JP5153826B2 - 超純水用の炭化珪素質摺動部材 - Google Patents
超純水用の炭化珪素質摺動部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5153826B2 JP5153826B2 JP2010112941A JP2010112941A JP5153826B2 JP 5153826 B2 JP5153826 B2 JP 5153826B2 JP 2010112941 A JP2010112941 A JP 2010112941A JP 2010112941 A JP2010112941 A JP 2010112941A JP 5153826 B2 JP5153826 B2 JP 5153826B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- sliding member
- ultrapure water
- sliding
- specific resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Mechanical Sealing (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Description
P1 実施例摺動部材(スラストベアリング)
pa1 CVD−SiC膜
pb1 基体
PA 摺動面
Q スリーブ
R ブッシュ
W 超純水
Claims (4)
- 超純水と接触する状態で使用される炭化珪素質摺動部材であって、少なくとも摺動面に比抵抗値が1Ω・cm以下となるようにミラー指数表示における(220)面に強配向させた炭化珪素化学蒸着膜をコーティングして、相手部材との接触摩擦による静電気の発生,蓄積を防止し、静電気と超純水に含まれる酸素とによる電池作用により当該摺動面にこれを構成する炭化珪素の腐蝕によるSiO2の白色粉が発生する摺動面の白色化現象を防止するように構成したことを特徴とする超純水用の炭化珪素質摺動部材。
- 表面の一部又は全部であって、摺動面及び超純水と接触する表面部分に、比抵抗値が1Ω・cm以下である炭化珪素化学蒸着膜をコーティングしてあることを特徴とする、請求項1に記載する超純水用の炭化珪素質摺動部材。
- 当該摺動部材の基体が、密度が3.00g/cm3 以上であり且つ炭化珪素純度が80%以上の炭化珪素焼結体であることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載する超純水用の炭化珪素質摺動部材。
- 前記化学蒸着膜の厚みが10μm〜2mmであり且つ当該膜の炭化珪素純度が99.99%以上であることを特徴とする、請求項1〜請求項3の何れかに記載する超純水用の炭化珪素質摺動部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010112941A JP5153826B2 (ja) | 2010-05-17 | 2010-05-17 | 超純水用の炭化珪素質摺動部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010112941A JP5153826B2 (ja) | 2010-05-17 | 2010-05-17 | 超純水用の炭化珪素質摺動部材 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006068391A Division JP4547345B2 (ja) | 2006-03-13 | 2006-03-13 | 超純水用の炭化珪素質ベアリング |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010236093A JP2010236093A (ja) | 2010-10-21 |
JP5153826B2 true JP5153826B2 (ja) | 2013-02-27 |
Family
ID=43090684
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010112941A Active JP5153826B2 (ja) | 2010-05-17 | 2010-05-17 | 超純水用の炭化珪素質摺動部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5153826B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015229793A (ja) * | 2014-06-06 | 2015-12-21 | 東洋炭素株式会社 | SiC被覆材及びCVD装置用治具 |
JP2017227260A (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 株式会社酉島製作所 | 耐摩耗部材およびこれを用いたメカニカルシール |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4772498A (en) * | 1986-11-20 | 1988-09-20 | Air Products And Chemicals, Inc. | Silicon carbide capillaries |
JPH03156195A (ja) * | 1989-11-14 | 1991-07-04 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 超純水用ポンプ |
JPH06341438A (ja) * | 1993-05-31 | 1994-12-13 | Kyocera Corp | 軸受装置 |
JP2819018B2 (ja) * | 1996-11-18 | 1998-10-30 | 日本ピラー工業株式会社 | 抵抗発熱ヒータ |
JP3058601B2 (ja) * | 1997-01-09 | 2000-07-04 | 日本ピラー工業株式会社 | 炭化珪素コーティング材 |
JP2918860B2 (ja) * | 1997-01-20 | 1999-07-12 | 日本ピラー工業株式会社 | 鏡面体 |
JP2002047066A (ja) * | 2000-08-02 | 2002-02-12 | Tokai Carbon Co Ltd | SiC成形体およびその製造方法 |
JP2002230730A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-16 | Kyocera Corp | 磁気ヘッド用基板、磁気ヘッドスライダ及び磁気ヘッド |
JP3696807B2 (ja) * | 2001-06-25 | 2005-09-21 | 京セラ株式会社 | 摺動部材及びその製造方法 |
JP2004011566A (ja) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Seikow Chemical Engineering & Machinery Ltd | マグネットポンプ |
JP4547345B2 (ja) * | 2006-03-13 | 2010-09-22 | 日本ピラー工業株式会社 | 超純水用の炭化珪素質ベアリング |
-
2010
- 2010-05-17 JP JP2010112941A patent/JP5153826B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010236093A (ja) | 2010-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI588370B (zh) | 磁性轉子及具有磁性轉子之旋轉泵 | |
KR102422725B1 (ko) | 플라즈마 환경들 내의 챔버 컴포넌트들을 위한 Y2O3-ZrO2 부식 저항성 재료 | |
KR101642037B1 (ko) | 프로세스 키트 차폐물들 및 이의 사용 방법들 | |
JP4547345B2 (ja) | 超純水用の炭化珪素質ベアリング | |
CN101389258B (zh) | 具有改进的轴的家用设备 | |
US6824458B2 (en) | Retaining ring for holding semiconductor wafers in a chemical mechanical polishing apparatus | |
JP2007203417A (ja) | ソーワイヤ、ソーワイヤの製造方法、半導体インゴットの切断方法及びワイヤソー | |
JP5153826B2 (ja) | 超純水用の炭化珪素質摺動部材 | |
JP2016516954A (ja) | 硬度が異なる摺動面を有するメカニカルシール装置 | |
US6192603B1 (en) | Vacuum processing apparatus and magnetic seal rotary bearing unit | |
JP4685724B2 (ja) | ロータリジョイント | |
JP2002005365A (ja) | 多流路形ロータリジョイント | |
US20180347563A1 (en) | Pump for corrosive fluids | |
WO2008133354A1 (ja) | 純水用セラミックス摺動部材 | |
JP4402289B2 (ja) | 耐食性超硬合金 | |
CN1072105C (zh) | 表面平滑部件 | |
KR20190132425A (ko) | 높은 부식성 또는 침식성이 있는 산업용 적용들에서의 사용을 위한 세라믹 재료 조립체 | |
US20060198743A1 (en) | Pump device | |
JP2007317820A (ja) | 静電吸着装置 | |
JP3831108B2 (ja) | ドライ真空ポンプ | |
JP6339527B2 (ja) | 多機能ハイブリッド材料を用いた機械部品及び構築部品 | |
JP2013507523A (ja) | 材料を蒸着するための製造装置および当該製造装置で使用される電極 | |
KR101747045B1 (ko) | 이종 재질의 전기 전도성 표면을 갖는 초저마모 미케니컬 씰 구조 | |
CN115698512A (zh) | 用于输送含有固体的介质的离心泵 | |
TW517265B (en) | Apparatus for supporting a substrate and method of fabricating same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120131 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121113 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121204 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151214 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5153826 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |