SU1023141A1 - Турбомолекул рный вакуумный насос - Google Patents

Турбомолекул рный вакуумный насос Download PDF

Info

Publication number
SU1023141A1
SU1023141A1 SU813393563A SU3393563A SU1023141A1 SU 1023141 A1 SU1023141 A1 SU 1023141A1 SU 813393563 A SU813393563 A SU 813393563A SU 3393563 A SU3393563 A SU 3393563A SU 1023141 A1 SU1023141 A1 SU 1023141A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
pump
vacuum pump
rotor
disks
stator
Prior art date
Application number
SU813393563A
Other languages
English (en)
Inventor
Валерий Борисович Шолохов
Константин Евгеньевич Демихов
Андрей Анатольевич Евдокимов
Original Assignee
Предприятие П/Я А-3474
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-3474 filed Critical Предприятие П/Я А-3474
Priority to SU813393563A priority Critical patent/SU1023141A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1023141A1 publication Critical patent/SU1023141A1/ru

Links

Landscapes

  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

РУРБб МОЖКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и размещенные в нем статорные и роторные диски, о т л и ч а-ю щи и с   тем, что, с целью улучшени  откачных характеристик , на обращенных друг к , другу торцах роторного и статорного дисков, расположенных со стороны на ,гнетани  насоса, выполнены цилиндрические канавки и расположенные в них с зазорами ответные выступы с. тангенциальными каналами. .1 (О ю 00

Description

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов.
Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и размещенные в' нем статорные и роторные диски ' [1J .
Недостатками известного насоса являются невысокие откачные характеристики вследствие 'значительного обратного потока на осевых ступенях насоса, размещенный в зоне нагнетания.
Цель изобретения - улучшение откачных характеристик.
Указанная цель достигается тем, что в турбрмолекулярном вакуумном насосе, содержащем корпус и размещенные в нем статорные и роторные диски, на обращенных друг к другу торцах роторного и статорного дисков, расположенных со стороны нагнетания насоса, выполнены цилиндрические канавки и расположенные в них с зазорами ответные выступы с тангенциальными каналами.
На фиг. 1 представлен предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг.2 разрез А-А на фиг. 1.
Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1. и размещенные в нем статорные и роторные диски 2 и 3, причем на обращенных друг к другу торцах роторного и стопорного дисков.'4 и 5, расположенных со стороны нагнетания насоса, выполнены цилиндрические канавки 6 и 7 и расположенные в них с зазорами ответные выступы 8 и 9 с тангенциальными каналами 10 и 11.
Насос работает следующим образом.
Поток молекул откачиваемого газа при вращении роторных дисков 3 переносится по каналам, выполненные в дисках 2 и 3, в осевом направлении. Достигая дисков.4 и 5 поток изменяет направление на радиальное и через тангенциальные каналы 10 и 11 в выступах 8 и 9 переносится в зону нагнетания насоса.
По существу выступы и канавки образуют радиальные ступени насоса, которые, при сохранении габаритов, обеспечивают улучшение откачных характеристик насоса.
ВНИИПИ Заказ 4183/24 Тираж 665 Подписное
Филиал ППП Патент, г.Ужгород,ул.Проектная,4

Claims (1)

  1. ТУРВОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и раз мещенные в нем статорные и роторные диски, о т л и ч а-ю щ~и й с я тем, 1 что, с целью улучшения откачных характеристик, на обращенных друг к другу торцах роторного и статорного дисков, расположенных со стороны нагнетания насоса, выполнены цилиндрические канавки и расположенные в них с зазорами ответные выступы с. тангенциальными каналами.
    .SU... 1023141 .Ли Л
    1 1023141 2
SU813393563A 1981-11-24 1981-11-24 Турбомолекул рный вакуумный насос SU1023141A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813393563A SU1023141A1 (ru) 1981-11-24 1981-11-24 Турбомолекул рный вакуумный насос

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813393563A SU1023141A1 (ru) 1981-11-24 1981-11-24 Турбомолекул рный вакуумный насос

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1023141A1 true SU1023141A1 (ru) 1983-06-15

Family

ID=20996429

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813393563A SU1023141A1 (ru) 1981-11-24 1981-11-24 Турбомолекул рный вакуумный насос

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1023141A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2561514C2 (ru) * 2012-05-31 2015-08-27 Открытое акционерное общество "Завод "Измеритель" Высоковакуумный гибридный насос

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Авторское свидетельство СССР №572584, кл. F 04 D 19/04, 1966. . *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2561514C2 (ru) * 2012-05-31 2015-08-27 Открытое акционерное общество "Завод "Измеритель" Высоковакуумный гибридный насос

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5118251A (en) Compound turbomolecular vacuum pump having two rotary shafts and delivering to atmospheric pressure
US3754844A (en) Pump and electric drive motor unit
ATE37214T1 (de) Rotationspumpe fuer fluessigkeit.
JP2002515568A (ja) ステータとロータを備えた摩擦真空ポンプ
SU1023141A1 (ru) Турбомолекул рный вакуумный насос
US5927940A (en) Double-flow gas friction pump
JPH0219694A (ja) オイルフリー型真空ポンプ
GB1508536A (en) Submerged fuel pump
JPS5614887A (en) Screw pump
SU1160119A1 (ru) Молекул рный вакуумный насос
SU666300A1 (ru) Осевой турбомолекул рный насос
RU1282634C (ru) Турбомолекул рный вакуумный насос
ES2042175T3 (es) Procedimiento de funcionamiento de una bomba volumetrica.
SU1135926A1 (ru) Герметичный электронасос
SU1252552A1 (ru) Ротор радиального турбомолекул рного вакуумного насоса
SU1366715A1 (ru) Центробежна турбомашина
SU1240957A1 (ru) Вакуумный молекул рный насос
SU1366711A1 (ru) Турбомолекул рный вакуумный насос
SU1008494A1 (ru) Электродвигатель герметичного насоса
SU773311A1 (ru) Центробежный насос дл перекачивани и диспергировани жидкостей
SU1222898A1 (ru) Колесо турбомолекул рного вакуумного насоса
SU918552A1 (ru) Турбомолекул рный вакуумный насос
SU881372A1 (ru) Турбомолекул рный вакуумный насос
SU1573234A1 (ru) Двухступенчатый турбомолекул рный вакуумный насос
SU1267055A1 (ru) Вакуумный молекул рный насос