JPH03154238A - 光ディスクカッティング装置におけるレーザビームパワー制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は光ディスクカッティング装置におけるレーザビ
ームパワー制御装置に関する。

背景技術 第３図に光ディスクカッティング装置におけるレーザビ
ームパワー制御装置の従来例を示す。レーザ発振器１は
Ａｒ”　　（アルゴンイオン）レーザビームを発生する
。レーザ発振器１から発せられたＡｒ＋レーザビームは
反射ミラー３ないし５によって反射されて対物レンズ６
に入り、対物レンズ６を通過したレーザビームは記録原
盤７上に照射される。レーザ発振器１と反射ミラー３と
の間にはＡ−０光変調器（又はＥ−０光変調器）２が設
けられており、Ａ−０光変調器２によってレーザビーム
自体に含まれる雑音を除去すると共に、記録原盤７の外
側と内側とでの露光量の制御（ラジアルコントロール）
することが行なわれる。反射ミラー３．４間にはＡ−０
光変調器９が設けられており、光変調器９によってレー
ザビームが記録すべき映像信号や音声信号等の信号に応
じて変調を受ける。また反射ミラー４，５間にはビーム
エキスパンダ８が設けられており、ビームエキスパンダ
８によって対物レンズ６のレンズ−杯にビームを入射さ
せるためにビーム径が広げられる。

レーザ発振器１においては、レーザ管１ａ及び反射１１
１ｂ、１ｃからなる共振器がレーザビームを発振し、そ
のレーザビームを出力する出力段に反射ミラー１ｄが設
けられている。反射ミラー１ｄはその一部分のみにおい
てレーザビームを反射し、反射されたレーザビームは光
ディテクタ１０に入射するようになっている。光ディテ
クタ１０は入射レーザビームの強度に応じた出力信号を
発生する。光ディテクタ１０の出力信号はレーザ発振器
１外のレーザパワー制御回路１１に供給され、制御回路
１１は光ディテクタ１０の出力信号に応じてレーザ発振
器１の駆動電流を制御してレーザ発振器１の出力レーザ
ビームの強度を変化せしめる。これによりレーザ発振器
１の出力レーザビームの強度を所定値に維持することが
行なわれている。

しかしながら、かかる光ディスクカッティング装置にお
けるレーザビームパワー制御装置においては、レーザ発
振器１から対物レンズ６までに挿入された反射ミラー３
ないし５の温度や湿度の変化によりその反射率が変化し
たりリタデーションが変化する。また、反射ミラー３な
いしらや光変調器２，９等の光学部品のカッティングに
問題ない程度の損傷でも光学部品の透過率が低下するこ
とが起きる。これにより、上記の如くレーザ発振器１の
出力レーザビームの強度を所定値に維持するように制御
しても露光パワーが変化して安定した露光が行なわれな
くなるという問題点があった。

発明の概要 ［発明の目的］ 本発明の目的は、露光パワーを一定に保持して常に安定
した露光を行なうことができる光ディスクカッティング
装置におけるレーザビームパワー制御装置を提供するこ
とである。

Ｃ発明の構成〕 本発明の光ディスクカッティング装置におけるレーザビ
ームパワー制御装置は、レーザ発生手段から発せられた
レーザビームをして複数の光学部品を通過又は反射させ
た後、対物レンズを介して記録原盤上に導きかつ対物レ
ンズより前段において記録されるべき信号に応じてレー
ザビームを変調する光学系を備えた光ディスクカッティ
ング装置におけるレーザビームパワー制御装置であり、
対物レンズへの入射レーザビーム又は対物レンズを経た
レーザビームの強度を検出する検出手段と、該検出手段
による検出レベルに応じてレーザ発生手段によるレーザ
出力を制御する制御手段とを含むことを特徴としている
。

［発明の作用］ 本発明の光ディスクカッティング装置におけるり、−ｆ
ビームパワー制御装置においては、対物レンズへの入射
レーザビーム又は対物レンズを経たレーザビームの強度
を検出手段により検出し、この検出手段による検出レベ
ルに応じてレーザ発生手段から出力されるレーザビーム
の強度を制御するので、レーザ発生手段から対物レンズ
までの光学部品の温度や湿度の変化等の影響によりレー
ザビームの強度が変化した場合でも露光パワーをを安定
に維持させることができる。

実施例 以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ詳細に説明す
る。

第１図に示した本発明の実施例において、第３図に示し
た従来装置と同一部分は同一符号によって示されており
、ビームエキスパンダ８と対物しンズ６との間に設けら
れた反射ミラー１２がビームエキスパンダ８を通過した
レーザビームを対物レンズ６に供給することは第３図で
示した反射ミラー５と同様であるが、反射ミラー５が全
反射であるのに対し、反射ミラー１２は一部に透過部分
を有するミラーである。反射ミラー１２の後方に光ディ
テクタ１３が配置されており、光ディテクタ１３は反射
ミラー１２の透過部分を通過して入射するレーザビーム
の強度を検出する。光ディテクタ１３としてはフォトダ
イオードや光伝導セルが用いられている。

光ディテクタ１３の出力信号はレーザパワー制御回路１
１に供給され、制御回路１１は光ディテクタ１３の出力
信号に応じてレーザ発振器１の駆動電流を制御する。そ
の他の構成は第３図に示した構成と同様である。

かかる構成においては、レーザ発振器１から出力された
Ａｒ＋レーザビームは光変調器２を通過して反射ミラー
３によって全反射される。反射されたレーザビームは光
変調器９に入射されて記録されるべき信号によって変調
されて更に反射ミラー４によって全反射される。反射ミ
ラー４により反射されたレーザビームはビームエキスパ
ンダ８によって拡大され、更に反射ミラー１２によって
反射されて対物レンズ６に供給される。対物レンズ６を
通過したレーザビームは記録原盤７上に照射され記録原
盤７表面に塗布されているフォトレジストを露光する。

一方、反射ミラー１２の透過部分を通過したレーザビー
ムは光ディテクタ１３に入射し、光ディテクタ１３から
入射レーザビームの強度に応じた出力信号が発生され、
その出力信号は制御回路１１に供給される。

制御回路１１はディテクタ１３の出力信号レベルと所定
基準レベルとを比較し、出力信号レベルが所定基準レベ
ルより大であればレーザ発振器１の駆動電流を徐々に低
下させ、逆に出力信号レベルが所定基準レベルより小で
あればレーザ発振器１の駆動電流を徐々に上昇させる。

レーザ発振器１は駆動電流が上昇するに従って発射する
レーザビームの強度を増大させるので、駆動電流が制御
されることによりディテクタ１３に入射するレーザビー
ムの強度、すなわち対物レンズ６に入射するレーザビー
ムの強度を一定に維持することができる。よって、露光
パワーが一定になるように制御されるのである。

第２図は本発明の他の実施例を示している。この実施例
においては、レーザビームの強度を検出する手段として
Ａｒ＋レーザフォーカス用４分割ディテクタ１６が兼用
される。すなわち、ビームエキスパンダ８と反射ミラー
５との間に偏光ビームスプリッタ１４が設けられ、偏光
ビームスプリッタ１４によって反射されたレーザビーム
が円柱レンズ１５を通過してディテクタ１６に入射され
る。ディテクタ１６の出力信号はフォーカスサーボ制御
回路（図示せず）に供給されると共にレーザパワー制御
回路１１に供給される。その他の構成は第３図に示した
構成と同様である。

かかる構成においては、ビームエキスパンダ８によって
拡大されたレーザビームは偏光ビームスプリッタ１４を
通過して反射ミラー５によって全反射されて対物レンズ
６に供給される。対物レンズ６を通過したレーザビーム
は記録原盤７上に照射され、この記録原盤７による反射
ビームが反射ミラー５によって反射され、更に偏光ビー
ムスプリッタ１４によって反射され、そして円柱レンズ
１５を通過してディテクタ１６に入射する。ディテクタ
１６の４分割の各素子の出力信号が制御回路１１に供給
される。

制御回路１１はディテクタ１６の各出力信号の合計レベ
ルと所定基準レベルとを比較してレーザ発振器１への電
源電圧を第１図の実施例と同様に制御する。このように
電源電圧が制御されることによりディテクタ１６に入射
するレーザビームの強度、すなわち露光パワーをほぼ一
定に維持することができる。

発明の効果 以上の如く、本発明による光ディスクカッティング装置
におけるレーザビームパワー制御装置においては、対物
レンズへの入射レーザビーム又は対物レンズを経たレー
ザビームの強度を検出してその検出レベルに応じてレー
ザ発生手段のレーザ出力を制御するので、レーザ発生手
段から対物レンズまでの光学部品の温度変化等の影響に
よりレーザビームの強度が変化した場合でも露光パワー
を一定に保持して常に安定した露光を行なうことができ
るのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す構成図、第２図は本発明
の他の実施例を示す構成図、第３図は従来のレーザビー
ムパワー制御装置を示す構成図である。 主要部分の符号の説明 １・・・レーザ発振器 １ｄ、３〜５，１２・・・反射ミラー ２．９・・・光変調器 ６・・・対物レンズ ７・・・記録原盤 １０．１３．１６・・・光ディテクタ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）レーザ発生手段から発せられたレーザビームをし
   て複数の光学部品を通過又は反射させた後、対物レンズ
   を介して記録原盤上に導きかつ前記対物レンズより前段
   において記録されるべき信号に応じてレーザビームを変
   調する光学系を備えた光ディスクカッティング装置にお
   けるレーザビームパワー制御装置であって、前記対物レ
   ンズへの入射レーザビーム又は前記対物レンズを経たレ
   ーザビームの強度を検出する検出手段と、前記検出手段
   による検出レベルに応じて前記レーザ発生手段によるレ
   ーザ出力を制御する制御手段とを含むことを特徴とする
   レーザビームパワー制御装置。
2. （２）前記検出手段は一部に透過部分を有し入射するレ
   ーザビームを前記対物レンズに向けて反射する反射ミラ
   ーと、前記反射ミラーの前記透過部分を通過したレーザ
   ビームが入射する光ディテクタとからなることを特徴と
   する請求項１記載のレーザビームパワー制御装置。
3. （３）前記検出手段は前記対物レンズの前段に設けられ
   前記対物レンズを経たレーザビームを反射する偏向ビー
   ムスプリッタと、前記偏向ビームスプリッタによって反
   射されたレーザビームが入射する光ディテクタとからな
   ることを特徴とする請求項１記載のレーザビームパワー
   制御装置。