SU1265400A1 - Молекул рный вакуумный насос - Google Patents
Молекул рный вакуумный насос Download PDFInfo
- Publication number
- SU1265400A1 SU1265400A1 SU853887347A SU3887347A SU1265400A1 SU 1265400 A1 SU1265400 A1 SU 1265400A1 SU 853887347 A SU853887347 A SU 853887347A SU 3887347 A SU3887347 A SU 3887347A SU 1265400 A1 SU1265400 A1 SU 1265400A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- stator
- housing
- vacuum pump
- gap
- molecular vacuum
- Prior art date
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с всасывающим и нагнетательным патрубками и расположенные в нем статорные и роторные диски, отличающийс тем, что, с целью повышени эксплуатационных характеристик, статорные диски зафиксированы относительно один другого при помощи проставочных колец, образующих с корпусом зазор, последний по ходу откачки газа статорный диск снабжен прижимным фланцем, закрепленным на корпусе, а в зазоре размещены сильфонные уплотнени . (Л ..ХУчУ Ы кэ О5 СП 4 ,
Description
Изобретение относитс к вакуумной технике .
Цель изобретени - повышение эксплуатационных характеристик.
На чертеже изображен молекул рный вакуумный «асос, продольный разрез.
Молекул рный вакуумный насос содержит корпус 1 с всасывающим 2 и нагнетательным 3 патрубками и расположенные в нем статорные 4 и роторные 5 диски. При этом статорные диски 4 зафиксированы один относительно другогоС помощью проставочHbix колец 6, образующих с корпусом 1 зазор, последний по ходу откачки статорный диск снабжен прижимным фланцем 7, закрепленным на корпусе 1, а в зазоре размещены сильфонные уплотнени 8. На стагорных дисках выполнены спиральные пазы 9.
Молекул рный вакуумный насос работает следующим образом.
Откачиваемый газ через всасывающий патрубок 2 поступает на вход первой ступени . Вдоль спиральных пазов газ перемещаетс вследствие взаимодействи с поверхностью роторного диска 5 к периферии статорного диска 4, откуда через радиальный зазор между роторным диском 5 и проставочным кольцом 6 подаетс на вход второй ступени и так далее к нагнетательному патрубку 3.
Благодар сильфонному уплотнению перетечки газа из последующих ступеней в предыдущую полностью устран ютс , в результате повьииаетс степень сжати каждой ступени, что приводит к уменьшению предельного остаточного давлени .
Claims (1)
- МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий#корпус с всасывающим и нагнетательным патрубками и расположенные в нем статорные и роторные диски, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационных характеристик, статорные диски зафиксированы относительно один другого при помощи проставочных колец, образующих с корпусом зазор, последний по ходу откачки газа статорный диск снабжен прижимным фланцем, закрепленным на корпусе, а в зазоре размещены сильфонные уплотнения.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853887347A SU1265400A1 (ru) | 1985-04-16 | 1985-04-16 | Молекул рный вакуумный насос |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853887347A SU1265400A1 (ru) | 1985-04-16 | 1985-04-16 | Молекул рный вакуумный насос |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1265400A1 true SU1265400A1 (ru) | 1986-10-23 |
Family
ID=21174251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU853887347A SU1265400A1 (ru) | 1985-04-16 | 1985-04-16 | Молекул рный вакуумный насос |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1265400A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996001373A1 (fr) * | 1994-07-06 | 1996-01-18 | Jiguo Chu | Pompe moleculaire a canaux d'aspiration multiples |
-
1985
- 1985-04-16 SU SU853887347A patent/SU1265400A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 898802, кл. F 04 D 19/04, 1968. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996001373A1 (fr) * | 1994-07-06 | 1996-01-18 | Jiguo Chu | Pompe moleculaire a canaux d'aspiration multiples |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5238362A (en) | Turbomolecular pump | |
| JP3584305B2 (ja) | 高性能ターボ分子真空ポンプ | |
| RU1776333C (ru) | Сборный турбомолекул рный вакуумный насос | |
| EP0885359B1 (en) | Turbomolecular vacuum pumps with low susceptibility to particulate buildup | |
| CA1047464A (en) | Vacuum pumps | |
| US5848873A (en) | Vacuum pumps | |
| EP2064449B1 (en) | Molecular drag pumping mechanism | |
| US5611660A (en) | Compound vacuum pumps | |
| EP0445855A1 (en) | Improved turbomolecular pump | |
| SU1265400A1 (ru) | Молекул рный вакуумный насос | |
| JPS63208695A (ja) | 高真空ポンプ | |
| US6607351B1 (en) | Vacuum pumps with improved impeller configurations | |
| JP2585420B2 (ja) | ターボ真空ポンプ | |
| SU1366709A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU1267055A1 (ru) | Вакуумный молекул рный насос | |
| SU1814702A3 (en) | Multistage radial-flow compressor | |
| RU2014510C1 (ru) | Турбомолекулярный вакуумный насос | |
| SU1458616A1 (ru) | Молекулярный вакуумный насос | |
| RU2047791C1 (ru) | Многоступенчатая вихревая турбомашина | |
| SU1550222A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| JP2003013880A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| RU2016256C1 (ru) | Ступень молекулярного насоса | |
| RU1282634C (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| RU1433133C (ru) | Черпаковый насос | |
| SU1366711A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос |