JPH01289089A - セラミック発熱体 - Google Patents
セラミック発熱体Info
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、耐熱性、耐熱衝撃性に優れたセラミック焼結
体と、高融点金属製発熱線とを組み合わせてなるセラミ
ック発熱体に関する。
体と、高融点金属製発熱線とを組み合わせてなるセラミ
ック発熱体に関する。
[従来め技術]
従来より、窒化珪素(Si3Na)、サイアロン(S
i −AI! −0−N系化合物固溶体)、窒化アルミ
ニウム(AjN) 、炭化珪素(SiC)等の耐熱性、
耐熱衝撃性に優れたセラミック焼結体中に、タングステ
ン(W)、モリブデン(Mo)等を主体とする高融点金
属製発熱抵抗線を埋設させたセラミック発熱体が製造さ
れている。このセラミック発熱体は、内燃機関のグロー
プラグのヒータなど1000℃前後の高温度用ヒータと
して使用されている。
i −AI! −0−N系化合物固溶体)、窒化アルミ
ニウム(AjN) 、炭化珪素(SiC)等の耐熱性、
耐熱衝撃性に優れたセラミック焼結体中に、タングステ
ン(W)、モリブデン(Mo)等を主体とする高融点金
属製発熱抵抗線を埋設させたセラミック発熱体が製造さ
れている。このセラミック発熱体は、内燃機関のグロー
プラグのヒータなど1000℃前後の高温度用ヒータと
して使用されている。
[発明が解決しようとする問題点]
しかるに、従来のセラミック発熱体は、発熱抵抗線とセ
ラミック焼結体との熱膨張差によって生じる応力につい
て、十分な対策がなされていなかった。よって、大発熱
量を得るため発熱抵抗線の線径φを大きく(φ≧0.3
mm)すると、熱膨張差により生じる応力が増大し、ホ
ットプレス焼成時や通電時に、発熱抵抗線の断線が生じ
たり、発熱抵抗線の抵抗値変化を起こしたり、発熱抵抗
線と接触するセラミック焼結体にクラックが発生したり
した。
ラミック焼結体との熱膨張差によって生じる応力につい
て、十分な対策がなされていなかった。よって、大発熱
量を得るため発熱抵抗線の線径φを大きく(φ≧0.3
mm)すると、熱膨張差により生じる応力が増大し、ホ
ットプレス焼成時や通電時に、発熱抵抗線の断線が生じ
たり、発熱抵抗線の抵抗値変化を起こしたり、発熱抵抗
線と接触するセラミック焼結体にクラックが発生したり
した。
このため発熱抵抗線の線径をあまり大きくすることは困
難であり、発熱量の大きなセラミック発熱体で、且つ十
分な耐久性を有するものは得られていない。
難であり、発熱量の大きなセラミック発熱体で、且つ十
分な耐久性を有するものは得られていない。
この発明者は、タングステン、モリブデン、レニウム(
Re)、タンタル(Ta)等の高融点金属またはその合
金からなる発熱線の熱膨張率が、セラミック材として、
機械的強度が強く、耐熱性、耐熱衝撃性に優れた窒化珪
素およびアルミナ(Ag2O,)の熱膨張率の中間にあ
る事に@目し、発熱線とセラミック焼結体との熱膨張差
を低減させたセラミック発熱体を提供せんとするもので
ある。
Re)、タンタル(Ta)等の高融点金属またはその合
金からなる発熱線の熱膨張率が、セラミック材として、
機械的強度が強く、耐熱性、耐熱衝撃性に優れた窒化珪
素およびアルミナ(Ag2O,)の熱膨張率の中間にあ
る事に@目し、発熱線とセラミック焼結体との熱膨張差
を低減させたセラミック発熱体を提供せんとするもので
ある。
本発明の目的は、発熱抵抗線の線径の大きい大発熱量の
セラミック発熱体として、十分な耐久性を有するセラミ
ック発熱体の提供にある。
セラミック発熱体として、十分な耐久性を有するセラミ
ック発熱体の提供にある。
[問題点を解決するための手段]
上記目的達成のため、本発明のセラミック発熱体は、セ
ラミック焼結体中またはその表面に、タングステン、モ
リブデン、レニウム、タンタル等の高融点金属またはそ
の合金からなる発熱線を埋設または固着してなるセラミ
ック発熱体において、前記焼結体は、前記発熱線に対し
、小さな熱膨張率をもつ窒化珪素と、大きな熱膨張率を
もつアルミナと、二酸化珪素(S i Ox > 、酸
化マグネシウム<Mg0) 、酸化カルシウム(Cab
)、希土類酸化物等より選ばれた一種以上の焼結助剤と
で構成され、前記発熱線の熱膨張率の80%〜120%
の熱膨張率を有するセラミックを採用した。
ラミック焼結体中またはその表面に、タングステン、モ
リブデン、レニウム、タンタル等の高融点金属またはそ
の合金からなる発熱線を埋設または固着してなるセラミ
ック発熱体において、前記焼結体は、前記発熱線に対し
、小さな熱膨張率をもつ窒化珪素と、大きな熱膨張率を
もつアルミナと、二酸化珪素(S i Ox > 、酸
化マグネシウム<Mg0) 、酸化カルシウム(Cab
)、希土類酸化物等より選ばれた一種以上の焼結助剤と
で構成され、前記発熱線の熱膨張率の80%〜120%
の熱膨張率を有するセラミックを採用した。
[作用および発明の効果]
本発明のセラミック発熱体は、次の作用および効果を有
する。
する。
■タングステン、モリブデン、レニウム、タンタル等の
高融焦合!Lまたはその合金からなる発熱線の熱膨張率
に対し、アルミナと窒化珪素と、焼結助剤とで構成され
るセラミック焼結体の熱膨張率を80%〜120%にし
たので、そのセラミック焼結体に、発熱線を埋設または
固着したセラミック発熱体は、熱履歴に対し、熱膨張差
に起因して発生する熱応力が小さい、よって発熱線近傍
のセラミック焼結体にクラックが発生したり、発熱線が
断線することが防止される。これにより大発熱量を有す
るとともに実用的耐久性を有するセラミック発熱体が得
られる。
高融焦合!Lまたはその合金からなる発熱線の熱膨張率
に対し、アルミナと窒化珪素と、焼結助剤とで構成され
るセラミック焼結体の熱膨張率を80%〜120%にし
たので、そのセラミック焼結体に、発熱線を埋設または
固着したセラミック発熱体は、熱履歴に対し、熱膨張差
に起因して発生する熱応力が小さい、よって発熱線近傍
のセラミック焼結体にクラックが発生したり、発熱線が
断線することが防止される。これにより大発熱量を有す
るとともに実用的耐久性を有するセラミック発熱体が得
られる。
■発熱線の発熱量、埋設パターンなどの設計が自由で容
易となる。
易となる。
[実施例]
つぎに本発明を第1図に示す第1実施例に基づき説明す
る。
る。
本発明のセラミック発熱体Aは、電気絶縁性のセラミッ
ク焼結体1と、この焼結体1中に埋設された発熱線2と
からなる。
ク焼結体1と、この焼結体1中に埋設された発熱線2と
からなる。
セラミック焼結体1は、アルミナ粉末、窒化珪素粉末と
からなるセラミック主成分と、酸化イツトリウム(Y2
O2)、マグネサイト(MgCOl)とからなる焼結助
剤とで構成されている。このアルミナ粉末と窒化珪素粉
末の調合により、焼成後の熱膨張率を発熱線2の熱膨張
率に比べ±20%となるようにしている。この調合は、
アルミナ粉末と窒化珪素粉末とをそれぞれ20〜80重
量%の範囲で調節して行っている。
からなるセラミック主成分と、酸化イツトリウム(Y2
O2)、マグネサイト(MgCOl)とからなる焼結助
剤とで構成されている。このアルミナ粉末と窒化珪素粉
末の調合により、焼成後の熱膨張率を発熱線2の熱膨張
率に比べ±20%となるようにしている。この調合は、
アルミナ粉末と窒化珪素粉末とをそれぞれ20〜80重
量%の範囲で調節して行っている。
発熱線2は、線径φ=1.20mm、展開長1600m
mのタングステン線(熱膨張率=5.0XIO〜”/”
C)をコイル間ビッヂ2.5mmで外径φ70の渦巻き
状に成形し、80mΩの抵抗値を有している。
mのタングステン線(熱膨張率=5.0XIO〜”/”
C)をコイル間ビッヂ2.5mmで外径φ70の渦巻き
状に成形し、80mΩの抵抗値を有している。
本発明のセラミック発熱体Aの製造方法は次のとおりで
ある。
ある。
(1)平均粒径0.3μmnのアルミナ粉末(焼成後の
熱膨張IX: 9.29X10−’/”C)150gと
平均粒径0.7μmの窒化珪素粉末(3,66Xi(I
’/’C)135gと酸化イツトリウム7゜5gとマグ
ネサイト7.5gとを調合してアルミナトロンメルにて
エチルアルコール湿式混合を行った後、エチルアルコー
ルを揮散させ調合粉末を得る。
熱膨張IX: 9.29X10−’/”C)150gと
平均粒径0.7μmの窒化珪素粉末(3,66Xi(I
’/’C)135gと酸化イツトリウム7゜5gとマグ
ネサイト7.5gとを調合してアルミナトロンメルにて
エチルアルコール湿式混合を行った後、エチルアルコー
ルを揮散させ調合粉末を得る。
(2)タングステン線を所定のパターンに折り曲げ発熱
線2を製造する。
線2を製造する。
(3)プレス型内に、発熱i!2と前記調合粉末とを配
してホットプレス焼成(1500℃で30分、圧力30
0kg/cm2>を行う。
してホットプレス焼成(1500℃で30分、圧力30
0kg/cm2>を行う。
上記方法で製造され、直径80mm、厚さ10mmの寸
法を有するセラミック発熱体Aの焼結体1より切り出し
た試験片の熱膨張率を測定した結、果5.8X10−6
/’Cであり、切断して観察したところタングステン線
の近傍にはホットプレス焼成によるクラックは発生して
いなかった。
法を有するセラミック発熱体Aの焼結体1より切り出し
た試験片の熱膨張率を測定した結、果5.8X10−6
/’Cであり、切断して観察したところタングステン線
の近傍にはホットプレス焼成によるクラックは発生して
いなかった。
またこのセラミック発熱体Aを真空中で1200℃で1
時間通電加熱、30分冷却の通電試験を100サイクル
行ったが発熱線2の抵抗値に変化は生じなかった。
時間通電加熱、30分冷却の通電試験を100サイクル
行ったが発熱線2の抵抗値に変化は生じなかった。
次に、セラミック発熱体の熱膨張率を発熱線2の熱膨張
率の80%〜120%の範囲から外した比較品を得るた
めに下記の通り調合した粉末を製造した。
率の80%〜120%の範囲から外した比較品を得るた
めに下記の通り調合した粉末を製造した。
(ア)窒化珪素90重量%、アルミナ5重量%、酸化イ
ツトリウム5重量%の組成比のもの。
ツトリウム5重量%の組成比のもの。
(イ)窒化珪素2重量%、アルミナ97重量%、マグネ
サイト1重量%の組成比のもの。
サイト1重量%の組成比のもの。
これらに同様の製造方法を施して比較品(ア)および比
較品(イ)を製造し、その結果を次に述べる。
較品(イ)を製造し、その結果を次に述べる。
比較品(ア)は、熱膨張率が3.65xlO−’/℃で
あり、ホットプレス焼成の際、タングステン線近傍の焼
結体1に微細なりラックが多数発生しており、前記と同
様の通電試験においては、15サイクルで断線した。
あり、ホットプレス焼成の際、タングステン線近傍の焼
結体1に微細なりラックが多数発生しており、前記と同
様の通電試験においては、15サイクルで断線した。
比較品(イ)は、熱膨張率が9.5X10”7℃であり
、タングステン線より放射状に発生したクラックが焼結
体1の外表面まで達しており使用不可であった。
、タングステン線より放射状に発生したクラックが焼結
体1の外表面まで達しており使用不可であった。
つぎに本発明の第2実施例を第2図に基づき説明する。
本実施例のセラミック発熱体Bの製造方法は次のとおり
である。
である。
(1)アルミナ粉末170gと窒化珪素粉末120gと
マグネサイト5g(これらは上述と同様の粒径および焼
成後の熱膨張率を有する)と無水珪酸(SiO2〉5g
とを調合した後、同様にして調合粉末を得る。
マグネサイト5g(これらは上述と同様の粒径および焼
成後の熱膨張率を有する)と無水珪酸(SiO2〉5g
とを調合した後、同様にして調合粉末を得る。
(2)LoomΩの抵抗値をもつ全長1400mm、直
径1.0mmのモリブデン線〈熱膨張率6゜5 X 1
0−’/”C)で、縦と横とが各60mmの櫛歯状の発
熱112を製造する。
径1.0mmのモリブデン線〈熱膨張率6゜5 X 1
0−’/”C)で、縦と横とが各60mmの櫛歯状の発
熱112を製造する。
(3)プレス型内に発熱線2と調合粉末とを配して同様
なホットプレス焼成を行って、縦と横が70mmの正方
形を呈し、厚さ10mmの形状のセラミック焼結体1を
有するセラミック発熱体Bを製造する。
なホットプレス焼成を行って、縦と横が70mmの正方
形を呈し、厚さ10mmの形状のセラミック焼結体1を
有するセラミック発熱体Bを製造する。
このセラミック発熱体Bを前記と同様の通電試験を行っ
たが発熱線2の抵抗値に変化は生じなかった。
たが発熱線2の抵抗値に変化は生じなかった。
実施例1および実施例2におけるセラミック発熱体Aお
よびBは、次の作用および効果を有する。
よびBは、次の作用および効果を有する。
0発熱線2の線径φを大きく(φ≧0.3)しても熱膨
張差により生じる応力が小さいため、通電時にセラミッ
ク焼結体1にクラックが発生しにくい、このため、大容
量の発熱体が得られる。
張差により生じる応力が小さいため、通電時にセラミッ
ク焼結体1にクラックが発生しにくい、このため、大容
量の発熱体が得られる。
■セラミック発熱体が必要とする熱量(例えば加速器用
高周波発生装置のカソードが必要とする熱量)に合わせ
て発熱線2が容易に設計できる6■焼結体1と発熱線2
の熱膨張率が近似しているため、ホットプレス焼成時に
発生する熱応力が小さい、よってセラミック発熱体にク
ラックが生じない。
高周波発生装置のカソードが必要とする熱量)に合わせ
て発熱線2が容易に設計できる6■焼結体1と発熱線2
の熱膨張率が近似しているため、ホットプレス焼成時に
発生する熱応力が小さい、よってセラミック発熱体にク
ラックが生じない。
■焼結体1と発熱線2の熱膨張率が近似しているため、
通電時に、クラックの発生による異常発熱や、焼結体1
の熱応力による発熱線2の抵抗値変化や断線が生じ難い
。
通電時に、クラックの発生による異常発熱や、焼結体1
の熱応力による発熱線2の抵抗値変化や断線が生じ難い
。
■アルミナを含むため、低温(1300〜1500℃)
で焼成が可能となり、焼成時に、発熱線に与える影響(
粒成長、セラミックとの反応)が少ない。
で焼成が可能となり、焼成時に、発熱線に与える影響(
粒成長、セラミックとの反応)が少ない。
上記実施例における比較品の通電試験、また同様の多数
のセラミック焼結体1の熱膨張率を変えて比較品を製造
して、通電試験を行うことにより、発熱線2に対するセ
ラミック焼結体1の熱膨張率が、下限80%、上限12
0%の範囲内においては、セラミック発熱体は、良好な
耐久性を呈することが判明した。
のセラミック焼結体1の熱膨張率を変えて比較品を製造
して、通電試験を行うことにより、発熱線2に対するセ
ラミック焼結体1の熱膨張率が、下限80%、上限12
0%の範囲内においては、セラミック発熱体は、良好な
耐久性を呈することが判明した。
本発明は上記実施例以外に次の実施態様を含む。
a1本発明の構成は、セラミック発熱体をグロープラグ
、電気炉、電熱器、暖房器、調理器などの発熱体に適応
しても良い。
、電気炉、電熱器、暖房器、調理器などの発熱体に適応
しても良い。
50発熱線2は、第1図および第2図に示す以外の所望
のパターンを呈しても良い。
のパターンを呈しても良い。
C1焼結助剤は0.5%〜15%未満の範囲内で適時調
整しても良い。
整しても良い。
61発熱線2に使用する高融点金属は、レニウム(7,
05xlO゛’/”C) 、タンタル(7,46X 1
0−’/”C) 、その他の高融点金属およびその合金
を使用しても良い。
05xlO゛’/”C) 、タンタル(7,46X 1
0−’/”C) 、その他の高融点金属およびその合金
を使用しても良い。
第1図は、本発明のセラミック発熱体の第1実施例の構
造を示す斜視図、第2図は、本発明のセラミック発熱体
の第2実施例を示す斜視図である。 図中 1・・・セラミック焼結体 2・・・発熱線 A
。 B・・・セラミック発熱体
造を示す斜視図、第2図は、本発明のセラミック発熱体
の第2実施例を示す斜視図である。 図中 1・・・セラミック焼結体 2・・・発熱線 A
。 B・・・セラミック発熱体
Claims (1)
- 1)セラミック焼結体中またはその表面に、タングステ
ン、モリブデン、レニウム、タンタル等の高融点金属ま
たはその合金からなる発熱線を埋設または固着してなる
セラミック発熱体において、前記焼結体は、前記発熱線
に対し、小さな熱膨張率をもつ窒化珪素と、大きな熱膨
張率をもつアルミナと、焼結助剤とでなり、前記発熱線
の熱膨張率の80%〜120%の熱膨張率を有すること
を特徴とするセラミック発熱体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11890788A JPH01289089A (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | セラミック発熱体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11890788A JPH01289089A (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | セラミック発熱体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01289089A true JPH01289089A (ja) | 1989-11-21 |
Family
ID=14748120
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11890788A Pending JPH01289089A (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | セラミック発熱体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01289089A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04101381A (ja) * | 1990-08-17 | 1992-04-02 | Ngk Insulators Ltd | 半導体ウエハー加熱装置 |
JPH04104494A (ja) * | 1990-08-21 | 1992-04-06 | Ngk Insulators Ltd | セラミックスヒータおよびその製造方法 |
JPH04181725A (ja) * | 1990-11-16 | 1992-06-29 | Ngk Insulators Ltd | 半導体ウエハー加熱用セラミックスヒーター |
JPH0594865A (ja) * | 1991-10-01 | 1993-04-16 | Ngk Insulators Ltd | セラミツクスヒーター |
JPH06163156A (ja) * | 1992-11-26 | 1994-06-10 | Ngk Insulators Ltd | セラミックスヒーター |
JPH07230876A (ja) * | 1993-12-20 | 1995-08-29 | Ngk Insulators Ltd | セラミックスヒーター及び加熱装置 |
JP2011069550A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Ngk Spark Plug Co Ltd | グロープラグ及びその製造方法 |
-
1988
- 1988-05-16 JP JP11890788A patent/JPH01289089A/ja active Pending
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JP2531874B2 (ja) * | 1991-10-01 | 1996-09-04 | 日本碍子株式会社 | セラミックスヒ―タ― |
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