JPH0271493A - 半導体メモリ装置 - Google Patents

半導体メモリ装置

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JPH0271493A
JPH0271493A JP63224106A JP22410688A JPH0271493A JP H0271493 A JPH0271493 A JP H0271493A JP 63224106 A JP63224106 A JP 63224106A JP 22410688 A JP22410688 A JP 22410688A JP H0271493 A JPH0271493 A JP H0271493A
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JP
Japan
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signal
address signal
sense amplifier
memory
array
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Application number
JP63224106A
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English (en)
Inventor
Tetsuichiro Ichiguchi
哲一郎 市口
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/06Sense amplifiers; Associated circuits, e.g. timing or triggering circuits
    • G11C7/065Differential amplifiers of latching type

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  • Dram (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、一般に半導体メモリ装置に関し、特に、そ
のセンスアンプの活性化に関する。
[従来の技術] 第5図は、一般に知られる、従来のダイナミックランダ
ムアクセスメモリ(以下DRAMと称す)の−例を示す
ブロック図である。第5図を参照して、このDRAMは
、データ信号をストアするためのメモリセルを備えたメ
モリアレイ58と、メモリセルを選択するためのアドレ
ス信号を受けるアドレスバッファ54と、アドレス信号
をデコードするロウデコーダ55およびカラムデコーダ
56と、メモリアレイ58にI妾続されメモリセルにス
トアされた信号を増幅して読出すセンスアンプ63とを
含む。データ信号を人力するための入力バッファ5つお
よびデータ信号を出力するための出力バッファ60は、
I10ゲート57を介してメモリアレイ58に接続され
る。
アドレスバッファ54は、外部アドレス信号ext、A
OないしA9またはリフレッシュカウンタ53により発
生された内部アドレス信号QOないしQ8を受けるよう
に接続される。リフレッシュコントローラ52は、クロ
ックジェネレータ51に与えられたRASおよびCAS
信号のタイミングに応答してリフレッシュカウンタ53
を駆動する。
第6A図は、第5図に示されたDRAMのメモリアレイ
58の周辺回路を示す回路図である。また、第6B図は
、その動作を説明するためのタイミングチャートである
。これらは、たとえば、1985年に開催された国際固
体回路会議(ISSCC8’5)のダイジェスト・オン
・テクニカルペーパースフ52頁ないし253頁に示さ
れている。
第6A図を参照して、ビット線BLjおよびワード線W
Liとの間にメモリセルMが接続される。
メモリセルMは、データ信号をストアするためのキャパ
シタCsと、スイッチングのためのNMOSトランジス
タQsとを含む。センスアンプ63は、ビット線BLj
およびBLjとの間に接続されたCMOSフリップフロ
ップを含む。このCMOSフリヅブフロップは、PMO
SトランジスタQ3およびQ4により構成されたPチャ
ネルセンスアンプと、NMOSトランジスタQ1および
Q2により(R成されたNチャネルセンスアンプとを含
む。このCMOSフリップフロップは、PMOSトラン
ジスタQllおよびNMOSトランジスタQ12を介し
て電源Vccおよび接地Vssに接続される。トランジ
スタQllおよびQ12は、各々のゲートがセンストリ
ガ信号SoおよびS。
を受けるように接続される。イコライズ回路61は、ビ
ット線BLjおよびBLj間に接続された、NMOSト
ランジスタQ5と、NMOSl−ランジスタQ6および
Q7の直列接続とを含む。これらのトランジスタのゲー
トがイコライズ信号EQを受けるように接続される。
ビット線プリチャージ電圧(以下VaLと称す)発生回
路62がNMOSl−ランジスタQIOを介してトラン
ジスタQ6およびQ7の接続点に接続される。I10ゲ
ート57は、ビット線BLjおよびI10線間に接続さ
れたNMOSトランジスタQ8と、ビット線BLjおよ
びI10線間に接続されたNMOSトランジスタQ9と
を含む。トランジスタQ8およびQ9はそれらのゲート
がカラムデコーダからの信号Yjを受けるように接続さ
れる。信号発生回路69は、これらの回路を制御するた
めの制御信号PR,EQ、So、およびSoを発生する
ために設けられる。
次に、第6A図および第6B図を参照して、DRAMの
読出動作およびリフレッシュ動作について説明する。
まず、最初に信号発生回路69からイコライズ信号EQ
およびプリチャージ信号PRが発生される。これらの信
号に応答して、トランジスタQ10、Q5、Q6、およ
びQ7がオンし、ビット線対BLjおよびBLjがイコ
ライズされてVBL(一般に電圧Vcc/2)にもたら
される。nS信号が立丁がった後、信号EQおよびPR
が低レベルに変化する。これに続いて、ワード線信号W
Liが高レベルに変化し、メモリセルMのスイッチング
トランジスタQsがオンする。ビット線BLjの電圧は
、メモリセルMからの信号を受けて、その電圧がわずか
に変化する。これにより、Vatを有するビット線BL
jとビット線BLjとの間に微小な電圧差が生じる。
一方、このとき信号SoおよびSoが変化し、センスア
ンプ63が駆動される。これにより、ビット線間に生じ
た微小な電圧差がセンスアンプ63により増幅される。
この後、高レベルの信号Yjを与えることにより、増幅
されたデータ信号がトランジスタQ8およびQ9を介し
てI10線対に与えられる。
なお、リフレッシュ動作においては、前述のように増幅
されたデータ信号がI10線対に与えられることなく、
再びメモリセルのキャパシタCsに与えられるのみとな
る。
第7図は、第5図に示されたメモリアレイ58およびセ
ンスアンプ63の領域とアドレス信号との対応関係を示
す概念図である。第7図に示されるように、メモリアレ
イ58およびセンスアンプ63を含む領域は、ロウアド
レス信号RAaおよびカラムアドレス信号CA8の値に
対応して、4つの領域Iないし■に分けることができる
。したがって、たとえば、領域■中の成るメモリセルを
指定するためのアドレス信号は、“1”のロウアドレス
信号RA8と“12のカラムアドレス信号CA8とを含
む。
第8図は、第7図に示された領域■および■を部分的に
示す回路図である。領域■には、ビット線対BLおよび
BLごとに接続された、メモリセルMAIないしMAn
と、センスアンプSAIないしSAnとが設けられ、同
様に、領域■には、メモリセルMBIないしMBnと、
センスアンプSBIないしSBnとが設けられる。活性
化線SNはトランジスタQ12を介して接地Vssに接
続され、活性化線SPはトランジスタQllを介して電
源VCCに接続される。各々のメモリセルおよびセンス
アンプは、T’s 6 A図に示されたものと同様の回
路構成を持つ。
この発明にとって特に興味のある先行技術の例は、特開
昭61 68797に見られる。この先行技術では、カ
ラムアドレス信号に応答してセンスアンプの駆動能力を
異ならせるための例が見られる。
また、この発明にとって特に興味のある先行技術のもう
1つの例は、特開昭61−20297に見られる。この
先行技術では、複数のセンスアンプの各々をタイミング
のずれた信号で駆動する回路の例が見られる。ここでの
センスアンプの駆動はアドレス信号に応答することなく
iデなゎれる。
また、この発明にとって特に興味のある先行技術(D 
例i;L、1987年10月に発行されたIEEEジャ
ーナル・オン・ソリッ°トステート・サーキッッ(VO
L、5C−22,No、5)l:見られる。この例では
、センスアンプの駆動能力がタイミングのずれた駆動信
号に応答して増加される。
さらに、この発明にとって興味のある先行技術の例は、
特開昭59−223994に見られる。
この例では、ビット線対のイコライズのターtミング↑
制御が示される。
[発明が解決しようとする課題] 第9図は、第8図に示されたセンスアンプが活性化され
るときの各信号の変化を示すタイミングチャートである
。第8図および第9図を参照して、たとえば、読出動作
において領域■中のメモリセル〜iB1のデータ信号が
読出されるとき、領域■および■中のすべてのセンスア
ンプSAIないしSAnおよびsBlないしSBnが活
性化される。
すなわち、先に述べたように、トランジスタQ12およ
びQllがセンストリガ信号sOおよび10に応答して
オンする。領域■および■中のビット線対BLおよびB
Lに現われた微小電圧がこれらのセンスアンプの活性化
により増幅される。領域■および■のすべてのセンスア
ンプが同時に活性化されるので、センスアンプにより消
費される電流Isが急激に上昇しピーク値1aを示す。
この消費電流Isの急激な増加は、電ri、電圧の低下
を引き起こし、また、電源電圧の低下によりセンスアン
プの感度の低下をも招く。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされ
たもので、センスアンプの活性化により生ずる消費電流
のピーク値を減じることを目的とする。
[課題を解決するための手段] この発明に係る半導体メモリ装置は、メモリアレイがア
ドレス信号により指定されたメモリセルを含む第1のア
レイ領域とその指定されたメモリセルを含まない第2の
アレイ領域とを含み、第1のアレイ領域中のデータ信号
を増幅する第1の増幅手段と、第2のアレイ領域中のデ
ータ信号を増幅する第2の増幅手段と、アドレス信号に
応答して第1の増幅手段および第2の増幅手段をこの順
序で活性化する順次活性化手段とを含む。
[作用コ この発明における半導体メモリ装置では、アドレス信号
に応答して、まず、第1のアレイ領域中のデータ信号が
増幅され、次に、第2のアレイ領域中のデータ信号が増
幅される。このように、増幅動作か順次行なわれるので
、増幅のための消費電流のピーク値が減じられる。
[発明の実施例] 第1図は、この発明の一実施例を示すD RA Mのブ
ロック図である。第1図を参照して、第5図に示された
従来のDRAMと比較して異なる点は、アドレスバッフ
ァ54からロウアドレス信号RA8およびカラムアドレ
ス(二号CA8を受けるように接続された活性化信号発
生回路64が新たに設けられていることである。センス
アンプ63は、この活性化信号発生回路64からの出力
信号φaないしφdを受けるように接続される。
第2図は、第1図に示された活性化信号発生回路64の
一例を示す回路図である。第2図を参照して、この活性
化信号発生回路64は、4つのNORゲート11ないし
14と、各々のNORゲート11ないし14の出力に接
続されたインバータ2]ないし24とを含む。NORゲ
ート11は、一方人力がカラムアドレス信号CA、を受
けるように接続され、他方人力がロウアドレス信号RA
8を受けるように接続される。同様にして、N。
Rゲート12ないし14は、それぞれ、信号CA8およ
びRA、 、信号CA8およびRA6 、信号CA8お
よびRA6を受けるように接続される。
センスアンプを活性化するための出力信号φaないしφ
dがそれぞれインバータ21ないし24を介して出力さ
れる。これらの出力信号φaないしφdは第1図に示さ
れたセンスアンプ63に与えられる。
第3A図および第3B図は、第1図に示されたメモリア
レイ58およびセンスアンプ63のe/I域Iないし■
を示す回路図である。たとえば、第3B図を参照して、
第8図に示された従来の回路と比較して異なる点は、領
域■中のセンスアンプSA1ないしSAnと領域■中の
センスアンプSB1ないしSBnとがそれぞれ異なった
活性化線SP1およびSF3に接続されていることであ
る。
活性化線SPIはPMO5I−ランジスタQ1′3およ
びQ14の並列接続を介して7t3源Vccに接続され
る。また、活性化線sP2はPMOS)ランジスタQ1
5およびQ16の並列接続を介して電源Vccに接続さ
れる。トランジスタQ13のゲートは活性化信号発生回
路64がらの出力信号φdを受けるように接続され、ト
ランジスタQ15のゲートが出力1d号φCを受けるよ
うに接続される。トランジスタQ14およびQ16のゲ
ートはともにセンストリガ信号葺を受けるように接続さ
れる。
なお、領域Iおよび■は、第3B図に示されるように、
領域■および■と同様の回路構成を有し、回路64から
出力信号φbおよびφaを受けるように接続される。
第4図は、第1図に示されたDRAMを動作させるため
の制御信号の変化を示すタイミングチャートである。第
4図を参照して、−例として、第3B図に示された領域
■中のメモリセルMBIにストアされたデータ信号が読
出される場合について以下に説明する。
まず、RAS信号の立下がりに応答して、ロウアドレス
信号RAaを取込むための信号RADEが立下がる。f
d号RADEに応答してロウアドレス信号RA8が取込
まれる。信号RA6の人力に応答してワード線駆動信号
WDが立上がる。また、信号WDの立上がりに応答して
、センスアンプを活性化するためのセンストリガ信号s
oおよヒ芽0が出力される。
一方、信号WDの立上がりに応答して、カラムアドレス
信号CA8を取込むための信号CADEが立上がる。信
号CADHに応答してカラムアドレス信号CA8が取込
まれる。信号でA8の入力に応答して領域■中のセンス
アンプを活性化するための信号φCが立下がる。なお、
カラムデコーダの動作を開始させるための信号CDEは
、RAS信号の立下がりおよびセンストリガ信号Soの
立上がりに応答して立下がる。
センスアンプを活性化するための信号の変化を時間の経
過の観点から見ると、まず、センストリガ信号Soが立
上がる。次に、信号φCが立下がった後、信号SOが立
下がる。第3B図を参照して、領域■および■のセンス
アンプSAIないしSAnおよびSBIないしSBn中
のNチャネルセンスアンプか信号Soの立上がりに応答
して活性化される。これとほぼ同時に、センスアンプS
B1ないしSBn中のPチャネルセンスアンプが1、号
φCの立下がりに応答して活性化される。したがって、
このとき(時刻tl)センスアンプの活性化のために消
費される電流Isは、第4図に示されるようにピーク値
1bを示す。
次に、時刻t2において、領域■のセンスアンプSAI
ないしS A n中のPチャネルセンスアンプが信号1
石の立下がりに応答して活性化される。
したがって、このとき(時刻(2)電ffl I Sは
ピク値1bを示す。電流ISOピーク値1bは、第9図
に示された従来のセンスアンプの活性化のためのトヒ流
Isのピーク値1aと比較して、当然こ小さい。6f1
域■および■中のセンスアンプSB1ないしSBnおよ
びSAIないしSAnが異なったタイミング(時刻t1
およびt2)で順次活性化されるからである。
センスアンプを活性化するための電流のピーク値を減じ
ることにより、電源電圧の低下を防ぐことができる。こ
れに加えて、センスアンプの感度の低下をも防ぐことが
できる。
以上は、DRAMの例について説明がなされたが、この
発明は、スタティックランダムアクセスメモリなど他の
甲導体メモリに適用可能である。
[発明の効果〕 以上のように、この発明では、アドレス信号に応答して
、指定されたメモリセルを含む領域と含まない領域の各
々の増幅手段を異なったタイミングで順次活性化する手
段を含むので、活性化のために消費される電流のピーク
値を減じることかできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の一実施例を示すDRAMのブロッ
ク図である。第2図は、第1図に示された活性化信号発
生回路の例を示す回路図である。 第3A図および第3B図は、第1図に示されたメモリア
レイおよびセンスアンプの別々に活性化される領域を示
す回路図である。第4図は、第1図に示されたD RA
 Llの動作を説明するためのタイミングチャートであ
る。第5図は、従来のDRAMを示すブロフク図である
。第6A図は、従来のビット線対に接続された回路を示
す回路図である。 第6B図は、第6A図に示された回路の動作を説明する
だめのタイミングチャートである。第7図は、第5図に
示されたメモリアレイおよびセンスアンプ中の4つの8
fI域を示す概念図である。第8図は、第7図に示され
た領域■および■の一部を示す回路図である。第9図は
、第8図に示された回路の動作を説明するためのタイミ
ングチャートである。 図において、54はアドレスノ\ツファ、58はメモリ
アレイ、63はセンスアンプ、64は活性化信号発生回
路である。 なお、図中、同一71号は同一または相当部分を示す。 第20 め3AllD

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  データ信号をストアするための複数のメモリセルを備
    えたメモリアレイと、 前記メモリアレイ中のメモリセルを指定するためのアド
    レス信号を受ける手段とを含み、 前記メモリアレイは、前記アドレス信号により指定され
    たメモリセルを含む第1のアレイ領域とその指定された
    メモリセルを含まない第2のアレイ領域とを含み、 前記メモリアレイの前記第1のアレイ領域に接続され、
    前記第1のアレイ領域中のメモリセルにストアされたデ
    ータ信号を増幅する第1の増幅手段と、 前記メモリアレイの前記第2のアレイ領域に接続され、
    前記第2のアレイ領域中のメモリセルにストアされたデ
    ータ信号を増幅する第2の増幅手段と、 前記第1および第2の増幅手段に接続され、アドレス信
    号に応答して前記第1の増幅手段および前記第2の増幅
    手段をこの順序で活性化する順次活性化手段とを含む、
    半導体メモリ装置。
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