JPH03213800A - ガスシリンダー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は半導体製造ラインなどで使用されるガスシリ
ンダー、特に特殊ガスを高純度で供給するガスシリンダ
ーに関するものである。

［従来の技術］ 従来のガスシリンダーを第８図を用いて説明する。

図において、１は筒体からなり上端面に開口部１ａを有
するシリンダー本体、２は上記開口部１ａに設けられシ
リンダー本体１内にガスを充填及び排出を行うガスバル
ブアセンブリー、１０はテフロン系のシールテープであ
り、このシールテープ１０は上記ガスバルブアセンブリ
ー２を開口部１ａに取付けた際にガスが外部に漏れない
ようにしている。上記シリンダー本体１は、ステンレス
鋼（ＳＵＳ）、アルミニウム（ＡＪｔ）、マンガン鋼等
からなり、内容量０．３〜４８Ｊｔ程度の大きさである
。上記開口部１ａには管用雌ねじが設けられており、ガ
スバルブアセンブリー２には管用雄ねじが設けられてい
る。上記ガスバルブアセンブリー２は、真鍮（ＢｓＢＭ
）、ＳＵＳ等からなり、可溶合金で形成され取り外し０
■能な安全弁２ａを備えている。

上記ガスシリンダーは、シリンダー本体１の開口部１ａ
にガスバルブアセンブリー２をねじ込む。

このときガスバルブアセンブリー２の雄ねじにはシール
テープ１０が巻かれており、当該ガスバルブアセンブリ
ー２をねじ込むことで開口部１ａはシールされる。また
、上記開口部１ａのシールは、シール材からなる塗料を
塗布してねじ込む場合もある。

［発明が解決しようとする課題］ 従来のガスシリンダーは以上のように構成されているの
で、ガスバルブアセンブリー２を開口部１ａにねじ込む
際に、シールテープ１０が発塵してシリンダー本体１内
に入り込む。また、開口部１ａは管用ねじが設けられて
るため口径が小さく、シリンダー本体１内部の洗浄及び
製造時の研磨が行いにくく、ガスシリンダー内のガスを
高純度に維持できない。また、ガスバルブアセンブリー
２を直接開口部１ａにねじ込むため、上記ガスバルブア
センブリ−２自体に応力がかかり、信頼性が低下するな
どの問題点があった。

また、上記シールテープ１０は熱に弱いため、ガスバル
ブアセンブリー２をシリンダー本体１に取付けたまま高
温のベーク処理ができないなどの問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、シールテープを使用せずにガスバルブアセン
ブリーをシリンダー本体に取付けることができるととも
に、シリンダー本体に口径の大きい開口部を設けること
ができ、またガスバルブを取付けたまま高温のベーク処
理ができるガスシリンダーを得ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］ この発明に係るガスシリンダーは、筒体からなり一方の
端面に開口部を有するシリンダー本体と、上記開口部に
設けられガスの充填及び排出を行うガスバルブとを備え
るとともに、上記シリンダー本体の開口部を被うように
設けられガスバルブが溶接等により固着された蓋部材と
、上記開口部と蓋部材との間に介在されるシール部材と
、上記蓋部材を上記開口部方向に締付ける締付は部材と
を有するしたものである。

［作用コ この発明におけるガスシリンダーは、ガスバルブが溶接
等により固着された蓋部材を、シール部材を介在させて
シリンダー本体の開口部を被うように設けるとともに、
締付は部材により上記蓋部材を上記開口部方向に締付け
る。

［実施例］ 以下、この発明の一実施例であるガスシリンダーを第１
図乃至第２図を用いて説明する。なお、第８図と同じも
のは同一の符号を用いて説明を省略する。

図において、ガスシリンダーは、筒体からなり上端面に
開口部１ａを有するシリンダー本体１と、上記開口部１
ａに設けられシリンダー本体１内にガスの充填及び排出
を行うガスバルブアセンブリー２とを備える。５は上記
シリンダー本体１の開口部１ａを被うように設けられる
とともにガスバルブアセンブリー２が溶接等により固着
された蓋部材としての上フランジ、４は上記上フランジ
５と開口部１ａに設けられた下フランジ６との間に介在
されるシール部材としてのガスケットシール、７は上記
Ｌフランジ５を下フランジ６に締付ける締付は部材であ
り、ボルト７ａ及びナツト７ｂからなる。上記ガスケッ
トシール４は、メタル（Ｃｕ、ＡＪ、Ｎｉ）または高分
子化合物（テフロン、ポリイミド）からなり、ベーク処
理温度及び使用するガスによって使い分ける。また、上
記ボルト７ａ、ナツト７ｂはガスシリンダーに充填する
ガスの圧力によって４本から８本程度使用され、上フラ
ンジ５及び下フランジ６を均一に締付ける。

上記構成において、上記ガスシリンダー内部の吸着ガス
対策として、シリンダー本体１及びガスバルブアセンブ
リー２の内面を研磨するとともに、第２図のフローチャ
ートに基づきガスバルブアセンブリー２を取付けたまま
ガスシリンダーを洗浄する。この洗浄において、ガスシ
リンダーを真空に引いてから１００℃〜２００“Ｃ程度
に加熱するベーク処理を行う場合に、ガスケットシール
４は上記高温に耐えることができる材質、例えばポリイ
ミド等を使用するとともに、安全弁２ａが溶けるので、
当該安全弁２ａを取り外した状態で上記ベーり処理を行
う。

上記構成により、シールテープを使用せずにガスバルブ
アセンブリー２をシリンダー本体１に取付けることがで
きるので、上記シールテープにょる発塵はなく、またシ
リンダー本体１に口径の大きい開口部１ａを備えること
ができるので、内部の洗浄が行いやすいとともに、ガス
ケットシール４にテフロン系以外のものを使用できるの
で、バルブアセンブリー２を取付けたまま高温のベーク
処理ができ、ガスを高純度に維持することができる。ま
た、ガスバルブアセンブリー２をシリンダー本体１に取
付ける際に、当該ガスバルブアセンブリー２に応力がか
からないので、ガスバルブの信頼性を高めることができ
る。

なお、本実施例においては、締付は部材７をボルト７ａ
、ナツト７ｂからなるとしたが、第３図に示すように、
内面に雌ねじが設けられた袋ナツト７ｃと、外周に雄ね
じが設けられたスリーブ７ｄとからなるとしてもよい。

この締付は部材７は、上フランジ５を被うように設けら
れた袋ナツト７ｃが、下フランジ６に当接するスリーブ
７ｄに螺着され、上フランジ５と下フランジ６とを締付
はシールする。

また、本実施例においては、シリンダー本体１の上端面
に開口部１ａを設けるとしたが、第４図及び第５図に示
すように、上記開口部１ａをシリンダー本体１の内径り
と同じ寸法としてもよい、上記構成により、シリンダー
本体１に曲げ部が少なくデッドスペースのない構造とな
るので、シリンダー本体１内面の研磨及び洗浄が容易と
なり。

ガスの純度を一層高めることができる。この場合におい
ても、締付は部材７は、第４図に示すボルト７ａとナツ
ト７ｂ、または第５図に示す袋ナツト７ｃとスリーブ７
ｄのどちらでもよい。また、ガスシリンダーが４０〜４
８．１２の大容量の場合、シリンダー本体１をＳ　ｔＪ
　Ｓで形成すると重量が増すためアルミニウムで形成す
るが、アルミニラ１１は機械強度的にやわらかいので、
高分子化合物系のガスケットシール４は使用できるがメ
タル系のガスケットシール４を使用できない。このため
、アルミニウムで形成されたガスシリンダーの場合、Ｔ
ｉ、Ｎｉ等を上、下フランジ５，６のシール面上にイオ
ンプレートして表面を硬化させる（表面改質）。

また、従来のガスシリンダーのように下フランジ６を設
けなかった場合、第６図（ｂｌに示すように横置きにす
るとガスシリンダーは転がるので、作業性は悪いが、本
発明のように、上記シリンダー本体１の下フランジ６を
当該シリンダー本体１の直径より大きくした場合、第６
図ｔａ＋に示すようにガスシリンダーを横置きにしたと
き、シリンダー本体１の下端を中心として同一場所で回
転する。

また、第７図に示すように下フランジ６を多角形にする
ことにより上記横置きで固定でき、作業性がよくなる。

［発明の効果］ 以上のように、この発明によればガスシリンダーを、ガ
スバルブが溶接等により固着された蓋部材をシール部材
を介在させてシリンダー本体の開口部を被うように設け
るとともに、締付は部材で上記蓋部材を上記開口部方向
に締付けることにより、シールテープを使用せずにガス
バルブをシリンダー本体に取付けることができるので、
−上記シールテープによる発塵はなく、またシリンダー
本体に口径の大きい開口部を備えているので、内部の洗
浄が行いやすいとともに、シール部材にテフロン系以外
のものを使用できるので、ガスバルブを取付けたまま高
温のベーク処理ができ、ガスを高純度に維持できる。ま
た、ガスバルブをシリンダー本体に取付ける際に、当該
ガスバルブに応力がかからないので、信頼性が向上する
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例であるガスシリンダーの側
面断面図、第２図は本実施例のガスシリンダーにおける
洗浄方法を示すフローチャート、第３図乃至第５図は本
発明の他の実施例のガスシリンダーの側面断面図、第６
図ｔａｇ、　ｔｂ＋はガスシリンダーの作業状態を示す
外観図、第７図は他の実施例のガスシリンダーの正面図
、第８図は従来のガスシリンダーの側面断面図である。 １・・・シリンダー本体、１ａ・・・開口部、２・・・
ガスバルブアセンブリー、４・・・ガスケットシール、
５・・・上フランジ、６・・・下フランジ、７・・・締
付は部材。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 筒体からなり一方の端面に開口部を有するシリンダー本
   体と、上記開口部に設けられガスの充填及び排出を行う
   ガスバルブとを備えたガスシリンダーにおいて、上記シ
   リンダー本体の開口部を被うように設けられるとともに
   ガスバルブが溶接等により固着された蓋部材と、上記開
   口部と蓋部材との間に介在されるシール部材と、上記蓋
   部材を上記開口部方向に締付ける締付け部材とを有する
   ことを特徴とするガスシリンダー。