JP4547345B2 - 超純水用の炭化珪素質ベアリング - Google Patents
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Description
P1 実施例ベアリング(スラストベアリング)
pa1 CVD−SiC膜
pb1 基体
PA 摺動面
Q スリーブ
R ブッシュ
W 超純水
Claims (4)
- 比抵抗値が5〜18.2MΩ・cmである超純水と接触する状態で相手部材と摺接する炭化珪素質ベアリングであって、少なくとも摺動面に比抵抗値が1Ω・cm以下となるようにミラー指数表示における(220)面に強配向させた炭化珪素化学蒸着膜をコーティングして、相手部材との接触摩擦による静電気の発生,蓄積を防止し、静電気と超純水に含まれる酸素とによる電池作用により当該摺動面にこれを構成する炭化珪素の腐蝕によるSiO 2 の白色粉が発生する摺動面の白色化現象を防止するように構成したことを特徴とする超純水用の炭化珪素質ベアリング。
- 表面の一部又は全部であって、摺動面及び超純水と接触する表面部分に、比抵抗値が1Ω・cm以下である炭化珪素化学蒸着膜をコーティングしてあることを特徴とする、請求項1に記載する超純水用の炭化珪素質ベアリング。
- 当該摺動部材の基体が、密度が3.00g/cm3 以上であり且つ炭化珪素純度が80%以上の炭化珪素焼結体であることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載する超純水用の炭化珪素質ベアリング。
- 前記化学蒸着膜の厚みが10μm〜2mmであり且つ当該膜の炭化珪素純度が99.99%以上であることを特徴とする、請求項1〜請求項3の何れかに記載する超純水用の炭化珪素質ベアリング。
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