JPH0957177A - ディスク用被膜形成装置 - Google Patents

ディスク用被膜形成装置

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JPH0957177A
JPH0957177A JP7245477A JP24547795A JPH0957177A JP H0957177 A JPH0957177 A JP H0957177A JP 7245477 A JP7245477 A JP 7245477A JP 24547795 A JP24547795 A JP 24547795A JP H0957177 A JPH0957177 A JP H0957177A
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Naozumi Mizutani
直純 水谷
Masahiko Kotoyori
正彦 琴寄
Katsumi Yamaguchi
勝美 山口
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 信頼性の高いディスク用被膜形成装置を提供
すると共に、被膜形成の高速化、および装置の小型化、
経済性などを改善すること。 【解決手段】 ディスクが載置されるポジションを複数
備えて間欠的に回転するターンテーブル11と、ディスク
に塗布液を供給する塗料供給器13と，塗料の供給された
ディスクを高速回転させて余分な塗料を振り切るスピン
振り切り器と、ディスクをターンテーブル11の移載ポジ
ションd5からスピン振り切り器へ移載する移載アームを
備える第１のディスク移載装置15と，ディスク上の被膜
を硬化させる被膜硬化装置21と、スピン振り切り器から
ディスクを被膜硬化装置21に移載する移載アームを備え
る第２のディスク移載装置19とを備えてなるディスク用
被膜形成装置である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ディスクに記録膜、あ
るいは保護膜などを形成するのに必要なディスク用被膜
形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】今日，コンパクトディスクは音楽用，電
子情報用の記録媒体として重要な地位を占めている。こ
のコンパクトディスクの製造工程としては，主に情報を
ピットとして記録した合成樹脂製ディスクを作るインジ
ェクションモールディング工程、そのディスクにアルミ
ニウムを蒸着して反射膜を形成する反射膜形成工程、そ
の反射膜の上に保護膜を形成する保護膜形成工程、及び
このように作られたディスクの特性を検査する検査工程
などからなる。
【０００３】図５に、特開平6-282885号公報に開示され
たコンパクトディスク又は光ディスクのようなディスク
用の被膜形成装置１の一例を示す。この図において、第
１のターンテーブル３はディスクｄを連続的に供給する
ためのものであって，このターンテーブル３の上にスタ
ックポール５が互いに回転角度60度の間隔で積載されて
いる。スタックポール５は図２に示す構造であって，約
100 枚のコーティングすべきディスクｄが一本のポール
5a上に積載される。ディスク移載装置７は，単一の移載
アームの先端に備えられた吸着パッド7bによりディスク
ｄを垂直上方向に一旦持ち上げ，その支点7aを中心に旋
回して，所定の位置に移動した後に垂直下方に下ろすも
のである。
【０００４】第２のターンテーブル11は順次矢印方向に
回転するものであって，このターンテーブル11の上の回
転角度で６等分した各箇所にディスクｄの載置ポジショ
ンd1〜d6があり、それら載置ポジションにディスクｄが
載置される。クリーナ９、９’はディスク上の塵埃を除
去するもので，エアブロー（図示せず）により帯電させ
た清浄気体をディスク表面に吹き付けて、ディスク表面
に付着している塵埃を，その静電気力を中和させながら
清掃する。
【０００５】塗料供給器13は，塗料供給ノズル13a と回
転伝動部（図示せず）とからなり，ディスクｄが塗料供
給ポジションで停止すると同時に、その位置でディスク
ｄ又は供給ノズル13a を回転させ、その回転がほぼ一定
状態に達したら塗料を供給してディスク面上にドーナッ
ツ状の液膜を作る。単一の移載アームをもつディスク移
載装置15は，その先端にある吸着パッド15b によりディ
スクｄを垂直上方向に一旦持ち上げ，その支点15a を中
心に旋回して，所定の位置に移動した後に垂直下方に下
降するものである。ディスク移載装置19,15',19'につい
ても同様の構成である。これら各ディスク移載装置は、
それぞれ専用の駆動装置（図示せず）によって前述のよ
うな動作を行う。
【０００６】このディスク用被膜形成装置１における一
対のスピン振り切り器17と17' は、それぞれディスクが
載置され高速回転し得るスピン部（図示せず）と、これ
を高速回転させるスピンドルユニット17a と、飛散する
液滴を捕集するコーターハウス18などから構成される。
【０００７】被膜硬化装置21は，ディスク上の塗料を紫
外線照射により硬化させるもので，紫外線照射部23と紫
外線の漏洩防止のための遮光カバー25と，その内部でデ
ィスクを搬送するターンテーブル27とで構成される。デ
ィスク移載装置29については，ディスク移載装置７と同
様の構造である。またターンテーブル31はターンテーブ
ル３と同様であり，スタックポール33はスタックポール
５と同様の構成である。
【０００８】
【動作】次にこのディスク用被膜形成装置１の動作につ
いて詳細に説明する。動作説明のために，ディスクｄの
移動に伴うポジションを符号d1,d2...で表すと、供給側
のターンテーブル３は矢印方向に間歇的に回転して，そ
の上のスタックポール５に積載されたディスクｄは，ポ
ジションd1⇒d2⇒d3⇒d4と移動する。ポジションd4のデ
ィスクはディスク移載装置７により，ターンテーブル11
上のポジションd5に載せられる。そしてターンテーブル
11が矢印方向に1/6 回転すると，これに同期してディス
ク移載装置７が作動して新たなディスクｄがポジション
d5に載せられる。この動作を繰り返して次々とディスク
ｄがターンテーブル11上に載せられる。
【０００９】ターンテーブル11に載せられたディスクは
ポジションd6とd7で，クリーナ９と９’とにより二回に
わたって表面の塵埃を吹き飛ばされ，クリーニングされ
る。ターンテーブル11に載せられたディスクはポジショ
ンd8で，塗料供給器13により塗料が供給されて液膜を形
成する。この場合、ディスクがポジションd8に来ると、
塗料供給器13の塗料供給ノズルがおよそ40rpm 〜120rpm
の回転数で回転を始め、一定速度になると塗料を供給し
てドーナッツ状の液膜を形成する。塗料供給器13により
塗料供給ポジションd8で液膜を載せられたディスクが，
ターンテーブル11の２サイクルの角回転( ほぼ120 °)
によりポジションd9,d10に到達すると，移載ポジション
d10 のディスクはディスク移載装置15によりスピン振り
切り器17内のスピンポジションd11 に移載される。また
ほぼ同時に、移載ポジションd9のディスクはディスク移
載装置15' によりスピン振り切り器17' 内のスピンポジ
ションd12 に移載される。スピン振り切り器17及び17'
内では約3000〜4000rpm の回転数による遠心力で塗料の
余剰分は振り切られ，適正で均一の膜厚になる。
【００１０】次にポジションd11 のディスクはディスク
移載装置19により、ターンテーブル27のポジションd13
まで移動される。また同様にディスクd はディスク移載
装置19' によりポジションd14 まで移動される。なお，
ディスク移載装置15と15' は、ディスク移載装置19と1
9' の動作と同期して前述の動作を繰り返して，次のサ
イクルとしてスピン振り切り器17と17' とに新たなディ
スクを供給する。ポジションd10 とd11 、ポジションd9
とd12 それぞれの中心がディスク移載装置15の吸着パッ
ド15b,ディスク移載装置15' の吸着パッド（図示せず）
の旋回軌道上にそれぞれ存在する。同様に、ポジション
d11 とd13 、ポジションd12 とd14 それぞれの中心がデ
ィスク移載装置19、19' の吸着パッド（図示せず）それ
ぞれの旋回軌道上に存在する。
【００１１】被膜硬化装置21内のターンテーブル27が矢
印方向に回転してディスクがd15 からd16 までのポジシ
ョンに来ると，紫外線照射部23からの紫外線の化学的効
果により液状の塗膜は硬化する。硬化後のディスクはタ
ーンテーブルがポジションd16 、d17 を通って更に回転
してd18 のポジションに来るとき，ディスク移載装置29
はディスクを吸着して運び，ターンテーブル31上のスタ
ックポール33上に積載する。スタックポール33上のディ
スクd19 の枚数が重なり収容限界に達するとき，ターン
テーブル31は矢印方向に回転してd19 のポジションには
空のスタックポールが配され，d20 のポジションには満
載のスタックポールが配されて完成品のディスクの排出
に備える。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，このよ
うな従来のディスク用被膜形成装置１は下記のような問
題点を有する。 （１）ディスクがポジションd8において塗料供給を受け
てから、スピン振り切り器17に入るディスクとスピン振
り切り器17' に入るディスクとでは異なるため、スピン
振り切りを行うまでの所要時間が異なることになり、塗
布品質にバラツキを生じやすい。
【００１３】（２）２台のスピン振り切り器17、17' に
対して、アームが１本のディスク移載装置を４台用いて
いるので、駆動装置が４台必要となり、したがって装置
の大型化、コスト高を招く。
【００１４】（３）塗料供給器13の塗料供給ノズルから
ディスクに塗料を供給する場合、ディスクが塗料供給ポ
ジションd8に到着すると同時に塗料供給ノズルが回転を
開始するので、塗料供給器13の塗料供給ノズルがおよそ
40rpm 〜120rpmの一定速度に達するまで塗料を供給する
ことができず、これが高速化を妨げる一つの原因になっ
ていた。
【００１５】（４）ディスクの被膜形成面にチリなどが
付着するのを極力避けるために、スタックポールには裏
面を表にしてディスクを積載することが行わることがあ
るが、そのようなスタックポールをこの実施例の装置に
装着する場合、ディスク供給側にディスクの反転機構を
付加しなければならない。
【００１６】（５）スタックポールに積載されているデ
ィスクの内容やロット情報などを示すされるインフォメ
ーションディスク（被膜形成処理を行ってはならない）
を、その積載ディスクの最上位に積むことが生産管理の
一方法として採用されることもあるが、このような場合
に従来では、インフォメーションディスクを人手にて取
り除く作業と、塗布完了したディスクを積載したスタッ
クポールの最上位に再び人手にてインフォメーションデ
ィスクを積載する作業とが必要になり、手間がかかる。
【００１７】（６）ディスクの内容を変更する場合、成
形機のスタンパ交換をした後にテスト成形を行い、そこ
でできたサンプルディスクを生産ラインに流して良否を
判断する必要がある。この場合に同じ装置を利用してそ
れを行うには、一時的に生産ラインのスタックポールか
らのディスクの供給を中断し、供給側にサンプルディス
クを積載した専用のスタックポールを装着すると共に、
排出側にも同様に専用のスタックポールを装着する必要
があるため、生産時間のロスが大きくなってしまう。
【００１８】（７）上流の工程から送られて来るディス
クの状態によっては、移載アームがデスクを吸着する際
に２枚以上貼り付いた状態でスタックポールから持ち上
げられ、次のポジションに送られてしまうことがしばし
ばある。したがって、ディスクの搬送経路を妨害しない
ように、ディスクの外周部の外側からディスクの厚さを
光電センサなどで検出している。しかし、ディスク周辺
部はディスクの反りや載置時の傾きなどの影響が最も大
きくなる部分であるため、センサの調整が非常に難し
く、結局のところ安全を重視して敏感に反応するように
センサの感度を調整することになるので、若干傾いて置
かれただけのディスクでも貼り付きと見なして、装置が
エラー停止する事態が生じることになり、生産時間のロ
スにつながりやすくなる傾向がある。
【００１９】したがって、本発明は信頼性の高いディス
ク用被膜形成装置を提供すると共に、装置の高速化、小
型化、経済性などを改善することを目的としている。
【００２０】
【問題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、前記課題を解決するために，間欠的に回転するター
ンテーブルと、そのターンテーブル上のディスクに塗布
液を供給する塗料供給器と，ディスクを高速回転させて
その余分な塗料を振り切るスピン振り切り器と、前記タ
ーンテーブルから前記スピン振り切り器へディスクを移
載する第１のディスク移載装置と，ディスク上の被膜を
硬化させる被膜硬化装置と、前記スピン振り切り器から
前記ディスクを前記被膜硬化装置に移載する第２のディ
スク移載装置とを備えてなる装置において，前記スピン
振り切り器は１対備えられ、また前記第１のディスク移
載装置はある角度で開いた一対の移載アームを備え、前
記ターンテーブルの前記移載ポジションは前記一対のス
ピン振り切り器の前記スピン部とほぼ２等辺３角形を形
成する位置にあって、前記第１のディスク移載装置が前
記ターンテーブルの移載ポジションのディスクを前記一
対の前記スピン振り切り器へ交互に供給することを特徴
とするディスク用被膜形成装置を提供するものである。
【００２１】請求項２に記載の発明は、前記課題を解決
するために，前記のような構成の装置において、前記ス
ピン振り切り器は１対備えられ、前記第２のディスク移
載装置は一対の移載アームを備え、前記被膜硬化装置は
前記一対のスピン振り切り器から前記ディスクを受け取
る受取りポジションを有する別のターンテーブルを備
え、該受取りポジションは前記一対のスピン振り切り器
の前記スピン部とほぼ２等辺３角形を形成する位置にあ
って、前記第２のディスク移載装置が前記一対の前記ス
ピン振り切り器から前記ディスクを前記別のターンテー
ブルの受取りポジションへ交互に移載することを特徴と
するディスク用被膜形成装置を提供するものである。
【００２２】請求項３に記載の発明は、前記課題を解決
するために，前記のような構成の装置において、前記タ
ーンテーブルの回転に伴って前記ディスクが塗料供給ポ
ジションに来るとき、前記塗料供給器の塗料供給ノズル
が一定速度で回転しており、その状態で前記ディスクに
塗布液を供給することを特徴とするディスク用被膜形成
装置を提供するものである。
【００２３】請求項４に記載の発明は、前記課題を解決
するために、前記のような構成の装置において、前記タ
ーンテーブルの回転に伴って前記ディスクが塗料供給ポ
ジションに来るとき、前記塗料供給器の塗料供給ノズル
が一定速度で回転しており、その状態で前記ディスクに
塗布液を供給することを特徴とするディスク用被膜形成
装置を提供するものである。
【００２４】請求項５に記載の発明は、前記課題を解決
するために，前記のような構成の装置において，前記タ
ーンテーブルの回転に伴って前記ディスクが前記塗料供
給ポジションに来るとき、その塗料供給ポジションで前
記ディスクは一定速度で回転しており、その状態で前記
塗料供給器が前記ディスクに塗布液を供給することを特
徴とするディスク用被膜形成装置を提供するものであ
る。
【００２５】請求項６に記載の発明は、前記課題を解決
するために，前記のような構成の装置において，前記タ
ーンテーブルの受入れポジションに前記ディスクを１枚
づつ供給するディスク供給装置を備え、該ディスク供給
装置にはディスクを多数枚積み重ねて保持し得るスタッ
クポールが配置され、該ディスク供給装置は該スタック
ポールに積載された前記ディスクの最上位の１枚ないし
は所定枚数を一旦停留させるためのディスク載置ステー
ジを備え、該ディスク載置ステージに載置された前記デ
ィスクは前記スタックポールに積載された前記ディスク
の最下位に位置するディスクが処理された後に、前記タ
ーンテーブルの受入れポジションに移載されることを特
徴とするディスク用被膜形成装置を提供するものであ
る。
【００２６】請求項７に記載の発明は、前記課題を解決
するために，ディスクを多数枚積み重ねて保持し得るス
タックポールがディスク供給側に備えられ、該スタック
ポールに積載された前記ディスクの最上位の１枚ないし
は所定枚数を一旦停留させるためのディスク載置ステー
ジをディスク排出側に備え、処理が施されることなく搬
送・移載されて前記ディスク載置ステージに載置された
前記最上位の１枚ないしは所定枚数のディスクは、前記
スタックポールに積載された前記ディスクの最下位に位
置するディスクが処理されて排出側のスタックポールに
積載された後に、その上に移載されることを特徴とする
ディスク用被膜形成装置を提供するものである。
【００２７】請求項８に記載の発明は、前記課題を解決
するために，前記ディスク載置ステージに載置された前
記ディスクは、ディスクの内容およびロット情報などを
表示するためのインフォーメーションディスクであり、
該インフォーメーションディスクは被膜形成処理を施さ
れることなく、前記被膜硬化装置の後段のディスク排出
ステージから取り出されることを特徴とする請求項６又
は請求項７に記載のディスク用被膜形成装置を提供する
ものである。
【００２８】請求項９に記載の発明は、前記課題を解決
するために，前記のような構成の装置において，前記タ
ーンテーブルの受入れポジションに前記ディスクを１枚
づつ供給するディスク供給装置を備え、該ディスク供給
装置はサンプルディスク供給ステージを備え、前記スタ
ックポールに積載されたディスクの通常の処理動作をス
イッチ操作で選択的に中断した後、前記サンプルディス
ク供給ステージからサンプルディスクを前記ターンテー
ブルの受入れポジションに供給し、再び自動的に又はス
イッチ操作で前記スタックポールに積載されたディスク
の通常の処理動作を行うことを特徴とするディスク用被
膜形成装置を提供するものである。
【００２９】請求項１０に記載の発明は、前記課題を解
決するために，前記のような構成の装置において，前記
ターンテーブルの受入れポジションに前記ディスクを１
枚づつ供給するディスク供給装置を備え、該ディスク供
給装置には前記ディスクを吸着しながら反転し、移載を
行うディスク反転移載装置を備え、反転されたディスク
を前記ターンテーブルの受入れポジションに供給するこ
とを特徴とするディスク用被膜形成装置を提供するもの
である。
【００３０】請求項１１に記載の発明は、前記課題を解
決するために，前記のような構成の装置において，前記
ターンテーブルの受入れポジションに前記ディスクを１
枚づつ供給するディスク供給装置は、前記ディスクの中
央穴の端面の厚みを利用してディスクの重なりを検出す
るセンサを備えたことを特徴とするディスク用被膜形成
装置を提供するものである。
【００３１】
【実施例】図１は，本発明にかかるコンパクトディスク
用被膜形成装置の一実施例を示す図であり、図中、図５
と同じ記号については相当する部材を示すものとする。
装置の構成を説明しながら、主に従来装置の動作と異な
る点について動作説明も一緒に行う。
【００３２】第１のターンテーブル３にはスタックポー
ル５がほぼ一定間隔で載置されており、スタックポール
５には多数のディスクが被膜形成される面を下側にし
て、つまり反転状態で積載されている。スタックポール
５の一番上には、これから処理されるディスクの内容、
ロット番号などの内容が書き込まれた生産管理用ディス
クであるインフォメーションディスクが１枚載っている
場合が多い。このインフォメーションディスクについて
は後述する。
【００３３】スタックポール５は従来のものと同じ構造
であって、被膜が形成される約100枚のディスクが一本
のポールに中心穴を挿入されて積み重ねて載置される。
第１のターンテーブル３の脇にはディスクリフタ２が配
設されており、このディスクリフタ２は、スタックポー
ル５における積載されたディスクの上部より１枚ディス
クを抜き取る毎にその厚み分だけ上昇し、最上部のディ
スクのレベルを常に一定になるように保っている。
【００３４】そして、スタックポール５に積み重ねて載
置されたディスクがすべて取り出され、スタックポール
５が空になると、ディスクリフタ２が下降した後、ター
ンテーブル３が矢印方向に60°回転し、スタックポール
５をそれぞれ次のポジションに移動させる。ポジション
d1においては、上記の要領で、ディスクの取り出しが再
び行われる。空になってポジションd1に送られたスタッ
クポール５は、人手にて、被膜を形成すべきディスクを
積み重ねて載置したスタックポール５と交換される。以
下このような動作が繰り返される。
【００３５】次にディスク移載装置と同様であるが、そ
れよりも複雑な運動が可能な供給ロボット装置４は、ス
タックポール５の最上位のディスクを吸引するための吸
引機構を先端に備えた旋回アーム4Aを備えており、所定
のプログラミングに従って旋回アーム4Aを旋回運動させ
る。そして、旋回アーム4Aの旋回運動における先端部の
吸引機構が描く円弧上にインフォメーション載置ステー
ジ6Aと、供給ロボット装置４から順次１枚づつディスク
の受け渡しが後述のディスク反転移載装置８に行われる
受渡しステージ6Bとが設置され、これらステージは第１
のターンテーブル３と第２のターンテーブル１１との間
に位置する。
【００３６】また、旋回アーム4Aの旋回運動における先
端部の吸引機構が描く円弧上には、サンプルディスク供
給ステージ6Cも備えられる。このサンプルディスクは、
ディスク基板の成形時にはディスクの種類が変わるとス
タンパが必ず交換され、スタンパ交換後の成形機の運転
で作られるディスクが規格通りできているか否かを稼働
前に検査するのに利用されるディスクであり、スタンパ
交換後の成形機の運転で始めに作られた何枚かのディス
クが、サンプルディスクとして供され、サンプルディス
ク供給ステージ6Cに載置される。このサンプルディスク
については後述する。
【００３７】ディスク反転移載装置８は、受渡しステー
ジ6Bにて供給ロボット装置４から直接渡されたディスク
ｄを表裏反転させて第２のターンテーブル11のディスク
受入れポジションd1に移載する。これは、ディスクの塗
布面にチリなどが付着しないようにその塗布面を下向き
にしてスタックポール５に積み重ねて載置されるので、
ディスクの表裏面を反転させて第２のターンテーブル11
のディスク受入れポジションd1に移載するものである。
この具体的な構成およびその関連構成と動作説明につい
ては、図２と図３を用いて説明を行う。
【００３８】図２に示すように、ディスク反転移載装置
８は、供給ロボット装置４の旋回アーム4Aの先端にある
吸着パッド4Bにより、スタックポール５に積載された最
上位のディスクｄを吸着保持して上昇し、旋回運動を行
って受渡しステージ6Bにてディスクｄの中心穴を中空中
心軸8Aに挿入させながら、ディスクｄの下面を支持して
受取る。そして、受台8Bに配設された吸着パッド8Cによ
り吸着された後、回転中心軸8Dを中心に 180°回転して
ディスクｄを反転させ、裏返した状態でターンテーブル
１１のディスク受けポジションd2の受台11A 上に載置す
る。吸着パッド8Cは回転中心軸8Dのから、ディスク反転
移載装置８の中空部を介して吸引されている。
【００３９】ここでは、受台8Bを内空の筒状にしたた
め、回転中心軸8Dの側の中空中心軸8A近傍が空洞になっ
ており、したがって、吸着パッド8Cをできる限りディス
クの内側に設けても、ディスク反転移載装置８は固定で
あるその中空中心軸8Aに接触せずに回転することができ
る。なお、回転中心軸8Dが水平方向に配置されている場
合には、回転中心軸8Dと反対側の中空中心軸8A近傍を空
洞にすることにより、ディスク反転移載装置８を中空中
心軸8Aに接触せずに回転することができる。吸着パッド
8Cは、できる限りディスクの内側に設けることが好まし
く、またディスク反転移載装置８の回転を考慮して図３
に示すような構造で受台8B内に配設されている。
【００４０】ディスク重なり検出手段10は、固定の中空
中心軸8Aの中空部8A' に配設され、ディスクd の中心穴
の内径端面を検出してディスクの重なりの有無を検出す
るものである。ディスク反転移載装置８とは別体のもの
として中空中心軸8Aで固定されているので、ディスク反
転移載装置８と共に回転しない。なお、できる限りディ
スクの内側で吸引することにより、ディスクｄに歪みが
あってもそのレベルを所定位置に保って、ディスク重な
り検出を精確に行うことができる。
【００４１】図３において、２枚重なったディスクd ，
d'が受台8B上に置かれている。ディスク重なり検出手段
10としては反射形の光電センサを用い、上下位置及び感
度調整により１枚目のディスクd だけの場合には検出さ
れないように設定される。ディスクd ，d'の中心位置Ｃ
は、ディスクd ，d'の中心穴の内径と中空中心軸8Aの外
径との間隙が 0.1mm程度であるので、ディスクd ，d'の
中心穴が中空中心軸8Aに入ることにより決定される。ま
た、ディスクの上下位置は、ディスクが受台8Bの上部に
当接することにより決定される。このように、ディスク
の内側を検出しているので、ディスクにひずみなどがあ
っても、外側に比べて内側に行くほどひずみが小さいと
いうことと、ディスクd ，d'はその各々の内径面の厚み
が1.2mmあるということから、確実にディスクの重なり
を検出することができる。
【００４２】このことにより、ディスク重なり検出手段
10はディスクの重なりがない場合には、ディスクd'が検
出されないのでオフ状態になり、また重なった場合には
ディスクd'が検出されるのでオン状態となり、ディスク
反転移載装置８の動作が停止されると共に、信号処理に
より警報、排除等の適切な対応をとることができる。デ
ィスクが重なっていないことが確認されたディスクは、
ディスク反転移載装置８の吸着パッド8Cによってその下
面を吸着され、図２に示すように、ディスク反転移載装
置８により裏返しにされて、ターンテーブル11のディス
ク受けポジションd2の受台11A に載置される。ところ
で、ディスクが被塗布面を上に向けてスタックポール５
に積載される場合には、ディスクの反転が不要になるの
で、ディスク反転移載装置８の代わりに移載アームが設
置されることになる。この場合でもディスク重なり検出
手段10はそのまま設置され、有効に機能する。
【００４３】ターンテーブル11のディスク受けポジショ
ンd2の受台11A に載置されディスクd は、第２のターン
テーブル11の回転に伴い、ポジションd3に運ばれ、その
位置でスパッタ成膜装置12においてディスク基板のピッ
トを有する表面に，反射膜としてアルミニウム膜がスパ
ッタリング，または蒸着により形成される。ターンテー
ブル11上のディスクd は、バー状移載アーム12A の両端
に真空吸着パッド( 図示せず) を有するスパッタ成膜装
置12により、ポジションd3でスパッタ成膜装置12の真空
チャンバ( 図示せず) 内に移載される。このとき成膜処
理の施されたディスクも同時に、スパッタ成膜装置12か
らターンテーブル11のポジションd3に移載される。
【００４４】そして、金属反射膜の形成されたディスク
d は、第２のターンテーブル11の回転に伴い塗料供給ポ
ジションd4に搬送され、そこで塗料供給器13により保護
膜形成用の塗料が供給される。この塗料の供給について
は改善された方法を図４を用いて説明を行う。塗料供給
器13において改善された点は、塗料供給のための所要時
間を短縮するため、このディスク被膜形成装置１が動作
状態あるときには、常に塗料供給器13の塗料供給のズル
13A をおよそ40〜120rpmの範囲の一定回転数で回転させ
ているところにある。
【００４５】同図において、(a) は塗料供給ノズル13A
が鎖線矢印で示す方向に一定速度でほぼ１回転ながら塗
料をディスクd に供給し終えた状態を示す。この状態で
はディスクd の中央穴を中心にして輪状の厚い塗料液膜
T が形成される。(b) は塗料供給ノズル13A が同様に回
転を継続し、第２のターンテーブル11がディスクの搬送
のため回転している状態を示す。(c) は塗料供給ノズル
13A が同様に回転を継続し、次のディスクd が塗料供給
ポジションd4に到着した状態を示す。そして、ディスク
d が塗料供給ポジションd4に到着し、第２のターンテー
ブル11の回転が停止するとほぼ同時に、塗料供給ノズル
13A からディスクd 上に塗料が滴下される。このこと
は、塗料供給ノズル13A が常に一定速度で回転している
から可能となるのである。塗料供給ノズル13A が塗料を
供給しながら一定速度でほぼ１回転した時点で塗料の供
給を停止し、再び（a)に戻る。しかし、料供給ノズル13
A は回転を継続する。
【００４６】塗料の供給されたディスクd は、第２のタ
ーンテーブル11のワンピッチ毎の回転に伴い、ディスク
渡しポジションd5に搬送される。第２のターンテーブル
11の比較的近い位置には一対の通常のスピン振り切り器
17と17' が備えられる。これらスピン振り切り器17と1
7' のスピン部の中心と、ディスク渡しポジションd5に
あるディスクの中心とは二等辺３角形を形成し、そのデ
ィスクの中心が二等辺３角形の頂点となるように、それ
ぞれ配置されている。
【００４７】一対のスピン振り切り器17と17' の中間に
ディスク移載装置15が備えられる。このディスク移載装
置15は、単一の駆動源( 図示せず) で上下運動と旋回運
動を行う一対の移載アーム15a,15b を有する。これら一
対の移載アーム15a,15b の長さが等しいのは勿論のこ
と、比較的短く、かつ移載アーム15a,15b の旋回運動時
にはその吸着機構が前記二等辺３角形のある頂点と別の
頂点との間を通過できるような構成になっている。つま
り、前記二等辺３角形の各頂点は移載アーム15a,15b の
旋回運動で描かれる円弧上に存在する。そして高速化の
ため、移載アーム15a,15b の旋回運動で描かれる円弧上
において、移載アーム15a,15b の吸着機構間の円弧の長
さは、スピン振り切り器17と17' のスピン部の中心と、
ディスク渡しポジションd5にあるディスクの中心との間
のそれぞれの円弧の長さと等しい。
【００４８】したがって、単一の駆動源による駆動であ
っても、移載アーム15a がターンテーブル11のポジショ
ンd5にあるとき、移載アーム15b はスピン振り切り器1
7' にあるので、ポジションd5のディスクの吸着保持と
スピン振り切り器17' へのディスクの移載とを同時に行
える。また、移載アーム15b がターンテーブル11のポジ
ションd5にあるとき、移載アーム15a はスピン振り切り
器17にあるので、ポジションd5のディスクの吸着保持と
スピン振り切り器17へのディスクの移載とを同時に行え
る。つまり、移載アーム15a,15b が鎖線矢印方向に交互
に旋回運動することにより、ターンテーブル11のポジシ
ョンd5に搬送されて来たディスクd を交互にスピン振り
切り器17と17' に高速で移載することができる。このこ
とは、塗料供給装置13によりディスク上に輪状に供給さ
れた液膜の形状が変形する割合を小さくし、ディスク面
に高品質の薄い液膜を形成するのを助ける。
【００４９】次に第３のターンテーブル25のディスク受
取ポジションd6の中心は、スピン振り切り器17と17' の
それぞれのスピン部の中心と別の二等辺３角形を形成す
る。この発明では前述理由から移載アーム15a,15b の旋
回距離をできるだけ短くし、その分、スピンされた後の
ディスク面の薄膜に対する影響の小さいディスク移載装
置19の移載アーム19a,19b の旋回距離を長くした。つま
り、ディスク移載装置19の移載アーム19a,19b はディス
ク移載装置15の移載アーム15a,15b に比べて長さが長
く、移載アーム間の開角も大きい。また、ディスク移載
装置19の移載アーム19a,19b も、ディスク移載装置15の
移載アーム15a,15b と同様に、移載アーム19a,19b の旋
回運動で描かれる円弧上において、移載アーム19a,19b
の吸着機構間の円弧の長さは、スピン振り切り器17と1
7' のスピン部の中心と、ディス受取りポジションd6の
中心との間のそれぞれの円弧の長さと等しい。そして、
移載アーム19a,19b は鎖線矢印方向に交互に旋回運動す
ることにより、スピン振り切り器17と17' それぞれのデ
ィスクd をターンテーブル27のポジションd6に交互に移
載する。
【００５０】ターンテーブル25のポジションd6に移載さ
れたディスクd は、従来の場合と同様にターンテーブル
27が間欠的に回転する過程で、紫外線照射部23により紫
外線照射を受け、その薄い液膜が硬化され被膜が完成す
る。そしてターンテーブル27のディスク受渡しポジショ
ンd7で、ディスクd はディスク移載装置15又は19と同様
な構成のディスク移載装置28により、ディスク検査装置
35に移載される。このディスク検査装置35では、例えば
特開平6-139624号明細書に記述されているような種々の
検査が行われる。なおここで、移載アーム37はディスク
の冷却に関して用いられるものである。つまり、射出機
で射出成形されたディスクの温度は高く、この装置のよ
うに高速で動作する場合には、ディスク検査装置35に送
られてくるデスクの温度も未だ冷えておらず、ディスク
の温度で左右されるような検査項目については正確に検
査できない。したがって、このような検査項目する前
に、ディスク検査装置35の検査ポジションd8に移載され
たディスク１枚をあらかじめ単一の移載アームをもつデ
ィスク移載装置37により冷却ポジションd9に置き、一定
時間冷却した後にディスク移載装置37により検査ポジシ
ョンd8に戻して検査を行う。
【００５１】ディスク検査が終了したディスクは、ディ
スク移載装置28により良否判別ポジションd10 に移され
る。ポジションd10 において、ディスクは受台39上に載
置される。ここで、ディスク検査装置35からの判定信号
が入り、不良判定のときには単一アームをもつディスク
排出ロボット装置30がそのディスクを吸着して時計方向
に旋回し、ターンテーブル41上に配置してある不良品用
スタックポール43に積み重ねる。良品判定のときは、第
４のターンテーブル31のポジションd11 に予め人手にて
載置されている空のスタックポール45に、排出ロボット
装置29により自動的に積み重ねられる。ポジションd11
のスタックポール45に予定数のディスクが積載される
と、ターンテーブル31は所定角度回転してポジションd1
1 に別の空のスタックポールを配置する。予定数のディ
スクが集積されたスタックポールは、空のスタックポー
ルと交換される。被膜が形成される通常のディスクにつ
いては以下このような動作が繰り返される。
【００５２】以上の説明から被膜が形成される通常のデ
ィスクについての動作は、容易に理解できるであろうか
ら説明するのを省略し、次にインフォメーションディス
クとサンプルディスクについての動作説明を行う。先ず
インフォメーションディスクについて説明すると、イン
フォメーションディスクは前述したように処理されるデ
ィスクの内容、ロット番号などの内容が書き込まれた生
産管理用ディスクであるので、金属被膜の形成、塗膜の
形成、検査の各工程は不要であるが、最終的に取り出さ
れるスタックポール45の最上位に積載される必要があ
る。
【００５３】したがって、先ず第１のターンテーブル３
上のポジションd1のスタックポール５における積載され
たディスクの最も上に載っているインフォメーションデ
ィスクを、供給ロボット装置４により一旦、インフォメ
ーション載置ステージ6Aに載置する。そして前述のよう
にして供給ロボット装置４が当該スタックポール５の最
下位に積載されていたディスクを受渡しステージ6Bでデ
ィスク反転移載装置８に渡すと、今度は供給ロボット装
置４は第１のターンテーブル３上のポジションd1に戻ら
ず、インフォメーション載置ステージ6Aに載置されたイ
ンフォメーションディスクを吸着して、受渡しステージ
6Bでディスク反転移載装置８に渡す。
【００５４】供給ロボット装置４がこの動作を行うと
き、インフォメーションディスクに対しては、スパッタ
成膜装置12の成膜動作、塗料供給器13の塗料供給動作、
スピン振り切り器17と17' のスピン振り切り動作、及び
ディスク検査装置35のディスク検査は行われず、搬送と
移載動作だけが行われて、ターンテーブル31のポジショ
ンd11 のスタックポール45に積載されたディスクの上、
つまり最上位に移載されるように、各装置の動作につい
てあらかじめプログラミングされている。そしてインフ
ォメーションディスクが移載されると、ターンテーブル
31は所定角度回転し、ポジションd11 には別の空のスタ
ックポールが配置される。
【００５５】上述ではインフォメーションディスクにつ
いての代表的な一実施例を述べたが、インフォメーショ
ン載置ステージ6Aは前記位置に限らず、鎖線で示すよう
にディスク排出ロボット装置30が旋回する軌跡の任意の
位置にインフォメーション載置ステージ6A' を配置して
も良い。この場合には、第１のターンテーブル３のスタ
ックポール５の最上位のディスクをインフォメーション
ディスクとして認識し、当該スタックポール５の一番最
初に搬送されてくるディスクに対しては前述のように搬
送と移載動作を行うだけで、ディスク排出ロボット装置
30が最初に送られて来るディスクをインフォメーション
載置ステージ6A' に載置する。そして、第１のターンテ
ーブル３のスタックポール５の最下位のディスクがター
ンテーブル31のポジションd11 のスタックポール45に積
載されると、ディスク排出ロボット装置30がインフォメ
ーション載置ステージ6A' 上のディスクを、スタックポ
ール45に積載されたディスクの上、つまり最上位に移載
する。また、以上のインフォメーションディスクに関す
る記載は、従来のような搬送機構をもった装置、あるい
はスピン振り切り器が単一の装置でも同じように適用で
きることは明らかである。
【００５６】次にサンプルディスクについて説明する
と、前述のようなサンプルディスクは人手によって所定
枚数（通常、５〜１０枚程度）サンプルディスク供給ス
テージ4Cに載置される。これは、スタンパ交換後の成形
機の運転で作られるディスクが規格通りできているか否
かを稼働前に検査するものであるから、第１のターンテ
ーブル３上のポジションd1のスタックポール５に積載さ
れたディスクの処理を継続して行っている最中に、図示
しない別の射出成形機におけるスタンパ交換後の成形デ
ィスクが規格通りできているか否かを早急に検査したい
場合がしばしば発生する。
【００５７】この場合にはサンプルディスク処理用のボ
タン（図示せず）を押すことにより、第１のターンテー
ブル３上のポジションd1のスタックポール５に積載され
たディスクの移載が一旦中断される。つまり、作業者が
サンプルディスク処理用のボタンを押すことにより、供
給ロボット装置４はスタックポール５に積載されたディ
スクの移載を中断し、サンプルディスク供給ステージ4C
のサンプルディスクを受渡しステージ6Bでディスク反転
移載装置８に渡す。サンプルディスクは被膜形成される
通常のディスクと同様な工程を経て、排出ロボット装置
29により良品はサンプルディスク排出ステージ47に置か
れる。また、不良品は排出ロボット装置29により不良品
用スタックポール43に積み重ねて載置される。この際、
排出ロボット装置29は供給ロボット装置４がサンプルデ
ィスク供給ステージ4Cのサンプルディスクを移載する動
作のタイミングに合わせて、自動的にサンプルディスク
を判別してサンプルディスク排出ステージ47に排出す
る。
【００５８】そして、サンプルディスク供給ステージ4C
上のサンプルディスクがすべて移載されてしまうと、自
動的に通常の被膜形成工程に戻り、供給ロボット装置４
はスタックポール５に積載されたディスクを受渡しステ
ージ6Bでディスク反転移載装置８に渡す動作を再開す
る。これら動作は、第２のターンテーブル11の各位置に
ディスクが存在するように途切れることなく連続して行
われる。また、以上のサンプルディスクに関する記載
は、従来のような搬送機構をもった装置、あるいはスピ
ン振り切り器が単一の装置でも同じように適用できるこ
とは明らかである。
【００５９】なお、以上の説明では塗料供給器の塗料供
給ノズルを一定回転速度で回転させたが、同様にして前
記第２のターンテーブルにおけるディスクが載置される
受台を一定速度で回転させても同様な効果が得られる。
その受台の回転については、各受台ごとに小型モータを
備えることにより容易に達成される。
【００６０】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば下記の
ような効果を奏する。 (1) ２台のスピン振り切り器17、17' に対して、前述の
ような特徴をもつ２本の移載アームをそれぞれ有する単
一のディスク移載装置を２台用いて、ディスクの受渡し
と引渡しを行っているので、ディスク移載装置の簡略化
はもちろんのこと、装置の小型化、高速化、低価格化が
でき、塗膜の品位を向上させることが可能である。
【００６１】(2) この装置の稼働中には、塗料供給器の
塗料供給ノズルが常時一定速度で回転しているので、料
供給器13の塗料供給ノズルからディスクに塗料を供給す
る場合、ディスクが塗料供給ポジションに来ると、直ち
に塗料を供給してドーナッツ状の液膜を形成することが
できるので、被膜の均一化と装置の高速化を向上させる
ことができる。
【００６２】(3) 被膜の形成されるディスクとは別に、
生産管理用の情報を含むインフォメーションディスクを
スタックポールに載せたまま扱うことができ、被膜を形
成することなく、自動的に積載ディスクの一番上に載せ
て取り出すことができる。
【００６３】(4) また、規格通りできているか検査用の
サンプルディスクを、通常の被膜形成作業中に、割り込
ませて被膜形成を行うことができ、通常のディスクとは
別にして取り出すことが可能である。
【００６４】(5) ディスクの被膜形成面にチリなどが付
着するのを極力避けるために、スタックポールには裏面
を上にしてディスクを積載する場合に、この実施例では
ディスクの面を反転して供給する機構を備えているの
で、十分に対応できる。
【００６５】(6) ひずみが小さいディスクの中央穴側か
らディスクが重なっているか否か検出しているので、正
確にディスクの重なりを検出でき、ディスクおよび時間
などを無駄を省くことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるディスク用被膜形成装置の一実
施例を示す図である。
【図２】本発明にかかる装置の一部分である反転機構の
一実施例を示す図である。
【図３】本発明にかかる装置の一部分である重なり機構
の一実施例を示す図である。
【図４】本発明にかかる装置における塗料の供給を説明
するための図である。
【図５】従来のディスク用被膜形成装置の一例を示す図
である。
【図６】ディスクを積載するスタックポールの一例を示
す図である。
【符号の説明】
１…ディスク用被膜形成装置 ２…ディスクリフタ ３…第１のターンテーブル ４…ディスク供給ロ
ボット ５…スタックポール 6A,6A'…インフォメーションディスク載置ステージ 6B…受渡しステージ 6C…サンプルディス
ク供給ステージ ８…ディスク反転移載装置 11…第２のターンテ
ーブル 12…スパッタ成膜装置 13…塗料供給器 17,17'…スピン振り切り器 15…ディスク移載装
置 19…ディスク移載装置 21…被膜硬化装置 23…紫外線照射部 25…遮光カバー 27…第３のターンテーブル 28…ディスク移載装
置 30…ディスク排出ロボット 31…第４のターンテ
ーブル 33…スタックポール 35…ディスク検査装
置 37…ディスク移載アーム 39…受台 41…ターンテーブル 43…スタックポール 45…スタックポール 47…サンプルディス
ク排出ステージ
フロントページの続き (72)発明者 琴寄 正彦 東京都豊島区高田１丁目18番１号 オリジ ン電気株式会社内 (72)発明者 山口 勝美 東京都豊島区高田１丁目18番１号 オリジ ン電気株式会社内

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ほぼ一定間隔でディスクが載置されるポジ
    ションを複数備えて間欠的に回転するターンテーブル
    と、 該ターンテーブルの塗料供給ポジションに位置するディ
    スクに塗布液を供給する塗料供給器と，塗料の供給され
    た前記ディスクを高速回転させて余分な塗料を振り切る
    スピン部を備えるスピン振り切り器と、 前記塗料の供給された前記ディスクを前記ターンテーブ
    ルの移載ポジションから前記スピン振り切り器へ移載す
    る移載アームを備える第１のディスク移載装置と，前記
    スピン振り切り器において余分な塗料を振り切り処理さ
    れたディスク上の被膜を硬化させる被膜硬化装置と、 前記スピン振り切り器から前記ディスクを前記被膜硬化
    装置に移載する移載アームを備える第２のディスク移載
    装置と、を備えてなるディスク用被膜形成装置におい
    て，前記スピン振り切り器は１対備えられ、また前記第
    １のディスク移載装置はある角度で開いた一対の移載ア
    ームを備え、前記ターンテーブルの前記移載ポジション
    は前記一対のスピン振り切り器の前記スピン部とほぼ２
    等辺３角形を形成する位置にあって、前記第１のディス
    ク移載装置が前記ターンテーブルの移載ポジションのデ
    ィスクを前記一対の前記スピン振り切り器へ交互に供給
    することを特徴とするディスク用被膜形成装置。
  2. 【請求項２】ほぼ一定間隔でディスクが載置されるポジ
    ションを複数備えて間欠的に回転するターンテーブル
    と、 該ターンテーブルの塗料供給ポジションに位置するディ
    スクに塗布液を供給する塗料供給器と，塗料の供給され
    た前記ディスクを高速回転させて余分な塗料を振り切る
    スピン部を備えるスピン振り切り器と、 前記塗料の供給された前記ディスクを前記ターンテーブ
    ルの移載ポジションから前記スピン振り切り器へ移載す
    る移載アームを備える第１のディスク移載装置と，前記
    スピン振り切り器において余分な塗料を振り切り処理さ
    れたディスク上の被膜を硬化させる被膜硬化装置と、 前記スピン振り切り器から前記ディスクを前記被膜硬化
    装置に移載する移載アームを備える第２のディスク移載
    装置と、を備えてなるディスク用被膜形成装置におい
    て，前記スピン振り切り器は１対備えられ、前記第２の
    ディスク移載装置は一対の移載アームを備え、前記被膜
    硬化装置は前記一対のスピン振り切り器から前記ディス
    クを受け取る受取りポジションを有する別のターンテー
    ブルを備え、該受取りポジションは前記一対のスピン振
    り切り器の前記スピン部とほぼ２等辺３角形を形成する
    位置にあって、前記第２のディスク移載装置が前記一対
    の前記スピン振り切り器から前記ディスクを前記別のタ
    ーンテーブルの受取りポジションへ交互に移載すること
    を特徴とするディスク用被膜形成装置。
  3. 【請求項３】前記第１のディスク移載装置の一対の移載
    アームの形成する角度は前記第２のディスク移載装置の
    一対の移載アームの形成する角度よりも小さく、かつ前
    記第１のディスク移載装置の一対の移載アームは前記第
    ２のディスク移載装置の一対の移載アームよりも短いこ
    とを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載
    のディスク用被膜形成装置。
  4. 【請求項４】ほぼ一定間隔でディスクが載置されるポジ
    ションを複数備えて間欠的に回転するターンテーブル
    と、 該ターンテーブルの塗料供給ポジションに位置するディ
    スクに塗布液を供給する塗料供給器と，塗料の供給され
    た前記ディスクを高速回転させて余分な塗料を振り切る
    スピン部を備えるスピン振り切り器と、 前記塗料の供給された前記ディスクを前記ターンテーブ
    ルの移載ポジションから前記スピン振り切り器へ移載す
    る移載アームを備える第１のディスク移載装置と，前記
    スピン振り切り器において余分な塗料を振り切り処理さ
    れたディスク上の被膜を硬化させる被膜硬化装置と、 前記スピン振り切り器から前記ディスクを前記被膜硬化
    装置に移載する移載アームを備える第２のディスク移載
    装置と、を備えてなるディスク用被膜形成装置におい
    て，前記ターンテーブルの回転に伴って前記ディスクが
    塗料供給ポジションに来るとき、前記塗料供給器の塗料
    供給ノズルが一定速度で回転しており、その状態で前記
    ディスクに塗布液を供給することを特徴とするディスク
    用被膜形成装置。
  5. 【請求項５】ほぼ一定間隔でディスクが載置されるポジ
    ションを複数備えて間欠的に回転するターンテーブル
    と、 該ターンテーブルの塗料供給ポジションに位置するディ
    スクに塗布液を供給する塗料供給器と，塗料の供給され
    た前記ディスクを高速回転させて余分な塗料を振り切る
    スピン部を備えるスピン振り切り器と、 前記塗料の供給された前記ディスクを前記ターンテーブ
    ルの移載ポジションから前記スピン振り切り器へ移載す
    る移載アームを備える第１のディスク移載装置と，前記
    スピン振り切り器において余分な塗料を振り切り処理さ
    れたディスク上の被膜を硬化させる被膜硬化装置と、 前記スピン振り切り器から前記ディスクを前記被膜硬化
    装置に移載する移載アームを備える第２のディスク移載
    装置と、を備えてなるディスク用被膜形成装置におい
    て，前記ターンテーブルの回転に伴って前記ディスクが
    前記塗料供給ポジションに来るとき、その塗料供給ポジ
    ションで前記ディスクは一定速度で回転しており、その
    状態で前記塗料供給器が前記ディスクに塗布液を供給す
    ることを特徴とするディスク用被膜形成装置。
  6. 【請求項６】ほぼ一定間隔でディスクが載置されるポジ
    ションを複数備えて間欠的に回転するターンテーブル
    と、 該ターンテーブルの塗料供給ポジションに位置するディ
    スクに塗布液を供給する塗料供給器と，塗料の供給され
    た前記ディスクを高速回転させて余分な塗料を振り切る
    スピン部を備えるスピン振り切り器と、 前記塗料の供給された前記ディスクを前記ターンテーブ
    ルの移載ポジションから前記スピン振り切り器へ移載す
    る移載アームを備える第１のディスク移載装置と，前記
    スピン振り切り器において余分な塗料を振り切り処理さ
    れたディスク上の被膜を硬化させる被膜硬化装置と、 前記スピン振り切り器から前記ディスクを前記被膜硬化
    装置に移載する移載アームを備える第２のディスク移載
    装置と、を備えてなるディスク用被膜形成装置におい
    て，ディスクを多数枚積み重ねて保持し得るスタックポ
    ールがディスク供給側に備えられ、該スタックポールに
    積載された前記ディスクの最上位の１枚ないしは所定枚
    数を一旦停留させるためのディスク載置ステージをディ
    スク供給側に備え、該ディスク載置ステージに載置され
    た前記ディスクは、前記スタックポールに積載された前
    記ディスクの最下位に位置するディスクが前記ターンテ
    ーブルのディスク受入れポジションに移載された後にそ
    のディスク受入れポジションに移載され、処理が施され
    ることなく排出されることを特徴とするディスク用被膜
    形成装置。
  7. 【請求項７】ほぼ一定間隔でディスクが載置されるポジ
    ションを複数備えて間欠的に回転するターンテーブル
    と、 該ターンテーブルの塗料供給ポジションに位置するディ
    スクに塗布液を供給する塗料供給器と，塗料の供給され
    た前記ディスクを高速回転させて余分な塗料を振り切る
    スピン部を備えるスピン振り切り器と、 前記塗料の供給された前記ディスクを前記ターンテーブ
    ルの移載ポジションから前記スピン振り切り器へ移載す
    る移載アームを備える第１のディスク移載装置と，前記
    スピン振り切り器において余分な塗料を振り切り処理さ
    れたディスク上の被膜を硬化させる被膜硬化装置と、 前記スピン振り切り器から前記ディスクを前記被膜硬化
    装置に移載する移載アームを備える第２のディスク移載
    装置と、を備えてなるディスク用被膜形成装置におい
    て，ディスクを多数枚積み重ねて保持し得るスタックポ
    ールがディスク供給側に備えられ、該スタックポールに
    積載された前記ディスクの最上位の１枚ないしは所定枚
    数を一旦停留させるためのディスク載置ステージをディ
    スク排出側に備え、処理が施されることなく搬送・移載
    されて前記ディスク載置ステージに載置された前記最上
    位の１枚ないしは所定枚数のディスクは、前記スタック
    ポールに積載された前記ディスクの最下位に位置するデ
    ィスクが処理されて排出側のスタックポールに積載され
    た後に、その上に移載されることを特徴とするディスク
    用被膜形成装置。
  8. 【請求項８】前記ディスク載置ステージに載置された前
    記ディスクは、ディスクの内容およびロット情報などを
    表示するためのインフォーメーションディスクであり、
    該インフォーメーションディスクは被膜形成処理を施さ
    れることなく、前記被膜硬化装置の後段のディスク排出
    ステージから取り出されることを特徴とする請求項６又
    は請求項７のいずれかに記載のディスク用被膜形成装
    置。
  9. 【請求項９】ほぼ一定間隔でディスクが載置されるポジ
    ションを複数備えて間欠的に回転するターンテーブル
    と、 該ターンテーブルの塗料供給ポジションに位置するディ
    スクに塗布液を供給する塗料供給器と，塗料の供給され
    た前記ディスクを高速回転させて余分な塗料を振り切る
    スピン部を備えるスピン振り切り器と、 前記塗料の供給された前記ディスクを前記ターンテーブ
    ルの移載ポジションから前記スピン振り切り器へ移載す
    る移載アームを備える第１のディスク移載装置と，前記
    スピン振り切り器において余分な塗料を振り切り処理さ
    れたディスク上の被膜を硬化させる被膜硬化装置と、 前記スピン振り切り器から前記ディスクを前記被膜硬化
    装置に移載する移載アームを備える第２のディスク移載
    装置と、を備えてなるディスク用被膜形成装置におい
    て，前記ターンテーブルの受入れポジションに前記ディ
    スクを１枚づつ供給するディスク供給装置を備え、該デ
    ィスク供給装置はサンプルディスク供給ステージを備
    え、前記スタックポールに積載されたディスクの通常の
    処理動作をスイッチ操作で選択的に中断した後、前記サ
    ンプルディスク供給ステージからサンプルディスクを前
    記ターンテーブルの受入れポジションに供給し、再び自
    動的に又はスイッチ操作で前記スタックポールに積載さ
    れたディスクの通常の処理動作を行うことを特徴とする
    ディスク用被膜形成装置。
  10. 【請求項１０】ほぼ一定間隔でディスクが載置されるポ
    ジションを複数備えて間欠的に回転するターンテーブル
    と、 該ターンテーブルの塗料供給ポジションに位置するディ
    スクに塗布液を供給する塗料供給器と，塗料の供給され
    た前記ディスクを高速回転させて余分な塗料を振り切る
    スピン部を備えるスピン振り切り器と、 前記塗料の供給された前記ディスクを前記ターンテーブ
    ルの移載ポジションから前記スピン振り切り器へ移載す
    る移載アームを備える第１のディスク移載装置と，前記
    スピン振り切り器において余分な塗料を振り切り処理さ
    れたディスク上の被膜を硬化させる被膜硬化装置と、 前記スピン振り切り器から前記ディスクを前記被膜硬化
    装置に移載する移載アームを備える第２のディスク移載
    装置と、を備えてなるディスク用被膜形成装置におい
    て，前記ターンテーブルの受入れポジションに前記ディ
    スクを１枚づつ供給するディスク供給装置を備え、該デ
    ィスク供給装置には前記ディスクを吸着しながら反転
    し、移載を行うディスク反転移載装置を備え、反転され
    たディスクを前記ターンテーブルの受入れポジションに
    供給することを特徴とするディスク用被膜形成装置。
  11. 【請求項１１】ほぼ一定間隔でディスクが載置されるポ
    ジションを複数備えて間欠的に回転するターンテーブル
    と、 該ターンテーブルの塗料供給ポジションに位置するディ
    スクに塗布液を供給する塗料供給器と，塗料の供給され
    た前記ディスクを高速回転させて余分な塗料を振り切る
    スピン部を備えるスピン振り切り器と、 前記塗料の供給された前記ディスクを前記ターンテーブ
    ルの移載ポジションから前記スピン振り切り器へ移載す
    る移載アームを備える第１のディスク移載装置と，前記
    スピン振り切り器において余分な塗料を振り切り処理さ
    れたディスク上の被膜を硬化させる被膜硬化装置と、 前記スピン振り切り器から前記ディスクを前記被膜硬化
    装置に移載する移載アームを備える第２のディスク移載
    装置と、を備えてなるディスク用被膜形成装置におい
    て，前記ターンテーブルの受入れポジションに前記ディ
    スクを１枚づつ供給するディスク供給装置を備え、該デ
    ィスク供給装置は前記ディスクの中央穴の端面の厚みを
    利用してディスクの重なりを検出するセンサを備えたこ
    とを特徴とするディスク用被膜形成装置。
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