JPH04106515A - 走査露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、走査露光装置に関し、更に詳細には、半導体
レーザを使用しポリゴンミラーによってレーザビーム走
査を行う走査露光装置に関する。

［従来の技術１ 従来、走査露光装置は、半導体レーザが発したレーザ光
をポリゴンミラーで反射させ、同時に前記ポリゴンミラ
ーを回転することにより、感光体上にレーザ光を所定周
期毎に走査する。この時、前記半導体レーザは、感光体
全面に−様な露光を行う際には感光体のどの位置を露光
するかによらず、一定強度のレーザ光を発生させていた
。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、半導体レーザが発したレーザ光がポリゴ
ンミラーで反射する際に、ポリゴンミラーへの入射角度
により反射率が異な）、入射角が小さいほど反射率が小
さくなり反射光量も少な（なることが知られている。こ
のことを第３図を用いて説明する。半導体レーザ３０が
発したレーザ光はポリゴンミラー３１（図中はミラー面
のみ示す）で反射されて感光体３２に照射される。その
ときに、ポリゴンミラー３１が矢印Ｃ方向、すなわち、
図中３１ａから３１ｂに回転するとレーザ光の入射角は
角ａから角すに変化し、ポリゴンミラー３１により反射
されたレーザ光は矢印ｄの方向に移動して感光体３２の
表面を左から右に走査する。この時、角ａから角すに入
射角が小さくなるに従いポリゴンミラー３１の反射率は
小さくなる。そのために、半導体レーザ３０が強度一定
のレーザ光を照射していても、感光体３２表面上におい
ては図中に一体的に描いたグラフに示すように露光強度
工が一定ではなく、感光体３２面上で左側の方が右側よ
り露光強度■が大きくなってしまう。従って、例えば電
子写真法による露光装置においては露光後の感光体３２
表面の帯電量は右側の方が左側より大きくなるという問
題点があった。

本発明は、上述した問題点を解決するためになされたも
のであり、ポリゴンミラーにおけるレーザ光の入射角の
変化による反射光量の変化を補正し、感光体上でムラの
ない露光を行うことができる走査露光装置を提供するこ
とを目的としている。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、本発明の走査露光装置は
ポリゴンミラー面にレーザ光が入射する際の入射角を検
出する入射角検出手段と、前記入射角検出手段により得
られた入射角により定まる反射光量の変化を補正するた
め入射光量を算出する入射光量算出手段と、レーザ光の
光軸上に設けられ、前記算出結果によってレーザ光の透
過光量を変化させることで前記入射光量を調整し前記補
正を実行する光量補正手段とを備えている。

［作用］ 本発明の走査露光装置は上述した構成をしており、入射
角検出手段はポリゴンミラー面へのレーザ光の入射角を
検出し出力する。入射光量算出手段は前記検出信号を基
に入射角により変化する前記ミラー面での反射率変化、
すなわち反射光量の変化を相殺するように、入射光量す
なわち透過率を算出する。光量補正手段は前記算出結果
に従い透過率を変化させ、レーザの反射光量の変化を補
正する。

［実施例Ｊ 以下、本発明を具体化した一実施例を図面を参照して説
明する。

最初に第１．２図を参照して本実施例の走査露光装置の
構成を説明する。半導体レーザ１．コリメータレンズ２
．Ｅ−０変調器３は同一の光軸上に配置されポリゴンミ
ラー４にレーザ光を導く。

ポリゴンミラー４はポリゴンモーター５により回転駆動
される。ポリゴンモーター５にはＦＧ６が装着されてお
り、図示しない制御回路により一定回転で回転するよう
駆動される。ポリゴンミラー４と感光体ドラム７の間の
レーザ光の経路にはｆθレンズ８が、またレーザ光の走
査開始位置近傍に走査露光の基準タイミング信号を得る
ためのビームディテクタ９が配置されている。

ビームディテクタ９の信号は第２図に示す側波発生回路
１０に入力され、該信号をトリガーとして側波を発生す
る。さらにこの側波は変換回路１１を経てＥ−０変調器
３に接続されている。

そして、前記ビームディテクタ９．側波発生回路１０が
本実施例の入射角検出手段を形成する。また、変換回路
１１が本実施例の入射光量算出手段であり、本実施例で
は同時に透過率算出手段を形成する。さらに、Ｅ−０変
調器３が本実施例の光量補正手段を形成している。

次に、本実施例の動作を説明する。半導体レーザ１は図
示しないレーザドライブ回路によって駆動されレーザ光
を放射する。放射されたレーザ光はコリメータレンズ２
によって略平行光になり、さらにＥ−０変調器３を通過
した後、ポリゴンミラー４のミラー面に入射する。ポリ
ゴンミラー４はポリゴンモーター５により高速に回転駆
動されレーザ光を走査する。走査されたレーザ光はｆθ
レンズ８を経て感光ドラム７上を走査するが、各ミラー
面毎に走査開始直前にビームディテクタ９により基準タ
イミングを検出する。側波発生回路１０は前記検出信号
なトリガーとして側波を発生するが、ポリゴンミラー４
は一定速で回転しているので、この側波がポリゴンミラ
ー４のミラー面に入射するレーザ光の入射角に対応した
信号となる。この信号を変換回路１１に入力することに
より、入射角に依存した反射率の変化を打ち消すような
透過率を算出し、Ｅ−０変調器３を駆動する。Ｅ−０変
調器３は、例えば透明セラミック（ＰＬＺＴ）等とその
駆動装置により構成され、入力信号の連続的な変化に対
し透過光量を連続的に変化させることができる。従って
、ポリゴンミラー面での反射率変化をＥ−０変調器３の
透過率で打ち消すことができ、反射光量の変化を補正す
るように入射光量を調整できる。

尚、本実施例では、ビームディテクタの信号からポリゴ
ンミラーへの入射角を検出したが、ポリゴンモーターに
エンコーダーを装着することにより検出しても本発明は
達成できる。

［発明の効果］ 以上詳述したことから明らかなように、本発明によれば
、ポリゴンミラーにおけるレーザ光の入射角の変化によ
る反射光量の変化を、透過率を変化させて入射光量を調
整することにより補正し、感光体上でムラのない露光を
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１，２図は本発明を具体化した実施例を示すもので、
第１図は本実施例の走査露光装置の概略斜視図、第２図
は第１図の要部のブロック図である。第３図は従来例に
おける問題点を明らかにするための説明図である。 １・・・半導体レーザ ３・・・Ｅ−０変調器（光量補正手段）４・・・ポリゴ
ンミラー ７・・・感光体ドラム

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 記録信号によって変調されたレーザ光を放射する半導体
   レーザと、情報を記録するための感光体上に前記レーザ
   光を所定周期毎に走査するポリゴンミラー面を有した走
   査手段とを備えた走査露光装置において、 ポリゴンミラー面にレーザ光が入射する際の入射角を検
   出する入射角検出手段と、 前記入射角検出手段により得られた入射角により定まる
   反射光量の変化を補正するための入射光量を算出する入
   射光量算出手段と、 レーザ光の光軸上に設けられ、前記算出結果によってレ
   ーザ光の透過光量を変化させることで前記入射光量を調
   整し前記補正を実行する光量補正手段とを備えたことを
   特徴とする走査露光装置。