SU737660A1 - Турбомолекул рный вакуумный насос - Google Patents
Турбомолекул рный вакуумный насос Download PDFInfo
- Publication number
- SU737660A1 SU737660A1 SU782665470A SU2665470A SU737660A1 SU 737660 A1 SU737660 A1 SU 737660A1 SU 782665470 A SU782665470 A SU 782665470A SU 2665470 A SU2665470 A SU 2665470A SU 737660 A1 SU737660 A1 SU 737660A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- vacuum pump
- sorbent
- turbomolecular vacuum
- stator
- pump
- Prior art date
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС
1
Изобретение относитс к области вакуумной техники, а именно к конструкци м турбомо екул рных вакуумных насосов.
Известен турбомолекул рный вакуумный насос, содержащий охлаждаемый корпус с расположенными в нем статором и ротором 1.
Недостатком этого насоса вл етс больщие энергозатраты, обусловленные значительными потер ми хладагента в процессе работы.
Известен также турбомолекул рный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в нем ротор и охлаждаемый статор с сорбентом, выполненный в виде дисков с лопатками. Сорбент расположен в форвакуумной полости 2.
Однако расположение сорбента в форвакуумной полости не позвол ет улучщить откачные характеристики проточной части насоса..
Целью изобретени вл етс улучщение откачных характеристик.
Указанна цель достигаетс тем, что в лопатках статорных дисков с торцовой стороны выполнены выемки и сорбент размещен в последних.
На фиг. 1 показан насос, продольный разрез; на фиг. 2 - часть статорного диска . ,
Турбомолекул рный вакуумный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем 5 ротор 2 и охлаждаемый статор 3 с сорбентом 4, выполненный в виде дисков 5 с лопатками 6. В лопатках 6 статорных дисков 5 с торцовой стороны выполнены выемки 7 и сорбент 4 размещен в последних. Кроме того, на статоре 3 расположены змеевик 8 О и нагреватель 9.
Насос работает следующим образом.
Предварительно производитс регенераци сорбента 4 в лопатках 5 статорных дисков 5 путем прогрева его при помощи наJ5 гревател 9. Затем через змеевик 8 пропускаетс хладагент и Осуществл етс охлаждение сорбента 4. При этом происходит предварительное вакуумирование полости насоса. Далее ротор 2 приводитс во вращение и производитс откачка газа из 20 откачиваемого объема.,
Сорбент, размещенный в лопатках ста- -торных дисков, преп тствует проникновению паров рабочего масла и продуктов его распада в откачиваемый объем и по.ддерживает
в определенном интервале давление газа во внутренней поюсти насоса, тем самым улучша его откачные характеристики.
Claims (2)
1.Патент США ° 3536418, кл. 417-49, опублик. 1970.
2.Авторское свидетельство СССР № 533757, кл. F 04 D 19/04, 1973.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782665470A SU737660A1 (ru) | 1978-09-14 | 1978-09-14 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782665470A SU737660A1 (ru) | 1978-09-14 | 1978-09-14 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU737660A1 true SU737660A1 (ru) | 1980-05-30 |
Family
ID=20785811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU782665470A SU737660A1 (ru) | 1978-09-14 | 1978-09-14 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU737660A1 (ru) |
-
1978
- 1978-09-14 SU SU782665470A patent/SU737660A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU1776333C (ru) | Сборный турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU737660A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| KR20180118455A (ko) | 터보 압축기 | |
| JPS57191492A (en) | Molecular turbo-pump | |
| SU881372A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| US3180569A (en) | Cooled rotary pump | |
| SU846793A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| Tu et al. | A new design for the disk‐type molecular pump | |
| SU985444A1 (ru) | Дисковый вентил тор | |
| JPS575592A (en) | Multivane compressor | |
| SU533757A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU1418495A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU763613A1 (ru) | Герметичный компрессор | |
| SU596732A1 (ru) | Герметичный холодильный компрессор | |
| SU848762A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU1267055A1 (ru) | Вакуумный молекул рный насос | |
| US2098474A (en) | Direct action air compressor and muffler | |
| SU973938A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| RU1433133C (ru) | Черпаковый насос | |
| SU866272A1 (ru) | Диафрагменный компрессор | |
| SU883558A1 (ru) | Ротор винтовой компрессорной машины | |
| JPH0537035Y2 (ru) | ||
| SU666300A1 (ru) | Осевой турбомолекул рный насос | |
| SU981697A1 (ru) | Вакуумный агрегат | |
| RU1282634C (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос |