JPH03156195A - 超純水用ポンプ - Google Patents
超純水用ポンプInfo
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- JPH03156195A JPH03156195A JP29393489A JP29393489A JPH03156195A JP H03156195 A JPH03156195 A JP H03156195A JP 29393489 A JP29393489 A JP 29393489A JP 29393489 A JP29393489 A JP 29393489A JP H03156195 A JPH03156195 A JP H03156195A
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- Japan
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- sic
- container
- shaft
- base material
- sic layer
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- Pending
Links
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Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、水に接触する各部材の材質に改良を施した超
純水用ポンプに関する。
純水用ポンプに関する。
［従来の技術］
従来、図示しないが、超純水用ポンプとして、水の吸込
口及び吐出口を有した容器と、この容器内に配置された
シャフトと、このシャフトに取り付けられた翼と、この
翼を回転させる駆動源等を具備したものが知られている
。ここで、前記容器はテフロン、シャフトや翼は強度が
必要であるためステレス材が使用されていた。
口及び吐出口を有した容器と、この容器内に配置された
シャフトと、このシャフトに取り付けられた翼と、この
翼を回転させる駆動源等を具備したものが知られている
。ここで、前記容器はテフロン、シャフトや翼は強度が
必要であるためステレス材が使用されていた。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、従来の超純水用ポンプによれば、ステン
レス材のシャフトや翼から金属が溶出したり、腐食によ
り錆等が発生し、水の純度を低下させるという問題があ
った。
レス材のシャフトや翼から金属が溶出したり、腐食によ
り錆等が発生し、水の純度を低下させるという問題があ
った。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、容器、シャ
フト及び翼をＳｉＣ質または炭素質基材にＳｉＣ層を被
覆した部材から構成することにより、金属の溶出や錆の
発生を回避し、もって水の純度を維持しえる超純水用ポ
ンプを提供することを目的とする。
フト及び翼をＳｉＣ質または炭素質基材にＳｉＣ層を被
覆した部材から構成することにより、金属の溶出や錆の
発生を回避し、もって水の純度を維持しえる超純水用ポ
ンプを提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段と作用］
本発明は、水の吸込口及び吐出口を有した容器と、この
容器内に少なくとも一部が配置されたシャフトと、この
シャフトに取り付けられた翼と、この翼を回転させる駆
動源とを具備し、前記容器。
容器内に少なくとも一部が配置されたシャフトと、この
シャフトに取り付けられた翼と、この翼を回転させる駆
動源とを具備し、前記容器。
シャフト及び翼がＳｉＣ質または炭素質基材にＳｉＣ層
を被覆した部材からなることを特徴とする超純水用ポン
プである。即ち、本発明は容器。
を被覆した部材からなることを特徴とする超純水用ポン
プである。即ち、本発明は容器。
シャフト及び翼をＳｉＣ質にＳｉＣ層を被覆した部材か
ら構成するか、あるいは容器、シャフト及び翼を炭素（
Ｃ）質基材にＳｉＣ層を被覆した部材から構成するもの
である。
ら構成するか、あるいは容器、シャフト及び翼を炭素（
Ｃ）質基材にＳｉＣ層を被覆した部材から構成するもの
である。
本発明において、容器、シャフト及び翼のＳＩＣ質基材
は、自焼結、再結晶、珪化等いずれの手段を用いてもよ
い。ここで、ＳｉＣ質基材に更にＳｉＣ層を被覆するの
は、気孔中に水が滞留するのを防ぐ事、並びに純度を向
上させる事による。
は、自焼結、再結晶、珪化等いずれの手段を用いてもよ
い。ここで、ＳｉＣ質基材に更にＳｉＣ層を被覆するの
は、気孔中に水が滞留するのを防ぐ事、並びに純度を向
上させる事による。
また、成形は、射出、スリップキャスティング加工等を
用いる事ができる。
用いる事ができる。
本発明において、ＳｉＣ層の被覆方法としては、気相成
長法（ＣＶＤ法）等が挙げられる。
長法（ＣＶＤ法）等が挙げられる。
本発明において、シャフトと翼は一体成形または組み立
てによって形成される。
てによって形成される。
本発明によれば、容器、シャフト及び翼をＳＩＣ質また
は炭素質基材にＳｉＣ層を被覆した部材から構成するこ
とにより、従来のように金属の溶出や錆の発生を回避し
、もって水の純度を維持しえる精度の高い超純水用ポン
プを得ることができる。
は炭素質基材にＳｉＣ層を被覆した部材から構成するこ
とにより、従来のように金属の溶出や錆の発生を回避し
、もって水の純度を維持しえる精度の高い超純水用ポン
プを得ることができる。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図を参照して
説明する。ここで、第１図は本発明に係る超純水用ポン
プの全体図、第２図はこのポンプの翼の平面図である。
説明する。ここで、第１図は本発明に係る超純水用ポン
プの全体図、第２図はこのポンプの翼の平面図である。
図中の１は、吸込口２及び吐出口３を有した容器である
。この容器１は、例えば自焼結ＳｉＣ質基材に厚み１０
０μｍのＳｉＣ層をコートした材料から構成されている
。前記吸込口２と反対側の容器１の突出部４には、例え
ばステンレス、銅、テフロン等からなる筐体５が焼ばめ
により取り付けられている。
。この容器１は、例えば自焼結ＳｉＣ質基材に厚み１０
０μｍのＳｉＣ層をコートした材料から構成されている
。前記吸込口２と反対側の容器１の突出部４には、例え
ばステンレス、銅、テフロン等からなる筐体５が焼ばめ
により取り付けられている。
前記吸込口２と反対側の容器］の側壁には、例えばＳ
ｉ Ｃ，ステンレス、銅等からなるベアリング６を介し
て例えば厚み１００μｍのＳｉＣ層を表面に被覆したＳ
ｉＣ質基材からなるシャフト７が設けられている。この
シャフト７は、筐体５内に収容されたモータ８の一端に
連結されている。このモータ８の他端は筐体５の外部と
シールされている。
ｉ Ｃ，ステンレス、銅等からなるベアリング６を介し
て例えば厚み１００μｍのＳｉＣ層を表面に被覆したＳ
ｉＣ質基材からなるシャフト７が設けられている。この
シャフト７は、筐体５内に収容されたモータ８の一端に
連結されている。このモータ８の他端は筐体５の外部と
シールされている。
前記シャフト７には、例えば該シャフト７と一体成形さ
れた翼９（第２図図示）が取り付けられている。ここで
、翼９の材料は、例えば厚み１００μｍのＳｉＣ層を表
面に被覆したＳｉＣ質基材から構成されている。なお、
図中の１０は排水口であり、磨耗によって生じた塵埃を
純水中に送り込まないようにモータ側の水を排出させて
いる。また、図中の１１は電線である。
れた翼９（第２図図示）が取り付けられている。ここで
、翼９の材料は、例えば厚み１００μｍのＳｉＣ層を表
面に被覆したＳｉＣ質基材から構成されている。なお、
図中の１０は排水口であり、磨耗によって生じた塵埃を
純水中に送り込まないようにモータ側の水を排出させて
いる。また、図中の１１は電線である。
しかして、上記実施例に係る超純水用ポンプによれば、
容器１．シャフト７及び翼９が夫々ＳｉＣ質基材の表面
にＳｉＣ層を被覆した部材からなる構成されているため
、従来のように金属の溶出や錆の発生が生じることなく
、もって水の純度を維持することができる。
容器１．シャフト７及び翼９が夫々ＳｉＣ質基材の表面
にＳｉＣ層を被覆した部材からなる構成されているため
、従来のように金属の溶出や錆の発生が生じることなく
、もって水の純度を維持することができる。
事実、本発明による超純水用ポンプを用いた場合の金属
不純物量（Ｆｅ、Ｎｉ、ＡＮ等）（μｇ／ｇ）、微粒子
数を調べたところ、Ｆ ｅ ； ０．００３、Ｎ ｉ
； Ｑ、（１（１１、Ａｌｌ ； ０．（１０１、０，
１ａｍ以上の粒子数；１個以下であった。一方、本実施
例と同様の形状で水の循環容器部分をテフロン、ベアリ
ングはステンレスにて製作し、その他は全て実施例と同
様にし、同様の条件にて使用した場合の金属不純物量及
び微粒子数を調べた（従来例）ところ、Ｆｅｅｌ、Ｎｉ
；１、Ａｇ、１．０．１μｍ以上の粒子数；３０個であ
った。これにより、本発明のポンプが従来のポンプと比
べて優れていることが判明した。
不純物量（Ｆｅ、Ｎｉ、ＡＮ等）（μｇ／ｇ）、微粒子
数を調べたところ、Ｆ ｅ ； ０．００３、Ｎ ｉ
； Ｑ、（１（１１、Ａｌｌ ； ０．（１０１、０，
１ａｍ以上の粒子数；１個以下であった。一方、本実施
例と同様の形状で水の循環容器部分をテフロン、ベアリ
ングはステンレスにて製作し、その他は全て実施例と同
様にし、同様の条件にて使用した場合の金属不純物量及
び微粒子数を調べた（従来例）ところ、Ｆｅｅｌ、Ｎｉ
；１、Ａｇ、１．０．１μｍ以上の粒子数；３０個であ
った。これにより、本発明のポンプが従来のポンプと比
べて優れていることが判明した。
なお、上記実施例では、容器、シャフト及び翼が夫々Ｓ
ｉＣ質基材の表面にＳｉＣ層を被覆した部材からなる場
合について述べたが、これに限らず、炭素（Ｃ）質基材
にＳｉＣ層を被覆した部材からなる場合でもよい。特に
、容器部分は大きな強度を必要としないため、炭素（Ｃ
）質基材にＳｉＣ層を被覆したものでも十分である。
ｉＣ質基材の表面にＳｉＣ層を被覆した部材からなる場
合について述べたが、これに限らず、炭素（Ｃ）質基材
にＳｉＣ層を被覆した部材からなる場合でもよい。特に
、容器部分は大きな強度を必要としないため、炭素（Ｃ
）質基材にＳｉＣ層を被覆したものでも十分である。
［発明の効果］
以上詳述した如く本発明によれば、容器、シャフト及び
翼をＳｉＣ質または炭素質基材にＳｉＣ層を被覆した部
材から構成することにより、金属の溶出や錆の発生を回
避し、もって水の純度を維持しえる精度の高い超純水用
ポンプを提供できる。
翼をＳｉＣ質または炭素質基材にＳｉＣ層を被覆した部
材から構成することにより、金属の溶出や錆の発生を回
避し、もって水の純度を維持しえる精度の高い超純水用
ポンプを提供できる。
第１図は本発明の一実施例に係る超純水用ポンプの全体
図、第２図はこのポンプの翼の平面図である。 １・・・容器、２・・・吐出口、３・・・吸込口、５・
・・筐体、６・・・ベアリング、７・・・シャフト−１
８・・・モータ、９・・翼。
図、第２図はこのポンプの翼の平面図である。 １・・・容器、２・・・吐出口、３・・・吸込口、５・
・・筐体、６・・・ベアリング、７・・・シャフト−１
８・・・モータ、９・・翼。
Claims (1)
- 水の吸込口及び吐出口を有した容器と、この容器内に少
なくとも一部が配置されたシャフトと、このシャフトに
取り付けられた翼と、この翼を回転させる駆動源とを具
備し、前記容器、シャフト及び翼がＳｉＣ質または炭素
質基材にＳｉＣ層を被覆した部材からなることを特徴と
する超純水用ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29393489A JPH03156195A (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 超純水用ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29393489A JPH03156195A (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 超純水用ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03156195A true JPH03156195A (ja) | 1991-07-04 |
Family
ID=17801060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29393489A Pending JPH03156195A (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 超純水用ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03156195A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007247689A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-27 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 超純水用の炭化珪素質摺動部材 |
| JP2010236093A (ja) * | 2010-05-17 | 2010-10-21 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 超純水用の炭化珪素質摺動部材 |
| US9492970B2 (en) | 2010-01-21 | 2016-11-15 | Runtech Systems Oy | Method for manufacturing the impeller of a centrifugal compressor |
-
1989
- 1989-11-14 JP JP29393489A patent/JPH03156195A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007247689A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-27 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 超純水用の炭化珪素質摺動部材 |
| JP4547345B2 (ja) * | 2006-03-13 | 2010-09-22 | 日本ピラー工業株式会社 | 超純水用の炭化珪素質ベアリング |
| US9492970B2 (en) | 2010-01-21 | 2016-11-15 | Runtech Systems Oy | Method for manufacturing the impeller of a centrifugal compressor |
| JP2010236093A (ja) * | 2010-05-17 | 2010-10-21 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 超純水用の炭化珪素質摺動部材 |
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