SU1240957A1 - Вакуумный молекул рный насос - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике , а именно к конструкци м молекул рных вакуумных насосов.

Целью изобретени   вл етс  улучшение откачных характеристик насоса.

На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 - роторный диск с частью периферийных лопаток, общий вид.

Вакуумный молекул рный насос содержит корпус 1, размещенные в нем роторные и статорные диски 2 а 3, последние имеют на боковых поверхност х спиральные канавки 4, причем роторные диски 2 снабжены по периферии лопатками 5, расположенными под углом к их плоскости. Зазор между статорными дисками 3 образован при помощи проставочных колец 6 между ними.

12409572

которые могут быть выполнены в виде обода на периферии статорных дисков. Насос работает следующим образом. Роторные диски 2 привод тс  во враще5 ние, и откачиваемый газ по спиральным канавкам 4 статорных дисков 3 перемещаетс  сначала от центра к периферии, а затем от периферии к центру. Далее процесс повтор етс  на,каждой ступени откачки, и газ перемещаетс  со стороны всасывани  на сторону

нагнетани . Наличие лопаток 5 на периферии роторных дисков обеспечивает работу молекул рного насоса в этой зоне по принципу турбомолекул рного насоса. При этом обратные перетечки откачиваемого газа чеJ5 рез зазор между роторными дисками 2 и проставочными кольцами 6 в значительной мере снижаютс , что приводит к улучшению откачных характеристик насоса.

(pi/e.2

Claims (1)

1. ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС, содержащий корпус, размещенные в нем роторные и статорные диски, последние имеют на боковых поверхностях спиральные канавки, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, роторные диски снабжены по периферии лопатками, расположенными под углом к их плоскости.

   Τ'*// ' 7 7///Л