JPH0272542U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0272542U JPH0272542U JP15094388U JP15094388U JPH0272542U JP H0272542 U JPH0272542 U JP H0272542U JP 15094388 U JP15094388 U JP 15094388U JP 15094388 U JP15094388 U JP 15094388U JP H0272542 U JPH0272542 U JP H0272542U
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- JP
- Japan
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- plate
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- Pending
Links
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Pile Receivers (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第1図〜第8図は本考案の実施例を示すもので
あつて、第1図は半導体ウエハ移換え装置の要部
正面図、第2図a,b,c,d,e,f,g及び
hはウエハカートリツジからキヤリアカセツトへ
半導体ウエハを移換える手順を示す要部断面図、
第3図は半導体ウエハ支持具の傾斜図、第4図は
、半導体ウエハをキヤリアカセツトからウエハカ
ートリツジに移換え、CVD装置に装入する手順
を要す要部平面図、第5図は半導体ウエハを収容
したウエハカートリツジを示し、同図aは平面図
、同図bは側面図、第6図は半導体ウエハを収容
したキヤリアカセツトを示し、同図aは平面図、
同図bは側面図、第7図はウエハカートリツジの
斜視図、第8図はキヤリアカセツトの斜視図であ
る。第9図及び第10図は従来例を示すものであ
つて、第9図a,b,c及びdはウエハカートリ
ツジに収容されている半導体ウエハを取出す手順
を示す要部正面図、第10図は他の例による半導
体ウエハ移換えの前記第9図bに相当する段階で
の要部断面図である。なお図面に示された符号に
おいて、 1……ウエハカートリツジ、1a……主柱、1
b……補助柱、1e,2e……溝、1f……突部
、2……キヤリアカセツト、2c……つば、3…
…半導体ウエハ移換え装置、4……平板(半導体
ウエハ支持部材)、5……支持台、7……スペー
サ、8……キヤツプ、9……レバー、10……送
り軸、11……軸受、13,14……カム、15
……支点の軸、16,16A,16B,16C,
16D……半導体ウエハ、θ……傾斜角度である
。
あつて、第1図は半導体ウエハ移換え装置の要部
正面図、第2図a,b,c,d,e,f,g及び
hはウエハカートリツジからキヤリアカセツトへ
半導体ウエハを移換える手順を示す要部断面図、
第3図は半導体ウエハ支持具の傾斜図、第4図は
、半導体ウエハをキヤリアカセツトからウエハカ
ートリツジに移換え、CVD装置に装入する手順
を要す要部平面図、第5図は半導体ウエハを収容
したウエハカートリツジを示し、同図aは平面図
、同図bは側面図、第6図は半導体ウエハを収容
したキヤリアカセツトを示し、同図aは平面図、
同図bは側面図、第7図はウエハカートリツジの
斜視図、第8図はキヤリアカセツトの斜視図であ
る。第9図及び第10図は従来例を示すものであ
つて、第9図a,b,c及びdはウエハカートリ
ツジに収容されている半導体ウエハを取出す手順
を示す要部正面図、第10図は他の例による半導
体ウエハ移換えの前記第9図bに相当する段階で
の要部断面図である。なお図面に示された符号に
おいて、 1……ウエハカートリツジ、1a……主柱、1
b……補助柱、1e,2e……溝、1f……突部
、2……キヤリアカセツト、2c……つば、3…
…半導体ウエハ移換え装置、4……平板(半導体
ウエハ支持部材)、5……支持台、7……スペー
サ、8……キヤツプ、9……レバー、10……送
り軸、11……軸受、13,14……カム、15
……支点の軸、16,16A,16B,16C,
16D……半導体ウエハ、θ……傾斜角度である
。
Claims (1)
- 複数の板状体を挿入又は取出すための空間部を
夫々有する第一の収容部と第二の収容部との間で
、前記第一の収容部に収容された前記複数の板状
体を取出した後にこれらの板状体を前記第二の収
容部に挿入して収容させる板状体移換え装置であ
つて、上下方向に所定の間隔を隔てて前記複数の
板状体を支持する複数の支持部材と、これらの支
持部材を略水平の位置及びこの水平位置より所定
角度傾斜した位置の間で可逆的に位置変更する位
置変更手段とを有する板状体移換え装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15094388U JPH0272542U (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15094388U JPH0272542U (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0272542U true JPH0272542U (ja) | 1990-06-01 |
Family
ID=31424540
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15094388U Pending JPH0272542U (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0272542U (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6120046B2 (ja) * | 1978-01-31 | 1986-05-20 | Pioneer Electronic Corp | |
JPS6265843A (ja) * | 1985-09-12 | 1987-03-25 | Denkoo:Kk | 半導体ウエハ取出し装置 |
-
1988
- 1988-11-18 JP JP15094388U patent/JPH0272542U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6120046B2 (ja) * | 1978-01-31 | 1986-05-20 | Pioneer Electronic Corp | |
JPS6265843A (ja) * | 1985-09-12 | 1987-03-25 | Denkoo:Kk | 半導体ウエハ取出し装置 |
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