SU1023141A1 - Турбомолекул рный вакуумный насос - Google Patents
Турбомолекул рный вакуумный насос Download PDFInfo
- Publication number
- SU1023141A1 SU1023141A1 SU813393563A SU3393563A SU1023141A1 SU 1023141 A1 SU1023141 A1 SU 1023141A1 SU 813393563 A SU813393563 A SU 813393563A SU 3393563 A SU3393563 A SU 3393563A SU 1023141 A1 SU1023141 A1 SU 1023141A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- pump
- vacuum pump
- rotor
- disks
- stator
- Prior art date
Links
Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
РУРБб МОЖКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и размещенные в нем статорные и роторные диски, о т л и ч а-ю щи и с тем, что, с целью улучшени откачных характеристик , на обращенных друг к , другу торцах роторного и статорного дисков, расположенных со стороны на ,гнетани насоса, выполнены цилиндрические канавки и расположенные в них с зазорами ответные выступы с. тангенциальными каналами. .1 (О ю 00
Description
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов.
Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и размещенные в' нем статорные и роторные диски ' [1J .
Недостатками известного насоса являются невысокие откачные характеристики вследствие 'значительного обратного потока на осевых ступенях насоса, размещенный в зоне нагнетания.
Цель изобретения - улучшение откачных характеристик.
Указанная цель достигается тем, что в турбрмолекулярном вакуумном насосе, содержащем корпус и размещенные в нем статорные и роторные диски, на обращенных друг к другу торцах роторного и статорного дисков, расположенных со стороны нагнетания насоса, выполнены цилиндрические канавки и расположенные в них с зазорами ответные выступы с тангенциальными каналами.
На фиг. 1 представлен предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг.2 разрез А-А на фиг. 1.
Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1. и размещенные в нем статорные и роторные диски 2 и 3, причем на обращенных друг к другу торцах роторного и стопорного дисков.'4 и 5, расположенных со стороны нагнетания насоса, выполнены цилиндрические канавки 6 и 7 и расположенные в них с зазорами ответные выступы 8 и 9 с тангенциальными каналами 10 и 11.
Насос работает следующим образом.
Поток молекул откачиваемого газа при вращении роторных дисков 3 переносится по каналам, выполненные в дисках 2 и 3, в осевом направлении. Достигая дисков.4 и 5 поток изменяет направление на радиальное и через тангенциальные каналы 10 и 11 в выступах 8 и 9 переносится в зону нагнетания насоса.
По существу выступы и канавки образуют радиальные ступени насоса, которые, при сохранении габаритов, обеспечивают улучшение откачных характеристик насоса.
ВНИИПИ Заказ 4183/24 Тираж 665 Подписное
Филиал ППП Патент, г.Ужгород,ул.Проектная,4
Claims (1)
- ТУРВОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и раз мещенные в нем статорные и роторные диски, о т л и ч а-ю щ~и й с я тем, 1 что, с целью улучшения откачных характеристик, на обращенных друг к другу торцах роторного и статорного дисков, расположенных со стороны нагнетания насоса, выполнены цилиндрические канавки и расположенные в них с зазорами ответные выступы с. тангенциальными каналами..SU... 1023141 .Ли Л1 1023141 2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813393563A SU1023141A1 (ru) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813393563A SU1023141A1 (ru) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1023141A1 true SU1023141A1 (ru) | 1983-06-15 |
Family
ID=20996429
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU813393563A SU1023141A1 (ru) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1023141A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2561514C2 (ru) * | 2012-05-31 | 2015-08-27 | Открытое акционерное общество "Завод "Измеритель" | Высоковакуумный гибридный насос |
-
1981
- 1981-11-24 SU SU813393563A patent/SU1023141A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Авторское свидетельство СССР №572584, кл. F 04 D 19/04, 1966. . * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2561514C2 (ru) * | 2012-05-31 | 2015-08-27 | Открытое акционерное общество "Завод "Измеритель" | Высоковакуумный гибридный насос |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5118251A (en) | Compound turbomolecular vacuum pump having two rotary shafts and delivering to atmospheric pressure | |
US3754844A (en) | Pump and electric drive motor unit | |
ATE37214T1 (de) | Rotationspumpe fuer fluessigkeit. | |
JP2002515568A (ja) | ステータとロータを備えた摩擦真空ポンプ | |
SU1023141A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
US5927940A (en) | Double-flow gas friction pump | |
JPH0219694A (ja) | オイルフリー型真空ポンプ | |
GB1508536A (en) | Submerged fuel pump | |
JPS5614887A (en) | Screw pump | |
SU1160119A1 (ru) | Молекул рный вакуумный насос | |
SU666300A1 (ru) | Осевой турбомолекул рный насос | |
RU1282634C (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
ES2042175T3 (es) | Procedimiento de funcionamiento de una bomba volumetrica. | |
SU1135926A1 (ru) | Герметичный электронасос | |
SU1252552A1 (ru) | Ротор радиального турбомолекул рного вакуумного насоса | |
SU1366715A1 (ru) | Центробежна турбомашина | |
SU1240957A1 (ru) | Вакуумный молекул рный насос | |
SU1366711A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
SU1008494A1 (ru) | Электродвигатель герметичного насоса | |
SU773311A1 (ru) | Центробежный насос дл перекачивани и диспергировани жидкостей | |
SU1222898A1 (ru) | Колесо турбомолекул рного вакуумного насоса | |
SU918552A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
SU881372A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
SU1573234A1 (ru) | Двухступенчатый турбомолекул рный вакуумный насос | |
SU1267055A1 (ru) | Вакуумный молекул рный насос |