JPH03152893A - セラミックヒータ - Google Patents
セラミックヒータInfo
- Publication number
- JPH03152893A JPH03152893A JP1289516A JP28951689A JPH03152893A JP H03152893 A JPH03152893 A JP H03152893A JP 1289516 A JP1289516 A JP 1289516A JP 28951689 A JP28951689 A JP 28951689A JP H03152893 A JPH03152893 A JP H03152893A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- heater
- sialon
- phase
- high temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 14
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 14
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 7
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 7
- 229910008814 WSi2 Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 3
- 229910020968 MoSi2 Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910016006 MoSi Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、一般家庭用、産業機器用、及び自動車用等に
広汎に利用できる耐熱衝撃性および高温強度に優れたセ
ラミックヒータに関するものである。
広汎に利用できる耐熱衝撃性および高温強度に優れたセ
ラミックヒータに関するものである。
従来の技術
従来、ディーゼルエンジンの余熱プラグ、暖房機の燃料
着火用などに用いられているヒータは、耐熱金属製シー
ズ中に発熱コイル及びその周囲にMgOなどの耐熱絶縁
粉末を充填した、いわゆるシーズヒータである。
着火用などに用いられているヒータは、耐熱金属製シー
ズ中に発熱コイル及びその周囲にMgOなどの耐熱絶縁
粉末を充填した、いわゆるシーズヒータである。
しかし、このようなシーズヒータでは予熱開始からシー
ズ表面温度が始動可能な温度に達するまでに5秒以上か
かり、急速加熱性に欠ける。また、加熱速度を早めるた
めに電流値を増加すると、発熱コイルの溶断あるいは、
高熱によるシーズの破損等が生じ易くなり、耐久性が著
しく低下する。このため、急速始動性を有し、高温耐久
性に優れたヒータの開発が待ち望まれていた。
ズ表面温度が始動可能な温度に達するまでに5秒以上か
かり、急速加熱性に欠ける。また、加熱速度を早めるた
めに電流値を増加すると、発熱コイルの溶断あるいは、
高熱によるシーズの破損等が生じ易くなり、耐久性が著
しく低下する。このため、急速始動性を有し、高温耐久
性に優れたヒータの開発が待ち望まれていた。
従来、セラミックスを用いたヒータとしては、窒化珪素
やアルミナの焼結体中にタングステン。
やアルミナの焼結体中にタングステン。
モリブデンなとを用いた金属線状発熱抵抗体を埋設した
ものがある。
ものがある。
発明が解決しようとする課題
このような従来のセラミックヒータは、熱膨張係数が大
きく異なる金属とセラミックを組み合わせているため、
焼成条件が狭く、かつヒータとして用いる場合でも急速
加熱による熱衝撃や長時間の昇降温を反復使用した時に
抵抗体金属とセラミックが反応して脆弱相を生じ、抵抗
値が増大したり、亀裂部の熱応力疲労による断線を生ず
る等の欠点があった。
きく異なる金属とセラミックを組み合わせているため、
焼成条件が狭く、かつヒータとして用いる場合でも急速
加熱による熱衝撃や長時間の昇降温を反復使用した時に
抵抗体金属とセラミックが反応して脆弱相を生じ、抵抗
値が増大したり、亀裂部の熱応力疲労による断線を生ず
る等の欠点があった。
本発明は従来のシーズヒータあるいはセラミックヒータ
の加熱特性、高温耐久性を改善し、急速加熱性及び高温
耐久性に優れたセラミックヒータを提供することを目的
とするものである。
の加熱特性、高温耐久性を改善し、急速加熱性及び高温
耐久性に優れたセラミックヒータを提供することを目的
とするものである。
課題を解決するための手段
この課題を解決するために本発明は、急速加熱性を実現
するには、ヒータの抵抗値を小さくして瞬間的に大電流
を通電させればよく、高温耐久性を得るにはヒータ材料
を高融点でしかも耐酸化性の優れたものにすれば良い。
するには、ヒータの抵抗値を小さくして瞬間的に大電流
を通電させればよく、高温耐久性を得るにはヒータ材料
を高融点でしかも耐酸化性の優れたものにすれば良い。
また、ヒータの発熱時における電流の暴走による断線を
防ぐため、かつ、その温度抵抗係数を利用してヒータ表
面の温度を一定に電流制御するために、ヒータは正の抵
抗温度計数(T CR)を持つことが好ましい。
防ぐため、かつ、その温度抵抗係数を利用してヒータ表
面の温度を一定に電流制御するために、ヒータは正の抵
抗温度計数(T CR)を持つことが好ましい。
本発明は焼結助材を含有するサイアロン焼結体中に、導
電性を有するMoSi。およびWSi2の1種もしくは
2種の金属珪化物粉末を分散させた複合セラミックが室
温時の比抵抗5Ω・C以下で、正のTCRを有し、発熱
温度領域で優れた耐久性があることを見出した。すなわ
ち本発明は、Y2O31〜10wt%、サイアロン20
〜60wt%。
電性を有するMoSi。およびWSi2の1種もしくは
2種の金属珪化物粉末を分散させた複合セラミックが室
温時の比抵抗5Ω・C以下で、正のTCRを有し、発熱
温度領域で優れた耐久性があることを見出した。すなわ
ち本発明は、Y2O31〜10wt%、サイアロン20
〜60wt%。
MoSi2およびWSi2の1種もしくは2種の金属珪
化物30〜79wt%を添加し、混合、成形した後加圧
焼結しセラミックヒータとするものである。
化物30〜79wt%を添加し、混合、成形した後加圧
焼結しセラミックヒータとするものである。
作用
本発明において、1〜10wt%のY 203を加える
のは磁器のち密化を促進するためであり、Y2O3が1
wt%以内では焼結せず、Y2O3が10wt%を越え
ると高温強度が大きく低下するからである。サイアロン
の添加量を20〜60wt%とするのは、20wt%以
内では高温強度が著しく低下し、5 Q w t%を越
えると抵抗値が大きくなり過ぎ発熱抵抗体としては使用
できなくなるからである。ここでサイアロンは、β−サ
イアロ ンであることが好ましい。即ち、一般式5i6−2A
f zozNs−z (0< Z≦4.2)で表わされ
るものがそれであり、これはβ−サイアロンがα−サイ
アロンより耐熱性高温強度が高いためである。また、サ
イアロンとして一般弐Mx (s i、 Aj’) +
2(0,N)+6(但し0<x≦2.M: L i、C
a。
のは磁器のち密化を促進するためであり、Y2O3が1
wt%以内では焼結せず、Y2O3が10wt%を越え
ると高温強度が大きく低下するからである。サイアロン
の添加量を20〜60wt%とするのは、20wt%以
内では高温強度が著しく低下し、5 Q w t%を越
えると抵抗値が大きくなり過ぎ発熱抵抗体としては使用
できなくなるからである。ここでサイアロンは、β−サ
イアロ ンであることが好ましい。即ち、一般式5i6−2A
f zozNs−z (0< Z≦4.2)で表わされ
るものがそれであり、これはβ−サイアロンがα−サイ
アロンより耐熱性高温強度が高いためである。また、サ
イアロンとして一般弐Mx (s i、 Aj’) +
2(0,N)+6(但し0<x≦2.M: L i、C
a。
Mg、Y、La)で表わされるα−サイアロンを用いて
も、調整可能である。導電性付与金属化合物として、M
oSi2およびWSi2の1種もしくは2種の金属珪化
物を選んだのは、それらが高温において、熱力学的に安
定で高温における強度。
も、調整可能である。導電性付与金属化合物として、M
oSi2およびWSi2の1種もしくは2種の金属珪化
物を選んだのは、それらが高温において、熱力学的に安
定で高温における強度。
耐酸化性が優れていると同時に、サイアロンとのなじみ
がよく複合系としたときに良好な焼結性を示すからであ
る。金属珪化物の添加量を30〜79wt%とするのは
、30wt%以下では抵抗値が大きくなりすぎ発熱抵抗
体としては使用できなくなり、また、79wt%以上で
は複合セラミックの強度が大きく低下するからである。
がよく複合系としたときに良好な焼結性を示すからであ
る。金属珪化物の添加量を30〜79wt%とするのは
、30wt%以下では抵抗値が大きくなりすぎ発熱抵抗
体としては使用できなくなり、また、79wt%以上で
は複合セラミックの強度が大きく低下するからである。
実施例
以下、本発明の実施例について説明する。
(実施例1)
M o S i 2粉末(平均粒径2μm)、WSi2
粉末(平均粒径2μm)に対し、β−サイアロン粉末(
平均粒径0.5μm、Z=2)、 α−サイアロン粉末
(平均粒径0.5 μm : Yo、5S 1975A
12□500.75N+5.25) Y2O3(平均
粒径1.0μm)を第1表に示した組成に配合の後、出
発原料に対し50wt%の有機溶剤を加えてアルミナポ
ット中で混合、攪拌し、ついでセラミックグリーンシー
トを得るための可塑剤としてジブチルフタレート、結合
剤としてポリビニールブチラール(分子量45000〜
55000)を添加して、さらに混練を行い3X10’
〜10X10’po i s eのスラリーを調整し、
ドクターブレード法にて厚み0.2+on+のグリーン
シートを作成した。このグリーンシートを所定枚数加圧
積層した後、切断し、10X50X2(+nm)とした
。ついで、ホットプレス(温度1800℃、圧力500
kg/car)により焼成して焼結体を得、これらの試
料の相対密度、室温及び1000℃における3点曲げ強
度。
粉末(平均粒径2μm)に対し、β−サイアロン粉末(
平均粒径0.5μm、Z=2)、 α−サイアロン粉末
(平均粒径0.5 μm : Yo、5S 1975A
12□500.75N+5.25) Y2O3(平均
粒径1.0μm)を第1表に示した組成に配合の後、出
発原料に対し50wt%の有機溶剤を加えてアルミナポ
ット中で混合、攪拌し、ついでセラミックグリーンシー
トを得るための可塑剤としてジブチルフタレート、結合
剤としてポリビニールブチラール(分子量45000〜
55000)を添加して、さらに混練を行い3X10’
〜10X10’po i s eのスラリーを調整し、
ドクターブレード法にて厚み0.2+on+のグリーン
シートを作成した。このグリーンシートを所定枚数加圧
積層した後、切断し、10X50X2(+nm)とした
。ついで、ホットプレス(温度1800℃、圧力500
kg/car)により焼成して焼結体を得、これらの試
料の相対密度、室温及び1000℃における3点曲げ強
度。
耐酸化性、耐熱衝撃性、比抵抗を焼成条件と共に第1表
にまとめた。
にまとめた。
(以 下 余 白)
(1) 比抵抗は4端子法で測定した値を示す。
(2)耐酸化性は空気中1200℃、24時間処理後の
酸化の程度を示す。
酸化の程度を示す。
(3) 耐熱衝撃性は次のようにして測定した。即ち
、試験温度に保持した電気炉中に試料を10分間入れ、
ただちに水中に投下して急冷し、試料のクラック発生の
有無を赤色探傷剤を用いて調べ、試料にクラックが生じ
ていない場合には、電気炉の温度を50℃上昇させ上記
の実験を同一試料にて繰り返していく。なお、上記の実
験は300℃より始めた。
、試験温度に保持した電気炉中に試料を10分間入れ、
ただちに水中に投下して急冷し、試料のクラック発生の
有無を赤色探傷剤を用いて調べ、試料にクラックが生じ
ていない場合には、電気炉の温度を50℃上昇させ上記
の実験を同一試料にて繰り返していく。なお、上記の実
験は300℃より始めた。
(実施例2)
実施例1と同様の方法により作成したサイアロン−金属
珪化物複合焼結体を10 x 50 X 1 (n+m
)の板状試験片に切り出して第1図のヒータ1を製作し
た。ヒータ1の両端部にはマスク蒸着により0.1μm
Ti−1,0μmMo−1,0μmCuの電極が形成さ
れ、還元雰囲気中800℃でアニールした後1μmのN
iメツキを施し、リード線接続用端子とした。第2図は
、このヒータ1を直流電源回路に接続し、12Vの電圧
を加えて通電した場合の昇温結果を示したものである。
珪化物複合焼結体を10 x 50 X 1 (n+m
)の板状試験片に切り出して第1図のヒータ1を製作し
た。ヒータ1の両端部にはマスク蒸着により0.1μm
Ti−1,0μmMo−1,0μmCuの電極が形成さ
れ、還元雰囲気中800℃でアニールした後1μmのN
iメツキを施し、リード線接続用端子とした。第2図は
、このヒータ1を直流電源回路に接続し、12Vの電圧
を加えて通電した場合の昇温結果を示したものである。
横軸は通電時間、縦軸はヒータの中央部での表面温度で
ある。本発明によるセラミックヒータでは、900℃ま
で約3秒前後での急速加熱が可能であり、従来のシーズ
ヒータよりはるかに優れている。また、ヒータ温度は1
000℃〜1100℃で一定になっており、正のTCR
を有することがわかる。
ある。本発明によるセラミックヒータでは、900℃ま
で約3秒前後での急速加熱が可能であり、従来のシーズ
ヒータよりはるかに優れている。また、ヒータ温度は1
000℃〜1100℃で一定になっており、正のTCR
を有することがわかる。
また、このヒータを空気中で連続通電した場合のヒータ
中央部での温度変化を第3図に示した。
中央部での温度変化を第3図に示した。
通電初期より500時間以内であれば温度変化はなく、
1000時間通電後であっても温度変化は20℃以内で
あり、十分な高温耐久性のあることが確認できた。
1000時間通電後であっても温度変化は20℃以内で
あり、十分な高温耐久性のあることが確認できた。
発明の効果
本発明によるサイアロン−金属珪化物複合焼結体は低抵
抗率のため速熱性に優れ、かつTCRが正であるため、
電流暴走による断線がなく、さらに高温での強度と耐酸
化性が優れているため、急1 2 速な昇温速度及び高温耐久性が要求される直熱方式のヒ
ータ、すなわちディーゼルエンジンの余熱プラグや暖房
機の燃料着火用ヒータなとに最適である。
抗率のため速熱性に優れ、かつTCRが正であるため、
電流暴走による断線がなく、さらに高温での強度と耐酸
化性が優れているため、急1 2 速な昇温速度及び高温耐久性が要求される直熱方式のヒ
ータ、すなわちディーゼルエンジンの余熱プラグや暖房
機の燃料着火用ヒータなとに最適である。
第1図は本発明の一実施例によるセラミ、ツクヒータの
外観図、第2図は試料3,8,15.18を用いたヒー
タに通電した場合の昇温特性を示す図、第3図は第2図
と同じヒータで連続通電した場合の高温耐久性を示す図
である。 1・・・・・・ヒータ、2・・・・・・電極。
外観図、第2図は試料3,8,15.18を用いたヒー
タに通電した場合の昇温特性を示す図、第3図は第2図
と同じヒータで連続通電した場合の高温耐久性を示す図
である。 1・・・・・・ヒータ、2・・・・・・電極。
Claims (4)
- (1)Y_2O_31〜10wt%,サイアロン20〜
60wt%,金属珪化物30〜79wt%よりなるサイ
アロンと金属珪化物の複合セラミック焼結体よりなり、
粒界相と金属珪化物相とサイアロン相とからなる複合組
織を有することを特徴とするセラミックヒータ。 - (2)金属珪化物がMOSi_2およびWSi_2の1
種もしくは2種より成る請求項1記載のセラミックヒー
タ。 - (3)粒界相がY,Si,O,N,Alを含む非晶質相
である請求項1記載のセラミックヒータ。 - (4)室温時の比抵抗が5Ω・cm以下で、かつ抵抗温
度係数が正である請求項1,2または3記載のセラミッ
クヒータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1289516A JPH03152893A (ja) | 1989-11-07 | 1989-11-07 | セラミックヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1289516A JPH03152893A (ja) | 1989-11-07 | 1989-11-07 | セラミックヒータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03152893A true JPH03152893A (ja) | 1991-06-28 |
Family
ID=17744277
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1289516A Pending JPH03152893A (ja) | 1989-11-07 | 1989-11-07 | セラミックヒータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03152893A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100460810B1 (ko) * | 2002-03-05 | 2004-12-09 | (주)위너 테크 | 고효율 고온용 세라믹 발열체 및 그의 제조방법 |
WO2012073476A1 (ja) * | 2010-12-02 | 2012-06-07 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックヒータ素子、セラミックヒータ、およびグロープラグ |
-
1989
- 1989-11-07 JP JP1289516A patent/JPH03152893A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100460810B1 (ko) * | 2002-03-05 | 2004-12-09 | (주)위너 테크 | 고효율 고온용 세라믹 발열체 및 그의 제조방법 |
WO2012073476A1 (ja) * | 2010-12-02 | 2012-06-07 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックヒータ素子、セラミックヒータ、およびグロープラグ |
US9247585B2 (en) | 2010-12-02 | 2016-01-26 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Ceramic heater element, ceramic heater, and glow plug |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5514630A (en) | Composition for small ceramic igniters | |
JP2804393B2 (ja) | セラミックヒータ | |
JP2828575B2 (ja) | 窒化珪素質セラミックヒータ | |
JPWO2014175424A1 (ja) | セラミックヒータ | |
JP4134028B2 (ja) | セラミックヒータ及びそれを備えるグロープラグ | |
TW444113B (en) | Novel ceramic igniter having improved oxidation resistance, and method of using same | |
US5086210A (en) | Mo5 Si3 C ceramic material and glow plug heating element made of the same | |
JP3933345B2 (ja) | 発熱抵抗体及びセラミックヒータ用発熱抵抗体並びにその製造方法、及びセラミックヒータ | |
US5820789A (en) | High voltage ceramic igniter | |
US20030160220A1 (en) | Compositions for ceramic igniters | |
JPH11214124A (ja) | セラミックヒータ | |
JPH03152893A (ja) | セラミックヒータ | |
JP2537606B2 (ja) | セラミツクヒ−タ | |
JP2534847B2 (ja) | セラミツクヒ−タ | |
JPH1025162A (ja) | セラミック焼結体 | |
JP2004259610A (ja) | セラミックヒータとその製造方法、およびグロープラグ | |
JPH03152892A (ja) | セラミックヒータ | |
JPH01289089A (ja) | セラミック発熱体 | |
JP3466399B2 (ja) | セラミック発熱体 | |
JP4146766B2 (ja) | セラミックヒータ | |
JP2521690B2 (ja) | セラミツクヒ−タ及びその製造方法 | |
JP3886684B2 (ja) | セラミックヒータ | |
JPH01317170A (ja) | 導電性セラミックヒータおよびこの導電性セラミックヒータの製造方法さらにはこの導電性セラミックヒータを有する自己制御型グロープラグ | |
JPH11288778A (ja) | 抵抗素子 | |
JPH10300086A (ja) | セラミックヒータ及びセラミックグロープラグ |