SU1366711A1 - Турбомолекул рный вакуумный насос - Google Patents
Турбомолекул рный вакуумный насос Download PDFInfo
- Publication number
- SU1366711A1 SU1366711A1 SU864089226A SU4089226A SU1366711A1 SU 1366711 A1 SU1366711 A1 SU 1366711A1 SU 864089226 A SU864089226 A SU 864089226A SU 4089226 A SU4089226 A SU 4089226A SU 1366711 A1 SU1366711 A1 SU 1366711A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- rotor
- vacuum pump
- disks
- pump
- stator
- Prior art date
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
(21)4089226/25-06
(22)11.07.86
(46) 15.01.88. Бюл. № 2
(71) им.Н.Э.Баумана
(72)К.Е.Демихов, М.Г.Сапежинский и Ю.А.Мельник
(53) 621.527.8 (088.8)
(56) Патент Франции № 2563873,
кл. F 04 D 19/04, 1985.
(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЬЙ НАСОС
(57) Изобретение позвол ет улучшить откачные характеристики насоса. Корневые сечени периферийных лопаток 5 роторных дисков 2 расположены по окружности с диаметром, превышающим наружный диаметр кольцевых выступов 4 статорных дисков 3. Это позвол ет снизить обратные перетечки между ступен ми насоса и улучшить его откачные характеристики - быстроту действи и степень сжати . 1 ил.
О)
СА CD 05
Изобретение относитс к вакуумной технике, а именно к конструкци м тур- бомолекул рных вакуумных насосов.
Целью изобретени вл етс улучшение откачных характеристик.
На чертеже предстааЬлен предлагаемый насос, продольный разрез.
Турбомолекул рный вакуумный насос содержит корпус 1 и размещенные в нем роторные и статорные диски 2 и 3, последние из которых снабжены кольцевыми выступами 4 с пазами, расположенными на поверхност х, обращенных к роторньм дискам 2, снабженным периферийными лопатками 5, корневые сечени которых расположены по окружности с диаметром, превышающим наружный диаметр кольцевых высту пов 4 статорных дисков 3,
Насос работает следующим образом.
После создани в корпусе 1 предварительного разрежени роторные дис ки 2 привод тс во вращение. Молекулы откачиваемого газа со стороны вса сывани взаимодействуют с лопатками 5 роторных дисков 2 и попадают в пазы кольцевых выступов 4 статорных дисков 3.. Поступа по пазам к оси
667112
корпуса 1, молекулы мен ют направление и по пазам кольцевых выступов 4 противоположной стороны дисков 3 направл ютс к лопаткам 5 роторного диска 2 след;утощей ступени насоса.
Наличие дополнительных периферийных лопаток на роторных дисках снижает обратные перетечки между ступе- 10 н ми насоса и позвол ет улучшить его откачные характертики - быстроту действи и степень сжати .
Claims (1)
- Формула изобретениТурбомолекул рный вакуумный насос, содержащий корпус и размещенные в нем роторные и статорные диски, последние из которых снабжены кольце- 20 выми выступами с пазами, расположенными на поверхност х, обращенных к роторным дискам, отличающий- с тем, что, с целью улучшени откачных характеристик, роторные диски 25 снабжены периферийными лопатками,корневые сечени которых расположены по окружности с диаметром, превышающим наружный диаметр кольцевых высту-- пов статорных дисков.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864089226A SU1366711A1 (ru) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864089226A SU1366711A1 (ru) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1366711A1 true SU1366711A1 (ru) | 1988-01-15 |
Family
ID=21245893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU864089226A SU1366711A1 (ru) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1366711A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5354172A (en) * | 1991-12-04 | 1994-10-11 | The Boc Group Plc | Molecular drag vacuum pump |
-
1986
- 1986-07-11 SU SU864089226A patent/SU1366711A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5354172A (en) * | 1991-12-04 | 1994-10-11 | The Boc Group Plc | Molecular drag vacuum pump |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0568069B1 (en) | Turbomolecular vacuum pumps | |
| US6698929B2 (en) | Turbo compressor | |
| JP2003515037A5 (ru) | ||
| SU1366711A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| US5927940A (en) | Double-flow gas friction pump | |
| JP4599061B2 (ja) | 改良されたインペラー形状を有する真空ポンプ | |
| JPH0219694A (ja) | オイルフリー型真空ポンプ | |
| SU1267055A1 (ru) | Вакуумный молекул рный насос | |
| SU1573234A1 (ru) | Двухступенчатый турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU1240957A1 (ru) | Вакуумный молекул рный насос | |
| CN85105304B (zh) | 高流量多级盘形分子泵 | |
| SU1366709A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| JP2865888B2 (ja) | マルチターボ型真空ポンプ | |
| SU1023141A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU1590686A1 (ru) | Центробежный насос | |
| SU1751420A1 (ru) | Лопастной вихревой насос | |
| JPH02264196A (ja) | ターボ真空ポンプ | |
| RU2016256C1 (ru) | Ступень молекулярного насоса | |
| SU453492A1 (ru) | Роторный диск турбомолекулярного вакуумного насоса | |
| SU1581865A1 (ru) | Рабочее колесо центробежного насоса | |
| SU941686A1 (ru) | Центробежный насос | |
| JP3045418B2 (ja) | ターボ真空ポンプ | |
| SU1265400A1 (ru) | Молекул рный вакуумный насос | |
| SU979715A1 (ru) | Центробежна турбомашина | |
| SU1707257A1 (ru) | Двухступенчатый турбомолекул рный вакуумный насос |