SU567848A1 - Двухпоточный вакуумный турбомолекул рный насос - Google Patents

Description

I

Изобретение относитс  к вакуумтюн технике.

Известен турбомолекул рный насос, внутри корпуса которого разме цены статорные и роторные диски 1 .

В известном насосе возможно загр знегше откачкваемого объема парами сглазоч1{ь х масел.

Известен также двухпоточный ваку мньш тур5омолекул рнь Й насос, содержащий корпус и размещенные в нем статорные диски, разделенные проставотырл кольцами {2,

Этот насос  вл етс  наиболее банзккы к предnaгaeмo ty по техш ческой сущности и достигаемому результагу.

Статорнь е ступени в гаком насосе вьтолнены в ввде высоковакуумного и форваку миого пакетов, отличающихс  : геометрией рабочих каналов.

Этот насос имеет также узль вращени , расположенные на форвакуумной стопопе, которые смазываютс  Г1ри уд}1ельно жидкой с.азкой, в результате чего детали насоса, naciioiicoKeHRbie на его фор акуумной стороне, в том числе статорные ступени н нроставочиые KOJibiia, загр знены пленкой масла, котора  очень годв,, расЕТростран етс  но всему насосу и загр зн ет высоковакуумную область,

Целью изобретеий.   вл етс  повышение чистоты получаемого .

Это досгагзетс  тем. что поверхность колец, расположенных с форвак -умной стороны,   контактирующа  с ними поверхность корпуса покрыты слоем несмашвающегос  смазкой .материала, например фторопласта,

На чертеже изображен пре/шагае.мьш насос в продолг.пом разрезе.

Дв хпоточнь Й зак умный турболшлекул рнь Й насос содержит корпус I и размещекиые в нем статорные диски 2, разделенные просгавоч1ть Л1И кольцами 3, Поверхность колец 3. расположенных с форвакуумной стороны, и коитактирующ.ч  с шми поверх-кссть корпуса 1 noKpiiixM слое,м 4 несмачивающегос  смазкой материала, например фторопласта .

При работе насоса, вследствие выпол генн  проставочнььч колец 3 и гьх посадочьт мест в корпусе с тонким нару:жньим слоем, например из 4|торопласта, практически прекращаетс  миграци  гшенкн масла вдоль насоса а) стороны форвак.улш на высоковакуумную сторону. Это иск ютает испарение масла 3 проточной части насм;а, уменьшает нагрузку ступеней насоса балласп ым нснзреннем и

3

увеличивает эффективность откачки как ступеней так и всего насоса в целом.

Claims (2)

1. Формула изобретени 

   Двухпоточный вакуумный турбомолекул рный насос, содержащий корпус и размещенные в нем статорные диски, разделенные проставочными кольцами, отличающийс  тем, что, с целью повышени  чистоты получаемого вакуума, поверхность колец, расположенных с форвакуумной стороны .и контактирующа  с ними поверхность корпуса покрыты слоем несмачивающегос  смазкой материала, например фторопласта.

   «

   Источники информаади, прин тые во внимание при экспертизе:

   1,Авторское свидетельство . № }70609, ;кл, F04d 19/04, 1963.
2. 2.Авторское свидетельство № 174752, кл. F04d 19/04,1964.

   7//71 77Уу /У////.

   ////У/7777//77.

   22222222/2