JPH03227251A - 多色ルーフシューター型印字ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、単色または多色ルーフシュータ−型印字ヘッ
ド、より詳細には４色ルーフシュータ−型印字ヘッドに
関するものである。また本発明は、単色または多色サー
マルインクジェット印字ヘッドの複数の発熱体の動作を
制御するため、スイッチング回路網を使用している。

従来の技術 ドロップオンデマンド式サーマルインクジェット印字ヘ
ッドには、太き（分けて２つの形態がある。１つは、た
とえば米国特許第４，６０１，７７７号に開示されてい
る印字ヘッドのように、印字ヘッドの気泡発生用発熱体
の表面と平行に、かつインクチャンネル内のインクの流
れと平行な方向に、ノズルからインチ滴を発射するもの
である。この形態は、「サイドシュータ−」とも呼ばれ
る。他の１つは、たとえば米国特許第４　、５６８　、
９５３号や同第４．７８９，４２５号に開示されている
印字ヘッドのように、気泡発生用発熱体の表面に垂直な
方向にノズルからインク滴を発射するものである。この
第２の形態は「ルーフシュータ−」とも呼ばれる。

ルーフシュータ−の多くは、発熱体板を貫通する通路を
通してノズルへインクを供給することが望ましい、印字
ヘッドと用紙が近接しているために他の設計アプローチ
が難しいので、これは最善の選択である。Ｈｅｗｌｅｔ
ｔ−Ｐａｃｋａｒｄ　ＣｏｍｐａｎｙからＴＨＩＮＫ　
ＪＥＴとして販売されているドロップオンデマンド式サ
ーマルインクジェットプリンタでは、印字ヘッドが発熱
体板とインク分配板から成っている。発熱体板は表面に
発熱体とアドレッシング電極が作られたガラス板である
。発熱体板を通してインク分配板の浅いリザーバへイン
クを供給するため、発熱体板にはドリルまたは等方性エ
ツチングで孔があけられる。インク分配板は三次元マン
ドレルの上にニッケルなどの物質を電鋳して作られる。

インク分配板のノズルは、電鋳工程を始める前にマンド
レル上に形成した厚膜レジストのスポットパターンによ
って形成される。発熱体板とインク分配板を整合して接
着すると、インク分配板の外形が、上記の浅いリザーバ
ーと、インク滴発射ノズルまでのインクチャンネルを形
成する。

インクはドリル孔またはエツチング孔を通って、発熱体
板の平面を横切り、アドレッシング電極を横切ってノズ
ルに向かって動く。この形態には、２つの大きな欠点が
ある。１つは、もしパッシベーション層にピンホールが
存在すれば、電極がインクにさらされることである。第
２は、電鋳によって作らなければならないので、インク
リザーバーが非常に浅いことである。浅いリザーバーは
ノズル内のインクを干上がらせる傾向があるので、ファ
ーストドロップ問題を起こす。

米国特許第４，７８９，４２５号に開示されている「ル
ーフシュータ−」型印字ヘッドでは、印字ヘッドがシリ
コン発熱体板とインク分配構造部材から成っている。発
熱体板は発熱体の直線アレイ、関連するアドレッシング
電極、および前記発熱体アレイと平行な細長いインク供
給溝孔を有する。インク分配構造部材は、少なくとも１
個の凹部、複数のノズル、および前記凹部内の複数の平
行壁を含んでいる。複数の平行壁はインクをノズルへ導
く個々のインクチャンネルを形成している。凹部と供給
溝孔は相互に通じていて、印字ヘッドの内部にインクリ
ザーバーを作っている。供給溝孔のインク保有容量は凹
部のそれよりも大きい、供給溝孔は異方性エツチングに
よって発熱体板内に位置決めされ、精密に形成される。

インク分配構造部材は、２層のフォトレジスト、２段フ
ラットニッケル電鋳、あるいは１フォトレジスト層と１
段フラットニッケル電鋳のいずれから作ることができる
。

基本となるルーフシュータ−型サーマルインクジェット
印字ヘッドの発熱体板を改造して、４色印字ヘッドを得
ることができる。多色印字ヘッドを製作する場合は、第
１図に示すように、発熱体板２８は各色（通常は、黒色
、マゼンタ色、シアン色および黄色）ごとに供給溝孔２
０と関連する発熱体アレイ３４を備えていなければなら
ない。

第１図に示した米国特許第４，７８９，４２５号に記載
されている「受動抵抗体アレイ」を使用する場合は、各
抵抗発熱体３４のリード線３３が供給溝孔２０のすぐそ
ばまで延びていなければならないし、各抵抗発熱体３４
にはその自身のアドレッシング電極３２が必要である。

発熱体の共通帰線３５は供給溝孔２０のすぐそばを走り
、アドレッシング電極３７で終わっている。多色の場合
は、各カラーアレイが互いに良好に一直線に並ぶように
、同一チップ上に配置することが望ましい。しかし、各
発熱体アレイが、各シリコンウェーハの上面に大きな表
面積（シリコン不動産と呼ばれる）を占めることが問題
である。

第２図は、受動抵抗体アレイを使用する４色ルーフシュ
ータ−型印字ヘッドを設計する方法の１つを示す。印字
ヘッドは２つのバンクに分けられる。各バンクは２個の
供給溝孔を有する（すなわち、第２図の上方の第１パン
クは黒色供給溝孔２０Ｂとマゼンタ色供給溝孔２０Ｍ、
下方の第２のバンクはシアン色供給溝孔２０Ｃと黄色供
給溝孔２０Ｙを有する）。この設計は、１個のウェーハ
チップＳに４個のカラーアレイを置（ことができるけれ
ども、２バンクであるから、プリンタは、１本の走査線
ではなく、２本の走査線に関する情報を記憶する必要が
ある。望ましいのは４個のカラーアレイの全部を１つの
バンク内に配置することであるが、すべてのリード線を
溝孔のそばまで延ばさなければならないため、内側のカ
ラーアレイがかなりの量のシリコン表面積を占めるから
、これは実現不能である。

米国特許第４　、７４６　、９３５号は、２道順序で加
重された体積をもつインク滴で印字することによる８レ
ベル中間調サーマルインクジェット印字方法および装置
を開示している。各色ごとに３側御組の加重滴発生器を
備えた４色ルーフシュータ−型印字ヘッドは、４色で８
レベル中間調印字を行うことができる。

米国特許第４，６３０，０７６号は、白色または透明イ
ンク滴を追加して発射する４色インクジェット印字ヘッ
ドを開示している。この印字ヘッドは各色ごとに複数の
ノズルを備えている。しかし、本発明の発熱体板の構造
は開示されていない。

米国特許第４，５４９．１９１号は、毛管作用を用いて
より高速でインク滴を供給できる多ノズル・ドロップオ
ンデマンド式インクジェット印字ヘッドを開示している
。この印字ヘッドは駆動トランスジューサを使用して滴
を発生させているが、本発明の多色印字ヘッド構造とは
異なる。

米国特許第４，７５０，００９号は、多色インクジェッ
ト印字ヘッドを開示している。この印字ヘッドは複数の
ノズル群を有し、各ノズル群は異なる色に使用される。

より鮮明度の高い文字をより高速で印字できるように、
あるノズル群を構成するノズルの数は他のノズル群より
多い。本発明はこの米国特許にも示唆されていない。

単色印字ヘッドに受動抵抗体アレイを使用する場合、幾
つかの不利益がある。第１図に示すように、受動抵抗体
アレイを使用して複数の発熱体３４をアドレスする場合
は、リード線を供給溝孔２０のそばまで延ばさなければ
ならない。このため、供給溝孔２０とチップ２８の端と
の間にかなりの隙間Ａが生じる。２個のチップを互いに
突き合わせてチップアレイを作ると（すなわち、ページ
幅印字ヘッドを製作する場合）、隣り合う供給溝孔２０
同士の隙間はＡの２倍になる。この結果、単位長さ当た
りのノズル数が減少するので、達成可能な解像度が大幅
に低下する。

発明が解決しようとする課題 本発明の第１の目的は、高品質、高速印字を行うのに適
した多色インクジェット印字ヘッドを提供することであ
る。

第２の目的は、カラーアレイが互いに良好に一直線に並
んだ多色ルーフシュータ−型サーマルインクジェット印
字ヘッドを提供することである。

第３の目的は、シリコンの不動産（表面積）を保存しな
がら、高品質、高速印字を行うことが可能な多色インク
ジェット印字ヘッドを提供することである。

第４の目的は、安価な４色使い捨てルーフシュータ−型
サーマルインクジェット印字ヘッドを提供することであ
る。

第５の目的は、高解像度の単色サーマルインクジェット
印字ヘッドを提供することである。

課題を解決するための手段 本発明は、各カラーアレイごとに、スイッチング回路網
たとえば能動ドライバーマトリックスを使用している。

スイッチング回路網の使用により、カラーアレイ内の各
発熱体をアドレスするのに必要なリード線の数が少なく
て済む、抵抗体とスイッチング回路網は従来使用された
受動抵抗器アレイよりも占有する表面積が小さいので、
本発明によれば、４個の異なるカラー印字ヘッドを１個
のチップすなわちウェーハに効率よ（配列することがで
きるので、シリコンの不動産（表面積）が保存される。

各カラーアレイに必要な表面積は従来のカラーアレイよ
り小さいので、１個のウェーハに、多数のカラーアレイ
たとえば４個のカラーアレイを１つのバンク内に配置す
ることができるから、プリンタは一度に１走査線に関す
る情報のみを記憶すればよい、さらに、４個のカラーア
レイの全部を１つのバンク内に配置することにより、４
個のカラーアレイをうまく一直線に配列することが可能
である。高品質、高速の４色インクジェットインクジェ
ットを製作するために必要なシリコンウェーハの表面積
を減らすことにより、製造コストが下がるので、使い捨
て４色刷印字ヘッドが可能である。また単色インクジェ
ット印字ヘッドにスイッチング回路網を使用することに
より、抵抗体のリード線をチップのそばまで延ばす必要
がないので、解像度または動作速度のより高い印字へラ
ドアレイを製作することが可能である。

次に添付図面を参照して、発明の詳細な説明する。

実施例 以下、４色印字ヘッドについて説明するが、本発明は、
１個またはそれ以上のカラーアレイたとえば単色または
多色カラーアレイに使用することができる。

第３図は、本発明の４色ルーフシュータ−型サーマルイ
ンクジェット印字ヘッドの発熱体板２８を示す。発熱体
板２日は、各カラーインク（黒色、マゼンタ色、シアン
色および黄色）がインク源からインクノズルへ流れる通
路として、インク供給溝孔２０Ｂ、２０Ｍ、２０Ｃ，２
０Ｙを有する。

これらの供給溝孔は、異方性エツチングで形成すること
が好ましいが、他の方法を用いてもよい。

発熱体板の上面には、各供給溝孔ごとに発熱体アレイ３
４Ｂ、３４Ｍ、３４Ｃ，３４Ｙが配置されている。完全
な印字ヘッドを作るため、発熱体板２８を組み立てると
、各発熱体はノズルと一直線に並ぶ、抵抗体すなわち発
熱体に電流が流れると、発熱体は接触しているインクを
蒸発させ、その力でノズルからインク滴を噴射させる。

受動抵抗体アレイ（各発熱体がそれ自身の個別アドレッ
シング電極（第１図参照）を必要とするもの）を使用す
る代わりに、本発明は各抵抗体アレイごとにスイッチン
グ回路網１５．２５．３５゜４５を使用する。スイッチ
ング回路網は、本発明の目的のため、決められた数の発
熱体に必要な接触パッドの敞を減らすあらゆる手段を言
う。たとえば、スイッチング回路網の１つのタイプは能
動ドライバーマトリックスである。これらの能動ドライ
バーマトリックスは各抵抗体アレイの各抵抗体にアドレ
スすることができるが、アドレスするために必要なアド
レッシング電極は少ないで済む。

第３図は、それぞれが８個のアドレッシング電極３２を
有するドライバーマトリックスを示す。

第３Ａ図は、１６個の発熱体のアレイに用いるスイッチ
ング回路網の１タイプを示す、各発熱体はゲートとソー
スをもつ駆動トランジスタを有する。第３Ａ図のマトリ
ックスの左側には、駆動トランジスタのゲート群をアド
レスする４個のゲートアドレッシングパッドＰＩ、Ｐ２
．Ｐ３．Ｐ４がある。たとえば、パッドＰ１は駆動トラ
ンジスタＴ１．Ｔ２．Ｔ３．Ｔ４のゲートＧｌ、Ｇ２゜
Ｇ３．Ｇ４をスイッチする。第３Ａ図のマトリックスの
右側には、駆動トランジスタのソースライン群をアドレ
スする４個のゲートアドレッシングパッドＰ５．Ｐ６．
Ｐ７．Ｐ８がある。たとえば、パッドＰ５は、駆動トラ
ンジスタＴ４．Ｔ８゜ＴＩ２．Ｔ１６のソースラインＳ
４．Ｓ８゜Ｓ１２．Ｓ１６をスイッチする。したがって
、発熱体Ｈ４を作動させたい場合には、アドレスパッド
Ｐ１とＰ５を起動して、発熱体Ｈ４だけを起動させる。

駆動トランジスタのソースライン群を使用する代わりに
、マトリックスの一部として、駆動トランジスタのドレ
インライン群を使用してもよい。

本発明の場合、能動ドライバーマトリックスと抵抗体ア
レイの組合せを「能動抵抗体アレイ」と呼ぶことにする
。能動ドライバーマトリックスと抵抗体アレイを組み合
わせることにより、必要な接触リード線が大幅に減るう
え、それらのリード線を供給溝孔のそばを通して外へ出
すことが可能になる。この結果、受動抵抗体アレイを使
用する従来のカラーアレイに比べて、供給溝孔／抵抗体
アレイ、能動ドライバーマトリックス、および接触リー
ド線を有する１個のカラーアレイが占めるシリコン不動
産（表面積）は小さいので、複数のカラーアレイを互い
に近接して配置することができ、したがって相対的な滴
の配置がより容易になる。

米国特許出願第０７／３３６　、６２４号（１９８９年
４月７日出１１ｉ）または米国特許第４，６５１，１６
４号に開示されている能動ドライバーマトリックスを本
発明に使用するとかできる。能動ドライバーマトリック
ス（少なくとも１個のドライバーチップを有する）を使
用すれば、各抵抗発熱体３４ごとに、アドレッシング電
極３２を設ける必要はない、その代わり、複数の抵抗体
からの電極が、能動ドライバーマトリックスの出力パッ
ドに接続された第１組のリード線に接続される。能動ド
ライバーマトリックスの信号パッドおよび接地パッドに
接続された第２組のリード線は、供給溝孔のそばに露出
される。第２組のリード線は、たとえばプリンタのキャ
リフジ上のドーター（娘）ボードに取りつけられたアド
レッシング電極３２を有する。このアドレッシング電極
３２は、印字ヘッドの作動を制御する制御信号を能動ド
ライバーマトリックスに与える。能動トイラバーマトリ
ックスに必要なアドレッシング電極３２の数は、制御す
る抵抗発熱体の数の平方根の約２倍である（すなわち、
８１個の発熱体には、９×９マトリツクスと１８個の電
極が必要である）。能動ドライバーマトリックスは、能
動ドライバーマトリックスを使用しない場合に必要な抵
抗発熱体リード線よりも必要な面積が小さいので、かな
りのシリコン不動産（表面積）が保存される。実際には
、１バンク内に４個のカラーアレイの全部があっても、
１個のシリコンチップ上に、４色印字ヘッドを製作する
ことができる。

これにより、高密度に配列したノズル孔および精密に配
列した発熱体アレイを有する４色ルーフシュータ−型印
字ヘッドを作ることが可能になった。

それに加えて、プリンタは１走査線に関する情報のみを
記憶すればよい。

本発明により、第４図に示した４色ルーフシュータ−型
サーマルインクジェット印字ヘッドを製作することがで
きる。印字ヘッドは、４個の発熱体アレイ３４Ｂ、３４
Ｍ、３４Ｃ，３４Ｙと４個の対応する細長い供給溝孔２
０Ｂ、２０Ｍ２０Ｃ，２０Ｙをもつ共通発熱体板２８（
第３図）と、発熱体板２８の上に重ねられた、４個のノ
ズルアレイ１２Ｂ、１２Ｍ、１２Ｃ，１２Ｙをもつ共通
チャンネル板１４　（第４図）とから成る。各発熱体ア
レイは、対応する供給溝孔のそばに配置されている。各
ノズルアレイ１２Ｂ、１２Ｍ。

１２Ｃ，１２Ｙは、発熱体板２８上の供給溝孔２０Ｂ、
２０Ｍ、２０Ｃ，２０Ｙの１つと通じている。各ノズル
アレイは隣のノズルアレイから隔離されており、各ノズ
ルアレイの各ノズル１２は対応する発熱体アレイの対応
する発熱体３４の上に一直線に並んでいる。（個々の発
熱体３４または供給溝孔２０は、チャンネル板１４によ
って不明確になるので、第４図には図示してない、）４
個の発熱体アレイ３４Ｂ、３４Ｍ、３４Ｃ。

３４Ｙは、４個の能動ドライバーマトリックス１５．２
５，３５．４５のうちの対応するマトリックスによって
個別にアドレスされ、駆動される。

各能動ドライバーマトリックスは、発熱体板２８の対応
する発熱体アレイのそばに配置されている。

（第４図には１．各能動ドライバーマトリックスの８個
のアドレッシング電極３２だけを図示してある、）各能
動ドライバーマトリックスは、第３図に示すように、供
給溝孔の位置と交互に発熱体板上に配置することができ
る。

全部の発熱体／ノズルアレイ（３４Ｂ、３４Ｍ。

３４Ｃ，３４Ｙ）に同じ色のインクを供給することによ
り、多アレイ単色印字ヘッドを、単一アレイの最大滴発
射周波数より４倍高い滴発射周波数で動作させることが
可能である。この理由は、印字ヘッドの走査方向に、１
本の走査線と列をなす４個の発熱体は、それぞれがその
走査線内の画素の１／４のみをアドレスすればよいから
である。

この概念は、複数の独立したサイドシュータ−型印字ヘ
ッドを使用している米国特許第４，８３３，４９１号（
１９８９年５月３日発行）に記載されている０本発明は
、複数のルーフシュータ−型発熱体／ノズルアレイが１
個の印字ヘッドと一体構造で作られている点が、上記米
国特許第４．８３３．４９１号とは異なる。米国特許出
願第３０３　、６２０号（１９８９年１月３０日出願）
は、「サイドシュータ−」方式の一体構造アレイの４色
または単色印字ヘッドを開示している。しかし、本発明
は、「ルーフシュータ−」型サーマルインクジェット印
字ヘッドである点が上記米国特許出願第３０３　、６２
０号とは異なる。

上記の代わりに、もし各発熱体／ノズルアレイが次の隣
接するアレイに対して１／４画素だけアレイの方向に順
次オフセットさせれば、一体構造の多アレイ単色印字ヘ
ッドを、単一アレイのアドレス可能な最大解像度の４倍
の解像度をもつことが可能である。たとえば、仮に単一
プレイの最大解像度が２００ノズル／インチとすれば、
４アレイ１／４画素ジグザグ配置単色印字ヘッドの最大
解像度は８００ノズル／インチになるであろう。

さらに、４個の供給溝孔のそれぞれが各供給溝孔の両側
に１個のアレイを備えていれば、発熱体／ノズルアレイ
の総数は８個で、アドレス可能最大解像度は供給溝孔の
片側の単一アレイの解像度の８倍である。前述のように
、これらの８個のアレイを使用すれば、印字ヘッドの動
作周波数を単一アレイの最大滴発射周波数より８倍速（
することができるであろう。

米国特許第４，７８９，４２５号は、本発明に応用でき
るルーフシエータ−型サーマルインクジェット印字ヘッ
ドの製作方法を開示している０本発明は、発熱体アレイ
を構成する集積回路網に、能動ドライバーマトリックス
を組み入れていれることにより、１個のシリコンチップ
に４組の発熱体アレイを製作できる点が上記米国特許第
４，７８９．４２５号とは異なる。

第５Ａ図〜第５Ｇ図は、１個のカラーアレイのみを示す
、本発明によって製作された発熱体板の一部の断面図で
ある。製作される各カラーアレイは同一であることがわ
かる。　（１００）シリコンウェーハ３６（第５Ａ図）
を入手し、その両面に窒化シリコンのマスク膜１５を堆
積する０次にエツチング口２９を通してアライメント孔
のパターンをウェーハの２または３か所に部分的に異方
性エツチングし、凹部３８が約２ミルすなわち５０ミク
ロンの深さに達したら、エツチングを停止する（第５Ｂ
図）。これらのアライメント孔は、発熱体板上に供給溝
孔２０と発熱体アレイ３４のパターンを精密に整合する
ために使用される、この結果、１個のウェーハから複数
個のウェーハチップを作ることができる（第５Ｅ図）。

次の工程（第５Ｃ図）で、アライメントマークとインク
供給溝孔パターンをもつマスクを整合し、アライメント
孔の凹部３８を含むウェーハ面に像形成を行う０次にア
ライメント孔３８がウェーハを完全に貫通し、ウェーハ
を覆っている透明なマスク膜１５のみが残るまで、再び
ウェーハを異方性エツチングし、そのあとウェーハの厚
さより約２ミルすなわち５０ミクロンだけ短い細長い供
給溝孔２０を残し、エツチングを停止する。２または３
個のアライメント孔（マスク膜で被覆された）を除いて
、ウェーハの表面３０は固体である。

次に、シリコンウェーハ３６の固体表面３０上のマスク
膜に、複数組の気泡発生用発熱体３４とその関連する電
極３２をパターニングする（第５Ｅ図）。本発明は、こ
れまで発熱体回路網を製作するために必要とされたほど
のシリコン表面積を必要としないので、１個のウェーハ
チップに、４個の供給溝孔とそれらの関連発熱体回路網
を製作することが可能である。電極３２と発熱体３４を
シリコンウェーへの固体表面にパターニングしたあと、
米国特許出願第０７／３３６　、６２４号（１９８９年
４月７日出ＩＩ）または米国特許第４，６５１，１６４
号に記載されている方法で、能動ドライバーマトリック
ス１５，２５，３５．４５をウェーハの表面に製作する
。電極保護のため、１ミクロンの厚さの燐ドープ化学気
相蒸着（ＣＶＤ）シリコン酸化１ｌ１２７を、複数組の
発熱体、能動ドライバーマトリックスおよびアドレッシ
ング電極の上に蒸着する（第５Ｅ図）。最後にＣＶＤ　
　二酸化シリコンパッシベーション皮膜を蒸着したあと
、うニームを、二酸化シリコン食刻速度またはシリコン
食刻速度が遅い異方性エツチング剤たとえばエチレンジ
アミンピロカテコール（ＥＤＰ）の中に入れる。この方
向依存性エツチングが細長いインク供給溝孔２０の方向
依存性エツチングを完成するので、このエツチングされ
た溝孔の底は、第５Ｆ図に示すように、バンシヘーショ
ン層２７とマスク膜１５（または代替アンダーグレーズ
層）のみで覆われている。次に、第５Ｇ図に示すように
、アドレッシング電極３２、発熱体３４、アライメント
孔３８および細長いインク供給溝孔２０から、バッジベ
ージジン層とマスク膜をエツチングで除去する。

発熱体板を製作したあと、発熱体を有する発熱体板表面
に共通チャンネル板１４を形成する。これは、米国特許
第４　、７８９　、４２５号に記載されているいろいろ
な方法で形成することができる。第６Ａ図〜第６Ｃ図に
、１つの方法を示す、エツチングしたシリコン発熱体板
２８に、ドライフィルム形式のパターニング可能材料層
２１を形成する。このパターニング可能材料は、感光化
、露光、および現像の諸工程によって、あるいはパター
ンマスクによるウェットエツチングまたはドライエツチ
ングによって図形描写が可能な材料である。たとえば、
Ｄｕｐｐｏｎｔ社のＶＥＣＲＥＬのような製品を使用し
て、怒光層としてポリイミド材料をドライフィルムの形
で塗布することができる。そのあと、紫外線パターンで
露光し、現像し、硬化させる０次に、第６Ｂ図に示すよ
うに、パターニング可能材料層２１から、空洞壁２２お
よびチャンネル壁１７のパターンを整合し、像形成し、
現像する。次に、第６Ｃ図に示すように、パターニング
可能材料層２１の上に、ドライフィルムフォトレジスト
２３を置いて、整合し、像形成し、現像して内部にノズ
ル１２のアレイを有するルーフ２４を形成する。

本発明は、単色サイドシュータ−型またはルーフシュー
タ−型印字ヘッドにも応用することができる。第７図は
、単色ルーフシュータ−型印字ヘッド用の発熱体板を示
す０発熱体板は、供給溝孔２０、関連する発熱体アレイ
３４、および共通帰線３５を有する。スイッチング回路
網たとえば能動ドライバーマトリックス５５を使用して
発熱体３４をアドレスするやり方により、必要なアドレ
ッシング電極３２の数が大幅に減る。このようにアドレ
ッシング電極３２の数を減らすことにより、リード線が
供給溝孔２０のそばまで延びていない配列法が可能であ
る。これにより供給溝孔２０をほぼ発熱体板の全幅まで
広げることができるので、端と端を突き合わせて大型印
字へラドアレイを作ったとき、隣接する発熱体板の供給
溝孔２０同士の隙間が狭くなる。本発明は、１個のチッ
プ上により長いノズルアレイを配置することができるの
で、シリコン不動産（表面積）を保存しながら、解像度
のより高い印字品質が得られる。第７図に示した発熱体
板はルーフシュータ−型印字ヘッド用であるが、単色サ
イドシュータ−型印字ヘッドに応用しても、同様な利益
を得ることができる。

以上、発明の好ましい実施例について説明したが、実施
例は発明を明らかにするためのものであり、発明を限定
するものではない、上述の説明から多くの修正態様や変
更態様を容易に思いつがれるであろうが、それらはすべ
て本発明の範囲に含まれる。たとえば、良好に整列した
一連の密集ノズルアレイをもつことが望ましいどんな形
式の多色インクジェット印字ヘッドにでも、本発明を使
用することができる。したがって、特許請求の範囲に記
載した本発明の精神と範囲内で、本発明の多数の変型を
作ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、供給溝孔と受動抵抗体アレイを含む、単色印
字ヘッド用の発熱体板の平面図、第２図は、受動抵抗体
アレイを使用する４色印字ヘッド用の発熱体板の平面図
、 第３図は、本発明に係る４色ルーフシュータ−型印字ヘ
ッド用の発熱体板の平面図、 第３Ａ図は、第３図のスイッチング回路網の略回路図、 第４図は、本発明に係る４色ルーフシュータ−型印字ヘ
ッドの平面図、 第５Ａ図〜第５Ｇ図は、単色アレイ用の発熱体板を作る
工程を示すシリコンウェーハの断面図、第６Ａ図〜第６
Ｃ図は、ルーフシュータ−型印字ヘッドのチャンネル板
を作る工程を示す拡大平面図、および 第７図は、供給溝穴とスイッチング回路網を含む、単色
印字ヘッド用の発熱体板の平面図である。 符号の説明 １２・・・ノズルアレイ、１４・・・チャンネル板、１
７・・・チャンネル壁、２０・・・供給溝穴、１５・・
・窒化シリコンマスク膜、２１・・・バターニング可能
材料層、２２・・・空洞壁、２３・・・フォトレジスト
、２４・・・ルーフ、２７・・・バンシベーシゴン層、
２８・・・発熱体板、２９・・・エツチング口、３０・
・・固体表面、３２・・・アドレッシング電極、３３・
・・リード線、３４・・・発熱体、３５・・・共通帰線
、３６・・・（１００）シリコンウェーハ、３７・・・
アドレッシング電極、３８・・・アライメント孔、１５
，２５，３５．４５・・・能動スイッチング回路網、５
５・・・能動ドライバーマトリックス、Ｐ１〜Ｐ８・・
・ゲートアドレスパッド、０１〜Ｇ１６・・・ゲート、
Ｔ１−Ｔ１６・・・駆動トランジスタ、３１〜３１６・
・・ソースライン、Ｈ１〜Ｈ１６・・・発熱体、Ｓ・・
・ウェーハチップ。 ＦＩＧ、　２ 手 続 補 正 書（方式） １、事件の表示 平成２年特許願第３２０５５４号 ２、発明の名称 多色ルーフシュータ−型印字ヘッド ３、補正をする者 事件との関係

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）（ａ）少なくとも２個の発熱体アレイと、前記発
   熱体アレイのそばに配置された対応する数の細長い供給
   溝穴とを有する共通発熱体板と、 （ｂ）前記発熱体板の上に積層され、前記各発熱体アレ
   イに対応するノズルアレイを有する共通チャンネル板か
   ら成り、 各ノズルアレイは発熱体板の供給溝穴の１つと通じてい
   ること、各ノズルアレイは隣りのノズルアレイから分離
   されていること、各ノズルアレイの各ノズルは発熱体ア
   レイの対応する発熱体の上に一直線に並んでいること、
   そして少なくとも２個の発熱体アレイは、それぞれ対応
   するスイッチング回路網で個別にアドレスされ、駆動さ
   れること、各スイッチング回路網は発熱体板の上に対応
   する発熱体アレイのそばに配置されていること、各スイ
   ッチング回路網は対応する発熱体アレイの発熱体に接続
   された第１の数の出力端と、制御信号を受け取る前記第
   １の数より少ない第２の数の入力端を有することを特徴
   とする多色サーマルインクジェット印字ヘッド。