JPH05240188A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
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- JPH05240188A JPH05240188A JP4324413A JP32441392A JPH05240188A JP H05240188 A JPH05240188 A JP H05240188A JP 4324413 A JP4324413 A JP 4324413A JP 32441392 A JP32441392 A JP 32441392A JP H05240188 A JPH05240188 A JP H05240188A
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- JP
- Japan
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- stator
- cylindrical element
- vacuum pump
- pump
- comb
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/02—Selection of particular materials
- F04D29/023—Selection of particular materials especially adapted for elastic fluid pumps
-
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/08—Sealings
- F04D29/16—Sealings between pressure and suction sides
- F04D29/161—Sealings between pressure and suction sides especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2300/00—Materials; Properties thereof
- F05D2300/40—Organic materials
- F05D2300/43—Synthetic polymers, e.g. plastics; Rubber
- F05D2300/432—PTFE [PolyTetraFluorEthylene]
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2300/00—Materials; Properties thereof
- F05D2300/60—Properties or characteristics given to material by treatment or manufacturing
- F05D2300/601—Fabrics
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 円筒状要素のスロットとステータとの間に必
要な微小間隙の形成及び維持に関する優れたポンプ設計
を提供することにある。 【構成】 円筒状要素の周方向スロットの壁に隣接する
ステータの突出部の少なくとも一部の表面を磨耗可能な
材料で被覆したことを特徴とする。
要な微小間隙の形成及び維持に関する優れたポンプ設計
を提供することにある。 【構成】 円筒状要素の周方向スロットの壁に隣接する
ステータの突出部の少なくとも一部の表面を磨耗可能な
材料で被覆したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空ポンプに関し、より
詳しくは、分子ポンプ（molecular drag pumps) として
知られているポンプに関する。
詳しくは、分子ポンプ（molecular drag pumps) として
知られているポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】分子ポンプは、低圧では、高速移動面に
衝突するガス分子に、該移動面から速度成分が与えられ
るという一般的原理に基づいて作動する。この結果、分
子は、該分子が衝突する面と同じ移動方向に移動するよ
うになり、従って、ポンプを流れる分子によって、ポン
プ入口の近くが比較的低圧にされる。
衝突するガス分子に、該移動面から速度成分が与えられ
るという一般的原理に基づいて作動する。この結果、分
子は、該分子が衝突する面と同じ移動方向に移動するよ
うになり、従って、ポンプを流れる分子によって、ポン
プ入口の近くが比較的低圧にされる。
【０００３】この原理に基づいて作動する真空ポンプ
は、１９１０年頃Gaede により提案された。これらの真
空ポンプは、ポンプ本体内で回転できる円筒体を有して
おり、該円筒体はその周囲に複数の平行スロットを備え
ている。ポンプの一方の側において、ポンプ本体内に
は、時々「櫛」とも呼ばれているステータ要素が支持さ
れており、該ステータ要素は平行な突出部を有してい
る。突出部は、これらの全ての側面において一般的に0.
1 mmの間隙をもってスロット内に緊密に嵌入されてい
る。
は、１９１０年頃Gaede により提案された。これらの真
空ポンプは、ポンプ本体内で回転できる円筒体を有して
おり、該円筒体はその周囲に複数の平行スロットを備え
ている。ポンプの一方の側において、ポンプ本体内に
は、時々「櫛」とも呼ばれているステータ要素が支持さ
れており、該ステータ要素は平行な突出部を有してい
る。突出部は、これらの全ての側面において一般的に0.
1 mmの間隙をもってスロット内に緊密に嵌入されてい
る。
【０００４】従って、ステータ要素には、その上流側が
低圧で下流側が高圧になる圧力勾配が形成される。ステ
ータの低圧側にはポンプ入口が配置され且つ高圧側には
ポンプ出口が配置されており、該ポンプ出口には、一般
に別のポンプ（例えばオイルポンプ）が連結される。一
般にシリンダの回転速度は高く、例えば10,000 rpmまで
又はこれ以上の速度である。
低圧で下流側が高圧になる圧力勾配が形成される。ステ
ータの低圧側にはポンプ入口が配置され且つ高圧側には
ポンプ出口が配置されており、該ポンプ出口には、一般
に別のポンプ（例えばオイルポンプ）が連結される。一
般にシリンダの回転速度は高く、例えば10,000 rpmまで
又はこれ以上の速度である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、特
に、円筒状要素のスロットとステータとの間に必要な微
小間隙の形成及び維持に関する優れたポンプ設計を提供
することにある。
に、円筒状要素のスロットとステータとの間に必要な微
小間隙の形成及び維持に関する優れたポンプ設計を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、ポンプ
本体（すなわちステータ）と、円筒状要素とを有してお
り、該円筒状要素がポンプ本体内でその長手方向軸線の
回りで回転でき、円筒状要素の表面には前記長手方向軸
線と実質的に直交する複数の周方向スロットが形成され
ており、ポンプ本体に対して静止状態に保持されたステ
ータ要素を更に有しており、該ステータ要素が、前記ス
ロット内に延入してステータの近くのスロットを実質的
に充填する突出部を備えている分子吸引形真空ポンプに
おいて、前記スロットの壁に隣接するステータの突出部
の少なくとも一部の表面が磨耗可能な材料で被覆されて
いる真空ポンプが提供される。
本体（すなわちステータ）と、円筒状要素とを有してお
り、該円筒状要素がポンプ本体内でその長手方向軸線の
回りで回転でき、円筒状要素の表面には前記長手方向軸
線と実質的に直交する複数の周方向スロットが形成され
ており、ポンプ本体に対して静止状態に保持されたステ
ータ要素を更に有しており、該ステータ要素が、前記ス
ロット内に延入してステータの近くのスロットを実質的
に充填する突出部を備えている分子吸引形真空ポンプに
おいて、前記スロットの壁に隣接するステータの突出部
の少なくとも一部の表面が磨耗可能な材料で被覆されて
いる真空ポンプが提供される。
【０００７】被覆するのが有効な突出部の表面は、スロ
ットの側壁に隣接した表面である。ステータの各突出部
の端部（すなわち各スロットの底部に隣接する部分）も
磨耗可能な材料で被覆するのが有効であり、所望なら
ば、各突出部間のステータの部分（円筒状要素の外端部
と接触する部分）も被覆できる。磨耗可能な材料は、ス
テータの突出部に満足できる被覆が可能で且つ該突出部
間に良好な接触を形成できる任意の適当な組成のもので
よい。被覆は、ステータの関連表面上に容易にスプレー
できるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）が好ま
しい。
ットの側壁に隣接した表面である。ステータの各突出部
の端部（すなわち各スロットの底部に隣接する部分）も
磨耗可能な材料で被覆するのが有効であり、所望なら
ば、各突出部間のステータの部分（円筒状要素の外端部
と接触する部分）も被覆できる。磨耗可能な材料は、ス
テータの突出部に満足できる被覆が可能で且つ該突出部
間に良好な接触を形成できる任意の適当な組成のもので
よい。被覆は、ステータの関連表面上に容易にスプレー
できるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）が好ま
しい。
【０００８】別の構成として、ステータの表面に堅固に
取り付けられる、磨耗可能な材料からなる予備成形片で
被覆を構成できる。この予備成形片もＰＴＦＥで形成で
きるが、ポリマーベース材料を使用することもできる。
一般的には、円筒状要素は、例えばアルミニウム又はア
ルミニウム合金等の材料からなる単一ブロックにスロッ
トを機械加工して製造される。
取り付けられる、磨耗可能な材料からなる予備成形片で
被覆を構成できる。この予備成形片もＰＴＦＥで形成で
きるが、ポリマーベース材料を使用することもできる。
一般的には、円筒状要素は、例えばアルミニウム又はア
ルミニウム合金等の材料からなる単一ブロックにスロッ
トを機械加工して製造される。
【０００９】円筒状要素は、高速回転でき且つ回転軸線
を正確に位置決め（且つこの位置に維持）できる方法
で、その長手方向軸線の回りで回転できるように取付け
なければならない。これは、円筒状要素を軸に取付け且
つ適当なベアリング等を用いてポンプ本体内に軸を取付
けることにより達成される。ステータ要素は、円筒状要
素のスロット内に延入する突出部を構成する歯をもつ
「櫛」の形態にするのが有効である。ステータ要素は、
この突出部と円筒状要素のスロットの表面壁との間の間
隙ができる限り小さくなるようにして所定位置に固定で
きるように、ポンプ本体に対して取付けられなければな
らない。
を正確に位置決め（且つこの位置に維持）できる方法
で、その長手方向軸線の回りで回転できるように取付け
なければならない。これは、円筒状要素を軸に取付け且
つ適当なベアリング等を用いてポンプ本体内に軸を取付
けることにより達成される。ステータ要素は、円筒状要
素のスロット内に延入する突出部を構成する歯をもつ
「櫛」の形態にするのが有効である。ステータ要素は、
この突出部と円筒状要素のスロットの表面壁との間の間
隙ができる限り小さくなるようにして所定位置に固定で
きるように、ポンプ本体に対して取付けられなければな
らない。
【００１０】本発明に従ってステータの関連部分すなわ
ち櫛の歯を磨耗可能な物質（材料）で被覆することによ
り、ステータの突出部を、ポンプ本体内で円筒状要素の
スロットの壁に非常に近接させて配置できる。磨耗可能
な材料の存在により、（ａ）円筒状要素自体又はポンプ
本体内での取付け／回転モードのあらゆる不完全性、及
び、（ｂ）例えば熱膨張又は大気圧負荷等によるあらゆ
る寸法変化、等の原因があるとポンプの使用時に円筒状
要素が被覆を磨耗させることができるため、現場で（ポ
ンプの焼付けを引き起こすおそれのない）微細間隙を設
定できる。
ち櫛の歯を磨耗可能な物質（材料）で被覆することによ
り、ステータの突出部を、ポンプ本体内で円筒状要素の
スロットの壁に非常に近接させて配置できる。磨耗可能
な材料の存在により、（ａ）円筒状要素自体又はポンプ
本体内での取付け／回転モードのあらゆる不完全性、及
び、（ｂ）例えば熱膨張又は大気圧負荷等によるあらゆ
る寸法変化、等の原因があるとポンプの使用時に円筒状
要素が被覆を磨耗させることができるため、現場で（ポ
ンプの焼付けを引き起こすおそれのない）微細間隙を設
定できる。
【００１１】
【実施例】本発明のより良き理解を可能にするため、添
付図面を参照して本発明の実施例を以下に説明する。図
面には本発明のポンプの断面が概略的に示されており、
一般的には、ポンプ内にはより多数のスロット及び突出
部が設けられている。
付図面を参照して本発明の実施例を以下に説明する。図
面には本発明のポンプの断面が概略的に示されており、
一般的には、ポンプ内にはより多数のスロット及び突出
部が設けられている。
【００１２】図示のポンプは本体１を有しており、該本
体１内にはアルミニウム合金で作られた円筒状要素２が
取付けられている。円筒状要素２はベアリング３、４に
よって支持されており、その長手方向軸線の回りでモー
タ５により非常に高速（例えば10,000 rpm以上）で回転
される。本体１内には櫛６の形態をなすステータ要素が
収容されており、該ステータ要素は、円筒状要素２の表
面に設けられた周方向スロット８内に延入する一連の突
出部７を有している。突出部７の側面はＰＴＦＥの層で
被覆されており、櫛６の端面も同様である。
体１内にはアルミニウム合金で作られた円筒状要素２が
取付けられている。円筒状要素２はベアリング３、４に
よって支持されており、その長手方向軸線の回りでモー
タ５により非常に高速（例えば10,000 rpm以上）で回転
される。本体１内には櫛６の形態をなすステータ要素が
収容されており、該ステータ要素は、円筒状要素２の表
面に設けられた周方向スロット８内に延入する一連の突
出部７を有している。突出部７の側面はＰＴＦＥの層で
被覆されており、櫛６の端面も同様である。
【００１３】ポンプの組立てに際し、櫛６は、その突出
部７が円筒状要素２のスロット８の壁に対して極めて微
小な間隙を形成するように、円筒状要素２に対して正確
に位置決めされる。これを達成するため、一般に、ポン
プ本体１内で櫛６を手動調節できるようになっている。
ポンプの使用時において、櫛６に対して円筒状要素２が
回転すると、これらの間に微小間隙が維持され、櫛６と
回転円筒状要素２との接触する傾向がＰＴＦＥ被覆の関
連部分の磨耗によって押しとどめられ、これにより櫛６
と回転円筒状要素２との接触によるポンプの焼付けの可
能性が回避される。
部７が円筒状要素２のスロット８の壁に対して極めて微
小な間隙を形成するように、円筒状要素２に対して正確
に位置決めされる。これを達成するため、一般に、ポン
プ本体１内で櫛６を手動調節できるようになっている。
ポンプの使用時において、櫛６に対して円筒状要素２が
回転すると、これらの間に微小間隙が維持され、櫛６と
回転円筒状要素２との接触する傾向がＰＴＦＥ被覆の関
連部分の磨耗によって押しとどめられ、これにより櫛６
と回転円筒状要素２との接触によるポンプの焼付けの可
能性が回避される。
【図１】本発明の真空ポンプの概略断面図である。
１ ポンプ本体 ２ 円筒状要素 ３ ベアリング ４ ベアリング ５ モータ ６ 櫛 ７ 突出部 ８ スロット ９ 櫛の端面
Claims (6)
- 【請求項１】 ポンプ本体と、円筒状要素とを有してお
り、該円筒状要素がポンプ本体内でその長手方向軸線の
回りで回転でき、円筒状要素の表面には前記長手方向軸
線と実質的に直交する複数の周方向スロットが形成され
ており、ポンプ本体に対して静止状態に保持されたステ
ータ要素を更に有しており、該ステータ要素が、前記ス
ロット内に延入してステータの近くのスロットを実質的
に充填する突出部を備えている分子吸引形真空ポンプに
おいて、前記スロットの壁に隣接するステータの突出部
の少なくとも一部の表面が磨耗可能な材料で被覆されて
いることを特徴とする真空ポンプ。 - 【請求項２】 前記被覆された突出部の表面が、前記ス
ロットの側壁に隣接した表面であることを特徴とする請
求項１記載の真空ポンプ。 - 【請求項３】 前記ステータの各突出部の端部も磨耗可
能な材料で被覆されていることを特徴とする請求項２記
載の真空ポンプ。 - 【請求項４】 前記各突出部間のステータの部分も被覆
されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の真
空ポンプ。 - 【請求項５】 前記磨耗可能な材料がＰＴＦＥであるこ
とを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の真
空ポンプ。 - 【請求項６】 前記被覆がステータの表面に堅固に取付
けられた磨耗可能な材料からなる予備成形片であること
を特徴とする請求項１〜５項のいずれか１項に記載の真
空ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB919125848A GB9125848D0 (en) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | Improvements in vacuum pumps |
| GB9125848:3 | 1991-12-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05240188A true JPH05240188A (ja) | 1993-09-17 |
Family
ID=10705734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4324413A Pending JPH05240188A (ja) | 1991-12-04 | 1992-12-03 | 真空ポンプ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5354172A (ja) |
| EP (1) | EP0545706A1 (ja) |
| JP (1) | JPH05240188A (ja) |
| GB (1) | GB9125848D0 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020241522A1 (ja) * | 2019-05-30 | 2020-12-03 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプに備えられた保護部 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3452468B2 (ja) * | 1997-08-15 | 2003-09-29 | 株式会社荏原製作所 | ターボ分子ポンプ |
| GB2333127A (en) * | 1997-10-21 | 1999-07-14 | Varian Associates | Molecular drag compressors having finned rotor construction |
| US6450772B1 (en) * | 1999-10-18 | 2002-09-17 | Sarcos, Lc | Compact molecular drag vacuum pump |
| US6607351B1 (en) * | 2002-03-12 | 2003-08-19 | Varian, Inc. | Vacuum pumps with improved impeller configurations |
| WO2010133866A1 (en) | 2009-05-20 | 2010-11-25 | Edwards Limited | Side-channel pump with axial gas bearing |
| CN103195484A (zh) * | 2012-11-22 | 2013-07-10 | 袁丽君 | 新型汽轮机 |
| JP2021014834A (ja) | 2019-07-12 | 2021-02-12 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、ロータ及び座金 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR408840A (ja) * | 1900-01-01 | |||
| GB1248031A (en) * | 1967-09-21 | 1971-09-29 | Edwards High Vacuum Int Ltd | Two-stage rotary vacuum pumps |
| DE1728277A1 (de) * | 1967-09-21 | 1972-06-15 | Edwards High Vacuum Internat L | Mehrstufige Rotorpumpe |
| DE2034285A1 (de) * | 1970-07-10 | 1972-01-13 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Molekularpumpe |
| US3628894A (en) * | 1970-09-15 | 1971-12-21 | Bendix Corp | High-vacuum mechanical pump |
| DE2243873B2 (de) * | 1972-09-07 | 1975-01-16 | Gutehoffnungshuette Sterkrade Ag, 4200 Oberhausen | Labyrinthdichtung für Turboverdichter |
| SU649885A1 (ru) * | 1975-02-17 | 1979-02-28 | Предприятие П/Я А-3324 | Фрикционный насос дл перекачивани в зкой жидкости |
| SU567848A1 (ru) * | 1976-03-18 | 1977-08-05 | Предприятие П/Я А-1614 | Двухпоточный вакуумный турбомолекул рный насос |
| US4389119A (en) * | 1982-01-04 | 1983-06-21 | Usm Corporation | Rotary processors |
| DE3402548A1 (de) * | 1984-01-26 | 1985-08-01 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verdraengermaschine |
| SU1232851A1 (ru) * | 1984-12-28 | 1986-05-23 | Московский Ордена Ленина И Ордена Октябрьской Революции Энергетический Институт | Турбомолекул рный вакуумный насос |
| SU1366711A1 (ru) * | 1986-07-11 | 1988-01-15 | МВТУ им.Н.Э.Баумана | Турбомолекул рный вакуумный насос |
| SU1437577A1 (ru) * | 1987-01-04 | 1988-11-15 | Ленинградский Кораблестроительный Институт | Дисковый насос |
-
1991
- 1991-12-04 GB GB919125848A patent/GB9125848D0/en active Pending
-
1992
- 1992-12-03 US US07/985,473 patent/US5354172A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-12-03 JP JP4324413A patent/JPH05240188A/ja active Pending
- 1992-12-03 EP EP92311030A patent/EP0545706A1/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020241522A1 (ja) * | 2019-05-30 | 2020-12-03 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプに備えられた保護部 |
| JP2020197129A (ja) * | 2019-05-30 | 2020-12-10 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプに備えられた保護部 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB9125848D0 (en) | 1992-02-05 |
| US5354172A (en) | 1994-10-11 |
| EP0545706A1 (en) | 1993-06-09 |
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