JP2835453B2 - 故障許容差動メモリ素子及び感知方法 - Google Patents

故障許容差動メモリ素子及び感知方法

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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はユーザプログラマブルメモリに関し、特に電
気的に消去可能なプログラマブルリードオンリメモリ
(EEPROMS)に関する。また特に本発明は信頼性の高い
セルとその素子の差動感知方法との結合に関するもので
ある。
[従来の技術] メモリセルの差動感知方法は公知のものである。該方
法はスタティックランダムアクセスメモリ、ダイナミッ
クランダムアクセスメモリ、及びその他のメモリ製品に
利用されている。
[発明の構成・手段] 本発明によれば、各セルがフローティングゲートEEPR
OMトランジスタとセレクトトランジスタとを有する2個
のメモリセルが、記憶される1ビットの情報ごとに使用
されている。第1のメモリ素子はそれのセレクト素子を
介してそれのビットラインに接続されている。第2のメ
モリセルはそれのセレクト装置を介して相補的ビットラ
インに接続されている。上記ビットライン及び相補的ビ
ットラインはそれぞれYセレクト装置を介してデータバ
ス及び相補的データバスに接続されている。差動感知増
幅器は上記データバス及び相補的データバスに接続され
ている。
本発明で使用されているEEPROMトランジスタはそれら
の故障モード伝導レベルを制御する特別なデプレッショ
ンセル注入物質を使用することにより構成されている。
この特別なデプレッション注入物質(depletion implan
t)は、故障したメモリセルが、導伝状態、即ち論理ゼ
ロのデータを記憶している状態のときに正常なセルが導
伝する電流の約半分の電流を導伝するように構成されて
いる。
[実施例] 先ず、第1図について説明すれば、第1のEEPROMトラ
ンジスタ12はそのソースが負の電圧源Vssに接続されて
おり、また、そのドレインがセレクトトランジスタ14の
ソースに接続されている。セレクトトランジスタ14は、
そのドレインがビットライン16に接続されている。第2
のEEPROMメモリトランジスタ18は、それのソースが電圧
源Vssに接続されており、それのドレインが第2セレク
トトランジスタ20のソースに接続されている。第2セレ
クトトランジスタ20のドレインは相補的ビットライン22
に接続されている。第1EEPROMトランジスタ12及び第2EE
PROMトランジスタ18のゲートは共に感知ライン24に接続
されている。第1セレクトトランジスタ14及び第2セレ
クトトランジスタ20のゲートは共にワードライン26に接
続されている。ビットライン16及び22は、それぞれ負荷
装置28及び30を介して正の電圧源Vddに接続されてい
る。Nチャンネルの負荷装置28のドレインは電圧源Vdd
に接続されており、それのソースはビットライン16に接
続されている。Nチャンネルの負荷装置30のドレインは
電圧源Vddに接続されており、それのソースはビットラ
イン22に接続されている。両Nチャンネルの負荷装置28
及び30のゲートは共に基準電圧源Vrefに接続されてお
り、この構成は従来より公知のものである。
また、第1EEPROMトランジスタ12と第1セレクトトラ
ンジスタ14は共に第1メモリセル32を構成している。第
2EEPROMトランジスタ18と第2セレクトトランジスタ20
は共に第2メモリセル34を構成している。第1メモリセ
ル32及び第2メモリセル34は共に単一ビットのデータを
記憶するために使用されている。第1メモリセル32は上
記データを記憶し、また第2メモリセル34はその相補デ
ータを記憶する。例えば、論理ゼロのデータが記憶され
る場合は、第1メモリセル32が論理ゼロのデータを記憶
し、第2メモリセル34は論理1のデータを記憶する。上
記記憶されたデータは第1及び第2のメモリセル32及び
34から読み出され差動感知増幅器36によって感知され
る。差動感知増幅器36への入力はデータバス38及び相補
的データバス40を介して行なわれる。ビットライン16は
Yセレクト装置42によりデータバス38に接続されてお
り、また相補的ビットライン22は相補的Yセレクト装置
44により相補的データバス40に接続されている。Yセレ
クトトランジスタ42及び相補的Yセレクトトランジスタ
44は、それらのゲートが共に、参照番号46で示すYセレ
クトラインYnに接続されている。
本発明による製品においては当業者にとっては明らか
なことであるが、32及び34などで示される多くのメモリ
セルはビットライン16及び相補的ビットライン22に接続
されており、また各メモリセルは参照数字26などで示さ
れるような固有のワードラインを有している。当業者に
とって、また、ビットライン16と相補的ビットライン22
などの他のビットラインの組がYセレクト装置42と相補
的Yセレクト装置44と同様のYセレクト装置の組を介し
てデータバス38及び相補的データバス40に接続されると
いうことは明らかなことであろう。例えば第1図に示す
ように、ビットライン48及び相補的ビットライン50はそ
れぞれYセレクト装置52及び相補的Yセレクト装置54を
介してデータバス38及び相補的データバス40に接続され
ている。Yセレクト装置52及び相補的Yセレクト装置54
のゲートが一般的には数字56で示されているYセレクト
ラインY(n−1)に接続されている。第1メモリセル
32及び第2メモリセル34に記憶されたデータを読み出し
たいときは、ワードライン26はハイレベルとされ、また
参照番号46のYセレクトラインYnもハイレベルとされ
る。メモリセルの組32及び34により記憶されたデータビ
ットが論理ゼロのデータである場合は、メモリセル32は
電流を導伝し、該電流は、そのドレインが正の電圧源に
接続され、それのソースがビットライン16に接続され、
それのゲートが基準電圧Vrefに接続された負荷装置28が
配置されているためにビットライン16上に電圧を確立す
る。定格5ボルトの電源電圧を供給することにより約2.
5ボルトの値の基準電圧Vrefが供給されるのに十分であ
ることが判明した。
ビットライン16上の電圧はこのようにして低下されデ
ータバス38を介して、Yセレクト装置42、ビットライン
16及びセレクトトランジスタ14を介して感知増幅器36に
より感知される。この場合メモリセル34は相補的データ
バス40からの電流を遮断している。従ってビットライン
22における電圧は低下せず相補的Yセレクト装置44、ビ
ットライン22及びセレクト装置20を介して感知増幅器36
により感知される。ビットライン22の電圧は負荷装置42
と同じ方法で接続された負荷装置44により確立される。
差動感知増幅器36はそれの両入力端子における電圧、
即ちデータバス38における電圧と相補的データバス40に
おける電圧との電位差を感知する。差動感知増幅器36
は、定格5ボルトの電源電圧を供給した場合に少なくと
もほぼ3ボルト程度の基準電圧が得られるコモンモード
を有するものならばどんな差動感知増幅器でも使用可能
である。
本発明の他の態様は、第1メモリセル32又は第2メモ
リセル34の一方が故障した場合でも、データを正しく読
み出すことを可能にしていることである。即ち上記メモ
リセル32及び34の組からのデータを感知することは、ど
ちらか一方のメモリセルが故障した場合でもメモリEEPR
OMトランジスタ12および18のそれぞれの特性により、可
能となっている。
本発明における各EEPROMメモリセルは、該メモリセル
が故障した場合に、論理ゼロのデータを記憶している標
準の故障していないセルによって通電される電流量のほ
ぼ2分の1の電流量を確実に通電するような特別なデプ
レッション注入物質を使用することにより構成されてい
る。砒素がこの目的を満足させるために好適であること
が判明した。650Åの厚さのゲート酸化物を有し168平方
ミクロンの大きさのメモリセル用としては、ほぼ8×10
11原子数/cm3の注入物質の使用量のものが適量である
ことが判明した。厚さ450Åのゲート酸化物を有し、108
平方ミクロンの大きさのメモリセルの場合は、注入物質
の使用量はほぼ1.25×1012原子数/cm3のものが好適で
あることが判明している。その適用量はセルの大きさ、
ゲート酸化物の厚さ及び十分な数量のセル配列のプログ
ラミングに基づいていることは当業者にとっては明らか
なことであり、またどんな特別なセル構成に対してもこ
の注入物質の使用量を容易に最適にすることが可能であ
る。第2図は、論理1及び論理ゼロが記憶されている場
合の相補的メモリセル32及び34の出力を示す表であり、
正常状態、セル32が故障の場合、及びセル34が故障の場
合のメモリ素子32及び34によって誘引される電流量を示
している。
第2図によれば、論理1のデータが上記メモリセルの
組32及び34に記憶されているときは、もし両セルとも正
常に機能しているならばメモリセル32は電流を遮断しメ
モリセル34は電流iを導伝させる。ところがもしメモリ
セル32が故障した場合は、該セル32はi/2の電流を導伝
させ、正常機能しているメモリセル34は電流iを導伝さ
せる。ところがもしメモリ34が故障しており、メモリセ
ル32が正常に動作している場合は、メモリセル32は電流
を遮断しメモリ素子34はi/2の電流量だけ導伝させる。
同様に、論理ゼロのデータが記憶される場合は、もし
両メモリセルが正常に動作している場合は、メモリセル
32は電流iを導伝させ、メモリ素子34は電流を遮断して
いる。ところがもしメモリセル32が故障したときは、該
素子32はi/2の電流を導伝させ、正常機能しているメモ
リセル34は電流を遮断する。また一方、もしメモリ34が
故障しているときは、正常動作しているメモリセル32は
電流iを導電し、メモリ素子32はi/2の電流を導伝す
る。
メモリセル32及び34によって導出された電流は上記の
状態においては、それぞれ負荷装置28及び30が配置され
ているためにビット線16及び22に異なった電圧を誘起さ
せる。メモリセル32又は34に電流が流れなければ、それ
に関連するビットラインはほぼ2.5ボルトの電圧に保持
される。基準電圧Vrefは、メモリセルに流れる電流がな
い場合にほぼ2.5ボルトの電圧がビットライン上に誘起
されるように調製されている。上記セルにより導伝され
たどのような電流もビットライン上の電圧を降下させ
る。故障したセルは正常なセルが導伝する電流量の半分
の電流を導伝するので、故障したセルは正常な素子が誘
起する電圧のほぼ2分の1の電圧降下を引き起こすこと
になる。差動感知増幅器36のトリップ動作点は、ビット
ライン上のi/2の電流により誘起された電圧値に等しい
データバス38及び40に接続された該増幅器の2個の入力
端子における電圧差が上記感知増幅器をトリップ動作さ
せるように設計されている。
本発明の実施態様及びその応用例が上述のように説明
されているが、他の多くの変形が可能であることは当業
者にとっては明らかなことであろう。従って、本発明は
添付の特許請求の範囲による以外には限定されることは
ない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明にかかるメモリセルの選択された装置を
介して差動感知増幅器に接続された2個のEEPROMメモリ
セルを示す実施例の概略回路図である。 第2図は正常モード及び故障モードにおけるメモリセル
の出力電流を示す表である。 12,18……第1EEPROMトランジスタ 14,20……セレクトトランジスタ 16,22,48,50……ビットライン 24……感知ライン 26……ワードライン 28,30……負荷装置 32,34……メモリセル 36……差動感知増幅器 38,40……データバス 42,44,52,54……Yセレクト装置 46,56……Yセレクトライン

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1セレクト装置と直列な第1メモリ装置
    を含み、第1ビットラインと接続可能な第1メモリセル
    と、第2セレクト装置と直列な第2メモリ装置を含み、
    第2ビットラインに接続可能な第2メモリセルとを備
    え、前記第1および第2メモリセルがデータビットおよ
    びその相補データビットをそれぞれ記憶し、前記第1お
    よび第2セレクト装置は、前記第1および第2メモリ装
    置を前記第1および第2ビットラインにそれぞれ接続す
    るように同時に切換可能であり、さらに、 第1入力および第2入力を有する差動感知増幅器と、 前記第1ビットラインおよび前記第2ビットラインをそ
    れぞれ差動感知増幅器の第1入力および第2入力に選択
    的に接続するための選択手段とを備え、 前記第1および第2メモリ装置は、前記第1および第2
    メモリ装置がそれぞれ前記第1および第2セレクト装置
    を通って前記第1および第2ビットラインに接続される
    とき、第1の量の電流を導通する第1の導電状態と、前
    記第1および第2メモリ装置がそれぞれ前記第1および
    第2セレクト装置を通って前記第1および第2ビットラ
    インに接続されるとき、電流を導通しない第2の導電状
    態と、前記第1および第2メモリ装置が故障した後にそ
    れらにより示される第3の状態とを含む、3つの導電状
    態を有し、前記第3の導電状態における前記第1および
    第2メモリ装置は、それぞれ前記第1および第2セレク
    ト装置を通って前記第1および第2ビットラインに接続
    されるとき、第2の量の電流を導電し、前記第2の量の
    電流が前記第1の電流量の半分にほぼ等しい、電気的に
    消去可能なプログラマブルフローティングゲートメモリ
    装置。
  2. 【請求項2】前記選択手段が2個のYセレクト装置であ
    り、第1のYセレクト装置は前記第1ビットラインと前
    記差動感知増幅器の第1入力との間に接続されており、
    前記第2のYセレクト装置は前記第2ビットラインと前
    記差動感知増幅器の前記第2入力との間に接続されてお
    り、前記第1および第2のYセレクト装置の各々が単一
    のYセレクトアドレスラインによって活性化される、請
    求項1に記載の電気的に消去可能なプログラマブルフロ
    ーティングゲートメモリ装置。
  3. 【請求項3】メモリセルが電流を導通する第1の状態
    と、メモリセルが電流を導通しない第2の状態と、メモ
    リセルが第1の状態における導電電流の約半分の電流量
    を導通する第3の故障状態とを示すメモリセルを有する
    電気的に消去可能なプログラマブルフローティングゲー
    トメモリにおいて、データビットとその相補データビッ
    トをそれぞれ記憶する1組のセルから該データビットを
    感知する方法であって、前記1組のセルのうち第1のセ
    ルを第1ビットラインに電気的に接続するステップと、 前記1組のセルのうち第2のセルを第2ビットラインに
    電気的に接続するステップと、 前記第1ビットラインを差動感知増幅器の反転入力に電
    気的に接続し、前記第2ビットラインを前記差動感知増
    幅器の非反転入力に電気的に接続するステップとを含
    む、データビットの感知方法。
  4. 【請求項4】電気的に消去可能なプログラマブルフロー
    ティングゲートメモリにおける、情報ビットを記憶し、
    読出すための回路であって、 第1ビットラインと、 第2ビットラインと、 第1入力および第2入力を有する差動感知増幅器と、 前記第1ビットラインおよび前記第2ビットラインを前
    記差動感知増幅器の前記第1入力および前記第2入力に
    それぞれ選択的に接続するための第2選択手段と、 第1メモリセルと、 第2メモリセルと、 前記第1および第2メモリセルを前記第1および第2ビ
    ットラインにそれぞれ選択的に接続するための第2選択
    手段とを有し、 前記第1および第2メモリセルは前記第1および第2メ
    モリ装置がそれぞれ前記第1および第2ビットラインに
    接続されるとき、第1の量の電流を導電する第1の導電
    状態と、前記第1および第2メモリ装置がそれぞれ前記
    第1および第2ビットラインに接続されるとき、電流を
    導通しない第2の導電状態と、前記第1および第2メモ
    リ装置が故障した後にそれらによって示される第3の状
    態とを含む、3つの導電状態を有し、前記第3の導電状
    態における前記第1および第2メモリ装置は、前記第1
    および第2ビットラインにそれぞれ接続されるとき、第
    2の量の電流を導電し、前記第2の量の電流が前記第1
    の電流量の半分にほぼ等しい、回路。
  5. 【請求項5】前記第1選択手段が2つのワードセレクト
    装置であり、第1ワードセレクト装置は、前記第1メモ
    リセルと前記第1ビットラインとの間に接続され、前記
    第2ワードセレクト装置は前記第2メモリセルと前記第
    2ビットラインとの間に接続され、前記第1および第2
    ワードセレクト装置が単一のワードラインによって活性
    化される、請求項4に記載の電気的に消去可能なプログ
    ラマブルフローティングゲートメモリ装置。
  6. 【請求項6】前記第2選択手段が2つのYセレクト装置
    であり、第1のYセレクト装置は前記第1ビットライン
    と前記差動感知増幅器の前記第1入力との間に接続さ
    れ、前記第2のYセレクト装置は前記第2ビットライン
    と前記差動感知増幅器の前記第2入力との間に接続さ
    れ、前記第1および第2のYセレクト装置の各々が単一
    のYセレクトアドレスラインによって活性化される、請
    求項4に記載の電気的に消去可能なプログラマブルフロ
    ーティングゲートメモリ装置。
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