JPH0296999A - 故障許容差動メモリ素子及び感知方法 - Google Patents

故障許容差動メモリ素子及び感知方法

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JPH0296999A JP1168269A JP16826989A JPH0296999A JP H0296999 A JPH0296999 A JP H0296999A JP 1168269 A JP1168269 A JP 1168269A JP 16826989 A JP16826989 A JP 16826989A JP H0296999 A JPH0296999 A JP H0296999A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はユーザプログラマブルメモリに関し、特に電気
的に消去可能なプログラマブルリードオンリメモリ(E
EFROMS)に関する。また特に本発明は信頼性の高
い素子とその素子の差動感知方法との結合に関するもの
である。
[従来の技術] メモリ素子の差動感知方法は公知のものである。
該方法はスタティックランダムアクセスメモリ、ダイナ
ミックランダムアクセスメモリ、及びその他のメモリ製
品に利用されている。
[発明の構成・手段] 本発明によれば、各素子がフローティングゲートEEF
ROMトランジスタとセレクトトランジスタとを有する
2個のメモリ素子が、記憶される1ビツトの情報ごとに
使用されている。第1のメモリ素子はそれのセレクト素
子を介してそれのビットラインに接続されている。第2
のメモリ素子はそれのセレクト装置を介して相補的ビッ
トラインに接続されている。上記ビットライン及び相補
的ビットラインはそれぞれYセレクト装置を介してデー
タバス及び相hli的データバスに接続されている。差
動感知増幅器は上記データバス及び相補的データバスに
接続されている。
本発明で使用されているEEPrtOPvLトランジス
タはそ1らの故障モード伝導レベルを制御する特別なデ
プレ1ジョン素子注入物質を使用することにより構成さ
れている。この特別なデプレッション注入物質(dep
letion implant)は、故障したメモリ素
子が、導伝状態、即ち論理ゼロのデータを記憶している
状態のときに正常な素子が導伝する電流の約半分の電流
を導伝するように構成されている。
[実施例] 先ず、第1図について説明すれば、第1のEEP RO
M )ランジスタ!2はそのソースが負の電圧源Vss
に接続されており、また、そのドレインがセレクトトラ
ンジスタ14のソースに接続されている。セレクトトラ
ンジスタ14は、そのドレインかビットライン16に接
続されている。第2のE E P [10Mメモリトラ
ンンスタ!8は、それのソースが電圧源Vssに接続さ
れており、それのドレインが第2セレクl−1−ランジ
スタ20のソースに接続されている。第2セレクトトラ
ンジスタ20のドレインは相補的ビットライン22に接
続されている。第1EEFROMトランジスタ!2及び
第2EEl)ROMトランジスタ18のゲートは共に感
知ライン24に接続されている。第1セレクトトランジ
スタ14及び第2セレクトトランジスタ20のゲートは
共にワードライン26に接続されている。ビットライン
16及び22は、それぞれ負荷装置28及び30を介し
て正の電圧源Vddに接続されている。Nチャンネルの
負荷装置2′8のドレインは電圧源Vddに接続されて
おり、それのソースはビットライン16に接続されてい
る。Nチャンネルの負荷装置30のドレインは電圧源V
ddに接続されており、それのソースはビットライン2
2に接続されている。両Nヂャンネルの負荷装置28及
び30のゲートは共に基準電圧源V refに接続され
ており、この構成は従来より公知のものである。
また、第1EEFROMトランジスタ12と第1セレク
トトランジスタ14は共に第1メモリ素子32を構成し
ている。第2EEFROMトランジスタI8と第2セレ
クトトランジスタ20は共に第2メモリ素子34を構成
している。第1メモリ素子32及び第2メモリ素子34
は共に単一ビットのデータを記憶するために使用されて
いる。第1メモリ素子32は上記データを記憶し、また
第2メモリ素子34はその相補データを記憶する。
例えば、論理ゼロのデータが記憶される場合は、第1メ
モリ素子32が論理ゼロのデータを記憶し、第2メモリ
素子34は論理lのデータを記憶する。
上記記憶されたデータは第1及び第2のメモリ索子32
及び34から読み出され差動感知増幅器36によって感
知される。差動感知増幅器36への入力はデータバス3
8及び相補的データバス40を介して行なわれる。ビッ
トライン16はYセレクト装置42によりデータバス3
8に接続されており、また相補的ビットライン22は相
補的Yセレクト装置44により相補的データバス40に
接続されている。Yセレクトトランジスタ42及び相補
的Yセレクトトランジスタ44は、それらのゲートが共
に、参照番号46で示すYセレクトラインYnに接続さ
れている。
本発明による製品においては当業者にとっては明らかな
ことであるが、32及び34などで示される多くのメモ
リ素子はビットライン16及び相補的ビットライン22
に接続されており、また各メモリ素子は参照数字26な
どで示されるような固有のワードラインを有している。
当業者にとって、また、ビットライン16と相補的ビッ
トライン22などの他のビットラインの組がYセレクト
装置42と相補的Yセレクト装置44と同様のYセレク
ト装置の組を介してデータバス38及び相補的データバ
ス40に接続されるということは明らかなことであろう
。例えば第1図に示すように、ビットライン48及び相
補的ビットライン50はそれぞれYセレクト装置52及
び相補的Yセレクト装置54を介してデータバス38及
び相補的データバス40に接続されている。Yセレクト
装置52及び相補的Yセレクト装置54のゲートが一般
的には数字56で示されているYセレクトラインY(n
−1)に接続されている。 第1メモリ索子32及び第
2メモリ素子34に記憶されたデータを読み出したいと
きは、ワードライン26はハイレベルとされ、また参照
番号46のYセレクトラインYnもハイレベルとされる
。メモリ素子の徂32及び34により記憶されたデータ
ビットが論理ゼロのデータである場合は、メモリ素子3
2は電流を導伝し、該電流は、そのドレインが正の電圧
源に接続され、それのソースがビットライン16に接続
され、それのゲートが基準電圧V rerに接続された
負荷装置28が配置されているためにビットライン16
上に電圧を確立する。定格5ボルトの電源電圧を供給す
ることにより約2.5ボルトの値の基準電圧V ref
が供給されるのに十分であることが判明した。
ビットライン16上の電圧はこのようにして低下されデ
ータバス38を介して、Yセレクト装置42、ビットラ
イン16及びセレクトトランノスタ14を介して感知増
幅器36により感知されろ。
ごの場合メモリ素子34は相補的データバス40からの
電流を遮断している。従ってビットライン22における
電圧は低下せず相補的Yセレクト装置44、ビットライ
ン22及びセレクト装置20を介して感知増幅器36に
より感知される。ビットライン22の電圧は負荷装置4
2と同じ方法で接続された負荷装置44により確立され
る。
差動感知増幅器36はそれの両入力端子における電圧、
即ちデータバス38における電圧と相補的データバス4
0における電圧との電位差を感知する。差動感知増幅器
36は、定格5ボルトの電源電圧を供給した場合に少な
くとらほぼ3ボルト程;変の暴べ(電圧が得られるコモ
ンモードを有するしのならばどんな差動感知増幅器でも
使用可能である。
本発明の他の態様は、第1メモリ素子32又は第2メモ
リ素子34の一方が故障した場合でも、データを正しく
読み出すことを可能にしていることである。即ち上記メ
モリ素子32及び34の組からのデータを感知すること
は、どちらか一方のメモリ素子が故障した場合でもメモ
リEEI’ROMトランジスタ12および18のそれぞ
れの特性により、可能となっている。
本発明における各EEPROMメモリ素子は、該メモリ
素子が故障した場合に、論理ゼロのデータを記憶してい
る標準の故障していない素子によって通電される電流量
のほぼ2分の1の電流nを確実に通電するような特別な
デプレッンヨン注入物質を使用することにより構成され
ている。砒素がこの目的を満足させるために好適である
ことか判明した。650人の厚さのゲート酸化物を有し
168平方ミクロンの大きさのメモリ素子用としては、
はぼ8xlO”原子数/cm3の注入物質の使用量のも
のが適量であることが判明した。厚さ450Aのゲート
酸化物を有し、108平方ミクロンの大きさのメモリ素
子の場合は、注入物質の使用量はほぼ1.25xlO”
原子数/cm3のものが好適であることが判明している
。その適用量は素子の大きさ、ゲート酸化物の厚さ及び
十分な数9の素子配列のプログラミングに基づいている
ことは当業者にとっては明らかなことであり、またとん
な特別な素子構成に対してもこの注入物質の使用mを容
易に最適にすることが可能である。第2図は、論理l及
び論理ゼロが記憶されている場合の相補的メモリ素子3
2及び34の出力を示す表であり、正常状態、素子32
が故障の場合、及び索子34が故障の場合のメモリ素子
32及び34によって誘引される電流量を示している。
第2図によれば、論理lのデータが上記メモリ素子の組
32支び34に記憶されているときは、乙し画素子とら
正常に機能しているならばメモリ素子32は電流を遮断
しメモリ素子34は電流lを導伝させる。ところからし
メモリ素子32が故障した場合は、該素子32はi/2
の電流を導伝さU、正常機能しているメモリ素子34は
電流1を導伝させる。ところがもしメモリ34が故障し
ており、メモリ素子32が正常に動作している場合は、
メモリ索子32は電流を遮断しメモリ素子34はi/2
の電流量だけ導伝させる。
同様に、論理ゼロのデータか記憶される場合は、らし両
メモリ素子か正常に動作している場合は、メモリ素子3
2は電流lを導伝させ、メモリ素子34は電流を遮断し
ている。ところがもしメモリ素子32が故障したときは
、該素子32はi/2の電流を導伝させ、正常機能して
いるメモリ素子34は?Ti流を遮断する。また一方、
らしメモリ素子34が故障しているときは、正常動作し
ているメモリ素子32は電流1を導電し、メモリ素子3
2はi/2の電流を導伝する。
メモリ素子32及び34によって導出された電流は上記
の状態においては、それぞれ負荷装置28及び30が配
置されているためにビット線16及び22に異なった電
圧を誘起させる。メモリ素子32又は34に電流か流れ
なければ、それに関連するビットラインはほぼ2.5ボ
ルトの電圧に保持される。基′QIX圧V rerは、
メモリ素子に流れる電流かない場合にほぼ2.5ボルト
の電圧がヒントライン上に誘起されるようにJ1〜j整
されている。上記素子により導伝されたどのような電流
らピットラインとの電圧を降下させる。故障した素子は
正常な素子が導伝4〜る電流量の半分の電流を導伝4−
るので、故障した素子は正常な素子が誘起オろ電圧のほ
ぼ2分の1の電圧降下を引き起こすことになる。差動感
知増幅器36のトリップ動作点は、ヒントライン上のi
/2の電流により誘起された電圧値に等しいデータバス
38及び40に(を続された該増幅器の2個の入力端子
における電圧差が上1足感知増幅器をトリップ動作させ
るように設計されている。
本発明の実施態様及びその応用例が上述のように説明さ
れているが、他の多くの変形か可能であることは当業者
にとっては明らかなことであろう。
従って、本発明は添付の特許請求の範囲による以外には
限定されることはない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明にかかるメモリ素子の選択された装置を
介して差動感知増幅器に接続された2個のEEFROM
メモリ素子を示す実施例の該略回路図である。 第2図は正常モード及び故障モードにおけるメモリ素子
の出力電流を示す表である。 12.18・・第1EEPROMトランジスタ1420
・・セレクトトランジスタ 16.22.48.50・・・ビットライン24・・感
知ライン 26・・・ワードライン 28.30・負荷装置 32.34・・メモリ素子 36 差動感知増幅器 3840 ・データバス 42.44.52.54・ Yセレクト装置4656・
Yセレクトライン 特許出願人 ソーク・テクノロジー・ インコーポレイテヅド 代 理 人

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)第1メモリ装置と第1セレクト装置とを直列に配
    置しており第1ビットラインと接続可能な第1メモリ素
    子と、第2メモリ装置と第2セレクト装置とを直列に配
    置しており第2ビットラインと接続可能な第2メモリ素
    子とを有しており、上記第1及び第2セレクト装置が同
    時的に上記第1及び第2ビットラインを介して上記第1
    及び第2メモリ装置に接続するように切換え可能な構成
    の第1メモリ素子及び第2メモリ素子を有しており、さ
    らに、 第1及び第2入力装置を有している差動感知増幅器と、 上記第1ビットライン及び上記第2ビットラインをそれ
    ぞれ差動感知増幅器の第1および第2入力端子に選択的
    に接続するための選択手段とを有しており、 上記第1及び第2メモリ装置は三種の導電状態、即ち第
    1の導電状態では上記メモリ装置は電流を導伝し、第2
    の導電状態では上記メモリ装置は電流を遮断し、また第
    3の導電状態では上記メモリ装置は故障状態で中間的導
    電状態であり、この第3の状態における上記メモリ装置
    に流れる電流は、上記第1の状態でメモリ装置を流れる
    電流より少ない中間値であることを特徴とする電気的に
    消去可能なプログラマブルフローティングゲートメモリ
    装置。
  2. (2)上記選択手段が2個のYセレクト装置であり、第
    1のYセレクト装置は上記第1ビットラインと上記差動
    感知増幅器の第1入力端との間に接続されており、第2
    のYセレクト装置は上記第2ビットラインと上記差動感
    知増幅器の第2入力端との間に接続されている請求項1
    に記載の電気的に消去可能なプログラマブルフローティ
    ングゲートメモリ装置。
  3. (3)上記第3の状態での導伝電流量は上記第1の状態
    でのメモリ装置を流れる電流量の約半分に等しい請求項
    1に記載の電気的に消去可能なプログラマブルフローテ
    ィングゲートメモリ装置。
  4. (4)メモリ素子が電流を導伝する第1の状態と、メモ
    リ素子が電流を遮断する第2の状態と、メモリ素子が第
    1の状態における導伝電流の約半分の電流量を導伝する
    第3の故障状態とを表示するメモリ素子を有する電気的
    に消去可能なプログラマブルリードオンリメモリにおい
    て、 データビットとその相補データビットを記憶する上記一
    組のメモリ素子から該データビットを感知する方法がそ
    れぞれ、 上記一組のメモリ素子のうち第1の素子を第1のビット
    ラインに電気的に接続する段階と、上記一組のメモリ素
    子のうち第2の素子を第2のビットラインに電気的に接
    続する段階と、上記第1ビットラインを差動感知増幅器
    の反転入力端に電気的に接続し、上記第2ビットライン
    を上記差動感知増幅器の非反転入力端に電気的に接続す
    る段階とを有しているデータビットの感知方法。
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