SU666300A1 - Осевой турбомолекул рный насос - Google Patents
Осевой турбомолекул рный насосInfo
- Publication number
- SU666300A1 SU666300A1 SU731912883A SU1912883A SU666300A1 SU 666300 A1 SU666300 A1 SU 666300A1 SU 731912883 A SU731912883 A SU 731912883A SU 1912883 A SU1912883 A SU 1912883A SU 666300 A1 SU666300 A1 SU 666300A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- pump
- turbomolecular pump
- rotor
- disks
- axial turbomolecular
- Prior art date
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к вакуумной технике.
Известен турбомолекул рный вакуумный насос , содержащий неподвижнь1Й корпус со статорными дисками, в котором на подшипниках установлен ротор, приводимый во вращение электродвигателем 1.
Недостатком известного насоса вл етс невысокий коэффициент использовани площади проточной части насоса, привод щий к ухудшению удельных характеристик.
Известен также осевой турбомолекул рный на сое, содержащий вращающийс корпус с размещенными в нем роторными дисками и неподвижный газоподвод ший патрубок, подключенный к откачиваемому объему 2.
Известный насос приводит к увеличению количества элементов, работающих в неблагопри тных услови х, что, в конечном счете, снижает надежность насоса.
Целью изобретени вл етс повышение надежности .
Указанна цель достигаетс тем, что газоподвод щий патрубок введен внутрь корпуса по его
оси на всю длину роторных дисков и на нем укреплены статорнь е диски.
На чертеже изображен насос, продольный разрез .
Осевой турбомолекул рный насос содержит вращающийс корпус 1 с размещенными в нем роторными 2 дисками и неподвижный газоподвод щий патрубок 3, подключенный к откачиваемому объему (на чертеже не показан). ГазоподБОД щий патрубок 3 введен внутрь корпуса 1 по его оси на всю длину роторных дисков 2 и на нем укреплены статорные 4 диски.
Турбомолекул рный насос работает следующим образом.
После предварительной откачки приводитс во вращение корпус 1 с роторными 2 дисками Молекулы откачиваемого газа, проход по газоподвод щему патрубку 3 и взаимодейству с роторными 2 и статорными 4 дисками, перенос тс на сторону форвакуума н откачиваютс вспо могательным насосом, благодар чему в объеме создаетс высокий вакуум.
Насос обладает уменьшенными габаритами, повышенной надежностью и наиболее целесооб
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU731912883A SU666300A1 (ru) | 1973-05-03 | 1973-05-03 | Осевой турбомолекул рный насос |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU731912883A SU666300A1 (ru) | 1973-05-03 | 1973-05-03 | Осевой турбомолекул рный насос |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU666300A1 true SU666300A1 (ru) | 1979-06-05 |
Family
ID=20551018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU731912883A SU666300A1 (ru) | 1973-05-03 | 1973-05-03 | Осевой турбомолекул рный насос |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU666300A1 (ru) |
-
1973
- 1973-05-03 SU SU731912883A patent/SU666300A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SU625631A3 (ru) | Агрегат дл подачи топлива | |
| US3969039A (en) | Vacuum pump | |
| US5118251A (en) | Compound turbomolecular vacuum pump having two rotary shafts and delivering to atmospheric pressure | |
| JPS5730998B2 (ru) | ||
| JPH0333492A (ja) | ２段乾式一次ポンプ | |
| JP2001027195A (ja) | 真空ポンプ | |
| ATE107743T1 (de) | Axiallüfter mit zylindrischem aussengehäuse. | |
| ES412060A1 (es) | Perfeccionamientos en sistemas lavadores del parabrisas. | |
| US6179573B1 (en) | Vacuum pump with inverted motor | |
| GB1079631A (en) | Motor driven pumps | |
| SU666300A1 (ru) | Осевой турбомолекул рный насос | |
| JP2002310092A (ja) | 真空ポンプ | |
| GB2169965A (en) | Rotary vane pump | |
| JPH0219694A (ja) | オイルフリー型真空ポンプ | |
| JPH0419393B2 (ru) | ||
| SU1023141A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| JPH06221289A (ja) | 真空ポンプの改良 | |
| SU992837A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| JPS6469797A (en) | Vacuum pump | |
| RU1282634C (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| GB1315032A (en) | Arrangement for the evacuation of air from canned motor pumps | |
| SU918551A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU1135926A1 (ru) | Герметичный электронасос | |
| SU848762A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| RU2016255C1 (ru) | Молекулярный вакуумный насос |