JPH03137125A - アルキル置換シクロブタンテトラカルボン酸二無水物含有組成物、ポリイミド前駆体、硬化膜及びこれらの製造方法 - Google Patents
アルキル置換シクロブタンテトラカルボン酸二無水物含有組成物、ポリイミド前駆体、硬化膜及びこれらの製造方法Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
二無水物を含む組成物とその製造法、それ5を用いた溶
媒に対する溶解性の優れたポリイミド前駆体とその製造
法及びそれもを用いた光透過性に優れた硬化膜とその製
造法に関する。
材料、絶縁材料として、或いは接着剤、フィルム又は構
造材として主に耐熱性の面から広く用いられている。し
かしそれをフィルムとして用いた場合、可視光線のうち
でも低波長領域(例えば波長400 nm前後)の光の
透過率が小さく、淡黄色乃至茶褐色に着色している。
(例えばカラーフィルター保護膜等)での適用が困難で
あシ、そのため従来からこの面の改良が試みられてきた
。
41731号公報、特開昭61−141732号公報及
び特開昭63−170420゜号公報等である。またポ
リイミドの原料としての脂環式酸無水物の製造方法とし
て特開昭59−212495号公報がある。
料の酸無水物を脂環式化合物とするもの(例、特開昭6
0−6726号公報)、原料のジアミンをスルホン基含
有化合物とするものく例、特開昭61−141731号
公報、特開昭61−141732号公報)、或いは原料
の酸無水物を含フツ素化合物とするもの(例、特開昭6
3−170420号公報)等が提案されている。
m前後では、波長400nmの光の透過率が95%を超
えるものも得られるが、例えば、膜厚が厚くなシ、10
μm以上のフィルムでは透過率95%を超えるものを得
るのは困難であったシ、あるいはその前駆体であるポリ
アミド酸の溶解性が劣るため使用する溶媒が限られたシ
した。
問題点があシ、それを改良した材料の開発が要望されて
いた。特開昭59−212495号公報に見られるよう
に安価な原料である無水マレイン酸のみの二量化により
得られるシクロブタンテトラカルボン酸二無水物を用い
て得られる全脂環式ポリイミドは光透過性の面では良好
であるが、その前駆体であるポリアミド酸が塩基性溶媒
にしか溶解せず、そのため例えばカラーフィルター保a
膜の用途に使用した場合、塗布時にカラーフィルター中
のある種の染料を抽出する場合がちシ、この面での改良
が要望されていた。
前駆体を提供すること、それをイミド化することにより
可視光線の透過性に優れたポリイミド膜を提供すること
並びにそのようなポリイミド前駆体及びポリイミドを与
える酸二無水物を提供することKある。
5〜20モル係の下記式(1)で示される1種以上のマ
レイン酸無水物誘導体との混合物の付加反応により得ら
れる1種以上の下記式(II)で示されるアルキル置換
基を有することのあるシクロブタンテトラカルボン酸二
無水物からなる組成物である。
R′、R1、Hfi 、 RI及びR4は独立に水素原
子、メチル基、エチル基であるか若しくはR1とR′、
R1とR3、R8とR6は炭素数2乃至10個のアルキ
レン基で接続した環状構造をとることもできる。ただし
R1とR′は同時に水素原子であることはない。〕 本発明の第二によれば、前記アルキル置換基を有するこ
とのあるシクロブタンテトラカルボン酸二無水物の組成
物は5〜80モル係の無水マレイン酸と95〜20モル
係の前記式(I)で示される1種以上のマレイン酸無水
物誘導体との混合物の光付加環化反応によって得ること
ができる。
)で示されるアルキル置換基を有することのあるシクロ
ブタンテトラガルポン酸二無水物の組成物と下記式(I
II)で示されるジアミンとの反応により得られる下記
式(M)で示される反復単位を含み、溶媒中温度30±
0.01℃、濃度0.517diで測定された対数粘度
数が0.1〜5dt/Iである溶解性に優れたポリイミ
ド前駆体である。
((III)及び(F/) K於いてRIは二価の有機
基であJ)、R1%P1を及びWは前記と同じ意味を表
わす。〕本発明の第四によれば、前記ポリイミド前駆体
を製造するには、本発明の第一である前記式(II)で
示されるアルキル置換基を有することのあるシクロブタ
ンテトラカルボン酸二無水物の組成物と前記式(III
)で示されるジアミンを溶媒の存在下温度0〜100℃
で反応させることによ〕得ることができる。
される反復単位を主成分とするポリイミド前駆体をイミ
ド化することKよシ得られる下記反復単位(7)請求項
(4)を含む硬化膜である。
、a”、a’及ヒa’ti前記と同じ意味を表わす。〕 本発明の第六は、本発明の第三であるポリイミド前駆体
を含む溶液を基板に塗布し、100〜400℃に加熱す
るか、又はこの溶液に無水酢酸、ピリジン及びキノリン
を包含するイミド化促進剤を添加したものを基板に塗布
し、10〜100℃に加熱することによりポリイミド硬
化膜を製造する方法である。
シトラコン酸であ夛、これと無水マレイン酸からなる混
合物の付加反応により得られる前記式(ri)で示され
るアルキル置換基を有することのあるシクロブタンテト
ラカルボン酸二無水物の組成物が原料コスト面から特に
有利でアシ、実用的価値は高い。
脂環式基である場合が硬化膜の可視光線透過性は良く、
カラーフィルター保護膜等の用途に好ましい。
は、無水メチルマレイン酸、無水2.3−ジメチルマレ
イン酸、無水1−シクロヘキセン−1゜2−ジカルボン
酸、無水エチルマレイン酸、無水2−メチル−3−エチ
ルマレイン酸、無水2.3−ジエチルマレイン酸等が挙
げられ、いずれの組み合せも使用することができる。
応において通常用いられるものであればよく、例えば酢
酸エチル等のエステル類、アセトン等のケトン類、ジオ
キサン等のエーテル類、四塩化炭素等のハロゲン化炭化
水素類が特に好ましい溶媒として挙げられる。
ブタンテトラカルボン酸二無水物の組成物の製造法につ
いて述べる。
レイン酸無水物誘導体の混合物を必要により上記反応溶
媒中に溶解させる。この場合例えば無水メチルマレイン
酸は常温で液体であシ、これに無水マレイン酸及び必要
に応じて他のマレイン酸無水物誘導体を溶解させること
により溶媒を使用しないで反応を行なうことも可能であ
る。溶媒の使用割合はどのようにでも変えられるが、溶
液が流動性を維持できる範囲でかつその最小量の使用が
経済的である。
℃〜30℃がよシ好ましい。
灯等のいずれも使用することができるが、特に高圧水銀
灯が好ましい。光源冷却管の材質は石英でもパイレック
スガラスのどちらでもよいが、副生成物の生成を抑える
点でパイレックスガラスの方が好ましい。
るシクロブタンテトラカルボン酸二無水物類は光源冷却
管に付着することはほとんどなく、若干の機械撹拌又は
不活性ガスの導入による撹拌のみで光源冷却管への付着
は完全に抑えるととができる。従って反応(光照射)時
間の延長に伴いアルキル置換基を有することのあるシク
ロブタンテトラカルボン酸二無水物の収量は一次的に増
加する。
た場合について以下に示す。
も全てを含んでいるとは限らない。さらに原料の種類を
3種、4種と増やしていくにつれ得られる化合物の種類
は著しく増加する。これらの酸二無水物のうちポリアミ
ド酸にした場合量も溶解性の劣るのは無水マレイン酸の
二量体であるシクロブタンテトラカルボン酸二無水物で
ある。
原料中の無水マレイン酸の割合を80モル係以下とした
方が上記溶解性の面から好ましい。
イン酸無水物誘導体の比率を95モル係を越えるものと
して光反応を行なうと副反応が多くなシ、反応生成液は
褐色に着色し、この反応液から沈殿して得られた酸二無
水物から得られるポリイミド膜は着色が大となる。一方
この酸二無水物は溶解性が大きいため精製のための溶解
沈殿をくシ返すと収率が低下する。又、前記式(1)で
示されるマレイン酸無水物誘導体は無水マレイン酸く比
較して高価であ)、可能な限シ無水マレイン酸の添加量
を増加させた方が経済的である。従って、無水マレイン
酸の添加量は40〜70モル係の範囲が特に好ましい。
得られる粗生成物の残渣を適当な溶媒で洗浄し未反応の
マレイン酸無水物誘導体及び無水マレイン酸を取シ除い
た後、乾燥することによって目的とするアルキル置換基
を有することのあるシクロブタンテトラカルボン酸二無
水物からなる組成物を得ることができる。粗生成物の洗
浄溶媒としては未反応物である無水マレイン酸及びマレ
イン酸無水物誘導体の溶解度が高く生成物であるアルキ
ル置換基を有することのあるシクロブタンテトラカルボ
ン酸二無水物の溶解度が低いものであればよく、ベンゼ
ン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素あるいはこ
れらと酢酸エチルとの混合溶媒が好ましい。
キル置換基を有することのあるシクロブタンテトラカル
ボン酸二無水物の組成物を得ることができる。
について述べる。
ジアミン、炭素環式芳香族ジアン類、脂肪族ジアミン、
シロキサン系ジアミン等がある。
とができる。
クロヘキサン、4.4’−ジアミノジシクロヘキシルメ
タン、4.4’−ジアミノ−3,3′−ジメチシクロヘ
キシルメタン、4.4’−ジアミノ−3,3′−ジメチ
ルジシクロヘキシル又はインホロンジアミン等である。
が挙げられる。
ン類(例えば、2.4−ジアミノトルエン)、1.4−
ジアミノ−2−メトキシベンゼン、2.5−ジアミノキ
シレン類、1.3−ジアミノ−4−クロルベンゼン、1
.4−ジアミノ−2,5−ジクロルベンゼン、1.4−
ジアミノ−2−ブロムベンゼン、1.3−ジアミノ−4
−イソプロピルベンゼン、 N、N’−ジフェニル−1
,4−7二二レンジアミン、4.4’−ジアミノジフェ
ニル−2,2−プロパン、4.4′−ジアミノジフェニ
ルメタン、2.2’−ジアミノスチルベン、4.4’−
ジアミノスチルベン、4.4’−ジアミノジフェニル−
エーテル、4.4’−ジアミノジフェニル−チオエーテ
ル、4.4’−ジアミノジフェニルスルホン、3.3’
−ジアミノジフェニルスルホン、4.4’−ジアミノ安
息香酸フェニルエステル、2.2’−ジアミノベンゾフ
ェノン、4.4’−ジアミノベンゾフェノン、4.4’
−ジアミノベンジル、4− (4’−アミノフェニルカ
ルバモイル)−アニリン、ビス(4−アミノフェニル)
−ホスフィンオキシト、ビス(4−アミノフェニル)−
メチル−ホスフィンオキシト、ビス(3−アミノフェニ
ル)−メチルスルフィンオキシド、ビス(4−7ミノフ
エニル)−フェニルホスフィンオキシト、ビス(4−ア
ミノフェニル)−シクロヘキシルホスフィンオキシド、
N、N−ビス(4−アミノフェニル)−N−フェニルア
ミン、N、N−ビス(4−アミノフェニル)−N−メチ
ルアミン、4.4’−ジアミノジフェニル尿素、1.8
−ジアミノナフタリン、1.5−ジアミノナフタリン、
1.5−ジアミノアントラキノン、ジアミノフルオラン
テン、ビス(4−アミノフェニル)−ジエチルシラン、
ビス(4−アミノフェニル)−ジメチルシラン、ビス(
4−アミノフェニル)−テトラメチルジシロキサン、3
.4’−ジアミノジフェニルエーテル、ベンジジン、2
.2’−ジメチルベンジジン、2.2−ビス(4−(4
−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、ビス(4−
(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、4.4
’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、2.2
−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕へキ
サフロロプロパン、1.4−ビス(4−アミノフェノキ
シ)ベンゼン、1.3−ビス(4−アミノフェノキシ)
ベンゼン。
ン、2,4−ジアミノ−5−)リアジン、2,7−ジア
ミツージベンゾフラン、2,7−ジアミツカルバゾール
、3.7−ジアミツフエノチアジン、2゜5−ジアミノ
−1,3,4−チアジアゾール、2.4−ジアミノ−6
−フェニル−8−トリアジン。
化合物である。
レンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレ
ンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジ
アミン、デカメチレンジアミン、2,2−ジメチルプロ
ピレンジアミン、2.5−ジメチルへキサメチレンジア
ミン、2.5−ジメチルへブタメチレンジアミン、4,
4−ジメチルへブタメチレンジアミン、3−メチルへブ
タメチレンジアミン、3−メトキシへブタメチレンジア
ミン、5−メチルノナメチレンジアミン、2.11−ジ
アミノドデカン、1.12−ジアミノオクタデカン、1
.2−ビス(3−アミノプロポキシ)−エタン、N、N
’−ジエチル−1,3−ジアミノプロパン、N、N’−
ジメチル−1,6−ジアミツヘキサン、 式: I(1N(CHI)I O(CHt)t O(C
馬)s NH,で表わされるジアミン。
できる。
溶媒(以下「前駆体反応溶媒」と言うことがある。)と
して、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノー
ル、2−ブトキシェタノール、ジエチレングリコールモ
ノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエ
ーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジ
エチレングリコールジメチルエーテル、シクロペンタノ
ン、シクロヘキサノン、クレゾール、r−ブチロラクト
ン、テトラヒドロフラン等の非極性溶媒を好適に用いる
ことができるがN−メチル−2−ピロリドン、N、N−
ジメチルアセトアミド、N、lr−ジエチルアセトアミ
ド、N、N−ジメチルホルムアミド、N、N−ジエチル
ホルムアミド、ジメチルスルホキシド、テトラメチル尿
素、ピリジン、ジメチルスルホン、ヘキサメチルホスホ
ルアミド、メチルホルムアミド、N−アセチル−2−ピ
ロリドン、N、N−ジメチルメトキシアセトアミド、N
−アセチル−2−ピロリドン、N−メチル−ε−カプロ
ラクタム等の塩基性溶媒も使用することができる。
I7)請求項(4)の反復単位を有するポリイミド前駆
体が得られる。この反復単位のみから構成されるポリイ
ミド前駆体でも、本発明のポリイミド前駆体を構成する
ことは可能である。
脂肪族酸二無水物等に置き換えることができる。しかし
芳香族化合物の比率が大きい原料から得られたポリイミ
ド膜は光透過性が低下し、脂肪族化合物の比率を大にす
ると、耐熱性が低下し、いずれも好ましくない。
求項(4)は80モル係以上が好ましい。
ゾフェノンテトラカルポン渾二無水物、3.3で4.4
′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,
4−ジカルボキシフェニル)−エーテルニ無水物、ビス
(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホンニ無水物、
ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−スルフイドニ
無水物、2.2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル
)−へキサフロロプロパンニ無水物、1,2,3.4−
テトラカルポキシブタンニ無水物等である。
の10モル係以下のアミノシランを添加することができ
る。これらは酸無水物と反応してポリマー末端を形成す
ることができる。その具体例を以下に示す。
−4CH*)s −81(OCtHi )s、NH*−
(CHa)a−8i (CHs) (OCtHi)*
、NH*−(CHx)s−81(CuHs) (On
C5Ht)* 、NH,−(CH,)4−3 i
(OCHs)s、N現−(CH(III)i−8i (
OCtHs)s 、NH*−(CHt)n−8i(CH
a)(OCtHs)t 、NH,−(CH,)、−8i
(CH,)(ocHs)m 、次に反応方法について
説明する。前記式(II)で示される本発明のアルキル
置換基を有することのあるシクロブタンテトラカルボン
酸二無水物の組成物を80モル係以上含むz訝憾水物と
前記ジアミン及び全原料化合物中0〜10モル係の前記
アミノシランとを好ましくは前記前駆体反応溶媒中で反
応を行なう。
)請求項(4)で示される反復単位が80モル係以上に
なるように原料混合比及び反応の順序を調整する。
なるようにする、しかしどちらかが10モル係以内にお
いて過剰になることはさしつかえない。
として、50重重量板上使用するのがよい。これ以下の
溶媒量では撹拌が困難な場合があり、好ましくない。反
応は通常行なわれるポリイミド前駆体の合成法なら如何
なる方法でもよいが、前記原料を溶媒中で一括して又は
分割して反応器に供給し、0〜100℃の温度で数時間
乃至数十時間性なうのが一般的である。このようにして
本発明のポリイミド前駆体を含む溶液が得られる。
か、又はこれに無水酢酸等の酸無水物及び/又はピリジ
ン或いはインキノリン等の公知のイミド化促進剤を添加
したものでは10〜100℃の比較的低温で該前駆体を
イミド化すると共に溶媒を揮散せしめることにより本発
明のポリイミド硬化膜が得られる。
下で測定した対数粘度数が0.1〜5dt/Iの範囲の
ものでよい。
?定義された通シのものであるが、更に詳述すれば、次
式で示される。
(C) 0.5.9 /diのものを温度30±0.0
1℃で測定した値であフ、 η。はウベローデ粘度計を
使用し、同温度における当該溶媒の測定値である。) 対数粘度数が0.1未満の場合、得られたポリイミド硬
化膜は機械的強度に劣るものであシ、好ましくなく、ま
た5を超えるものの合成は困難である。
法について説明する。本発明によって製造した前駆体は
殆んどの場合、溶媒に溶解した溶液の状態で使用される
から、反応溶液をそのまま使用することができる。
化膜を形成させる場合、公知のどのような方法で行なっ
てもよい。
ンウェハー等の基板上に前駆体溶液を塗布した後、50
〜400℃の温度で焼成することにより透明な本発明の
ポリイミド硬化膜が得られる。この場合、塗布方法は如
何なる方法でもよいが、通常スピンコード法、印刷法、
ディッピング法及びロールコータ−法などから選択され
る。
即ち、高透明性であるとともに耐熱性、機械的特性及び
電気的特性に優れておシ、カラーフィルター保護膜以外
にも、半導体用の各種保護膜、絶縁膜、液晶用配向膜等
の用途に好適に使用される。
説明するが、本発明はこの実施例によって限定されるも
のではないことは勿論である。
21OAを用い、石英ガラス上に塗膜を形成し、焼成し
た物について測定した。
イン酸46.7.9(4フロミリモル)とシトラコン酸
無水物53.3g(4フロミリモル)の酢酸エチル溶液
(1リツトル)を仕込み、窒素ガスを溶液中に吹き込み
、撹拌を行いながらパイレックスガラス製冷却管をつけ
た400W高圧水銀灯を10℃で48時間照射した。こ
の反応液から溶媒を留去し、残渣にトルエン200ゴを
加え未反応物を溶解させた後、不溶のアルキル置換シク
ロブタンテトラカルボン酸二無水物を含む組成物を濾過
し、これをトルエン100mで3回洗浄し、減圧下に於
いて乾燥し、白色結晶8511を得た。
4〜4.0 ((III)のプロトン(CM)とδ1.
4 (s)のプロトン(CHI)との積分比よジメチル
基の含有量(、)を求めた結果、1分子当シ平均1,1
6個のメチル基を含むことが確認された。又、このもの
の元素分析を行った結果、炭素51.24重量係、水素
2.97重量係、酸素45.79重量係であった。
NMRスペクトルを第2図に示した。
モル比を変更した以外は、まったく同様に反応を行った
。その結果を第1表に示す。
施例1と同様に反応を行った。その結果を第2表に示す
。
イン酸100g(1020ミリmol)O酢酸エチル溶
液(1リツトル)を仕込み、窒素ガスを溶液中に吹き込
み、撹拌を行いながらパイレックスガラス製冷却管をつ
けた400W高圧水銀灯を100℃で48時間照射した
。この反応液を戸遇した後、残さをトルエン10(17
で3回洗浄し未反応物を溶解させ、再度濾過した後、減
圧下に於いて乾燥し、シクロブタンテトラカルボン酸二
無水物の白色結晶62gを得た。その性質を第1表に示
す。
に10011(892ミリモル)のシトラコン酸無水物
を使用し、同様に反応、精製を行ったところ、淡黄色の
粉末55.9を得た。その性質を第1表に示す。
、コンデンサー及び窒素置換装置を付し、フラスコ内を
窒素で置換した後、脱水精製したエチルカルピトール5
00gを加え、ついで4.4’ −ジアミノジシクロヘ
キシルメタン51.9811(245ミリモル)及びp
−アミノフェニルトリメトキシシラン1.3.46 g
(,63,1ミリモル)を添加し、撹拌により均一な溶
液とした後、前述の実施例1で得られた酸二無水物59
.56.9(280ミリモル)を添加し、室温から50
℃の温度で10時間撹拌を続けたところ淡黄色の粘稠な
ポリアミド酸溶液が得られた。このポリアミド酸のIR
スペクトルを第3図に示す。このポリアミド酸の対数粘
度数をエチルカルピトール中で測定したとζろ、1.0
2dt/11であった。この液を石英ガラス上にスピン
コードし、窒素雰囲気中で80℃で30分、ついで20
0℃で60分の焼成を行って得たポリイミドに付いて、
分光光度計により透過率の測定を行ったところ、膜厚l
Oμ扉、波長400nmに於いて98.1%の透過率で
あった。
む原料を用いた他は、実施例8と同様に反応を行ったと
ころ淡黄色の粘稠なポリアミド酸溶液が得られた。得ら
れたポリアミド酸及びそれを焼成して見られたポリイミ
ド膜の性質を第3表に示す。
、コンデンサー及び窒素置換装置を付し、フラスコ内を
窒素で置換した後、脱水精製したエチルカルピトール5
00IIを加え、ついで4.4’ −ジアミノジシクロ
ヘキシルメタン64.91.9(306ミリモル)を添
加し、撹拌により均一な溶液とした後、前述の比較例1
で得られた酸二無水物60.09F(306ミリモル)
を添加し、室温から50℃の温度で1時間撹拌を続けた
ところ白色の沈澱物が生じ、さらに3時間撹拌を続けた
が、溶解しなかった。
、コンデンサー及び窒素置換装置を付し、フラスコ内を
窒素で置換した後、脱水精製したN−メチル−2−ピロ
リドン5ooIIを加え、ついで4.4′−ジアミノジ
フェニルエーテル59.83.9(299ミリモル)を
添加し、撹拌により均一な溶液とした後、ピロメリット
酸二無水物65.17g(299ミリモル)を添加し、
室温から50℃の温度で10時間撹拌を続けたところ濃
褐色の非常に粘稠なポリアミド酸溶液が得られた。この
物の対数粘度数をN−メチル−2−ピロリドン中で測定
したところ、1.82dl/Iであった。この液を石英
ガラス上にスピンコートレ、窒素雰囲気中で80℃で3
0分、ついで200℃で60分の焼成を行って得たポリ
イミドについて、分光光度計により透過率の測定を行っ
たところ、膜厚10μm、波長400nmに於いて7.
1%の透過率であった。
ンテトラカルボン酸二無水物の組成物を原料として得ら
れる本発明のポリイミド前駆体は溶媒に対する溶解性が
優れておυ、実用的効果は大である。また、本発明の前
駆体よシ得られるポリイミド硬化膜は従来の全芳香族ポ
リイミドの弱点であった光透過性を改良し、高透明性で
ある。
る。
有することのあるシクロブタンテトラカルボン酸二無水
物の組成物をKBr錠剤法により測定した赤外線吸収ス
ペクトルである。 第2図は前記酸二無水物のIH−NMRスペクトルであ
る。 第3図は実施例8で得られた本発明のポリイミド前駆体
の、及び第4図はそのポリイミド硬化膜のKEr錠剤法
により測定した赤外線吸収スペクトルである。 以上 目♀
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)5〜80モル%の無水マレイン酸と95〜20モ
ル%の下記一般式( I )で示される1種以上のマレイ
ン酸無水物誘導体との混合物の付加反応により得られる
1種以上の下記一般式(II)で示されるアルキル置換基
を有することのあるシクロブタンテトラカルボン酸二無
水物からなる組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・・・・・・(
I ) ▲数式、化学式、表等があります▼・・・・・・・・(
II) 〔式( I )及び(II)に於いてR^Y、R^Z、R^
1、R^2、R^3及びR^4は独立に水素原子、メチ
ル基、エチル基であるか若しくはR^YとR^Z、R^
1とR^2、R^3とR^4はそれぞれ炭素数2乃至1
0個のアルキレン基で接続した環状構造をとることもで
きる。ただしR^YとR^Zは同時に水素原子であるこ
とはない。〕 (2)前記マレイン酸無水物誘導体が無水メチルマレイ
ン酸(無水シトラコン酸)である請求項(1)に記載の
組成物。 (3)5〜80モル%の無水マレイン酸と95〜20モ
ル%の請求項(1)に記載された一般式( I )で示さ
れる1種以上のマレイン酸無水物誘導体との混合物を光
付加環化反応することにより得られる1種以上の請求項
(1)に記載された一般式(II)で示されるアルキル置
換基を有することのあるシクロブタンテトラカルボン酸
二無水物の組成物の製造法。 (4)請求項(1)に記載された一般式(II)で示され
るアルキル置換基を有することのあるシクロブタンテト
ラカルボン酸二無水物の組成物と下記一般式(III)で
示されるジアミンとの反応により得られる下記一般式(
IV)で示される反復単位を含み、溶媒中温度30±0.
01℃、濃度0.5g/dlで測定された対数粘度数が
0.1〜5dl/gである溶解性に優れたポリイミド前
駆体。 NH_2−R^5−NH_2・・・・・・・・ (III
)▲数式、化学式、表等があります▼・・・・・・・・
(IV) 〔式(III)及び(IV)に於いてR^5は二価の有機基
であり、R^1、R^2、R^3及びR^4は前記と同
じ意味を表わす。〕(5)R^5が二価の脂環式基であ
る請求項(4)に記載のポリイミド前駆体。 (6)請求項(1)に記載の一般式(II)で示されるア
ルキル置換基を有することのあるシクロブタンテトラカ
ルボン酸二無水物の組成物と請求項(4)に記載の一般
式(III)で示されるジアミンとを溶媒の存在下温度0
〜100℃で反応させることを特徴とする請求項(4)
に記載の一般式(IV)で示される反復単位を含むポリイ
ミド前駆体の製造法。(7)請求項(4)に記載のポリ
イミド前駆体をイミド化することにより得られる下記反
復単位(V)を含む硬化膜。 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・・・・・・(
V) 〔式(V)に於いてR^1、R^2、R^3、R^4及
びR^5は前記と同じ意味を表わす。〕 (8)R^5が二価の脂環式基である請求項(7)に記
載の硬化膜。 (9)請求項(4)に記載のポリイミド前駆体を含む溶
液を基板に塗布し、100〜400℃に加熱するか、又
はこの溶液に無水酢酸、ピリジン及びイソキノリンを包
含するイミド化促進剤を添加したものを基板に塗布し1
0〜100℃に加熱することを特徴とするポリイミド硬
化膜の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1275560A JP2775493B2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | アルキル置換シクロブタンテトラカルボン酸二無水物含有組成物、ポリイミド前駆体、硬化膜及びこれらの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03137125A true JPH03137125A (ja) | 1991-06-11 |
JP2775493B2 JP2775493B2 (ja) | 1998-07-16 |
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Cited By (4)
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JPH03153786A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-01 | Chisso Corp | 電子材料用塗布液 |
JP2005336244A (ja) * | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Nissan Chem Ind Ltd | 低誘電率、低線熱膨張係数、高透明性、高ガラス転移温度を併せ持つポリイミドとその前駆体 |
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-
1989
- 1989-10-23 JP JP1275560A patent/JP2775493B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JP2775493B2 (ja) | 1998-07-16 |
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