RU2014510C1 - Турбомолекулярный вакуумный насос - Google Patents

Турбомолекулярный вакуумный насос Download PDF

Info

Publication number
RU2014510C1
RU2014510C1 SU5027075A RU2014510C1 RU 2014510 C1 RU2014510 C1 RU 2014510C1 SU 5027075 A SU5027075 A SU 5027075A RU 2014510 C1 RU2014510 C1 RU 2014510C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
stator
rotor
rotation
stage
disks
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
Борис Васильевич Харламов
Original Assignee
Борис Васильевич Харламов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Борис Васильевич Харламов filed Critical Борис Васильевич Харламов
Priority to SU5027075 priority Critical patent/RU2014510C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2014510C1 publication Critical patent/RU2014510C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

Сущность изобретения: газодинамическое уплотнение образовано поверхностью цилиндрического статора, покрытой фторопластом с многочисленными цилиндрическими канавками, образующими зону уплотнения, и иногозаходными спиральными канавками, выполненными на поверхности ротора, обращенной к цилиндрическому статору, имеющими уменьшающуюся в сторону нагнетания глубину и направленными в сторону, противоположную направлению вращения ротора. Вторая ступень выполнена в виде вихревой ступени, содержащей статорные и роторные диски. Статорные диски выполнены плоскими и покрыты фторопластовым уплотнением с концентрическими канавками, образующими лабиринтное уплотнение. Роторные диски содержат по контуру диска лопатки, наклонные в сторону вращения. На поверхности дисков выполнены каналы, наклонные в сторону, противоположную вращению диска со стороны входа газа, и в сторону вращения со стороны выхода газа. 3 ил.

Description

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в турбомолекулярных вакуумных насосах (ТМН).
Известен ТМН, содержащий опорный узел, турбомолекулярную часть первой ступени насоса, непосредственно соединенную с ней молекулярную часть второй ступени насоса и газодинамическое уплотнение третьей ступени насоса, вход которого связан каналом с второй ступенью насоса, а выход - с атмосферой. Получение безмасляного вакуума с помощью этого ТМН заключается в том что вакуум создают путем получения разрежения последовательно на выходах второй и первой ступенях откачки с обязательным применением безмасляного опорного узла, например, на газовой опоре и при отключенном форвакуумном насосе после выхода ТМН на режим.
Недостатком данного технического решения является обязательное применение безмасляного опорного узла, чрезвычайно сложной и трудоемкий процесс изготовления опорного узла и высокие требования к его эксплуатации в части очистки воздуха для питания.
Наиболее близким к предлагаемому устройству является трехступенчатый ТМН, содержащий корпус с входным патрубком, расположенный по оси корпуса цилиндрический статор и закрепленный на валу, снабженном опорным узлом и приводом, ротор, охватывающий цилиндрический статор и образующий с корпусом и статором последовательно расположенные турбомолекулярную ступень, вторую ступень и газодинамическое уплотнение, при этом газодинамическое уплотнение образовано поверхностью цилиндрического статора и многозаходными спиральными канавками, выполненными на поверхности ротора, обращенной к цилиндрическому статору, имеющими уменьшающуюся в сторону нагнетания глубину и направленными в сторону, противоположную направлению вращения ротора.
Цель изобретения - повышение эффективности путем улучшения откачных характеристик.
Указанная цель достигается тем, что вторая ступень выполнена в виде вихревой ступени, включающей статорные и роторные диски, при этом статорные диски выполнены плоскими и покрыты фторопластовым уплотнителем, а роторные диски содержат по контуру диска лопатки, наклонные в сторону вращения, причем на поверхности выполнены каналы, наклонные сторону, противоположную вращению диска со стороны входа газа и в сторону вращения со стороны выхода газа.
Это позволяет значительно повысить степень сжатия откачиваемой среды перед входом в газодинамическое уплотнение, где происходит переходный процесс откачиваемой среды от молекулярного состояния к вязкостному, позволяющему осуществить выброс в атмосферу и дополнительно обеспечивает пригодность насоса для откачки сильно агрессивных сред.
Достигаемый результат обусловлен тем, что улучшаются откачные характеристики и исключается возможность попадания углеводородов и пылевых частиц в откачиваемый объем, а введение вихревой ступени откачки с повышенной степенью сжатия позволяет осуществить выхлоп в атмосферу и увеличить пропускную способность третьей ступени откачки, ее эффективность, что, в свою очередь, позволяет ТМН работать без форвакуумной откачки и использовать насос для откачки сильно агрессивных сред, а размещение опорного узла и привода за третьей ступенью позволяет работать в обычных атмосферных условиях, что улучшает их охлаждение и позволяет применять электродвигатель с повышенным напряжением питания.
На фиг. 1 приведен продольный разрез части ТМН; на фиг. 2 - узел I на фиг. 1; на фиг. 3 - узел II на фиг. 1.
Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2, расположенный на оси корпуса 1 цилиндрический статор 3 и закрепленный на валу 4, снабженном опорным узлом 5 и приводом 6, ротор 7, охватывающий цилиндрический статор 3 и образующий с корпусом 1 и статором 3 последовательно расположенные турбомолекулярную ступень, вторую ступень и газодинамическое уплотнение, при этом последнее образовано поверхностью статора 3 и многозаходными спиральными канавками, выполненными на поверхности ротора 7, обращенной к статору 3, имеющими уменьшающуюся в сторону нагнетания глубину и направленными в сторону, противоположную направлению вращения ротора. Вторая ступень (см. фиг. 1) выполнена в виде вихревой ступени (см. фиг. 3), включающей статорные 8 и роторные диски 9, при этом диски 8 выполнены плоскими и покрыты фторопластовым уплотнителем 10, а диски 9 содержат по контуру диска лопатки 11, наклонные в сторону вращения, причем на поверхности дисков 9 выполнены каналы 12, наклонные в сторону, противоположную вращению диска со стороны входа газа, и в сторону вращения со стороны выхода газа. Это позволяет значительно повысить степень сжатия откачиваемой среды перед входом в газодинамическое уплотнение 1 (см. фиг. 1 и 3), где происходит переходный процесс откачиваемой среды от молекулярного состояния к вязкостному, позволяющему осуществить выброс в атмосферу, а также использовать насос для откачки сильно агрессивных сред.
Насос работает следующим образом.
Газ из откачиваемого объема поступает в корпус 1 через входной патрубок 2 и, проходя последовательно через турбомолекулярную и вихревую ступень с канавками 12 и лопатками 11, поступает в третью ступень откачки с газодинамическим уплотнителем и нагнетается преимущественно в атмосферу. Фторопластовый уплотнитель 10 перекрывает зазор между статором 3 и ротором 7, а также между плоскими поверхностями дисков 8 и 9 в вихревой ступени откачки, препятствуя обратным перетечкам со стороны нагнетания на сторону всасывания, что позволяет улучшить откачные характеристики насоса.

Claims (1)

  1. ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с входным патрубком, расположенный по оси корпуса цилиндрический статор и закрепленный на валу, снабженном опорным узлом и приводом, ротор, охватывающий цилиндрический статор и образующий с корпусом и статором последовательно расположенные турбомолекулярную ступень, вторую ступень и газодинамическое уплотнение, отличающийся тем, что газодинамическое уплотнение образовано поверхностью цилиндрического статора, покрытой фторопластом с многочисленными цилиндрическими канавками, образующими зону уплотнения, и многозаходными спиральными канавками, выполненными на поверхности ротора, обращенной к цилиндрическому статору, имеющими уменьшающуюся в сторону нагнетания глубину и напрвленными в сторону, противоположную направлению вращения ротора, вторая ступень выполнена в виде вихревой ступени, включающей статорные и роторные диски, статорные диски выполнены плоскими фторопластовыми уплотнителем с концентрическими канавками, образующими лабиринтное уплотнение, а роторные диски содержат по контуру диска лопатки, наклонные в сторону вращения, причем на поверхности дисков выполнены каналы, наклонные в сторону, противоположную вращению диска со стороны входа газа, и в сторону вращения со стороны выхода газа.
SU5027075 1991-11-28 1991-11-28 Турбомолекулярный вакуумный насос RU2014510C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5027075 RU2014510C1 (ru) 1991-11-28 1991-11-28 Турбомолекулярный вакуумный насос

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5027075 RU2014510C1 (ru) 1991-11-28 1991-11-28 Турбомолекулярный вакуумный насос

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2014510C1 true RU2014510C1 (ru) 1994-06-15

Family

ID=21596773

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU5027075 RU2014510C1 (ru) 1991-11-28 1991-11-28 Турбомолекулярный вакуумный насос

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2014510C1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3971821B2 (ja) 気体摩擦ポンプ
US5238362A (en) Turbomolecular pump
EP0568069B1 (en) Turbomolecular vacuum pumps
RU1776333C (ru) Сборный турбомолекул рный вакуумный насос
US4668160A (en) Vacuum pump
WO1998027342A1 (en) Turbomolecular vacuum pumps with low susceptibility to particulate buildup
US5143511A (en) Regenerative centrifugal compressor
JP4584420B2 (ja) 真空ポンプ
HK1000016A1 (en) Improved turbomolecular pump
JP2007510853A (ja) 多段式の摩擦真空ポンプ
KR102239812B1 (ko) 터보 압축기
US6524060B2 (en) Gas friction pump
JP4599061B2 (ja) 改良されたインペラー形状を有する真空ポンプ
EP1234982B1 (en) Vacuum pump
RU2014510C1 (ru) Турбомолекулярный вакуумный насос
JPS63208695A (ja) 高真空ポンプ
JP2617290B2 (ja) 真空ポンプ
US6220824B1 (en) Self-propelled vacuum pump
JP2002526720A (ja) ステータとロータを有する摩擦真空ポンプ
JP2001090690A (ja) 真空ポンプ
JPH02264196A (ja) ターボ真空ポンプ
US6672828B2 (en) Vacuum pump
JP3045418B2 (ja) ターボ真空ポンプ
KR100273376B1 (ko) 터보압축기
RU2237824C1 (ru) Вакуумный газоротационный насос