JPH03163477A - 分割露光装置 - Google Patents
分割露光装置Info
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- JPH03163477A JPH03163477A JP1302740A JP30274089A JPH03163477A JP H03163477 A JPH03163477 A JP H03163477A JP 1302740 A JP1302740 A JP 1302740A JP 30274089 A JP30274089 A JP 30274089A JP H03163477 A JPH03163477 A JP H03163477A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 42
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 claims description 28
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
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- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明(友感光体を露光する露光装置に関し、詳し<(
友 感光体上の走査範囲を分割して露光する分割露光装
置に関する。
友 感光体上の走査範囲を分割して露光する分割露光装
置に関する。
[従来の技術]
従来より、レーザプリンタ等で{よ感光体を露光する露
光装置が用いられている。そして、感光体上の走査線の
長さが長い場合に(よ感光体上の走査範囲を複数に分割
し、それぞれの走査範囲を外部から入力された情報に基
づいて露光する分割露光装置も提案されている。例えl
′L このような分割露光装置で(よ第4図に示すよ
うに、2台の露光装置50.52を併設し、それぞれの
露光装置50.52が、外部から入力される情報に基づ
いて変調されるレーザ光発振器54.56と、レーザ光
発振器54.56の発するレーザ光を偏向する回転多面
鏡58.60と、水晶発振回路による基準発振回路62
.64と、それぞれの基準発振回路62.64の信号に
より回転多面鏡58.60をそれぞれ定回転駆動する駆
動回路66,68とを備えている。そして、レーザ光の
露光に先立ち、レーザ光を検出して、外部から入力され
る情報のタイミングをとるディテクタ70.72も設け
られている。そして、それぞれの露光装置50,52に
おいて、各駆動回路66.68が各基準発振回路62.
64及びディテクタ70.72からの信号に基づいて、
各回転多面鏡58.60をそれぞれ定速回転させる。そ
して、レーザ光発振器54.56からのレーザ光が、デ
ィテクタ70.72により検出されて、この検出信号が
図示しない露光情報取り出し装置のトリガ信号として用
いられて、レーザ光発振器54.56が、入力される情
報に基づいて、レーザ光を発し、回転多面鏡58,60
がこのレーザ光E偏向し、感光体上を走査している。
光装置が用いられている。そして、感光体上の走査線の
長さが長い場合に(よ感光体上の走査範囲を複数に分割
し、それぞれの走査範囲を外部から入力された情報に基
づいて露光する分割露光装置も提案されている。例えl
′L このような分割露光装置で(よ第4図に示すよ
うに、2台の露光装置50.52を併設し、それぞれの
露光装置50.52が、外部から入力される情報に基づ
いて変調されるレーザ光発振器54.56と、レーザ光
発振器54.56の発するレーザ光を偏向する回転多面
鏡58.60と、水晶発振回路による基準発振回路62
.64と、それぞれの基準発振回路62.64の信号に
より回転多面鏡58.60をそれぞれ定回転駆動する駆
動回路66,68とを備えている。そして、レーザ光の
露光に先立ち、レーザ光を検出して、外部から入力され
る情報のタイミングをとるディテクタ70.72も設け
られている。そして、それぞれの露光装置50,52に
おいて、各駆動回路66.68が各基準発振回路62.
64及びディテクタ70.72からの信号に基づいて、
各回転多面鏡58.60をそれぞれ定速回転させる。そ
して、レーザ光発振器54.56からのレーザ光が、デ
ィテクタ70.72により検出されて、この検出信号が
図示しない露光情報取り出し装置のトリガ信号として用
いられて、レーザ光発振器54.56が、入力される情
報に基づいて、レーザ光を発し、回転多面鏡58,60
がこのレーザ光E偏向し、感光体上を走査している。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、こうした従来の露光装置で{よ回転多面
鏡58,60が、それぞれの駆動装置66.68により
定速で回転されるだけなので、第5図に示すように、そ
れぞれの露光装置50,52による走査線にずれが生じ
る場合があった。即ち、露光装置50.52により、感
光体上をレーザ光が走査すると共に、感光体はその走査
方向と直交する方向に移動されて、感光体上の走査範囲
が露光されるようにされている。従って、一方の露光装
置50による走査線と、他方の露光装置52による走査
線とに、ずれが生じる。例え{戴 第5図(イ)に示す
ように、露光装置50.52による走査方向が、感光体
の移動に移動速度に応じて斜めになっている場合に(友
感光体上に表れる走査線al,a21社感光体と直交す
る。そして、露光装置50.52による露光のタイミン
グが、何等かの原因でずれると、例えば、他方の露光装
置52の駆動装置68による回転多面鏡60の回転速度
が遅くなると、露光装置50.52によるそれぞれの走
査線al,a2間にずれが生じ、ひいては画像にずれが
生゛じてしまう。また、第5図(口)に示すように、露
光装置50.52による走査方向が、感光体の移動方向
と直交する場合には、感光体上に表れる走査線bl,b
2+1 斜めになる。そして、露光装置50.52によ
る露光のタイミングが、何等かの原因でずれると、例え
ば、他方の露光装置52の駆動装置68による回転多面
鏡60の回転速度が遅くなると、露光装置50.52に
よるそれぞれの走査線bl,b2間にずれが生じ、ひい
ては画像にずれが生じてしまう。
鏡58,60が、それぞれの駆動装置66.68により
定速で回転されるだけなので、第5図に示すように、そ
れぞれの露光装置50,52による走査線にずれが生じ
る場合があった。即ち、露光装置50.52により、感
光体上をレーザ光が走査すると共に、感光体はその走査
方向と直交する方向に移動されて、感光体上の走査範囲
が露光されるようにされている。従って、一方の露光装
置50による走査線と、他方の露光装置52による走査
線とに、ずれが生じる。例え{戴 第5図(イ)に示す
ように、露光装置50.52による走査方向が、感光体
の移動に移動速度に応じて斜めになっている場合に(友
感光体上に表れる走査線al,a21社感光体と直交す
る。そして、露光装置50.52による露光のタイミン
グが、何等かの原因でずれると、例えば、他方の露光装
置52の駆動装置68による回転多面鏡60の回転速度
が遅くなると、露光装置50.52によるそれぞれの走
査線al,a2間にずれが生じ、ひいては画像にずれが
生゛じてしまう。また、第5図(口)に示すように、露
光装置50.52による走査方向が、感光体の移動方向
と直交する場合には、感光体上に表れる走査線bl,b
2+1 斜めになる。そして、露光装置50.52によ
る露光のタイミングが、何等かの原因でずれると、例え
ば、他方の露光装置52の駆動装置68による回転多面
鏡60の回転速度が遅くなると、露光装置50.52に
よるそれぞれの走査線bl,b2間にずれが生じ、ひい
ては画像にずれが生じてしまう。
そこで本発明は上記の課題を解決することを目的とし、
走査範囲を分割しても画像にずれが生じることのない分
割露光装置を提供することにある。
走査範囲を分割しても画像にずれが生じることのない分
割露光装置を提供することにある。
[課題を解決するための千段]
かかる目的を達成すべく、本発明は課題を解決するため
の手段として次の構成を取った。即ち、光に感光する感
光体上の走査範囲を分割し、それぞれの走査範囲を外部
より入力された情報に基づいて露光する複数の露光装置
を有し、前記複数の露光装置の内、第1の露光装置が、
レーザ光を発する第1のレーザ光発振器と、該第1のレ
ーザ光発振器の発するレーザ光を偏向する反射鏡を回転
駆動して走査線上を走査させる第1の駆動手段と、 該第1の駆動手段により偏向されて前記走査範囲外の前
記走査線上にレーザ光が照射されたことを検出する第1
の同期検出手段とを備え、前記第1の露光装置以外の露
光装置が、レーザ光を発するレーザ光発振器と、 該レーザ光発振器の発するレーザ光を偏向する反射鏡を
回転駆動して走査線上を走査させる走査速度可変の駆動
手段と、 該駆動手段により偏向されて前記走査範囲外の前記走査
線上にレーザ光が照射されたことを検出する同期検出手
段と、 前記両同期検出手段の出力信号が同位相になるように駆
動手段を制御して走査速度を変える同期制御手段とを備
えた ことを特徴とする分割露光装置の構成がそれである。
の手段として次の構成を取った。即ち、光に感光する感
光体上の走査範囲を分割し、それぞれの走査範囲を外部
より入力された情報に基づいて露光する複数の露光装置
を有し、前記複数の露光装置の内、第1の露光装置が、
レーザ光を発する第1のレーザ光発振器と、該第1のレ
ーザ光発振器の発するレーザ光を偏向する反射鏡を回転
駆動して走査線上を走査させる第1の駆動手段と、 該第1の駆動手段により偏向されて前記走査範囲外の前
記走査線上にレーザ光が照射されたことを検出する第1
の同期検出手段とを備え、前記第1の露光装置以外の露
光装置が、レーザ光を発するレーザ光発振器と、 該レーザ光発振器の発するレーザ光を偏向する反射鏡を
回転駆動して走査線上を走査させる走査速度可変の駆動
手段と、 該駆動手段により偏向されて前記走査範囲外の前記走査
線上にレーザ光が照射されたことを検出する同期検出手
段と、 前記両同期検出手段の出力信号が同位相になるように駆
動手段を制御して走査速度を変える同期制御手段とを備
えた ことを特徴とする分割露光装置の構成がそれである。
[作用]
前記構成を有する分割露光装置は、第1の露光装置の第
1の駆動手段が、反射鏡を回転駆動し、第1のレーザ光
発振器がレーザ光を発し、・反射鏡がレーザ光を偏向し
、第1の同期検出手段が、走査範囲外の走査線上にレー
ザ光が照射されたことを検出する。そして、第1の露光
装置以外の露光装置で1上駆動手段が、反射鏡を回転駆
動し、レーザ光発振器がレーザ光を発し、反射鏡がレー
ザ光を偏向し、同期検出手段が、走査範囲外の走査線上
にレーザ光が照射されたことを検出し、同期制御手段が
、両同期検出手段の出力信号が同位相になるように駆動
手段を制御する。よって、走査範囲を分割しても、複数
の露光装置による画像にずれが生じることがない。
1の駆動手段が、反射鏡を回転駆動し、第1のレーザ光
発振器がレーザ光を発し、・反射鏡がレーザ光を偏向し
、第1の同期検出手段が、走査範囲外の走査線上にレー
ザ光が照射されたことを検出する。そして、第1の露光
装置以外の露光装置で1上駆動手段が、反射鏡を回転駆
動し、レーザ光発振器がレーザ光を発し、反射鏡がレー
ザ光を偏向し、同期検出手段が、走査範囲外の走査線上
にレーザ光が照射されたことを検出し、同期制御手段が
、両同期検出手段の出力信号が同位相になるように駆動
手段を制御する。よって、走査範囲を分割しても、複数
の露光装置による画像にずれが生じることがない。
[実施例]
以下本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
第1図は本発明の一実施例である分割露光装置の概略構
成図である。図示矢印α方向に一定の速度で回転駆動さ
れる感光体ドラム1の外周に沿って、周知の帯電器2、
転写器4や図示しないクリーナ等が配置されており、後
述するレーザ光により感光体ドラム1上に描かれた光学
的な潜像を該感光体ドラム1の一回転中に現像化するよ
うにされている。本実施例で(よ この感光体ドラム1
上を第1図に示すように、左右に二分割して、それぞれ
別個のレーザ光により潜像を形成するようにしている。
成図である。図示矢印α方向に一定の速度で回転駆動さ
れる感光体ドラム1の外周に沿って、周知の帯電器2、
転写器4や図示しないクリーナ等が配置されており、後
述するレーザ光により感光体ドラム1上に描かれた光学
的な潜像を該感光体ドラム1の一回転中に現像化するよ
うにされている。本実施例で(よ この感光体ドラム1
上を第1図に示すように、左右に二分割して、それぞれ
別個のレーザ光により潜像を形成するようにしている。
そして、レーザ光を発する第1のレーザ光発振器として
の第1の半導体レーザ光発射素子6より、正6角形、あ
るいは正8角形のポリゴンミラーからなる回転反射鏡8
に向けて、レーザ光が発射されるようにされている。こ
の回転反射鏡81iDCモータ10により回転駆動さk
Dcモータ1Oは、水晶発振子12を有する基準発振回
路14からの信号と、DCモータ10の回転を検出する
エンコーダ16からの信号とを比較し、両信号が同期す
るように制御する駆動制御回路18により、定速回転す
るようにされている。前記DCモータ10、基準発振回
路14、エンコーダ16、駆動制御回路18により第1
の駆動手段としての第1駆動装置20を構成している。
の第1の半導体レーザ光発射素子6より、正6角形、あ
るいは正8角形のポリゴンミラーからなる回転反射鏡8
に向けて、レーザ光が発射されるようにされている。こ
の回転反射鏡81iDCモータ10により回転駆動さk
Dcモータ1Oは、水晶発振子12を有する基準発振回
路14からの信号と、DCモータ10の回転を検出する
エンコーダ16からの信号とを比較し、両信号が同期す
るように制御する駆動制御回路18により、定速回転す
るようにされている。前記DCモータ10、基準発振回
路14、エンコーダ16、駆動制御回路18により第1
の駆動手段としての第1駆動装置20を構成している。
前記半導体レーザ光発射素子6から発せられたレーザ光
{友回転反射鏡8により偏向されて、本実施例では、感
光体ドラム1上の走査範囲の左半分を照射するように配
置されている。また、本実施例では、このレーザ光によ
る、感光体ドラム1上を走査する走査線A1が、感光体
ドラム1の回転方向(矢印α方向)I:,回転速度に応
じて傾けられており、走査線A1が感光体ドラム1上で
{よ水平になるようにされている。そして、この走査線
上ではあるが、前記感光体ドラム1上の走査範囲から外
れた位置に 回転反射鏡8により偏向されたレーザ光が
照射されたことを検出する第1の同期検出装置22が設
けられている。この第1の同期検出装置22としては、
レーザ光が照射されたときに信号を出力する周知の光セ
ンサ等を用いればよい。この第1の同期検出装置22(
よ レーザ光が感光体ドラム1上の走査範囲を走査する
際1:.この走査範囲への照射を邪魔しないように、走
査範囲外の走査線上に設けられている。これら、第1の
半導体レーザ光発射素子6、回転反射鏡8、第1駆動装
置20、第1の同期検出装置22により第1の露光装置
を構成している。
{友回転反射鏡8により偏向されて、本実施例では、感
光体ドラム1上の走査範囲の左半分を照射するように配
置されている。また、本実施例では、このレーザ光によ
る、感光体ドラム1上を走査する走査線A1が、感光体
ドラム1の回転方向(矢印α方向)I:,回転速度に応
じて傾けられており、走査線A1が感光体ドラム1上で
{よ水平になるようにされている。そして、この走査線
上ではあるが、前記感光体ドラム1上の走査範囲から外
れた位置に 回転反射鏡8により偏向されたレーザ光が
照射されたことを検出する第1の同期検出装置22が設
けられている。この第1の同期検出装置22としては、
レーザ光が照射されたときに信号を出力する周知の光セ
ンサ等を用いればよい。この第1の同期検出装置22(
よ レーザ光が感光体ドラム1上の走査範囲を走査する
際1:.この走査範囲への照射を邪魔しないように、走
査範囲外の走査線上に設けられている。これら、第1の
半導体レーザ光発射素子6、回転反射鏡8、第1駆動装
置20、第1の同期検出装置22により第1の露光装置
を構成している。
また、感光体ドラム1上の走査範囲の残り右側半分をレ
ーザ光により照射するために、レーザ光を発するレーザ
光発振器としての半導体レーザ光発射素子24が設けら
れている。この半導体レーザ光発射素子24より、正6
角形、あるいは正8角形のポリゴンミラーからなる回転
反射鏡26に向けて、レーザ光が発射されるようにされ
ている。
ーザ光により照射するために、レーザ光を発するレーザ
光発振器としての半導体レーザ光発射素子24が設けら
れている。この半導体レーザ光発射素子24より、正6
角形、あるいは正8角形のポリゴンミラーからなる回転
反射鏡26に向けて、レーザ光が発射されるようにされ
ている。
この回転反射鏡26111,DCモータ28により回転
駆動さ札 DCモータ28(よ駆動制御回路30により
回転が制御されるようにされている。前記DCモータ2
8、駆動制御回路30により駆動手段としての駆動装置
32色構成している。
駆動さ札 DCモータ28(よ駆動制御回路30により
回転が制御されるようにされている。前記DCモータ2
8、駆動制御回路30により駆動手段としての駆動装置
32色構成している。
前記半導体レーザ光発射素子24から発せられたレーザ
光は、回転反射鏡26により偏向されて、本実施例では
、感光体ドラム]上の走査範囲の右半分を照射するよう
に配置されている。また、前述したと同様に本実施例で
は、このレーザ光による、感光体ドラム1上舎走査する
走査線A2が、感光体ドラム1の回転方向(矢印α方向
)に、回転速度に応じて傾けられており、走査線A2が
感光体ドラム1上では、水平になるように、かつ後述す
る制御により前記走査線A1とこの走査線A2とが感光
体ドラム1上で一直線となるようにされている。そして
、この走査線上ではあるが、前記感光体ドラム]上の走
査範囲から外れた位置に、回転反射鏡26により偏向さ
れたレーザ光が照射されたことを検出する同期検出装置
34が設けられている。この同期検出装置34としては
、前述したと同様に、レーザ光が照射されたときに信号
を出力する周知の光センサ等を用いればよい。この同期
検出装置34(よ前記回転反射鏡8により偏向されたレ
ーザ光の走査範囲への照射を妨げず、かつレーザ光が感
光体ドラム1上の右半分の走査範囲を走査する際に、こ
の走査範囲への照射を邪魔しないように、走査範囲外の
走査線上に設けられている。
光は、回転反射鏡26により偏向されて、本実施例では
、感光体ドラム]上の走査範囲の右半分を照射するよう
に配置されている。また、前述したと同様に本実施例で
は、このレーザ光による、感光体ドラム1上舎走査する
走査線A2が、感光体ドラム1の回転方向(矢印α方向
)に、回転速度に応じて傾けられており、走査線A2が
感光体ドラム1上では、水平になるように、かつ後述す
る制御により前記走査線A1とこの走査線A2とが感光
体ドラム1上で一直線となるようにされている。そして
、この走査線上ではあるが、前記感光体ドラム]上の走
査範囲から外れた位置に、回転反射鏡26により偏向さ
れたレーザ光が照射されたことを検出する同期検出装置
34が設けられている。この同期検出装置34としては
、前述したと同様に、レーザ光が照射されたときに信号
を出力する周知の光センサ等を用いればよい。この同期
検出装置34(よ前記回転反射鏡8により偏向されたレ
ーザ光の走査範囲への照射を妨げず、かつレーザ光が感
光体ドラム1上の右半分の走査範囲を走査する際に、こ
の走査範囲への照射を邪魔しないように、走査範囲外の
走査線上に設けられている。
そして、前記第1の同期検出装置22と、同期検出装置
34とから出力された信号{よ駆動制御装置30に入力
されるように接続されており、駆動制御装置30で(よ
この入力された両信号を位相比較器36に取り込む。
34とから出力された信号{よ駆動制御装置30に入力
されるように接続されており、駆動制御装置30で(よ
この入力された両信号を位相比較器36に取り込む。
位相比較器36{上 本実施例で(表第1の同期検出装
置22からの信号が同期検出装置34からの信号よりも
位相が進んでいるときには+5vの位相差の程度に応じ
た信号を出力し、遅れているときには−5vの位相差に
応じた信号を出力する。この位相差信号(社積分器38
に入力されて、積分処理された後、増幅器40に出力さ
れる。そして、増幅器40で(よこの信号に基づいて、
DCモータ28に出力する駆動信号を増減して、第1の
同期検出装置22と、同期検出装置34とからの信号が
同期するようにDCモータ28の回転数を変更するよう
構成されている。この駆動制御装置30の中の位相比較
器36、積分器38、増幅器40により同期制御手段を
構成している。また、半導体レーザ発射素子24、回転
反射鏡26、駆動装置32、同期検出装置34により第
1の露光装置以外の露光装置を構成している。
置22からの信号が同期検出装置34からの信号よりも
位相が進んでいるときには+5vの位相差の程度に応じ
た信号を出力し、遅れているときには−5vの位相差に
応じた信号を出力する。この位相差信号(社積分器38
に入力されて、積分処理された後、増幅器40に出力さ
れる。そして、増幅器40で(よこの信号に基づいて、
DCモータ28に出力する駆動信号を増減して、第1の
同期検出装置22と、同期検出装置34とからの信号が
同期するようにDCモータ28の回転数を変更するよう
構成されている。この駆動制御装置30の中の位相比較
器36、積分器38、増幅器40により同期制御手段を
構成している。また、半導体レーザ発射素子24、回転
反射鏡26、駆動装置32、同期検出装置34により第
1の露光装置以外の露光装置を構成している。
一方、感光体ドラム1が前記レーザ光により感光さ札感
光体ドラム1にトナー(図示せず)が付着された後、感
光体ドラム1が図中の矢印α方向の回転により転写器4
に至る間に、記録用紙42が周知の給紙用ローラ44等
により供給されて、感光体ドラム1に密着される。これ
により、感光体ドラム1のトナー像は記録用紙42上に
転写さ札記録用紙42には画像が記録される。
光体ドラム1にトナー(図示せず)が付着された後、感
光体ドラム1が図中の矢印α方向の回転により転写器4
に至る間に、記録用紙42が周知の給紙用ローラ44等
により供給されて、感光体ドラム1に密着される。これ
により、感光体ドラム1のトナー像は記録用紙42上に
転写さ札記録用紙42には画像が記録される。
前述した各装置の作動は、電子制御装置501二より集
中管理されている。電子制御装置5011周知のCPU
52、制御用のプログラムやデータを予め格納するRO
M54、読み書き可能なRAM561m,外部の機器と
の信号をやり取りする入出力回路58等がコモンバス6
0を介して相互に接続されて構成されている。CPU5
2i1 ROM54内の記憶されたプログラムにした
がって、RAM56に必要なデータを一時的に読み書き
する処理を行いつつ、次の入力・出力の処理を行う。
中管理されている。電子制御装置5011周知のCPU
52、制御用のプログラムやデータを予め格納するRO
M54、読み書き可能なRAM561m,外部の機器と
の信号をやり取りする入出力回路58等がコモンバス6
0を介して相互に接続されて構成されている。CPU5
2i1 ROM54内の記憶されたプログラムにした
がって、RAM56に必要なデータを一時的に読み書き
する処理を行いつつ、次の入力・出力の処理を行う。
即ち、CPU52[i 図示しない外部機器から記録用
紙42に記録すべき画像情報が入力されたときに、両駆
動制御装置18.30に回転開始信号を出力し、第1の
同期検出装置22からの信号が入力されたときに(よ
それぞれのレーザ光発射素子6,24に左半分の画像及
び右半分の画像を形成するレーザ変調信号が、一本の走
査線毎に出力する。
紙42に記録すべき画像情報が入力されたときに、両駆
動制御装置18.30に回転開始信号を出力し、第1の
同期検出装置22からの信号が入力されたときに(よ
それぞれのレーザ光発射素子6,24に左半分の画像及
び右半分の画像を形成するレーザ変調信号が、一本の走
査線毎に出力する。
次に、本実施例の分割露光装置の作動について説明する
。
。
まず、電源が投入されて、外部機器から画像情報が入力
されると、両駆動制御装置18.30から両DCモータ
10,28に回転駆動信号が出力されて、両DCモータ
10,28が回転駆動さ札両回転反射鏡8,26の回転
が開始される。また、両レーザ光発振素子6,24から
レーザ光が発せらわ、回転反射鏡8,26により偏向さ
れて、走査線上に照射される。
されると、両駆動制御装置18.30から両DCモータ
10,28に回転駆動信号が出力されて、両DCモータ
10,28が回転駆動さ札両回転反射鏡8,26の回転
が開始される。また、両レーザ光発振素子6,24から
レーザ光が発せらわ、回転反射鏡8,26により偏向さ
れて、走査線上に照射される。
そして、この発せられたレーザ光が、第1の同期検出装
置22により検出されると、その同期信号は駆動制御装
置30の位相比較器36に入力される。また、他方のレ
ーザ光発振素子24から発せられたレーザ光が、回転反
射鏡26により偏向さわ、他方の同期検出装置34によ
り検出されると、その同期信号も駆動制御装置30の位
相比較器36に入力される。
置22により検出されると、その同期信号は駆動制御装
置30の位相比較器36に入力される。また、他方のレ
ーザ光発振素子24から発せられたレーザ光が、回転反
射鏡26により偏向さわ、他方の同期検出装置34によ
り検出されると、その同期信号も駆動制御装置30の位
相比較器36に入力される。
前記第1の同期検出装置22からの同期信号(よ電子制
御装置50にも入力されて、電子制御装置50を介して
、画像情報に応じた一本の走査線に対応したレーザ変調
信号が、それぞれのレーザ光発振素子6,24に入力さ
れる。第1のレーザ光発振素子6には、左半分の画像情
報に応じたレーザ変調信号が、そして、他方のレーザ光
発振素子24には、右半分のレーザ変調信号が入力され
る。
御装置50にも入力されて、電子制御装置50を介して
、画像情報に応じた一本の走査線に対応したレーザ変調
信号が、それぞれのレーザ光発振素子6,24に入力さ
れる。第1のレーザ光発振素子6には、左半分の画像情
報に応じたレーザ変調信号が、そして、他方のレーザ光
発振素子24には、右半分のレーザ変調信号が入力され
る。
この各々に入力されるレーザ変調信号により両レーザ光
発振素子6,24からレーザ光が発せら札 回転反射鏡
8,26によりそれぞれ偏向されて、レーザ光の照射に
応じて、感光体ドラム1が感光される。この動作が走査
線毎に繰り返し行われて、感光体ドラム1上に画像情報
に応じた潜像が形成される。
発振素子6,24からレーザ光が発せら札 回転反射鏡
8,26によりそれぞれ偏向されて、レーザ光の照射に
応じて、感光体ドラム1が感光される。この動作が走査
線毎に繰り返し行われて、感光体ドラム1上に画像情報
に応じた潜像が形成される。
このとき、各走査線に応じてレーザ光が照射される毎に
、両同期検出装置22.34によりレーザ光が照射され
たことが検出される。例え{ヱ 第2図(イ)に示す第
1の同期検出装置22からの信号と、第2図(口)に示
す同期検出装置34からの信号とが、駆動制御装置30
の位相比較器36{二入力される。そして、位相比較器
36で(よ両同期信号を比較して、第1の同期検出装置
22からの信号に対して、同期検出装置34からの信号
の位相が遅れているときに{よ第2図(ハ)の如く、+
5vの両同期信号の位相差の程度に応じた信号を出力す
る。尚、同期検出装置34からの信号の位相が進んでい
るときにLL −5Vの両同期信号の位相差に応じた
信号を出力する。
、両同期検出装置22.34によりレーザ光が照射され
たことが検出される。例え{ヱ 第2図(イ)に示す第
1の同期検出装置22からの信号と、第2図(口)に示
す同期検出装置34からの信号とが、駆動制御装置30
の位相比較器36{二入力される。そして、位相比較器
36で(よ両同期信号を比較して、第1の同期検出装置
22からの信号に対して、同期検出装置34からの信号
の位相が遅れているときに{よ第2図(ハ)の如く、+
5vの両同期信号の位相差の程度に応じた信号を出力す
る。尚、同期検出装置34からの信号の位相が進んでい
るときにLL −5Vの両同期信号の位相差に応じた
信号を出力する。
積分器38は、位相差信号を第2図(二)に示す如く位
相差信号を積分処理して、増幅器40に出力する。即ち
、位相差信号が「+」であるときには、積分器38から
の出力信号のレベルが上昇し、位相差信号が「一」であ
るときに(大積分器38からの出力のレベルが低下する
。増幅器40は積分処理された信号に基づいて、DCモ
ータ28に駆動信号を出力する。そして、DCモータ2
8は、この駆動信号に応じた回転数で回転する。
相差信号を積分処理して、増幅器40に出力する。即ち
、位相差信号が「+」であるときには、積分器38から
の出力信号のレベルが上昇し、位相差信号が「一」であ
るときに(大積分器38からの出力のレベルが低下する
。増幅器40は積分処理された信号に基づいて、DCモ
ータ28に駆動信号を出力する。そして、DCモータ2
8は、この駆動信号に応じた回転数で回転する。
第2図(イ)、 (口)に示すように、両同期検出装置
22.34からの信号に位相差があるときには、その位
相差に応じた位相差信号が出力される。そして、その位
相差信号が積分処理されて、その位相差に応じて信号の
レベルが上昇あるいは低下する。そして、積分処理され
た信号が、そのレベルに応じて増幅されて、増幅器40
から出力される。よって、同期検出装置34からの信号
の位相が遅れているときにEDCモータ28への出力レ
ベルが上げら札 その回転数が上昇される。
22.34からの信号に位相差があるときには、その位
相差に応じた位相差信号が出力される。そして、その位
相差信号が積分処理されて、その位相差に応じて信号の
レベルが上昇あるいは低下する。そして、積分処理され
た信号が、そのレベルに応じて増幅されて、増幅器40
から出力される。よって、同期検出装置34からの信号
の位相が遅れているときにEDCモータ28への出力レ
ベルが上げら札 その回転数が上昇される。
また、同期検出装置34からの信号の位相が進んでいる
ときには、DCモータ28への出力レベルが下げら札
その回転数が低下される。
ときには、DCモータ28への出力レベルが下げら札
その回転数が低下される。
従って、その位相差の程度に応じてDCモータ28の回
転数が変更されて、その位相差が小さくなるように制御
される。その位相差がなくなり、両回転反射鏡8,26
が同一の回転数で回転される。よって、両同期検出装置
22.34でレーザ光が検出されるタイミングが同じに
なり、両回転反射鏡8,26の回転数が同一となるので
、それぞれの走査線AI,A2の走査開始位置が同じタ
イミングとなる。これにより、第3図(イ)に示すよう
に感光体ドラム1の回転方向に対して、それぞれの走査
線AI,A2にずれが生じることがなく、一直線状にな
り、画像にずれが生じることがなしX. また、本実施例で(よ感光体ドラム1上で両走査線AI
,A2が一直線状になるようにしているが、感光体ドラ
ム1上を走査するレーザ光が、感光体ドラム1と水平に
走査するものにあっては、第3図(口)に示すように、
両走査線Bl, B2は感光体ドラム1上で斜めとな
る。しかし、両走査線Bl,B2は互いに平行となり、
また、走査開始位置が同じタイミングとなるので、それ
ぞれの走査線Bl,B2にずれが生じることがなく、画
像にずれが生じることがない。
転数が変更されて、その位相差が小さくなるように制御
される。その位相差がなくなり、両回転反射鏡8,26
が同一の回転数で回転される。よって、両同期検出装置
22.34でレーザ光が検出されるタイミングが同じに
なり、両回転反射鏡8,26の回転数が同一となるので
、それぞれの走査線AI,A2の走査開始位置が同じタ
イミングとなる。これにより、第3図(イ)に示すよう
に感光体ドラム1の回転方向に対して、それぞれの走査
線AI,A2にずれが生じることがなく、一直線状にな
り、画像にずれが生じることがなしX. また、本実施例で(よ感光体ドラム1上で両走査線AI
,A2が一直線状になるようにしているが、感光体ドラ
ム1上を走査するレーザ光が、感光体ドラム1と水平に
走査するものにあっては、第3図(口)に示すように、
両走査線Bl, B2は感光体ドラム1上で斜めとな
る。しかし、両走査線Bl,B2は互いに平行となり、
また、走査開始位置が同じタイミングとなるので、それ
ぞれの走査線Bl,B2にずれが生じることがなく、画
像にずれが生じることがない。
以上本発明はこの様な実施例に伺等限定されるものでは
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる
態様で実施し得る。
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる
態様で実施し得る。
[発明の効果]
以上詳述したように本発明の分割露光装置は、両同期検
出手段の出力信号が同位相となるように制御するので、
感光体上の走査範囲を複数に分割しても、それぞれの露
光装置による走査線にずれが生じることがなく、画像に
ずれが生じないという効果を奏する。
出手段の出力信号が同位相となるように制御するので、
感光体上の走査範囲を複数に分割しても、それぞれの露
光装置による走査線にずれが生じることがなく、画像に
ずれが生じないという効果を奏する。
第1図は本発明の一実施例としての分割露光装置の概略
構成図、第2図は本実施例の信号のタイムチャート第3
図は本実施例の走査線の説明図、第4図は従来の分割露
光装置の概略構成図、第5図は従来の分割露光装置によ
る走査線の説明図である。 1・・・感光体ドラム 6・・・第1のレーザ光発射素子 8・・・回転反射鏡 10.28・・・DCモータ 18・・・第1の駆動制御装置 22・・・第1の同期検出装置 24・・・レーザ光発射素子 26・・・回転反射鏡 30・・・駆動制御装置 36・・・位相比較器
構成図、第2図は本実施例の信号のタイムチャート第3
図は本実施例の走査線の説明図、第4図は従来の分割露
光装置の概略構成図、第5図は従来の分割露光装置によ
る走査線の説明図である。 1・・・感光体ドラム 6・・・第1のレーザ光発射素子 8・・・回転反射鏡 10.28・・・DCモータ 18・・・第1の駆動制御装置 22・・・第1の同期検出装置 24・・・レーザ光発射素子 26・・・回転反射鏡 30・・・駆動制御装置 36・・・位相比較器
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光に感光する感光体上の走査範囲を分割し、それぞれの
走査範囲を外部より入力された情報に基づいて露光する
複数の露光装置を有し、 前記複数の露光装置の内、第1の露光装置が、レーザ光
を発する第1のレーザ光発振器と、該第1のレーザ光発
振器の発するレーザ光を偏向する反射鏡を回転駆動して
走査線上を走査させる第1の駆動手段と、 該第1の駆動手段により偏向されて前記走査範囲外の前
記走査線上にレーザ光が照射されたことを検出する第1
の同期検出手段とを備え、 前記第1の露光装置以外の露光装置が、 レーザ光を発するレーザ光発振器と、 該レーザ光発振器の発するレーザ光を偏向する反射鏡を
回転駆動して走査線上を走査させる走査速度可変の駆動
手段と、 該駆動手段により偏向されて前記走査範囲外の前記走査
線上にレーザ光が照射されたことを検出する同期検出手
段と、 前記両同期検出手段の出力信号が同位相になるように駆
動手段を制御して走査速度を変える同期制御手段とを備
えた ことを特徴とする分割露光装置
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1302740A JPH03163477A (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 | 分割露光装置 |
US07/578,220 US5107280A (en) | 1989-09-12 | 1990-09-06 | Divisional exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1302740A JPH03163477A (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 | 分割露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03163477A true JPH03163477A (ja) | 1991-07-15 |
Family
ID=17912585
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1302740A Pending JPH03163477A (ja) | 1989-09-12 | 1989-11-21 | 分割露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03163477A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003098459A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置および画像形成装置 |
JP2003255251A (ja) * | 2002-03-04 | 2003-09-10 | Ricoh Co Ltd | 走査制御装置、プログラム、位置決め機構、光走査ユニット及び画像形成装置 |
WO2016136974A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | 株式会社ニコン | 基板処理装置、デバイス製造システム及びデバイス製造方法 |
-
1989
- 1989-11-21 JP JP1302740A patent/JPH03163477A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003098459A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置および画像形成装置 |
JP2003255251A (ja) * | 2002-03-04 | 2003-09-10 | Ricoh Co Ltd | 走査制御装置、プログラム、位置決め機構、光走査ユニット及び画像形成装置 |
WO2016136974A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | 株式会社ニコン | 基板処理装置、デバイス製造システム及びデバイス製造方法 |
CN107209461A (zh) * | 2015-02-27 | 2017-09-26 | 株式会社尼康 | 基板处理装置、元件制造系统及元件制造方法 |
JPWO2016136974A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2017-12-07 | 株式会社ニコン | 基板処理装置、デバイス製造システム及びデバイス製造方法 |
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