JP2004092874A - 配管連結装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明の目的は、運転中の配管系からの流体漏洩を配管系の内部圧力が高くても確実に防止でき、分解作業も簡単に行える配管連結装置を提供することにある。
【解決手段】配管3、4を連結する一対のフランジ1、2の接合面外周部に形成される凹溝に環状の金属製リングカバー11を嵌着する。リングカバー11に設けた充填材22の注入孔20から一対のフランジ1、2の接合面隙間に充填材22を充填する。金属製リングカバー11は複数に分割形成されフランジ1、2の凹溝に気密状態を保ち嵌着される。
【選択図】 図1
【解決手段】配管3、4を連結する一対のフランジ1、2の接合面外周部に形成される凹溝に環状の金属製リングカバー11を嵌着する。リングカバー11に設けた充填材22の注入孔20から一対のフランジ1、2の接合面隙間に充填材22を充填する。金属製リングカバー11は複数に分割形成されフランジ1、2の凹溝に気密状態を保ち嵌着される。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特に原子力発電プラントや危険性を伴う流体を扱う特殊プラント等で使用される配管の連結部から流体の漏洩を防止する配管連結装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
原子力発電所や危険性を伴う流体を扱う特殊プラント等で使用される配管は配管の端に固定したフランジをボルト・ナットにより締付けて連結している。2本の配管は一対のフランジの接合面にパッキンを介在させて連結される。フランジは日本工業規格標準仕様を基本とし構成され、配管系の運転中におけるパッキン部よりの流体漏洩防止についてはナットを増し締めして対応している。
【0003】
ナットの増し締めによって流体漏洩を阻止できない場合には、フランジとフランジの隙間を溶接するか、あるいはナット増し締めを含め固化充填材をフランジの廻りに固着するようにしている。
【0004】
一方、配管系の定期検査時(運転停止時)にはフランジ部を分解してパッキンを交換をするのが一般的である。一対のフランジの隙間を溶接したり固化材を固着すると、分解時に固化材の除去やシール溶接部のグラインダー除去作業等が発生し、分解作業が極めて面倒になる。また、フランジ面が損傷しているとフランジの加工や交換改造が必要となる。
【0005】
このことを解決するために、一対のフランジの外周面に樹脂シートを接着して覆い、両フランジの接合面隙間に充填材を注入することが提案されている。このことは、例えば、特開平9−269090号公報に記載されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術は一対のフランジの外周面に樹脂シートを接着して覆い、両フランジの接合面隙間に充填材を注入するようにしている。このため、樹脂シートを剥がす作業が必要になり分解作業が面倒であると共に、配管系の内部圧力が高い場合には機械的強度の点から流体の漏洩を確実に防止できないという問題点を有する。
【0007】
本発明の目的は、運転中の配管系からの流体漏洩を配管系の内部圧力が高くても確実に防止でき、分解作業も簡単に行える配管連結装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の特徴とするところは、一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に環状の金属製リングカバーを嵌着し、リングカバーに設けた充填材(固化充填材)の注入孔から一対のフランジの接合面隙間に充填材を充填するようにしたことにある。
【0009】
本発明の環状の金属製リングカバーの望ましい形態は、複数に分割形成され一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に気密状態を保ち嵌着するように構成される。複数に分割形成される金属製リングカバーは1点〜2点でボルト・ナット締め構造にできる。
【0010】
本発明は環状の金属製リングカバーを一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に気密状態を保ち強固に嵌着できるので流体の漏洩を確実に防止でき、かつ、金属製リングカバーの着脱を容易にできるので分解作業も簡単に行える。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
図1は本発明の配管連結装置の要部縦断面図である。図2は本発明を採用する前の配管連結装置の要部縦断面図である。本発明の理解を容易にするために図1、図2を用いて説明する。
【0012】
図1、図2において、配管3、4は一端にフランジ1、2が溶接によって固定されている。一対のフランジ1、2の接合面にはパッキン5が介在して配置されている。
【0013】
フランジ1、2には図3に示すようにボルト取付穴6が穿設されており、接合面の反対面(外側面)にはボルト取付穴6の周囲に保護キャップ15を取付ける座ぐり溝8が形成されている。また、フランジ1、2の接合面外周部に取付溝7が形成されており、両フランジ1、2の取付溝7によってリングカバー11を嵌着する凹溝10を形成する。
【0014】
凹溝10を形成する取付溝7はリングカバー11を嵌合装着し易くするためとリングカバー6を装着しない状態でパッキン5の漏洩状態を外観確認し易くするために図4に示すようにテーパ形状にしている。
【0015】
両フランジ1、2のボルト取付穴6にボルト13を挿入し、両フランジ1、2の外側面からナット14―1、14―2で締付けることによりフランジ1、2は連結され、図2に示す状態になる。フランジ1、2の接合面間にはパッキン5の間隙9が形成される。
【0016】
このように、配管3、4は一対のフランジ1、2により連結され、図2に示す状態で配管3、4を含む配管系の運転が行われる。
【0017】
さて、図2に示す状態で配管3、4を含む配管系の運転を行っている場合にパッキン5から流体の漏洩する可能性があるときに本発明によるリングカバー11を取付ける。一般的には内部流体の漏洩が確認された段階で取付けられる。
【0018】
リングカバー11は図5、図6に示すように環状に形成され、2分割されている。2分割されたリングカバー11の両端には固定板16が設けられており、ボルト17とナット18で一体化される。2分割された一方のリングカバー11には3個所に注入口(注入プラグ口)20が設けられている。
【0019】
図5に図示の中央の注入口20は開放状態を示し、右側図示の注入口は閉止プラグ29で閉じた状態を示している。また、左側図示の注入口20には漏洩検知センサ31を取付けた状態を示している。なお、32は漏洩検知センサ31の導線である。
【0020】
リングカバー11は図1のように断面T字形状で、フランジ1、2との接触面隙間を密閉するために図3のようにパッキン(Oリング等)24が設けられている。パッキン(Oリング等)24はパッキン5の締込み厚みに誤差が生じても隙間誤差を吸収する役割も果たしている。
【0021】
また、パッキン(Oリング等)24で誤差吸収ができない場合にはリングカバー11とフランジ1、2の接触面にシート状パッキン30を装着し気密度を高めることができる。シート状パッキン30は図4に示すように凹溝10の底面に配置されている。
【0022】
リングカバー11は図5、図6に示すボルト17とナット18を外し2分割した状態でフランジ1、2接合面外周部に形成される凹溝10にT字形状の脚部を嵌着する。凹溝10は図4に示すようにテーパ形状に形成されているのでリングカバー11を嵌着が容易に行える。2分割したリングカバー11を凹溝10に嵌着したらボルト17とナット18で一体化する。
【0023】
リングカバー11をフランジ1、2の接合面外周部に形成される凹溝10を嵌着固定した後に注入口20から充填材(固化充填材)22を注入する。フランジ1、2の接合面の隙間9と、ボルト取付口6とボルト13の隙間には充填材22が緻密に充填される。
【0024】
一方、フランジ1、2の外側面にはナット用保護キャップ15(15―1、15―2)が設けられている。保護キャップ15は図7に示すようにナット座グリ溝8との接触面を密閉するためのパッキン(Oリング等)33を有している。
【0025】
また、保護キャップ15は充填材22の注入口(注入プラグ)34が形成されており、ナット14の周囲に充填材22を充填できる。注入口(注入プラグ)34には漏洩検知センサ35が取付けられている。図1の保護キャップ15―2の注入口34は閉止プラグ37で閉している状態を示している。
【0026】
このようにして一対のフランジ1、2の気密状態を保ち流体の漏洩を阻止するのであるが、環状の金属製リングカバー11を一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝10に気密状態を保ち強固に嵌着できるので流体の漏洩を確実に防止でき、かつ、金属製リングカバー11の着脱を容易にできるので分解作業も簡単に行える。
【0027】
図8、図9にリングカバー11の他の例を示す。
図8、図9は4分割にして外周にヒンジ40を取付け多関節型にしたものである。この構成でも運転中の配管3、4のフランジ1、2に嵌着固定することができる。
【0028】
図10、図11に保護キャップ15の他の例を示す。
図10はボルト13のネジ山がナット14の頭より出ていない場合に、ボルト13の中心にネジ穴を穿設し、保護キャップ15の外側よりネジ38にて固定するようにしたものである。
【0029】
また、図11は保護キャップ15に取付ける漏洩検知センサ35の取付座39に兼用してネジ固定するようにしたものである。
【0030】
このようにして一対のフランジの気密状態を保ち流体の漏洩を阻止するのであるが、環状の金属製リングカバーを一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に気密状態を保ち強固に嵌着できるので流体の漏洩を確実に防止でき、かつ、金属製リングカバーの着脱を容易にできるので分解作業も簡単に行える。
【0031】
また、上述の実施例は保護キャップを設けナット部からの流体の漏洩を防止しているので、より一層漏洩防止の信頼性を向上させることができる。
【0032】
なお、上述の実施例は流体の漏洩が確認されてからリングカバーを取付けるようにしているが、配管系の運転前から内部流体漏洩監視用としてリングカバーとナット用保護キャップを設置しておき、遠隔による漏洩状態監視をするようにすることもできることは勿論のことである。
【0033】
【発明の効果】
本発明は環状の金属製リングカバーを一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に気密状態を保ち強固に嵌着できるので流体の漏洩を確実に防止でき、かつ、金属製リングカバーの着脱を容易にできるので分解作業も簡単に行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す要部縦断面図である。
【図2】本発明を説明するための配管連結装置の部分縦断面図である。
【図3】本発明のフランジの一例を示す断面図である。
【図4】本発明のフランジとリングカバーの部分拡大図である。
【図5】本発明のリングカバーの一例を示す一部破断した平面図である。
【図6】図5の側面図である。
【図7】本発明の保護キャップの一例を示す構成図である。
【図8】本発明のリングカバーの他の例を示す一部破断した平面図である。
【図9】図8のヒンジの一例構成図である。
【図10】本発明の保護キャップの他の例を示す構成図である。
【図11】本発明の保護キャップの他の例を示す構成図である。
【符号の説明】
1、2…フランジ、3、4…圧力配管、5…パッキン、6…ボルト取付口、7…取付溝、8…座ぐリ溝、9…フランジ接合面隙間、10…凹溝、11…金属製リングカバー、13…ボルト、14…ナット、15…保護キャップ、20…充填材注入プラグ口、22…固化充填材、31…漏洩検知センサ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、特に原子力発電プラントや危険性を伴う流体を扱う特殊プラント等で使用される配管の連結部から流体の漏洩を防止する配管連結装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
原子力発電所や危険性を伴う流体を扱う特殊プラント等で使用される配管は配管の端に固定したフランジをボルト・ナットにより締付けて連結している。2本の配管は一対のフランジの接合面にパッキンを介在させて連結される。フランジは日本工業規格標準仕様を基本とし構成され、配管系の運転中におけるパッキン部よりの流体漏洩防止についてはナットを増し締めして対応している。
【0003】
ナットの増し締めによって流体漏洩を阻止できない場合には、フランジとフランジの隙間を溶接するか、あるいはナット増し締めを含め固化充填材をフランジの廻りに固着するようにしている。
【0004】
一方、配管系の定期検査時(運転停止時)にはフランジ部を分解してパッキンを交換をするのが一般的である。一対のフランジの隙間を溶接したり固化材を固着すると、分解時に固化材の除去やシール溶接部のグラインダー除去作業等が発生し、分解作業が極めて面倒になる。また、フランジ面が損傷しているとフランジの加工や交換改造が必要となる。
【0005】
このことを解決するために、一対のフランジの外周面に樹脂シートを接着して覆い、両フランジの接合面隙間に充填材を注入することが提案されている。このことは、例えば、特開平9−269090号公報に記載されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術は一対のフランジの外周面に樹脂シートを接着して覆い、両フランジの接合面隙間に充填材を注入するようにしている。このため、樹脂シートを剥がす作業が必要になり分解作業が面倒であると共に、配管系の内部圧力が高い場合には機械的強度の点から流体の漏洩を確実に防止できないという問題点を有する。
【0007】
本発明の目的は、運転中の配管系からの流体漏洩を配管系の内部圧力が高くても確実に防止でき、分解作業も簡単に行える配管連結装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の特徴とするところは、一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に環状の金属製リングカバーを嵌着し、リングカバーに設けた充填材(固化充填材)の注入孔から一対のフランジの接合面隙間に充填材を充填するようにしたことにある。
【0009】
本発明の環状の金属製リングカバーの望ましい形態は、複数に分割形成され一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に気密状態を保ち嵌着するように構成される。複数に分割形成される金属製リングカバーは1点〜2点でボルト・ナット締め構造にできる。
【0010】
本発明は環状の金属製リングカバーを一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に気密状態を保ち強固に嵌着できるので流体の漏洩を確実に防止でき、かつ、金属製リングカバーの着脱を容易にできるので分解作業も簡単に行える。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
図1は本発明の配管連結装置の要部縦断面図である。図2は本発明を採用する前の配管連結装置の要部縦断面図である。本発明の理解を容易にするために図1、図2を用いて説明する。
【0012】
図1、図2において、配管3、4は一端にフランジ1、2が溶接によって固定されている。一対のフランジ1、2の接合面にはパッキン5が介在して配置されている。
【0013】
フランジ1、2には図3に示すようにボルト取付穴6が穿設されており、接合面の反対面(外側面)にはボルト取付穴6の周囲に保護キャップ15を取付ける座ぐり溝8が形成されている。また、フランジ1、2の接合面外周部に取付溝7が形成されており、両フランジ1、2の取付溝7によってリングカバー11を嵌着する凹溝10を形成する。
【0014】
凹溝10を形成する取付溝7はリングカバー11を嵌合装着し易くするためとリングカバー6を装着しない状態でパッキン5の漏洩状態を外観確認し易くするために図4に示すようにテーパ形状にしている。
【0015】
両フランジ1、2のボルト取付穴6にボルト13を挿入し、両フランジ1、2の外側面からナット14―1、14―2で締付けることによりフランジ1、2は連結され、図2に示す状態になる。フランジ1、2の接合面間にはパッキン5の間隙9が形成される。
【0016】
このように、配管3、4は一対のフランジ1、2により連結され、図2に示す状態で配管3、4を含む配管系の運転が行われる。
【0017】
さて、図2に示す状態で配管3、4を含む配管系の運転を行っている場合にパッキン5から流体の漏洩する可能性があるときに本発明によるリングカバー11を取付ける。一般的には内部流体の漏洩が確認された段階で取付けられる。
【0018】
リングカバー11は図5、図6に示すように環状に形成され、2分割されている。2分割されたリングカバー11の両端には固定板16が設けられており、ボルト17とナット18で一体化される。2分割された一方のリングカバー11には3個所に注入口(注入プラグ口)20が設けられている。
【0019】
図5に図示の中央の注入口20は開放状態を示し、右側図示の注入口は閉止プラグ29で閉じた状態を示している。また、左側図示の注入口20には漏洩検知センサ31を取付けた状態を示している。なお、32は漏洩検知センサ31の導線である。
【0020】
リングカバー11は図1のように断面T字形状で、フランジ1、2との接触面隙間を密閉するために図3のようにパッキン(Oリング等)24が設けられている。パッキン(Oリング等)24はパッキン5の締込み厚みに誤差が生じても隙間誤差を吸収する役割も果たしている。
【0021】
また、パッキン(Oリング等)24で誤差吸収ができない場合にはリングカバー11とフランジ1、2の接触面にシート状パッキン30を装着し気密度を高めることができる。シート状パッキン30は図4に示すように凹溝10の底面に配置されている。
【0022】
リングカバー11は図5、図6に示すボルト17とナット18を外し2分割した状態でフランジ1、2接合面外周部に形成される凹溝10にT字形状の脚部を嵌着する。凹溝10は図4に示すようにテーパ形状に形成されているのでリングカバー11を嵌着が容易に行える。2分割したリングカバー11を凹溝10に嵌着したらボルト17とナット18で一体化する。
【0023】
リングカバー11をフランジ1、2の接合面外周部に形成される凹溝10を嵌着固定した後に注入口20から充填材(固化充填材)22を注入する。フランジ1、2の接合面の隙間9と、ボルト取付口6とボルト13の隙間には充填材22が緻密に充填される。
【0024】
一方、フランジ1、2の外側面にはナット用保護キャップ15(15―1、15―2)が設けられている。保護キャップ15は図7に示すようにナット座グリ溝8との接触面を密閉するためのパッキン(Oリング等)33を有している。
【0025】
また、保護キャップ15は充填材22の注入口(注入プラグ)34が形成されており、ナット14の周囲に充填材22を充填できる。注入口(注入プラグ)34には漏洩検知センサ35が取付けられている。図1の保護キャップ15―2の注入口34は閉止プラグ37で閉している状態を示している。
【0026】
このようにして一対のフランジ1、2の気密状態を保ち流体の漏洩を阻止するのであるが、環状の金属製リングカバー11を一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝10に気密状態を保ち強固に嵌着できるので流体の漏洩を確実に防止でき、かつ、金属製リングカバー11の着脱を容易にできるので分解作業も簡単に行える。
【0027】
図8、図9にリングカバー11の他の例を示す。
図8、図9は4分割にして外周にヒンジ40を取付け多関節型にしたものである。この構成でも運転中の配管3、4のフランジ1、2に嵌着固定することができる。
【0028】
図10、図11に保護キャップ15の他の例を示す。
図10はボルト13のネジ山がナット14の頭より出ていない場合に、ボルト13の中心にネジ穴を穿設し、保護キャップ15の外側よりネジ38にて固定するようにしたものである。
【0029】
また、図11は保護キャップ15に取付ける漏洩検知センサ35の取付座39に兼用してネジ固定するようにしたものである。
【0030】
このようにして一対のフランジの気密状態を保ち流体の漏洩を阻止するのであるが、環状の金属製リングカバーを一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に気密状態を保ち強固に嵌着できるので流体の漏洩を確実に防止でき、かつ、金属製リングカバーの着脱を容易にできるので分解作業も簡単に行える。
【0031】
また、上述の実施例は保護キャップを設けナット部からの流体の漏洩を防止しているので、より一層漏洩防止の信頼性を向上させることができる。
【0032】
なお、上述の実施例は流体の漏洩が確認されてからリングカバーを取付けるようにしているが、配管系の運転前から内部流体漏洩監視用としてリングカバーとナット用保護キャップを設置しておき、遠隔による漏洩状態監視をするようにすることもできることは勿論のことである。
【0033】
【発明の効果】
本発明は環状の金属製リングカバーを一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に気密状態を保ち強固に嵌着できるので流体の漏洩を確実に防止でき、かつ、金属製リングカバーの着脱を容易にできるので分解作業も簡単に行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す要部縦断面図である。
【図2】本発明を説明するための配管連結装置の部分縦断面図である。
【図3】本発明のフランジの一例を示す断面図である。
【図4】本発明のフランジとリングカバーの部分拡大図である。
【図5】本発明のリングカバーの一例を示す一部破断した平面図である。
【図6】図5の側面図である。
【図7】本発明の保護キャップの一例を示す構成図である。
【図8】本発明のリングカバーの他の例を示す一部破断した平面図である。
【図9】図8のヒンジの一例構成図である。
【図10】本発明の保護キャップの他の例を示す構成図である。
【図11】本発明の保護キャップの他の例を示す構成図である。
【符号の説明】
1、2…フランジ、3、4…圧力配管、5…パッキン、6…ボルト取付口、7…取付溝、8…座ぐリ溝、9…フランジ接合面隙間、10…凹溝、11…金属製リングカバー、13…ボルト、14…ナット、15…保護キャップ、20…充填材注入プラグ口、22…固化充填材、31…漏洩検知センサ。
Claims (4)
- 配管を連結する一対のフランジの接合面にパッキンを介在させ、ボルト・ナットにより締付けて連結する配管連結装置において、前記一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に嵌着される環状の金属製リングカバーと、前記リングカバーに設けられ、前記一対のフランジの接合面隙間に充填材を注入する注入孔と、前記注入孔から注入され、前記一対のフランジの接合面隙間に充填される充填材とを設けたことを特徴とする配管連結装置。
- 配管を連結する一対のフランジの接合面にパッキンを介在させ、ボルト・ナットにより締付けて連結する配管連結装置において、前記一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に気密状態を保ち嵌着され、複数に分割形成された環状の金属製リングカバーと、前記リングカバーに設けられ、前記一対のフランジの接合面隙間に充填材を注入する注入孔と、前記注入孔から注入され、前記一対のフランジの接合面隙間に充填される充填材とを設けたことを特徴とする配管連結装置。
- 流体を通流させる配管を連結する一対のフランジの接合面にパッキンを介在させ、ボルト・ナットにより締付けて連結する配管連結装置において、環状を複数に分割形成され断面T字形状を成し、T字形状の脚部が前記一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に気密状態を保ち嵌着されている金属製のリングカバーと、前記リングカバーに設けられ、前記一対のフランジの接合面隙間に固化充填材を注入する注入孔と、前記注入孔から注入され、前記一対のフランジの接合面隙間に充填される固化充填材と、前記リングカバーに外周面に取付けられ前記流体の漏洩を検出する漏洩検知センサとを設けたことを特徴とする配管連結装置。
- 流体を通流させる配管を連結する一対のフランジの接合面にパッキンを介在させ、ボルト・ナットにより締付けて連結する配管連結装置において、環状を複数に分割形成され断面T字形状を成し、T字形状の脚部が前記一対のフランジの接合面外周部に形成される凹溝に気密状態を保ち嵌着されている金属製のリングカバーと、前記リングカバーに設けられ、前記一対のフランジの接合面隙間に固化充填材を注入する注入孔と、前記注入孔から注入され、前記一対のフランジの接合面隙間に充填される固化充填材と、前記リングカバーに外周面に取付けられ前記流体の漏洩を検出する漏洩検知センサと、前記一対のフランジの接合面と反対面のボルト・ナットを覆い、充填材が封入されている保護キャップとを設けたことを特徴とする配管連結装置。
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JP2002258411A JP2004092874A (ja) | 2002-09-04 | 2002-09-04 | 配管連結装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2002258411A JP2004092874A (ja) | 2002-09-04 | 2002-09-04 | 配管連結装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2004092874A true JP2004092874A (ja) | 2004-03-25 |
Family
ID=32063019
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002258411A Pending JP2004092874A (ja) | 2002-09-04 | 2002-09-04 | 配管連結装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004092874A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104565617A (zh) * | 2014-12-22 | 2015-04-29 | 洛阳能源密封件有限公司 | 一种高温介质输送管道对接密封件 |
JP2016176497A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 連結構造及びこれを用いた排気系、基板処理装置、並びにフランジの取り外し方法 |
CN110939803A (zh) * | 2019-12-17 | 2020-03-31 | 刘永海 | 一种基于气密封原理的可更换滤板的管道固定装置 |
CN110985782A (zh) * | 2019-12-17 | 2020-04-10 | 温州市动宠商贸有限公司 | 一种管道密封装置 |
-
2002
- 2002-09-04 JP JP2002258411A patent/JP2004092874A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104565617A (zh) * | 2014-12-22 | 2015-04-29 | 洛阳能源密封件有限公司 | 一种高温介质输送管道对接密封件 |
JP2016176497A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 連結構造及びこれを用いた排気系、基板処理装置、並びにフランジの取り外し方法 |
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