JP2775493B2 - アルキル置換シクロブタンテトラカルボン酸二無水物含有組成物、ポリイミド前駆体、硬化膜及びこれらの製造方法 - Google Patents
アルキル置換シクロブタンテトラカルボン酸二無水物含有組成物、ポリイミド前駆体、硬化膜及びこれらの製造方法Info
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Description
酸二無水物を含む組成物とその製造法、それを用いた溶
媒に対する溶解性の優れたポリイミド前駆体とその製造
法及びそれを用いた光透過性に優れた硬化膜とその製造
法に関する。
護材料、絶縁材料として、或いは接着剤、フイルム又は
構造材として主に耐熱性の面から広く用いられている。
しかしそれをフイルムとして用いた場合、可視光線のう
ちでも低波長領域(例えば波長400nm前後)の光の透過
率が小さく、淡黄色乃至茶褐色に着色している。
野(例えばカラーフイルター保護膜等)での適用が困難
であり、そのため従来からこの面の改良が試みられてき
た。
公報、特開昭61−141732号公報及び特開昭63−170420号
公報等である。またポリイミドの原料としての脂環式酸
無水物の製造方法として特開昭59−212495号公報があ
る。
料の酸無水物を脂環式化合物とするもの(例、特開昭60
−6726号公報)、原料のジアミンをスルホン基含有化合
物とするもの(例、特開昭61−141731号公報、特開昭61
−141732号公報)、或いは原料の酸無水物を含フツ素化
合物とするもの(例、特開昭63−170420号公報)等が提
案されている。
μm前後では、波長400nmの光の透過率が95%を超える
ものも得られるが、例えば、膜厚が厚くなり、10μm以
上のフイルムでは透過率95%を超えるものを得るものは
困難であつたり、あるいはその前駆体であるポリイミド
酸の溶解性が劣るため使用する溶媒が限られたりした。
て問題点があり、それを改良した材料の開発が要望され
ていた。特開昭59−212495号公報に見られるように安価
な原料である無水マレイン酸のみの二量化により得られ
るシクロブタンテトラカルボン酸二無水物を用いて得ら
れる全脂環式ポリイミドは光透過性の面では良好である
が、その前駆体であるポリアミド酸が塩基性溶媒にしか
溶解せず、そのため例えばカラーフイルター保護膜の用
途に使用した場合、塗布時にカラーフイルター中のある
種の染料を抽出する場合があり、この面での改良が要望
されていた。
ド前駆体を提供すること、それをイミド化することによ
り可視光線の透過性に優れたポリイミド膜を提供するこ
と並びにそのようなポリイミド前駆体及びポリイミドを
与える酸二無水物を提供することにある。
〜20モル%の無水メチルマレイン酸、無水2,3−ジメチ
ルマレイン酸、無水1−シクロヘキセン−1,2ジカルボ
ン酸、無水エチルマレイン酸、無水2−メチル−3−エ
チルマレイン酸及び無水2,3−ジエチルマレイン酸のう
ちの1種〜6種のマレイン酸無水物誘導体との混合物の
光付加環化反応により得られるアルキル置換シクロブタ
ンテトラカルボン酸二無水物の組成物である。
たアルキル置換シクロブタンテトラカルボン酸二無水物
の組成物と下記一般式(III)で示されるジアミンとの
反応により得られる平均構造が下記一般式(IV)で示さ
れる反復単位からなり、溶液中温度30±0.01℃、濃度0.
5g/dlで測定された対数粘度数が0.1〜5dl/gである溶解
性に優れたポリイミド前駆体である。
シクロヘキシルメタン、イソホロンジアミン、2,2−ビ
ス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)ヘキサフ
ロロプロパン若しくは3,3−シアミノジフェニルスルホ
ンのジアミン残基であり、R1、R2、R3及びR4はメチル、
エチル基、水素原子またはR1とR2若しくはR3とR4が連結
した1,6−ヘキサンジイル基であり、各々の平均個数は
0≦R1、R2、R3、R4≦0.95の範囲内であり、且つ、0.2
×2≦R1+R2+R3+R4≦0.95×2であり、各々が水素原
子である個数(RH i)の合計量は0≦RH 1+RH 2+RH 3+RH
4≦0.95/2である。] 本発明の第三は、前記第一の発明に記載されたアルキ
ル置換シクロブタンテトラカルボン酸二無水物の組成物
と前記第二発明に記載された一般式(III)で示される
ジアミンとを溶媒の存在下温度0〜100℃で反応させる
ことを特徴とする一般式(IV)で示される反復単位から
なるポリイミド前駆体の製造方法である。
をイミド化することにより得られる下記反復単位(V)
からなる硬化膜である。
じ意味を表わす。〕 マレイン酸無水物誘導体が無水シトラコン酸であり、
これと無水マレイン酸からなる混合物の付加反応により
得られる前記アルキル置換基を有するシクロブタンテト
ラカルボン酸二無水物の組成物が原料コスト面から特に
有利であり、実用的価値は高い。
る場合が硬化膜の可視光線透過性は良く、カラーフイル
ター保護膜等の用途に好ましい。
ン酸、無水2,3−ジメチルマレイン酸、無水1−シクロ
ヘキセン−1,2−ジカルボン酸、無水エチルマレイン
酸、無水2−メチル−3−エチルマレイン酸、無水2,3
−ジエチルマレイン酸等が挙げられ、いずれの組み合せ
も使用することができる。
反応において通常用いられるものであればよく、例えば
酢酸エチル等のエステル類、アセトン等のケトン類、ジ
オキサン等のエーテル類、四塩化炭素等のハロゲン化炭
化水素類が特に好ましい溶媒として挙げられる。
ロブタンテトラカルボン酸二無水物の組成物の製造法に
ついて述べる。
の混合物を必要により上記反応溶媒中に溶解させる。こ
の場合例えば無水メチルマレイン酸は常温で液体であ
り、これに無水マレイン酸及び必要に応じて他のマレイ
ン酸無水物誘導体を溶解させることにより溶媒を使用し
ないで反応を行なうことも可能である。溶媒の使用割合
はどのようにでも変えられるが、溶液が流動性を維持で
きる範囲でかつその最小量の使用が経済的である。
30℃がより好ましい。
銀灯等のいずれも使用することができるが、特に高圧水
銀灯が好ましい。光源冷却管の材質は石英でもパイレツ
クスガラスのどちらでもよいが、副生成物の生成を抑え
る点でパイレツクスガラスの方が好ましい。
あるシクロブタンテトラカルボン酸二無水物類は光源冷
却管に付着することはほとんどなく、若干の機械撹拌又
は不活性ガスの導入による撹拌のみで光源冷却管への付
着は完全に抑えることができる。従つて反応(光照射)
時間の延長に伴いアルキル置換基を有することのあるシ
クロブタンテトラカルボン酸二無水物の収量は一次的に
増加する。
した場合について以下に示す。
しも全てを含んでいるとは限らない。さらに原料の種類
を3種、4種と増やしていくにつれ得られる化合物の種
類は著しく増加する。これらの酸二無水物のうちポリア
ミド酸にした場合最も溶解性の劣るのは無水マレイン酸
の二量体であるシクロブタンテトラカルボン酸二無水物
である。このため原料として無水マレイン酸を使用する
場合、全原料中の無水マレイン酸の割合を80モル%以下
とした方が上記溶解性の面から好ましい。
レイン酸無水物誘導体の比率を95モル%を越えるものと
して光反応を行なうと副反応が多くなり、反応生成液は
褐色に着色し、この反応液から沈殿して得られた酸二無
水物から得られるポリイミド膜は着色が大となる。一方
この酸二無水物は溶解性が大きいため精製のための溶解
沈殿をくり返すと収率が低下する。又、前記式(I)で
示されるマレイン酸無水物誘導体は無水マレイン酸に比
較して高価であり、可能な限り無水マレイン酸の添加量
を増加させた方が経済的である。従つて、無水マレイン
酸の添加量は40〜70モル%の範囲が特に好ましい。
後、得られる粗生成物の残渣を適当な溶媒で洗浄し未反
応のマレイン酸無水物誘導体及び無水マレイン酸を取り
除いた後、乾燥することによつて目的とするアルキル置
換基を有することのあるシクロブタンテトラカルボン酸
二無水物からなる組成物を得ることができる。粗生成物
の洗浄溶媒としては未反応物である無水マレイン酸及び
マレイン酸無水物誘導体の溶解度が高く生成物であるア
ルキル置換基を有することのあるシクロブタンテトラカ
ルボン酸二無水物の溶解度が低いものであればよく、ベ
ンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素あるい
はこれらと酢酸エチルとの混合溶媒が好ましい。
キル置換基を有することのあるシクロブタンテトラカル
ボン酸二無水物の組成物を得ることができる。
法について述べる。
式ジアミン、炭素環式芳香族ジアミン類、脂肪族ジアミ
ン、シロキサン系ジアミン等がある。
ことができる。
ヘキサン、4,4′−ジアミノジシクロヘキシルメタン、
4,4′−ジアミノ−3,3′−ジメチルジシクロヘキシシル
メタン、4,4′−ジアミノ−3,3′−ジメチルジシクロヘ
キシル又はイソホロンジアミン等である。
物が挙げられる。
ルエン類(例えば、2,4−ジアミノトルエン)、1,4−ジ
アミノ−2−メトキシベンゼン、2,5−ジアミノキシレ
ン類、1,3−ジアミノ−4−クロルベンゼン、1,4−ジア
ミノ−2,5−ジクロルベンゼン、1,4−ジアミノ−2−ブ
ロムベンゼン、1,3−ジアミノ−4−イソプロピルベン
ゼン、N,N′−ジフエニル−1,4−フエニレンジアミン、
4,4′−ジアミノジフエニル−2,2−プロパン、4,4′−
ジアミノジフエニルメタン、2,2′−ジアミノスチルベ
ン、4,4′−ジアミノスチルベン、4,4′−ジアミノジフ
エニル−エーテル、4,4′−ジアミノジフエニル−チオ
エーテル、4,4′−ジアミノジフエニルスルホン、3,3′
−ジアミノジフエニルスルホン、4,4′−ジアミノ安息
香酸フエニルエステル、2,2′−ジアミノベンゾフエノ
ン、4,4′−ジアミノベンゾフエノン、4,4′−ジアミノ
ベンジル、4−(4′−アミノフエニルカルバモイル)
−アニリン、ビス(4−アミノフエニル)−ホスフイン
オキシド、ビス(4−アミノフエニル)−メチル−ホス
フインオキシド、ビス(3−アミノフエニル)−メチル
スルフインオキシド、ビス(4−アミノフエニル)−フ
エニルホスフインオキシド、ビス(4−アミノフエニ
ル)−シクロヘキシルホスフインオキシド、N,N−ビス
(4−アミノフエニル)−N−フエニルアミン、N,N−
ビス(4−アミノフエニル)−N−メチルアミン、4,
4′−ジアミノジフエニル尿素、1,8−ジアミノナフタリ
ン、1,5−ジアミノナフタリン、1,5−ジアミノアントラ
キノン、ジアミノフルオランテン、ビス(4−アミノフ
エニル)−ジエチルシラン、ビス(4−アミノフエニ
ル)−ジメチルシラン、ビス(4−アミノフエニル)−
テトラメチルジシロキサン、3,4′−ジアミノフエニル
エーテル、ベンジジン、2,2′−ジメチルベンジジン、
2,2−ビス〔4−(4−アミノフエノキシ)フエニル〕
プロパン、ビス〔4−(4−アミノフエノキシ)フエニ
ル〕スルホン、4,4′−ビス(4−アミノフエノキシ)
ビフエニル、2,2−ビス〔4−(4−アミノフエノキ
シ)フエニル〕ヘキサフロロプロパン、1,4−ビス(4
−アミノフエノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミ
ノフエノキシ)ベンゼン。
2,4−ジアミノ−s−トリアジン、2,7−ジアミノ−ジベ
ンゾフラン、2,7−ジアミノカルバゾール、3,7−ジアミ
ノフエノチアジン、2,5−ジアミノ−1,3,4−チアゾー
ル、2,4−ジアミノ−6−フエニル−s−トリアジン。
の化合物である。
チレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチ
レンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレン
ジアミン、デカメチレンジアミン、2,2−ジメチルプロ
ピレンジアミン、2,5−ジメチルヘキサメチレンジアミ
ン、2,5−ジメチルヘプタメチレンジアミン、4,4−ジメ
チルヘプタメチレンジアミン、3−メチルヘプタメチレ
ンジアミン、3−メトキシヘプタメチレンジアミン、5
−メチルノナメチレンジアミン、2,11−ジアミノドデカ
ン、1,12−ジアミノオクタデカン、1,2−ビス(3−ア
ミノプロポキシ)−エタン、N,N′−ジエチル−1,3−ジ
アミノプロパン、N,N′−ジメチル−1,6−ジアミノヘキ
サン、 式:H2N(CH2)3O(CH2)2O(CH2)3NH2で表わされるジ
アミン。
ができる。
い溶媒(以下「前駆体反応溶媒」と言うことがある。)
として、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノ
ール、2−ブトキシエタノール、ジエチレングリコール
モノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチル
エーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、
ジエチレングリコールジメチルエーテル、シクロペンタ
ノン、シクロヘキサノン、クレゾール、γ−ブチロラク
トン、テトラヒドロフラン等の非極性溶媒を好適に用い
ることができるがN−メチル−2−ピロリドン、N,N−
ジメチルアセトアミド、N,N′−ジエチルアセトアミ
ド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルム
アミド、ジメチルスルホキシド、テトラメチル尿素、ピ
リジン、ジメチルスルホン、ヘキサメチルスルホルアミ
ド、メチルホルムアミド、N−アセチル−2−ピロリド
ン、N,N−ジメチルメトキシアセトアミド、N−アセチ
ル−2−ピロリドン、N−メチル−ε−カプロラクタム
等の塩基性溶媒も使用することができる。
(IV)の反復単位を有するポリイミド前駆体が得られ
る。この反復単位のみから構成されるポリイミド前駆体
でも、本発明のポリイミド前駆体を構成することは可能
である。
は脂肪族酸二無水物等に置き換えることができる。しか
し芳香族化合物の比率が大きい原料から得られたポリイ
ミド膜は光透過性が低下し、脂肪族化合物の比率を大に
すると、耐熱性が低下し、いずれも好ましくない。
は80モル%以上が好ましい。
す。
ノンテトラカルボン酸二無水物、3,3′,4,4′−ビフエ
ニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボ
キシフエニル)−エーテル二無水物、ビス(3,4−ジカ
ルボキシフエニル)スルホン二無水物、ビス(3,4−ジ
カルボキシフエニル)−スルフイド二無水物、2,2−ビ
ス(3,4−ジカルボキシフエニル)−ヘキサフロロプロ
パン二無水物、1,2,3,4−テトラカルボキシブタン二無
水物等である。
料の10モル%以下のアミノシランを添加することができ
る。これらは酸無水物と反応してポリマー末端を形成す
ることができる。その具体例を以下に示す。
れる本発明のアルキル置換基を有することのあるシクロ
ブタンテトラカルボン酸二無水物の組成物を80モル%以
上含む酸二無水物と前記ジアミン及び全原料化合物中0
〜10モル%の前記アミノシランとを好ましくは前記前駆
体反応溶媒中で反応を行なう。
(V)で示される反復単位が80モル%以上になるように
原料混合比及び反応の順序を調整する。
になるようにする、しかしどちらかが10モル%以内にお
いて過剰になることはさしつかえない。
準として、50重量%以上使用するのがよい。これ以下の
溶媒量では撹拌が困難な場合があり、好ましくない。反
応は通常行なわれるポリイミド前駆体の合成法なら如何
なる方法でもよいが、前記原料を溶媒中で一括して又は
分割して反応器に供給し、0〜100℃の温度で数時間乃
至数十時間行なうのが一般的である。このようにして本
発明のポリイミド前駆体を含む溶液が得られる。
又はこれに無水酢酸等の酸無水物及び/又はピリジン或
いはイソキノリン等の公知のイミド化促進剤を添加した
ものでは10〜100℃の比較的低温で該前駆体をイミド化
すると共に溶媒を揮散せしめることにより本発明のポリ
イミド硬化膜が得られる。
件下で測定した対数粘度数が0.1〜5dl/gの範囲のものが
よい。
り定義された通りのものであるが、更に詳述すれば、次
式で示される。
(C)0.5g/dlのものを温度30±0.01℃で測定した値で
あり、η0はウベローデ粘度計を使用し、同温度におけ
る当該溶媒の測定値である。) 対数粘度数が0.1未満の場合、得られたポリイミド硬
化膜は機械的強度に劣るものであり、好ましくなく、ま
た5を超えるものの合成は困難である。
方法について説明する。本発明によつて製造した前駆体
は殆んどの場合、溶媒に溶解した溶液の状態で使用され
るから、反応溶液をそのまま又は濃縮し、もしくは溶媒
で希釈して使用するのがよい。希釈溶媒としては前駆体
反応溶媒と同じものを使用することができる。
硬化膜を形成させる場合、公知のどのような方法で行な
つてもよい。
コンウエハー等の基板上に前駆体溶液を塗布した後、50
〜400℃の温度で焼成することにより透明な本発明のポ
リイミド硬化膜が得られる。この場合、塗布方法は如何
なる方法でもよいが、通常スピンコート法、印刷法、デ
イツピング法及びロールコーター法などから選択され
る。
く、即ち、高透過性であるとともに耐熱性、機械的特性
及び電気的特性に優れており、カラーフイルター保護膜
以下にも、半導体用の各種保護膜、絶縁膜、液晶用配向
膜等の用途に適用に使用される。
に説明するが、本発明はこの実施例によつて限定される
ものではないことは勿論である。
210Aを用い、石英ガラス上に塗膜を形成し、焼成した物
について測定した。
レイン酸46.7g(476ミリモル)とシトラコン酸無水物5
3.3g(476ミリモル)の酢酸エチル溶液(1リツトル)
を仕込み、窒素ガスを溶液中に吹き込み、撹拌を行いな
がらパイレツクスガラス製冷却管をつけた400W高圧水銀
灯を100℃で48時間照射した。この反応液から溶媒を留
去し、残渣にトルエン200mlを加え未反応物を溶解させ
た後、不溶のアルキル置換シクロブタンテトラカルボン
酸二無水物を含む組成物を過し、これをトルエン100m
lで3回洗浄し、減圧下に於いて乾燥し、白色結晶85gを
得た。H−NMRスペクトル(溶媒d−DMSO)のδ3.4〜4.
0(m)のプロトン(CH)とδ1.4(s)のプロトン(CH
3)との積分比よりメチル基の含有量(n)を求めた結
果、1分子当り平均1.16個のメチル基を含むことが確認
された。又、このものの元素分析を行つた結果、炭素5
1.24重量%、水素2.97重量%、酸素45.79重量%であつ
た。この得られた酸二無水物のIRスペクトルを第1図
に、NMRスペクトルを第2図に示した。
のモル比を変更した以外は、まつたく同様に反応を行つ
た。その結果を第1表に示す。
実施例1と同様に反応を行つた。その結果を第2表に示
す。
レイン酸100g(1020ミリmol)の酢酸エチル溶液(1リ
ツトル)を仕込み、窒素ガスを溶液中に吹き込み、撹拌
を行いながらパイレツクスガラス製冷却管をつけた400W
高圧水銀灯を100℃で48時間照射した。この反応液を
過した後、残さをトルエン100mlで3回洗浄し未反応物
を溶解させ、再度過した後、減圧下に於いて乾燥し、
シクロブタンテトラカルボン酸二無水物の白色結晶62g
を得た。その性質を第1表に示す。
100g(892ミリモル)のシトラコン酸無水物を使用し、
同様に反応、精製を行つたところ、淡黄色の粉末55gを
得た。その性質を第1表に示す。
計、コンデンサー及び窒素置換装置を付し、フラスコ内
を窒素で置換した後、脱水精製したエチルカルビトール
500gを加え、ついで4,4′−ジアミノジシクロヘキシル
メタン51.98g(245ミリモル)及びp−アミノフエニル
トリメトキシシラン13.46g(63.1ミリモル)を添加し、
撹拌により均一な溶液とした後、前述の実施例1で得ら
れた酸二無水物59.56g(280ミリモル)を添加し、室温
から50℃の温度で10時間撹拌を続けたところ淡黄色の粘
稠なポリアミド酸溶液が得られた。このポリアミド酸の
IRスペクトルを第3図に示す。このポリアミド酸の対数
粘度数をエチルカルビトール中で測定したところ、1.02
dl/gであつた。この液を石英ガラス上にスピンコート
し、窒素雰囲気中で80℃で30分、ついで200℃で60分の
焼成を行つて得たポリイミドに付いて、分光光度計によ
り透過率の測定を行つたところ、膜厚10μm、波長400n
mに於いて98.1%の透過率であつた。この膜のIRスペク
トルを第4図に示す。
む原料を用いた他は、実施例8と同様に反応を行つたと
ころ淡黄色の粘稠なポリアミド酸溶液が得られた。得ら
れたポリアミド酸及びそれを焼成してえられたポリイミ
ド膜の性質を第3表に示す。
計、コンデンサー及び窒素置換装置を付し、フラスコ内
を窒素で置換した後、脱水精製したエチルカルビトール
500gを加え、ついで4,4′−ジアミノジシクロヘキシル
メタン64.91g(306ミリモル)を添加し、撹拌により均
一な溶液とした後、前述の比較例1で得られた酸二無水
物60.09g(306ミリモル)を添加し、室温から50℃の温
度で1時間撹拌を続けたところ白色の沈殿物が生じ、さ
らに3時間撹拌を続けたが、溶解しなかつた。
計、コンデンサー及び窒素置換装置を付し、フラスコ内
を窒素で置換した後、脱水精製したN−メチル−2−ピ
ロリドン500gを加え、ついで4,4′−ジアミノジフエニ
ルエーテル59.83g(299ミリモル)を添加し、撹拌によ
り均一な溶液とした後、ピロメリツト酸二無水物65.17g
(299ミリモル)を添加し、室温から50℃の温度で10時
間撹拌を続けたところ濃褐色の非常に粘稠なポリアミド
酸溶液が得られた。この物の対数粘度数をN−メチル−
2−ピロリドン中で測定したところ、1.82dl/gであつ
た。この液を石英ガラス上にスピンコートし、窒素雰囲
気中で80℃で30分、ついで200℃で60分の焼成を行つて
得たポリイミドについて、分光光度計により透過率の測
定を行つたところ、膜厚10μm、波長400nmに於いて7.1
%の透過率であつた。
タンテトラカルボン酸二無水物の組成物を原料として得
られる本発明のポリイミド前駆体は溶媒に対する溶解性
が優れており、実用的効果は大である。また、本発明の
前駆体より得られるポリイミド硬化膜は従来の全芳香族
ポリイミドの弱点であつた光透過性を改良し、高透明性
である。従つて、特にカラーフイルター関連材料として
好適である。
有することのあるシクロブタンテトラカルボン酸二無水
物の組成物をKBr錠剤法により測定した赤外線吸収スペ
クトルである。 第2図は前記酸二無水物の1H−NMRスペクトルである。 第3図は実施例8で得られた本発明のポリイミド前駆体
の、及び第4図はそのポリイミド硬化膜のKBr錠剤法に
より測定した赤外線吸収スペクトルである。
Claims (5)
- 【請求項1】5〜80モル%の無水マレイン酸と95〜20モ
ル%の無水メチルマレイン酸、無水2,3−ジメチルマレ
イン酸、無水1−シクロヘキセン−1,2ジカルボン酸、
無水エチルマレイン酸、無水2−メチル−3−メチルマ
レイン酸及び無水2,3−ジエチルマレイン酸のうちの1
種〜6種のマレイン酸無水物誘導体との混合物の光付加
環化反応により得られるアルキル置換シクロブタンテト
ラカルボン酸二無水物からなる組成物。 - 【請求項2】マレイン酸無水物誘導体が無水メチルマレ
イン酸(無水シトラコン酸)である請求項(1)に記載
の組成物。 - 【請求項3】請求項(1)に記載されたアルキル置換シ
クロブタンテトラカルボン酸二無水物の組成物と下記一
般式(III)で示されるジアミンとの反応により得られ
る平均構造が下記一般式(IV)で示される反復単位から
なり、溶媒中温度は30±0.01℃、濃度0.5g/dlで測定さ
れた対数粘度数が0.1〜5dl/gである溶解性に優れたポリ
イミド前駆体。 [式(III)及び(IV)においてR5は4,4′−ジアミノジ
シクロヘキシルメタン、イソホロンジアミン、2,2−ビ
ス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)ヘキサフ
ロロプロパン若しくは3,3−シアミノジフェニルスルホ
ンのジアミン残基であり、R1、R2、R3及びR4はメチル、
エチル基、水素原子またはR1とR2若しくはR3とR4が連結
した1,6−ヘキサンジイル基であり、各々の平均個数は
0≦R1、R2、R3、R4≦0.95の範囲内であり、0.2×2≦R
1+R2+R3+R4≦0.95×2であり、各々が水素原子であ
る個数(RH i)の合計量は0≦RH 1+RH 2+RH 3+RH 4≦0.9
5/2である。] - 【請求項4】請求項(1)に記載されたアルキル置換シ
クロブタンテトラカルボン酸二無水物の組成物と請求項
(3)に記載された一般式(III)で示されるジアミン
とを溶媒の存在下温度0〜100℃で反応させることを特
徴とする請求項(3)に記載の一般式(IV)で示される
反復単位からなるポリイミド前駆体の製造方法。 - 【請求項5】請求項(3)に記載のポリイミド前駆体を
イミド化することにより得られる下記反復単位(V)か
らなる硬化膜。 [式(V)においてR1、R2、R3、R4及びR5は前記と同じ
意味を表わす。]
Priority Applications (1)
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JP1275560A JP2775493B2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | アルキル置換シクロブタンテトラカルボン酸二無水物含有組成物、ポリイミド前駆体、硬化膜及びこれらの製造方法 |
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JP1275560A JP2775493B2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | アルキル置換シクロブタンテトラカルボン酸二無水物含有組成物、ポリイミド前駆体、硬化膜及びこれらの製造方法 |
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JP4788108B2 (ja) * | 2004-05-25 | 2011-10-05 | 日産化学工業株式会社 | 低誘電率、低線熱膨張係数、高透明性、高ガラス転移温度を併せ持つポリイミドとその前駆体 |
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-
1989
- 1989-10-23 JP JP1275560A patent/JP2775493B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
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US4360657A (en) | 1981-08-19 | 1982-11-23 | Standard Oil Company (Indiana) | Tricyclo[6.4.0.02,7 ]-dodecane-1,8,2,7-tetracarboxylic acid dianhydride and polyimides therefrom |
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