SU1418495A1 - Турбомолекул рный вакуумный насос - Google Patents

Турбомолекул рный вакуумный насос Download PDF

Info

Publication number
SU1418495A1
SU1418495A1 SU864161811A SU4161811A SU1418495A1 SU 1418495 A1 SU1418495 A1 SU 1418495A1 SU 864161811 A SU864161811 A SU 864161811A SU 4161811 A SU4161811 A SU 4161811A SU 1418495 A1 SU1418495 A1 SU 1418495A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
housing
cavity
vacuum pump
reducing
cooled
Prior art date
Application number
SU864161811A
Other languages
English (en)
Inventor
Виктор Васильевич Полосов
Original Assignee
МВТУ им.Н.Э.Баумана
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by МВТУ им.Н.Э.Баумана filed Critical МВТУ им.Н.Э.Баумана
Priority to SU864161811A priority Critical patent/SU1418495A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1418495A1 publication Critical patent/SU1418495A1/ru

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
    • F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/584—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps cooling or heating the machine
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

Изобретение позвол ет повысить экономичность насоса путем снижени  теплопри- токов к охладительному корпусу. На впутреннеи поверхности охлаждаемого корпуса 1 размещены статорные диски 2, а по оси корпуса установлен вал 3 с роторными дисками 4. Вну1ренний и наружный кожухи 7, 8, первый из которых снабжен входным патрубком 9, охватывают корпус с образованием полостей 5, 6. Полость 5 сообщена с полостью патрубка 9, что позвол ет поддерживать в ней высокий вакуум, умепьп1аю- щий до минимума теплоприток излучением со стороны кожуха к корпусу, охлаждаемому хладагентом. Кроме того, увеличение теплового моста, роль которого играет кожух 7, также снижает теплоприток. 1 ил.

Description

Вь/ход
хладагента
B)(off мадагента
СО
4
00
NJ
со
СП
Изобретение относитс  к вакуумной тех- н|1ке, а именно к конструкци м турбомоле- к л рных вакуумных насосов.
: Цель изобретени  - повышение эконо- м|ичности путем снижени  теплопритоков к охладительному корпусу.
На чертеже представлен насос, продоль- .|й разрез.
Турбомолекул рный вакуумный насос содержит охлаждаемый корпус 1, размещенные на его внутренней поверхности статор- ные диски 2, установленный по оси корпуса 1 вал 3 с роторными дисками 4 и охватывающие корпус 1 с образованием полостей 5 -и 6 внутренний 7 и наружный 8 кЬжуха, первый из которых снабжен вход- н|ым патрубком 9, причем полость 5 между к)рпусом 1 и внутренним кожухом 7 сооб- uhcHa с полостью входного патрубка 9.
Насос работает следующим образом.
I Газ из откачиваемого объема поступает н| полость входного патрубка 9, а затем, в к орпус 1. Посредством системы роторных и сгаторных дисков 4 и 2 газ переноситс  на сторону нагнетани  насоса.
0
5
0
Поскольку полость 5 сообщена с полостью входного патрубка 9, в процессе работы насоса в ней поддерживаетс  высокий вакуум, уменьшающий до минимума тепло- приток излучением со стороны кожуха 7 к корпусу 1, охлаждаемому хладагентом. Кроме того, увеличение теплового моста, роль которого играет внутренний кожух 7, также снижает теплоприток, что повыщает экономичность насоса.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Турбомолекул рный вакуумный насос, содержащий охлаждаемый корпус, размещенные на его внутренней поверхности статор- ные диски, установленный по оси корпуса вал с роторными дисками и охватывающие корпус с образованием полостей внутренний и наружный кожуха, первый из которых снабжен входным патрубком, отличающийс  тем, что, с целью повыщени  экономичности путем снижени  теплопритоков к корпусу, полость между ним и внутренним кожухом сообщена с полостью входного патрубка .
SU864161811A 1986-12-10 1986-12-10 Турбомолекул рный вакуумный насос SU1418495A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864161811A SU1418495A1 (ru) 1986-12-10 1986-12-10 Турбомолекул рный вакуумный насос

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864161811A SU1418495A1 (ru) 1986-12-10 1986-12-10 Турбомолекул рный вакуумный насос

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1418495A1 true SU1418495A1 (ru) 1988-08-23

Family

ID=21273024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864161811A SU1418495A1 (ru) 1986-12-10 1986-12-10 Турбомолекул рный вакуумный насос

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1418495A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4929151A (en) * 1988-07-27 1990-05-29 Societe Anonyme Dite: Alcatel Cit Vacuum pump

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1232850, кл. F 04 D 19/04, 1984. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4929151A (en) * 1988-07-27 1990-05-29 Societe Anonyme Dite: Alcatel Cit Vacuum pump

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4995796A (en) Multi-section roots vacuum pump of reverse flow cooling type
EP0811766A3 (en) Displacement type vacuum pump
ES8308992A1 (es) Perfeccionamientos en comprensores de refrigeracion hermeticos.
SE8404306D0 (sv) Kylapparatskompressor
EP1149985A3 (de) Gehäusestruktur in Metallbauweise
US20220127962A1 (en) Multistage pump body and multistage gas pump
SU1418495A1 (ru) Турбомолекул рный вакуумный насос
FR2641582B1 (fr) Pompe a vide du type a canal de gaede
SU973938A1 (ru) Турбомолекул рный вакуумный насос
SU1550222A1 (ru) Турбомолекул рный вакуумный насос
SU1161721A1 (ru) Винтовой компрессор
SU387465A1 (ru) Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос
JPS5692391A (en) Rotary compressor
SU763613A1 (ru) Герметичный компрессор
SU1262113A1 (ru) Двухроторный вакуумный насос типа РУТС
SU1721412A1 (ru) Двухступенчатый холодильный турбокомпрессор
SU1366709A1 (ru) Турбомолекул рный вакуумный насос
SU868124A1 (ru) Турбомолекул рный вакуумный насос
JPS61279793A (ja) 軸冷却方式のブロワ−
SU383882A1 (ru) Роторный вакуумный насос-компрессор
RU1282634C (ru) Турбомолекул рный вакуумный насос
SU1460418A1 (ru) Двухступенчатый винтовой компрессор
SU1562538A1 (ru) Гидравлический компрессор
SU1471676A1 (ru) Устройство дл охлаждени подшипника газотурбинного двигател
SU635283A1 (ru) Винтовой компрессор