JPH0272542U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図〜第８図は本考案の実施例を示すもので
あつて、第１図は半導体ウエハ移換え装置の要部
正面図、第２図ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇ及び
ｈはウエハカートリツジからキヤリアカセツトへ
半導体ウエハを移換える手順を示す要部断面図、
第３図は半導体ウエハ支持具の傾斜図、第４図は
、半導体ウエハをキヤリアカセツトからウエハカ
ートリツジに移換え、ＣＶＤ装置に装入する手順
を要す要部平面図、第５図は半導体ウエハを収容
したウエハカートリツジを示し、同図ａは平面図
、同図ｂは側面図、第６図は半導体ウエハを収容
したキヤリアカセツトを示し、同図ａは平面図、
同図ｂは側面図、第７図はウエハカートリツジの
斜視図、第８図はキヤリアカセツトの斜視図であ
る。第９図及び第１０図は従来例を示すものであ
つて、第９図ａ，ｂ，ｃ及びｄはウエハカートリ
ツジに収容されている半導体ウエハを取出す手順
を示す要部正面図、第１０図は他の例による半導
体ウエハ移換えの前記第９図ｂに相当する段階で
の要部断面図である。なお図面に示された符号に
おいて、 １……ウエハカートリツジ、１ａ……主柱、１
ｂ……補助柱、１ｅ，２ｅ……溝、１ｆ……突部
、２……キヤリアカセツト、２ｃ……つば、３…
…半導体ウエハ移換え装置、４……平板（半導体
ウエハ支持部材）、５……支持台、７……スペー
サ、８……キヤツプ、９……レバー、１０……送
り軸、１１……軸受、１３，１４……カム、１５
……支点の軸、１６，１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，
１６Ｄ……半導体ウエハ、θ……傾斜角度である
。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 複数の板状体を挿入又は取出すための空間部を
   夫々有する第一の収容部と第二の収容部との間で
   、前記第一の収容部に収容された前記複数の板状
   体を取出した後にこれらの板状体を前記第二の収
   容部に挿入して収容させる板状体移換え装置であ
   つて、上下方向に所定の間隔を隔てて前記複数の
   板状体を支持する複数の支持部材と、これらの支
   持部材を略水平の位置及びこの水平位置より所定
   角度傾斜した位置の間で可逆的に位置変更する位
   置変更手段とを有する板状体移換え装置。