<p>Изобретение позволяет улучшить откачные характеристики насоса путем снижения обратного потока откачивае— </p></li></ul>
<p>мого газа со стороны выхода насоса. ''Ротор установлен по оси статора 2.</p>
<p>Диаметры статора и ротора увеличиваются от входа к выходу насоса. Статор 2 закреплен на основании 1 при ‘помощи фланцевого соединения, снаб</p>
<p>женного уплотнением, выполненным в виде жесткого и эластичного колец 7 и 8. Обращенные друг к другу поверхности статора и ротора выполнены тороидальными. Основание 1 снабжено регулирующими винтами 4 и кольцевой канавкой 5. Кольцевой выступ 6 статора 2 размещен в канавке 5. Кольцо</p>
<ul style="list-style:none;"><li>
<p>7 контактирует с винтами 4, а кольцо</p></li><li>
<p>8 расположено между кольцом 7 и выступом 6. Поскольку поверхности статора и ротора выполнены тороидальными, прямой проскок молекул со сторо</p></li></ul>
<p>ны нагнетания на сторону всасывания невозможен. Фланцевое соединение позволяет регулировать величину зазо· ра между статором и ротором в процес се работы, а следовательно, свести обратные перетечки к минимуму. 2 ил.</p>
<p>$и ,,, 1458616 А1</p>
<p>фиг. 2</p>
<p>1</p>
<p>1458616</p>
<p>2</p>
<p>Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.</p>
<p>Целью изобретения является улучше- $ ние откачных характеристик насоса путем снижения обратного потока откачиваемого газа со стороны выхода насоса.</p>
<p>Ю</p>
<p>На фиг. 1 представлен насос, поперечный разрез; на фиг. 2 - узел уплотнения между статором и основанием насоса, узел I на фиг. 1.</p>
<p>Молекулярный вакуумный насос со- (15 держит закрепленный на основании 1 статор 2 и .установленный по его оси ротор 3, имеющие переменные диаметры, увеличивающиеся от входа к выходу насоса, причем статор 2 закреплен на 20 основании 1 при помощи фланцевого соединения, снабженного уплотнением. Обращенные друг к другу поверхности статора 2 и ротора 3 выполнены торой<sup>-</sup>, дальними, основание 1 снабжено регу- 25 лирующими винтами 4 и кольцевой канавкой 5, статор 2 - размещенным в канавке 5 кольцевым выступом 6, а уплотнение выполнено в виде жесткого кольца 7, контактирующего с винтами 30 4, и эластичного кольца 8, располо- . женного между выступом 6 и кольцом 7. Кроме того, между статором 2'и осно- . ванием 1 размещено проставочное кольцо 9. * 35</p>
<p>Насос работает следующим образом. При сборке насоса основание 1 и статор 2 соединяются таким образом, чтобы зазор между ними определялся толщиной кольца 9. Толщина кольца 9 40</p>
<p>подбирается.из условия обеспечения минимальности зазора между ротором 3 и статором 2. Уплотнение- фланцевого соединения осуществляется при помощи жесткого и эластичного колец 7 и,8, 45 </p>
<p>а усилие уплотнения обеспечивается винтами 4. После предварительного вакуумирования полости насоса ротор 3 ι приводится во вращение и молекулы откачиваемого газа переносятся со стороны всасывания в сторону нагнетания. Поскольку поверхности статора 2 !И ротора 3 выполнены тороидальными, прямой проскок молекул со стороны нагнетания на сторону всасывания невозможен. Кроме того, фланцевое соединение позволяет регулировать величину зазора между статором 2 и ротором 3 в процессе работы, для чего достаточно кольцо 9 сделать наборным |из' однотипных колец. В результате обеспечения наиболее оптимальной ве·* I личины зазора обратные перетечки сво^ дятся к минимуму, что позволяет улучшить откачные характеристики насоса.</p>