JPH03176841A - 光ディスク用スタンパの製造方法 - Google Patents
光ディスク用スタンパの製造方法Info
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- JPH03176841A JPH03176841A JP31436289A JP31436289A JPH03176841A JP H03176841 A JPH03176841 A JP H03176841A JP 31436289 A JP31436289 A JP 31436289A JP 31436289 A JP31436289 A JP 31436289A JP H03176841 A JPH03176841 A JP H03176841A
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- photosensitive resist
- resist film
- stamper
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Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、光ディスクの成形に使用する光ディスク用ス
タンパの製造方法に関するものである。
タンパの製造方法に関するものである。
（従来の技術）
従来の光ディスク用スタンパの製造方法について、第２
図ないし第４図により説明する。
図ないし第４図により説明する。
第２図（ａ）ないしくｆ）は、従来の光ディスク用スタ
ンパの製造方法を工程順に示した要部拡大断面図である
。まず、ガラス原盤を光学研磨した後、洗浄したガラス
基板１（第２図（ａ））の上に、感光性レジストを塗布
し、低温熱処理を施して感光性レジスト膜２を形成する
（第２図（ｂ））。次に、レジスト感光波長を有するレ
ーザ光３で、螺旋状又は同心円状に露光（第２図（Ｃ）
） した後、現像して露光部を除去し、ガラス基板１が
露呈した溝４を形成する。続いて、上記のレジスト膜２
が溶融しない程度の高温で硬化処理を施した後、放冷す
ると、レジスト原盤が得られる（第２図（ｄ））。次に
。
ンパの製造方法を工程順に示した要部拡大断面図である
。まず、ガラス原盤を光学研磨した後、洗浄したガラス
基板１（第２図（ａ））の上に、感光性レジストを塗布
し、低温熱処理を施して感光性レジスト膜２を形成する
（第２図（ｂ））。次に、レジスト感光波長を有するレ
ーザ光３で、螺旋状又は同心円状に露光（第２図（Ｃ）
） した後、現像して露光部を除去し、ガラス基板１が
露呈した溝４を形成する。続いて、上記のレジスト膜２
が溶融しない程度の高温で硬化処理を施した後、放冷す
ると、レジスト原盤が得られる（第２図（ｄ））。次に
。
レジスト原盤にニッケルスパッタ等を施して、表面にニ
ッケルＭ５を形成しく第２図（ｅ））、続いて電気鋳造
法を用いてニッケルスタンパ６を形成する（第２図（ｆ
））。
ッケルＭ５を形成しく第２図（ｅ））、続いて電気鋳造
法を用いてニッケルスタンパ６を形成する（第２図（ｆ
））。
このようにして製造されたニッケルスタンパ６は、レジ
スト原盤の凹凸を忠実に反転した凹凸を有すものとなる
。
スト原盤の凹凸を忠実に反転した凹凸を有すものとなる
。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、第２図（ｄ）に示した現像工程で、第３
図に示すように、ガラス基４Ｊ）ｌｉ上に形成された感
光性レジスト膜２の溝４の両側壁面４ａおよび未露光で
ある感光性レジスト膜２の表面２ａは。
図に示すように、ガラス基４Ｊ）ｌｉ上に形成された感
光性レジスト膜２の溝４の両側壁面４ａおよび未露光で
ある感光性レジスト膜２の表面２ａは。
共に現像液によりエツチングされて荒れた状態となる。
しかも露光された両側壁面４ａの面荒れは、未露光の表
面２ａの溝状の面荒れに比へ大きい傾向がある。この面
荒れは、そのままニッケルスタンパに転写される。従っ
て、その後ディスク化工程によって製造される光ディス
クにそのまま転写され、光ディスク信号面の面荒れの一
要因になり、光ディスクを光学的に再生したとき、ノイ
ズ成分として現れ情報用信号の読取りに悪影響をもたら
すという問題があった。
面２ａの溝状の面荒れに比へ大きい傾向がある。この面
荒れは、そのままニッケルスタンパに転写される。従っ
て、その後ディスク化工程によって製造される光ディス
クにそのまま転写され、光ディスク信号面の面荒れの一
要因になり、光ディスクを光学的に再生したとき、ノイ
ズ成分として現れ情報用信号の読取りに悪影響をもたら
すという問題があった。
次に、光ディスク成形工程の問題について説明する。
第４図（ａ）および（ｂ）は、ゴー記のニッケルスタン
パ６を用いて光ディスク７を樹脂成形する工程を示す要
部拡大断面図である。第４図（ａ）に示すように、ニッ
ケルスタンパ６を堤６ａの間に充填された樹脂は、その
両側壁面６ｂの微小な凹凸の中にも充填されるため、第
４図（ｂ）に示すように、成形された光ディスク７から
ニッケルスタンパ６を引き離す際に、溝７ａの両端にば
り８が発生し、光ディスク７の信号面の面荒れを一層増
大させるという問題があった。
パ６を用いて光ディスク７を樹脂成形する工程を示す要
部拡大断面図である。第４図（ａ）に示すように、ニッ
ケルスタンパ６を堤６ａの間に充填された樹脂は、その
両側壁面６ｂの微小な凹凸の中にも充填されるため、第
４図（ｂ）に示すように、成形された光ディスク７から
ニッケルスタンパ６を引き離す際に、溝７ａの両端にば
り８が発生し、光ディスク７の信号面の面荒れを一層増
大させるという問題があった。
本発明は上記の問題を解決するもので、信号面の面荒れ
が小さい、安定した信号読出しを可能とする光ディスク
用スタンパを提供するものである。
が小さい、安定した信号読出しを可能とする光ディスク
用スタンパを提供するものである。
（課題を解決するための手段）
上記の課題を解決するため、本発明は、現像後の硬化処
理条件を、レジスト材料が溶融する温度と時間で行うも
のである。
理条件を、レジスト材料が溶融する温度と時間で行うも
のである。
（作 用）
上記の高温硬化処理によって、感光性レジスト膜の表面
を溶融させることにより、現像処理で生じた感光性レジ
スト膜２の表面２ａや溝４の両側壁面４ａの微小な凹凸
がなだらかになると共に側＝３− 壁面４ａの傾斜もなだらかになる。
を溶融させることにより、現像処理で生じた感光性レジ
スト膜２の表面２ａや溝４の両側壁面４ａの微小な凹凸
がなだらかになると共に側＝３− 壁面４ａの傾斜もなだらかになる。
（実施例）
本発明の一実施例を第１図により説明する。
なお、本実施例が、第２図に示した従来例と異なる点は
、感光性レジストとして、シブレイ社製のＭ Ｐ−１３
５０を使用し、第２図（ｄ）の硬化熱処理は、対流型加
熱炉を用い、溶融点を含む温度範囲は、１３０℃ないし
１５０℃で、また、加熱時間は３０分の条件で行った点
である。なお、この処理条件は、レジスト材料、ガラス
基板１の熱容量および加熱炉によって異なることは言う
までもない。
、感光性レジストとして、シブレイ社製のＭ Ｐ−１３
５０を使用し、第２図（ｄ）の硬化熱処理は、対流型加
熱炉を用い、溶融点を含む温度範囲は、１３０℃ないし
１５０℃で、また、加熱時間は３０分の条件で行った点
である。なお、この処理条件は、レジスト材料、ガラス
基板１の熱容量および加熱炉によって異なることは言う
までもない。
その他は従来の製造方法と変りがないので、同じ構成部
品には同一符号を付して、その説明を省略する。
品には同一符号を付して、その説明を省略する。
第１図（ａ）および（ｂ）は、本発明による硬化熱処理
の前後の状態を示す要部拡大斜視図で、第１図（ａ）は
、第３図に示した従来例のままであるが、本発明による
硬化熱処理によって、（ｂ）図中に角度寸法線βで示し
た溝４の両側壁面４ａの傾斜は、（ａ）図中の角度寸法
線αで示した傾斜より小さくなり、且つ、側壁面４ａお
よび感光性レジスト膜２の表面２ａの荒れが小さくなる
。
の前後の状態を示す要部拡大斜視図で、第１図（ａ）は
、第３図に示した従来例のままであるが、本発明による
硬化熱処理によって、（ｂ）図中に角度寸法線βで示し
た溝４の両側壁面４ａの傾斜は、（ａ）図中の角度寸法
線αで示した傾斜より小さくなり、且つ、側壁面４ａお
よび感光性レジスト膜２の表面２ａの荒れが小さくなる
。
」―記のことより、光ディスク７の成形工程において、
ニッケルスタンパ６の離型の際に発生していた側壁面４
ａの端部のばり８が、発生しなくなる。
ニッケルスタンパ６の離型の際に発生していた側壁面４
ａの端部のばり８が、発生しなくなる。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、レジスト原盤の
感光性レジスト膜の表面の荒れが小さくなり、且つ、溝
の側壁面の傾斜がなだらかになるので、これを転写する
光ディスクの信号面の粗さが小さくなり、且つ有害なば
りの発生も抑えられるため、ノイズレベルの低い、情報
記録信号の読出しが安定した光ディスクが得られる。
感光性レジスト膜の表面の荒れが小さくなり、且つ、溝
の側壁面の傾斜がなだらかになるので、これを転写する
光ディスクの信号面の粗さが小さくなり、且つ有害なば
りの発生も抑えられるため、ノイズレベルの低い、情報
記録信号の読出しが安定した光ディスクが得られる。
第１図（ａ）および（ｂ）は本発明による感光性レジス
ト膜の硬化熱処理の前後の状態を示すレジスト原盤の要
部拡大斜視図、第２図は、光ディスク用スタンパの製造
方法を工程順に示した要部拡大断面図、第３図は従来の
製造方法における現像による感光性レジスト股の面荒れ
状態を示す要部拡大斜視図、第４図（ａ）および（ｂ）
は、光ディスクの成形工程を示す要部拡大断面図である
。 ｊ ・ガラス基板、 ２ 感光性レジス１− ＩＩψ
、 ２ａ ・ 表面、 ３ ・・・ レーザ光、４．７
ａ＝ 溝、 ４ａ、 ６ｂ−側壁面、５ ・・ ニッ
ケル層、 ６ ・・・ニッケルスタンパ、 ６ａ・・
堤、 ７・・・光ディスク、８ ・・ ばり。
ト膜の硬化熱処理の前後の状態を示すレジスト原盤の要
部拡大斜視図、第２図は、光ディスク用スタンパの製造
方法を工程順に示した要部拡大断面図、第３図は従来の
製造方法における現像による感光性レジスト股の面荒れ
状態を示す要部拡大斜視図、第４図（ａ）および（ｂ）
は、光ディスクの成形工程を示す要部拡大断面図である
。 ｊ ・ガラス基板、 ２ 感光性レジス１− ＩＩψ
、 ２ａ ・ 表面、 ３ ・・・ レーザ光、４．７
ａ＝ 溝、 ４ａ、 ６ｂ−側壁面、５ ・・ ニッ
ケル層、 ６ ・・・ニッケルスタンパ、 ６ａ・・
堤、 ７・・・光ディスク、８ ・・ ばり。
Claims (1)
- 基板の上に感光性レジスト膜を形成する工程と、上記の
感光性レジスト膜の表面にレーザ光等で螺旋状又は同心
円状に露光をした後、現像し露光部を除去し溝を形成す
る工程と、残留した感光性レジスト膜を硬化熱処理する
工程と、スパッタ法等で表面を導体化した後、電気鋳造
する工程とからなる光ディスク用スタンパの製造方法に
おいて、上記の感光性レジスト材の溶融点近傍の温度で
硬化熱処理を施したことを特徴とする光ディスク用スタ
ンパの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1314362A JP2767638B2 (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | 光ディスク用スタンパの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1314362A JP2767638B2 (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | 光ディスク用スタンパの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03176841A true JPH03176841A (ja) | 1991-07-31 |
| JP2767638B2 JP2767638B2 (ja) | 1998-06-18 |
Family
ID=18052422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1314362A Expired - Lifetime JP2767638B2 (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | 光ディスク用スタンパの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2767638B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8026046B2 (en) * | 2000-10-03 | 2011-09-27 | Panasonic Corporation | Method for producing multi-layer optical disk |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6028048A (ja) * | 1983-07-25 | 1985-02-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マスタ−スタンパ−の製造方法 |
| JPS63124243A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-27 | Canon Inc | 光学的記録媒体用スタンパ−及びその製造方法 |
| JPS63134243A (ja) * | 1986-10-28 | 1988-06-06 | エム・アー・エヌ−ローラント・ドルツクマシーネン・アクチエンゲゼルシヤフト | 多色刷り印刷機の印刷ユニツト間で見当合わせして枚葉紙を引渡すための装置 |
-
1989
- 1989-12-05 JP JP1314362A patent/JP2767638B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6028048A (ja) * | 1983-07-25 | 1985-02-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マスタ−スタンパ−の製造方法 |
| JPS63134243A (ja) * | 1986-10-28 | 1988-06-06 | エム・アー・エヌ−ローラント・ドルツクマシーネン・アクチエンゲゼルシヤフト | 多色刷り印刷機の印刷ユニツト間で見当合わせして枚葉紙を引渡すための装置 |
| JPS63124243A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-27 | Canon Inc | 光学的記録媒体用スタンパ−及びその製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8026046B2 (en) * | 2000-10-03 | 2011-09-27 | Panasonic Corporation | Method for producing multi-layer optical disk |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2767638B2 (ja) | 1998-06-18 |
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