SU881372A1 - Турбомолекул рный вакуумный насос - Google Patents
Турбомолекул рный вакуумный насос Download PDFInfo
- Publication number
- SU881372A1 SU881372A1 SU802907449A SU2907449A SU881372A1 SU 881372 A1 SU881372 A1 SU 881372A1 SU 802907449 A SU802907449 A SU 802907449A SU 2907449 A SU2907449 A SU 2907449A SU 881372 A1 SU881372 A1 SU 881372A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- vacuum pump
- cavity
- turbomolecular vacuum
- suction
- housing
- Prior art date
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/584—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps cooling or heating the machine
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
(54) ТУРБОМО.ПЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС
Изобретение относитс к вакуумной технике , а именно к конструкци м турбомолекул рных вакуумных насосов.
Известен турбомолекул рный вакуумный насос, содержащнй корпус со всасывающей и нагнетательной полост ми, расположенный по оси корпуса ротор и установленный во всасывающей полости нагреватель 1
Однако известный насос имеет недостаточно высокие степень сжати и производительность .
Целью изобретени вл етс повышение степени сжати и производительности.
Указанна цель достигаетс тем, что в нагнетательной полости насоса установлен холодильиик.
На чертеже представлен предлагаемый насос, продольный разрез.
Турбомолекул рный вакуумный насос содержит корпус I со всасывающей и нагнетательной полост ми 2 и 3, расположенной по оси корпуса 1 ротор 4 и устаиовленный во всасывающей полости 2 нагреватель 5, причем в нагнетательной полости 3 размещен холодильник 6. ,
Насос работает следующим образом. .
При вращении ротора 4 происходит откачка газа из всасывающей полости 2 в нагнетательную полость 3. Наличие нагревател 5 во всасывающей полости 2 и холодильника 6 в нагнетательной полости 3 приводит к установлению переменной температуры роторных дисков, уменьшающейс в направлении от всасывающей полости к нагнетательной . Возникающа разность температур способствует установлеиию термомолекул риого течени газа в направлении
,Q поииженной температуры, что создает повышение производительности и степеин сжати .
Claims (1)
- Формула изобретени Турбомолекул рный вакуумный иасос, содержащий корпус со всасывающей и наг1S нетальной полост ми, расположёииый по оси корпуса ротор и установлеиный во всасывающей полости нагреватель, отличающийс тем, что, с целью повышени степени сжати и производительности, в иагнетательной полости размещен холодильник.20Источники информации,прин тые во виимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 648753, хл. F 04 D 19/04, 1976.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU802907449A SU881372A1 (ru) | 1980-04-11 | 1980-04-11 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU802907449A SU881372A1 (ru) | 1980-04-11 | 1980-04-11 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU881372A1 true SU881372A1 (ru) | 1981-11-15 |
Family
ID=20888609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU802907449A SU881372A1 (ru) | 1980-04-11 | 1980-04-11 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU881372A1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2634829A1 (fr) * | 1988-07-27 | 1990-02-02 | Cit Alcatel | Pompe a vide |
| US5618167A (en) * | 1994-07-28 | 1997-04-08 | Ebara Corporation | Vacuum pump apparatus having peltier elements for cooling the motor & bearing housing and heating the outer housing |
-
1980
- 1980-04-11 SU SU802907449A patent/SU881372A1/ru active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2634829A1 (fr) * | 1988-07-27 | 1990-02-02 | Cit Alcatel | Pompe a vide |
| US5618167A (en) * | 1994-07-28 | 1997-04-08 | Ebara Corporation | Vacuum pump apparatus having peltier elements for cooling the motor & bearing housing and heating the outer housing |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SU881372A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| US6168374B1 (en) | Friction vacuum pump | |
| JPS57191492A (en) | Molecular turbo-pump | |
| SU737660A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| RU1282634C (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU1366709A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU950953A1 (ru) | Двигательно-компрессорный агрегат | |
| SU985444A1 (ru) | Дисковый вентил тор | |
| SU691605A1 (ru) | Многоступенчатый цетробежный компрессор высокого давлени | |
| SU802603A1 (ru) | Криогенный вакуумный насос | |
| JPS6412096A (en) | Pump | |
| SU1023141A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU989135A1 (ru) | Криогенный насос | |
| SU866272A1 (ru) | Диафрагменный компрессор | |
| SU846793A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU883558A1 (ru) | Ротор винтовой компрессорной машины | |
| SU763613A1 (ru) | Герметичный компрессор | |
| SU1366711A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU754111A1 (ru) | Двухроторный вакуум-компрессор | |
| SU850913A1 (ru) | Роторный безмасл нный фарвакуумныйНАСОС | |
| RU1433133C (ru) | Черпаковый насос | |
| SU1550222A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU1642077A1 (ru) | Электронасос | |
| SU918527A1 (ru) | Винтовой компрессор | |
| SU1418495A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос |