理は完了する。次に，回転テーブル２が１ピッチ
回転してディスク部材１がディスク排出位置10に達する
と,2枚の処理済ディスク部材１は第２図に示すように，
内周側ディスク吸着アーム13,外周側ディスク吸着アー
ム15により２枚同時に回転テーブル２上から取り除かれ
る。そして，これら内周側ディスク吸着アーム13,外周
側ディスク吸着アーム15は後退し，先ず外周側ディスク
吸着アーム15によりディスク部材１が，次いで１ピッチ
後退して内周側ディスク吸着アーム13によりディスク部
材１が，コンベア12上の空のスタックポール11に夫々１
枚づつ集積され，排出される。
尚，以上の実施例においては，内周側スピンナ位置19と
外周側スピンナ位置22とを回転テーブル２の１ピッチ分
すらし，内周側スピン塗布機構18と外周側スピン塗布機
構21とに分けたが，分けずに同一のスピン塗布機構で同
時に紫外線硬化型塗料の塗布を行うこともできる。ま
た，内周側，外周側の２つに分けたが,3つ以上に分けて
同時に行うこともできる。また，ディスク部材１に塗布
される塗料は紫外線硬化型塗料に限定されることはな
い。更にまた，ディスク収納手段としてスタックポール
で説明したが，ディスクを横方向に順次集積する収納器
などであっても勿論よい。
外周側スピンナ位置22とを回転テーブル２の１ピッチ分
すらし，内周側スピン塗布機構18と外周側スピン塗布機
構21とに分けたが，分けずに同一のスピン塗布機構で同
時に紫外線硬化型塗料の塗布を行うこともできる。ま
た，内周側，外周側の２つに分けたが,3つ以上に分けて
同時に行うこともできる。また，ディスク部材１に塗布
される塗料は紫外線硬化型塗料に限定されることはな
い。更にまた，ディスク収納手段としてスタックポール
で説明したが，ディスクを横方向に順次集積する収納器
などであっても勿論よい。
以上述べたように本発明は，光学式情報記録媒体として
のディスク部材に液状の塗料を滴下・回転・分散し，デ
ィスク部材上に均一な塗膜を形成するスピンナ装置にお
いて，複数のディスク部材上に並列的に均一な塗膜を形
成するスピン塗布機構を回転テーブル上方に設けると共
に，該回転テーブルにより上記複数のディスク部材の搬
送を同時に行うことを特徴とするスピンナ装置である。
本発明はこのような特徴を有するので，単位時間当たり
の処理枚数は従来装置の複数倍となり，処理能力当たり
の装置全体の寸法が極力小さくなると共に，装置のコス
トダウンを図ることができる。
のディスク部材に液状の塗料を滴下・回転・分散し，デ
ィスク部材上に均一な塗膜を形成するスピンナ装置にお
いて，複数のディスク部材上に並列的に均一な塗膜を形
成するスピン塗布機構を回転テーブル上方に設けると共
に，該回転テーブルにより上記複数のディスク部材の搬
送を同時に行うことを特徴とするスピンナ装置である。
本発明はこのような特徴を有するので，単位時間当たり
の処理枚数は従来装置の複数倍となり，処理能力当たり
の装置全体の寸法が極力小さくなると共に，装置のコス
トダウンを図ることができる。
第１図乃至第３図は本発明の一実施例を説明するための
図，第４図は従来のスピンナ装置を説明するための図で
ある。 １……ディスク部材、２……回転テーブル ３……ディスク供給位置 ４……静電ブロー除塵処理位置 ５……スピン塗布機構、６……スピンナ位置 ７……塗料吐出ノズル、８……紫外線照射位置 ９……紫外線照射装置、10……ディスク排出位置 11……スタックポール、12……コンベア 13……内周側ディスク吸着アーム 14……昇降シリンダ 15……外周側ディスク吸着アーム 16……内周側ディスク受台 17……外周側ディスク受台 18……内周側スピン塗布機構 19……内周側スピンナ位置 20……内周側塗料吐出ノズル 21……外周側スピン塗布機構 22……外周側スピンナ位置 23……外周側塗料吐出ノズル 24……内周側シリンダ、25……外周側シリンダ 26……紫外線反射板、27……回転駆動装置 28……結合部材
図，第４図は従来のスピンナ装置を説明するための図で
ある。 １……ディスク部材、２……回転テーブル ３……ディスク供給位置 ４……静電ブロー除塵処理位置 ５……スピン塗布機構、６……スピンナ位置 ７……塗料吐出ノズル、８……紫外線照射位置 ９……紫外線照射装置、10……ディスク排出位置 11……スタックポール、12……コンベア 13……内周側ディスク吸着アーム 14……昇降シリンダ 15……外周側ディスク吸着アーム 16……内周側ディスク受台 17……外周側ディスク受台 18……内周側スピン塗布機構 19……内周側スピンナ位置 20……内周側塗料吐出ノズル 21……外周側スピン塗布機構 22……外周側スピンナ位置 23……外周側塗料吐出ノズル 24……内周側シリンダ、25……外周側シリンダ 26……紫外線反射板、27……回転駆動装置 28……結合部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−40539（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−249950（ＪＰ，Ａ)
Claims (4)
- 【請求項１】光学式情報記録媒体としてのディスク部材
に液状の塗料を滴下・回転・分散し，ディスク部材上に
均一な塗膜を形成するスピンナ装置において， 並列に配置された複数のディスク部材上に均一な塗膜を
形成するスピン塗布機構を回転テーブル上方に設けると
共に，該回転テーブルにより上記複数のディスク部材の
搬送を同時に行うことを特徴とするスピンナ装置。 - 【請求項２】光学式情報記録媒体としてのディスク部材
に液状の塗料を滴下・回転・分散し，ディスク部材上に
均一な塗膜を形成するスピンナ装置において， 未処理ディスク部材を集積したディスク収納手段から１
枚づつディスク部材を取り出し，複数枚同時に回転テー
ブル上のディスク受台に載置するディスク吸着アームを
備えていることを特徴とするスピンナ装置。 - 【請求項３】光学式情報記録媒体としてのディスク部材
に液状の塗料を滴下・回転・分散し，ディスク部材上に
均一な塗膜を形成するスピンナ装置において， 処理済ディスク部材を回転テーブルより複数枚同時に取
り出し，ディスク収納手段にディスク部材を１枚づつ集
積するディスク吸着アームを備えていることを特徴とす
るスピンナ装置。 - 【請求項４】光学式情報記録媒体としてのディスク部材
に液状の塗料を滴下・回転・分散し，ディスク部材上に
均一な塗膜を形成するスピンナ装置において， 上記ディスク部材表面に塗布された塗料をディスク部材
を回転させることにより均一に硬化させることを特徴と
するスピンナ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2031967A JPH07104603B2 (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | スピンナ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2031967A JPH07104603B2 (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | スピンナ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03235956A JPH03235956A (ja) | 1991-10-21 |
| JPH07104603B2 true JPH07104603B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=12345723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2031967A Expired - Lifetime JPH07104603B2 (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | スピンナ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07104603B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06101148B2 (ja) * | 1987-04-06 | 1994-12-12 | パイオニア株式会社 | 光学式情報記録デイスクの製造方法 |
-
1990
- 1990-02-13 JP JP2031967A patent/JPH07104603B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03235956A (ja) | 1991-10-21 |
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