JPH0278245A - 粘着テープの貼着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えば集積回路形成用の基板となるシリコン
ウェハのような円形状などの薄板上に粘着テープを貼着
する方法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来ではフィルムとシリコンウェハのような薄板の貼着
は手作業で行ない、薄板の周囲からはみ出したフィルム
の切り取りも手作業でなっていた。

また、粘着テープと薄板を上下のゴム類のローラで挾ん
で粘着テープと薄板を貼合せ方法もある。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記の従来方法のうち、手作業による方法は手数がかか
り、皺ができないよ）に張るためには熟練を要するとい
う問題がある。

また、上下のローラで粘着テープと薄板を挾んで貼着す
る方法は、自動化できる点で優れているが、薄板を上下
のローラで挾むために、薄板の表面が微小な圧力でも敏
感に反応し、ダメージを受ける場合があるという問題が
あった。

この発明は上記のような従来の方法の問題点を解決した
薄板と粘着テープの貼着方法を提供することを目的とす
るものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するために、この発明はテーブルの後
方にある薄板を前進させてテーブル上に載せたのち、テ
ーブル上に固定し、ついで、テーブルを上界させ、その
後テーブルの後方にあった貼付ローラを前進させること
により、粘着面を下にした粘着テープを薄板上に貼着し
て貼付ローラを薄板の前方で停止させた状態で、テーブ
ル上方にあるカット手段を下部させて粘着テープを薄板
上においてカントし、ついでテーブルの後方にある剥離
ユニットを前方へ走行させ、薄板上に貼付された保護フ
ィルムを残して、粘着テープをテーブル上から離しつつ
所定の巻軸に巻取らせることを特徴とする粘着テープの
貼着方法を提供するものである。

〔実施例〕

図面はこの発明方法を実施する装置の一例を示すもので
、第１図の１はフレームで、その下部寄りには搬送手段
として左右一対の無＠搬送ベルト２を配置し、このベル
ト２を図示省略しである駆動手段により矢印方向に間欠
駆動する。

３は真空吸引式テーブルで、適宜の駆動手段により上下
２段に変位し得るものである。

上記テーブル３には、第２図、第３図のように左右の搬
送ベルト２が入る左右一対の深い溝４を設け、この両溝
４の外側のテーブル３上には複数のガイド取付溝５が平
行に設けである。

上記各取付溝５にはウェハガイド６を着脱自在に装着し
てテーブル３上のウェハ８の両側の左右の位置決めを行
なうようにしである。

１０はテーブル３の前側の凹入部１１内に配置したブラ
ケットで、このブラケット１０上には位置決め用のスト
ッパ７が固定しである。

第１図のフレーム１の正面には、制動装置を有する巻軸
１７と駆動装置により矢印方向に駆動される巻取軸１８
をそれぞれ取付けて、巻軸１７に粘着テープ２０を巻き
、前記ウェハ８上で保護フィルム９を切抜いたのちの粘
着テープ２０は巻取軸１８に巻取るようにする。

第１図の２１は図示省略しである適宜の駆動手段により
前後方向（第１図に向って左を前、右を後とする）に移
動する貼付ユニットで、このユニット２１にはゴムなど
の柔軟な材料からなる貼付ローラ２３とガイドローラ２
４を設ける。また、この貼付ユニット２１はエアシリン
ダなどにより上下２段に変位するようになっている。

２２は上記貼付ユニット２１とは別の駆動手段により前
後方向に移動する剥離ユニットで、上下一対のガイドロ
ーラ２５の下部にビーリングローラ２６を設けたもので
ある。

第１図の２９はウェハ８の受入用無端搬送ベルト、３４
はウェハの送り出し用無端搬送ベルトであり、５９．６
０はフレーム１の正面に設けたガイドローラである。

上記搬送ベルト２９は左右一対からなり、その間に位置
決め手段として第１図、第４図のようにブラケット１５
に３本の位置決め用の回転棒１２．１３．１４を回転自
在に取付け、この各棒に無端ベルトをかけて、各棒１２
．１３．１４が、第４図の矢印方向に等速回転するよう
にし、かつ、中央の回転棒１３を若干部寄りにしてウェ
ハ８の円同部２８が各回転棒１２．１３．１４に均等に
接触するようにする。

上記ブラケット１５は適宜の駆動手段により昇降自在と
し、その前方は適宜の駆動手段により上下に揺動するレ
バー１６を設けてその先端にストッパ１９を固定する。

第１図の３１はカット手段で、その詳細を第５図、第６
図に示す。

第５図において、３２はフレニム１の前面板３３に設け
た縦長孔で、前面板３３の裏面には上下に長いレール３
５が取付けられている。また、テーブル３の上方には昇
降台３６が配置され、この昇降台３６は上記レール３５
に沿って上下移動可能に支持され、前面板３３に支持さ
れた昇降用シリンダ３７の作動によって上下動する。

上記昇降台３６の下側に設けたガイドロッド３８は、テ
ーブル３の径方向に延び、同ガイドロッド３８に沿って
移動可能に支持された往復台３９は、昇降台３６の下面
に支持された移動用シリンダ４０の作動によってテーブ
ル３の上方をその径方向に移動する。

この往復台３９の下面には筒体４１が取付けられ、この
筒体４１によって回転可能に支持された回転軸４２は、
上記往復台３９の下面に支持されたモータ４３によって
回転駆動される。

上記回転軸４２の上端には外周に透光部（図示省略）を
有する円板４４が取付けられ、この円板４４の透光部を
同円板４４の外周部に設けた検出器３０が検出すると、
この検出器３０からの検出信号によって前記モータ４３
が停止する。

また、回転軸４２の下端には、ガイドバー支持枠４５が
取付けられ、このガイドバー支持枠４５に支持された一
対のガイドバー４６に沿って支持台４７が移動可能に支
持されている。

上記支持台４７は、対向配置された一対の板体４８を備
え、この板体４８間に渡した一対のガイドロッド４９は
、上記ガイドバー４６に対して交差方向に長くなってい
る。また、一対の板体４８間には、上記一対のガイドロ
ッド４９間に位置する送りネジ５０が渡され、このネジ
５０の駆動用モータ５１が支持台４７の端部に支持され
ている。

このネジ５０は、上記ガイドロッド４９に沿って移動可
能なシリンダ支持枠５２の雌ネジにねし込まれており、
このネジ５０を回転すると、シリンダ支持枠５２がガイ
ドロッド４９に沿って移動する。

シリンダ支持枠５２の側部に設けた軸受５４に　。

ホルダ支持枠５５の上面に設けた軸５６が回動可能に支
持されている。このホルダ支持枠５５は、首振り用シリ
ンダ５８により軸５６を中心に回転する。

また、ホルダ支持枠５５の一対の側板、５７間に円柱状
の刃物ホルダ６１の上部が位置し、この刃物ホルダ６１
の外周上部の対向位置に設けた一対のビン６２が上記側
板５７で回転可能に支持されている。

刃物ホルダ６１の下端には刃物６３が取付けられ、この
刃物６３の切断方向の先行側には、前記ウェハ８の直線
部２７の端に連続する円周部２８を検出する透過形の検
出器６４が配置されている。

この検出器６４は、前記ホルダ支持枠５５の下部に支持
されて上記刃物６３と共に移動し、検出器６４からの検
出信号によって首振り用シリンダ５８が作動する。

前記支持台４７には、第６図に示すように、ホルダ支持
枠５５の側板５７背部に張り出す支持板６５が設けられ
、同支持板６５の張り出し部に設けた一対のガイド板６
６は、シリンダ支持枠５２と共に刃物ホルダ６１が移動
するとき、この刃物ホルダ６１の移動を案内してピン６
２を中心に刃物ホルダ６１が回動するのを防止している
。

つぎに上記装置を用いて、ウェハに保護フィルムを貼付
する方法について説明する。

第１図に向って右方となる後方に所定の加工工程を終了
した多数のウェハ８を多段状に収納したマガジン７１が
ある。

いま、第１図の巻取軸１８および巻軸１７が停止した状
態において、前記マガジン７１から１枚のウェハ８が搬
送ベルト２９を経て搬送ベルト２上へ供給される。

このとき、ブラケット１５は上昇位置で、位決め用の回
転棒１２．１３．１４の上端はベルト２９の上方に出て
いるから、ベルト２９上へ供給されたウェハ８は回転棒
１２．１３．１４に当って停止する。

このとき、回転棒１２．１３．１４は第４図の矢印のよ
うに回転しているから、ウェハ８の円周部２８が上記回
転棒１２．１３．１４の外周に接すると、ウェハ８は同
じ方向に回っている隣接した２本の棒１２．１３との摩
擦により回転し、ウェハ８の一部に設けた直線部２７が
棒１２．１３．１４の部分にくると中央の棒１３が直線
部２７から離れ、直線部２７の両端は相反する方向に回
転している棒１２．１４が接するのでウェハ８の回転は
この位置で止り、位置決めされる。

上記の作用で位置決めが終るとブラケット１５が下り各
回転棒１２．１３．１４の上端がベルト２９の１面より
下るとベルト２９によりウエノ１８が前進し、上昇中の
ストッパ１９に当って待機状となる。つぎに、レバー１
６が下り、ストッパ１９の上端がベルト２９の上面より
下るとウェハ８はベルト２上へ供給される。

上記のヘルド２上へのウェハ供給時においてテーブル３
は第２図の実線のように下降位置にあって。ベルト２の
上側がテーブル３の上面より若干高くなっており、スト
ッパ７の上端および左右のウェハガイド６の上縁はベル
ト２の上方へ出ているから、ベルト２上へ供給されたウ
ェハ８はガイド６とストッパ？で位置決めされて停止す
る。

つぎにテーブル３が第２図の鎖線の位置まで上ると、テ
ーブル３の上面がベルト２の上側より上になり、位置決
めされたウェハ８はベルト２上からテーブル３上に載せ
かえられる。

このとき、剥離ユニット２２と貼付ユニット２１は第７
図のように後退位置にある。

上記のようにウェハ８がテーブル３上に載ると、真空吸
引手段が働き、テーブル３上の真空吸引口がウェハ８を
吸着してテーブル３上に固定し、貼付ローラ２３の下側
の粘着テープ２０にウェハ８が接近する。

ついで、貼付ユニット２１が前方へ移動して第８図のよ
うに粘着テープ２０をウェハ８の上面に貼付する。

上記のようにウェハ８上に粘着テープ２０が貼付された
とき、ウェハ８はガイド６とストッパ７でテーブル３と
同心に位置決めされている。

一方、カット手段３１の移動用シリンダ４０の作動によ
り、往復台３９をガイドロッド３８に沿って移動させて
位置調整を行ないカット手段３１の回転軸４２をテーブ
ル３の中心に一部させるゆまた、モータ４３の駆動によ
る回転軸４２０回転と、支持台４７を移動させる操作と
によって刃物６３をウェハ８の直線部２７の長さ方向中
央部に位置させる。このような刃物６３の位置調整後に
、粘着テープ２０のカットを行う。

まず、カット手段３１が上昇位置にある間に、移動用シ
リンダ４０の作動により刃物６３を直線部２７と平行に
移動させる。

刃物６３が直線部２７の端部の直上よりさらに外の位置
に達すると、シリンダ４０は停止し、つぎに昇降用シリ
ンダ３７が作動して昇降台３６が下降する。

上記の昇降台３６の下降によって、刃物６３も同様に下
降し、その刃物６３がテープ２０を突き刺すと、上記昇
降用シリンダ３７が停止し、停止後、前記移動用シリン
ダ４０が作動して、往復台３９を移動させ、刃物６３に
よってウェハ８の直線部２７を平行にカントする。

上記の直線部２７のカットの途中でシリンダ４０が停止
し、同時にモータ５１によるネジ棒５０の駆動で刃物６
３をひきつづき直線移動させる。

刃物６３が直線部２７の端まで移動して、これと共に移
動する検出器６４がウェハ８の直線部２７に続く円弧状
外周面２８の一部を検出すると、モータ５１が停ると°
同時に首振り用シリンダ５８の作用で、ホルダ支持枠５
５を設定角度回転させて刃物６３の向きを円弧状カット
に適する方向に向ける。

つぎにモータ４３が回転を始め、刃物６３を回転軸４２
を中心に回転させ、粘着テープ２０をウェハ８の円周部
２８に沿ってカットする。

カントが終了すると、検出器３０からの信号でモータ４
３を止め、シリンダ５８を作動させて刃物６３を直線カ
ットの向きとし、ついでモータ５１の逆転で刃物６３を
原点に戻し、シリンダ３７によりカット手段３１を上昇
させてカット工程を終る。

カット工程が終了し、カット手段３１が上昇すると、剥
離ユニット２２が前進を始める。

剥離ユニット２２が前進を始めると、ウェハ８に貼付さ
れている保護フィルム９を残してテープ２０がテーブル
３上から離れる。

上記の作用により保護フィルムＳのカット後の粘着テー
プ２０が完全にテーブル３上から離れると、テーブル３
を第２図の実線の位置まで下げ、ベルト２はそのままと
すると第２図の実線のように保護フィルム貼付後のウェ
ハ８はベルト２で支持された状態となる。

また、このとき、ブラケット１０を下げてストッパ７を
ベルト２より下にする。

一方貼付ローラ２３は上昇位置にあり、ウェハ８に粘着
テープ２０が接触するおそれはないから、この状態でベ
ルト２を駆動し、ウェハ８を送り出し用の搬送ベルト３
４により左方のマガジン７２に送り込む。

そののち、巻軸１７を自由回転とし、巻取軸１８を回転
させて貼付ユニット２１と剥離ユニット２２を元の位置
に戻し、テープ２０の送り出しと巻取りを行なう。

上記の作用の繰返しによりつぎつぎとウェハ８上に粘着
テープ２０を貼付したのち、力、トしてウェハ８上を保
護フィルム９により保護する。

なお、上記実施例ではテーブルの手前に位置決め手段を
設けて位置決め後のウェハをテーブル上に載せる場合を
示したが、ウェハをテーブル上に載せたのち位置決めす
る場合もあり、また位置決めを行わない場合もある。

また、カット手段３１は第５図、第６図に示す装置以外
の任意の機構のものを利用し得る。

すなわち、例えば第９図のように、図示省略しであるモ
ータによりベルト伝動などを経て駆動される軸８１端の
クランク８２と昇降台３６をコン不りチングロッド８３
により連結してモータとクランク機構により昇降台３６
を昇降させる機構にしてもよい。

また、第５図の実施例のエアシリンダ４０を廃止してネ
ジ５０を長くすることにより機構が簡単となる。この場
合はカット手段３１０回転中心となる回転軸４２の中心
をテーブル３の中心に合せておき、ネジ軸５０のストロ
ークの増大を利用して刃物６３をウェハ８の外側まで後
退させた状態でテープに切込みを入れたのち、直線部２
７に沿ってカットを行ない、その他端にてウェハ８の外
周を検出して刃物６３の方向を変更し、ウェハ８の外周
に沿って刃物６３を回転させることによりテープを連続
的に切抜くものである。

〔発明の効果〕

この発明は上記のようにウェハをテーブル上に固定した
状態で、貼付ローラにより粘着テープをウェハの上面に
圧着するものであるから、ウェハの上下を貼付ローラで
挾む方法のようにウェハを破を員させるおそれはない。

また、貼付ユニットと剥離ユニットは若干の時間差で同
方向に移動して粘着テープの貼付と剥離を同し位置で行
なうので、この発明を実施する装置は小型となるなどの
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明方法を実施する装置の側面図、第２図
は同上のテーブルの拡大縦断正面図、第３図は同じく拡
大平面図、第４図は位置決め部の拡大平面図、第５図は
カット手段の一部縦断拡大側面図、第６図は同上の要部
をさらに拡大した一部縦断側面図、第７図、第８図は作
用を示す各工程の正面図、第９図はカット手段の他の例
を示す拡大側面図である。 ２・・・・・・無端搬送ベルト、　３・・・・・・テー
ブル、８・・・・・・ウェハ、　　　　　　９・・・・
・・保護フィルム、１７・・・・・・巻軸、　　　　　
１８・・・・・・巻取軸、２０・・・・・・粘着テープ
、　　２１・・・・・・貼付ユニット、２２・・・・・
・剥離ユニット、　３１・・・・・・カット手段。 第９図 第５図 第６図 ム２

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）テーブルの後方にある薄板を前進させてテーブル
   上に載せたのち、テーブル上に固定し、ついで、テーブ
   ルを上昇させ、その後テーブルの後方にあった貼付ロー
   ラを前進させることにより、粘着面を下にした粘着テー
   プを薄板上に貼着して貼付ローラを薄板の前方で停止さ
   せた状態で、テーブル上方にあるカット手段を下降させ
   て粘着テープを薄板上においてカットし、ついでテーブ
   ルの後方にある剥離ユニットを前方へ走行させ、薄板上
   に貼付された保護フィルムを残して、粘着テープをテー
   ブル上から離しつつ所定の巻軸に巻取らせることを特徴
   とする粘着テープの貼着方法。