SU848762A1 - Турбомолекул рный вакуумный насос - Google Patents
Турбомолекул рный вакуумный насос Download PDFInfo
- Publication number
- SU848762A1 SU848762A1 SU792882933A SU2882933A SU848762A1 SU 848762 A1 SU848762 A1 SU 848762A1 SU 792882933 A SU792882933 A SU 792882933A SU 2882933 A SU2882933 A SU 2882933A SU 848762 A1 SU848762 A1 SU 848762A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- pump
- disks
- turbomolecular vacuum
- vacuum pump
- stator
- Prior art date
Links
Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Description
(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС
Изобретение относитс к вакуумной технике, а именно к устройству турбомолекул рных вакуумных насосов. Известны турбомолекул рные вакуум ные насосы, содержащие корпус и расположенные в нем статор и ротор, выполненные в виде дисков с лопатками 1 . Недостатком известных насосов вл ютс невысокие откачные характеристики вследствие ограниченности скорости вращени ротора. Цель изобретени - увеличение откачных характеристик при выполнении дисков ротора из титана или его спла вов. Указанна цель достигаетс тем, что между дисками статора, расположенными на входе насоса, и остальными дисками статора расположена токоизолирующа проставка, а на корпусе размещена магнитна система, создающа магнитное поле, перпендикул рное плоскости дисков, причем к дискам статора, расположенным на вхо де, подключен источник высокого напр жени . На чертеже представлен насос, .продольный,- разрез. Турбомолекул рный вакуумный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем статор 2 и ротор 3, выполненные в виде дисков 4,5 и 6 с-лопатками, при этом между дисками 4 статора 2, расположенными на входе насоса, и остальными дисками 5 статора 2 расположена токоизолирующа проставка 7, а на корпусе 1 размещена магнитна система 8, создающа магнитное поле, перпендикул рное плоскости дисков 4,5 и 6, причем к дискам 4 статора 2, расположенным на входе, подключен источник высокого напр жени . Источник высокого напр жени подключен посредством токопровода 9. Насос работает следующим образом. Молекулы остаточного-газа, поступающие из откачиваемого объема, соудар сь с лопатками дисков 6. быстро вращающегос ротора 3, получают импульс в направлении откачки и перенос тс к выходу из насоса. К дискам 4 статора 2 по токопроводу 9 подводитс высокое напр жение от источника (5-10 кВ), в результате чего возникает разр д , ионизирующий остаточный газ.Ионы остаточного газа бомбардируют диски 6 ротора 3,
распыл материал дисков 6(титан или егр сплавы).Распыленный титан образует с остаточным газом твердые соединени и вл етс дополнительным откачным средством.
Таким образом в предлагаемом насосе помимо эффекта откачки, создаваемого турбомолекул рным насосом, реализует дополнительно эффект откачки , аналогичный работе геттерноионного насоса, что позвол ет улучшить откачные характеристики насоса в целом без увеличени его геометрических размеров.
Claims (1)
1. Авторское свидетельство СССР № 533757, кл. F 04 D 19/04, 1973.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792882933A SU848762A1 (ru) | 1979-11-30 | 1979-11-30 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792882933A SU848762A1 (ru) | 1979-11-30 | 1979-11-30 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU848762A1 true SU848762A1 (ru) | 1981-07-23 |
Family
ID=20877913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU792882933A SU848762A1 (ru) | 1979-11-30 | 1979-11-30 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU848762A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5344282A (en) * | 1991-12-04 | 1994-09-06 | The Boc Group, Plc | Molecular drag type vacuum pump |
-
1979
- 1979-11-30 SU SU792882933A patent/SU848762A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5344282A (en) * | 1991-12-04 | 1994-09-06 | The Boc Group, Plc | Molecular drag type vacuum pump |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5118251A (en) | Compound turbomolecular vacuum pump having two rotary shafts and delivering to atmospheric pressure | |
| US3969039A (en) | Vacuum pump | |
| EP1668255B2 (en) | Vacuum pump | |
| US3628894A (en) | High-vacuum mechanical pump | |
| US6193461B1 (en) | Dual inlet vacuum pumps | |
| EP2481077B1 (en) | Mass spectrometer system | |
| GB1521798A (en) | Turbomolecular pump | |
| JPS5966046A (ja) | スパツタ−イオンポンプ | |
| TW201033469A (en) | Multiple inlet vacuum pumps | |
| GB1397179A (en) | Turbomolecular vacuum pump | |
| DE69104749D1 (de) | Verbesserte Turbomolekularpumpe. | |
| JP2003515037A (ja) | 半径方向流ターボ分子真空ポンプ | |
| SU848762A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| US6179573B1 (en) | Vacuum pump with inverted motor | |
| JPS57191492A (en) | Molecular turbo-pump | |
| JPH0219694A (ja) | オイルフリー型真空ポンプ | |
| US11037773B2 (en) | Turbo molecular pump for mass spectrometer | |
| Tu et al. | A new design for the disk‐type molecular pump | |
| SU1023141A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| US3107044A (en) | Cold-cathode discharge ion pump | |
| SU666300A1 (ru) | Осевой турбомолекул рный насос | |
| SU985444A1 (ru) | Дисковый вентил тор | |
| SU802625A1 (ru) | Турбомолекул рный насос | |
| SU1240957A1 (ru) | Вакуумный молекул рный насос | |
| SU737660A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос |