SU1160119A1

SU1160119A1 - Молекул рный вакуумный насос

Info

Publication number: SU1160119A1
Application number: SU843695877A
Authority: SU
Inventors: Константин Евгеньевич Демихов; Илья Игоревич Оглоблин; Татьяна Кимовна Цыреторова
Original assignee: МВТУ им.Н.Э.Баумана
Priority date: 1984-01-25
Filing date: 1984-01-25
Publication date: 1985-06-07

Abstract

МОЛЕКУЛЯРКЬЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС , содержащий расположенный в корпусе оси ротор с винтовыми пазами на наружной поверхности, о т л ич а ю щ и и с тем, что, с целью повышени степени сжати , боковые стенки пазов наклонены к радиусу ротора в направлении его вращени . (Л а

Description

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.

Известен молекулярный вакуумный насос, содержащий статор и ротор со $ ступенчатыми поверхностями Cl 3·

Недостатком данного насоса являются значительные перетечки газа со стороны нагнетания на сторону всасывания, снижающие откачные характе- to ристики.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату являемся молекулярный вакуумный насос, содержащий рас- и положенный' в корпусе по оси ротор с винтовыми пазами на наружной поверхности [2].

Однако известный насос характеризуется невысокой степенью сжатия 20 вследствие перетечек газа через радиальные зазоры.

Цель изобретения - повышение степени сжатия насоса.

Указанная Цель достигается тем, 25 что в молекулярном вакуумном насосе, содержащем расположенный в корпусе по оси ротор с винтовыми пазами на наружной поверхности, боковые стенки пазов наклонены к радиу- ₃₀су ротора в направлении его вращения.

Нафиг. 1 представлен насос,продольный разрез; на фиг.2-то же,поперечный разрез.

Молекулярный вакуумной насос содержит расположенный в корпусе 1 по оси ротор 2 с винтовыми пазами 3 на наружной поверхности, причем боковые стенки 4 пазов 3 наклонены к радиусу ротора 2 в направлении его вращения.

Насос работает следующим образом.

Поступающие в полость насоса молекулы газа попадают в пазы 3 ротора 2, где получают импульсы в направлении откачки. Молекулы, прошедшие винтовые пазы, удаляются со стороны нагнетания насоса дополнительным откачным средством.

Расположение боковых стенок 4 пазов 3 под углом.к радиусу ротора 2 приводит к тому, что молекулы газа, перетекающие со стороны нагнетания на сторону всасывания насоса, при столкновении с набегающей стенкой 4 получают импульс в направлении от радиального зазора, тем самым обеспечивается удаление газа из зазора.

Таким образом, предложенное выполнение молекулярного вакуумного насоса повышает степень сжатия.

Фиг.2

ВНИИПИ Заказ 3720/32 Тираж 586 Подписное

Филиал ППП Патент, г.Ужгород* ул.Проектная, 4

Claims

МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий расположенный в корпусе оси ротор с винтовыми пазами на наружной поверхности, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения степени сжатия, боковые стенки пазов наклонены к радиусу ротора в направлении его вращения.

I